KR102390110B1 - 전리 진공계 및 카트리지 - Google Patents

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요오스케 가와사키
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캐논 아네르바 가부시키가이샤
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Abstract

전리 진공계는 양극과 음극과 전자파원을 구비한다. 상기 음극은, 상기 양극이 통과하는 관통 구멍과, 상기 전자파원을 수용하는 수용부를 갖는 제1 음극판을 포함하고, 상기 제1 음극판은, 상기 수용부와 상기 관통 구멍 사이에, 상기 전자파원이 발생시키는 전자파를 통과시키는 통로를 갖는다.

Description

전리 진공계 및 카트리지
본 발명은, 전리 진공계 및 카트리지에 관한 것이다.
전리 진공계에서는, 양극과 음극 사이에 전압을 인가하여 방전을 일으키게 함으로써 기체를 전리시키고, 음극과 양극 사이를 흐르는 전류를 측정함으로써 압력이 검출된다. 전리 진공계에는, 양극과 음극 사이에 있어서의 방전을 재촉하는 유발부가 마련될 수 있다. 특허문헌 1에는, 음극에 전자파를 조사하여, 광전 효과에 의해 음극으로부터 전자를 방출시킴으로써, 방전이 유발된다. 그러나, 장기간의 사용에 있어서, 전극의 표면에의 물질의 퇴적에 의해 방전이 유발되기 어려워지는 경우가 있다.
일본 특허 제6177492호 공보
본 발명은, 전리 진공계에 있어서의 방전의 유발 성능의 저하를 억제하는 데 유리한 기술을 제공한다.
본 발명의 제1 측면은, 양극과, 음극과, 전자파원을 구비하는 전리 진공계에 관련되고, 상기 음극은, 상기 양극이 통과하는 관통 구멍과, 상기 전자파원을 수용하는 수용부를 갖는 제1 음극판을 포함하고, 상기 제1 음극판은, 상기 수용부와 상기 관통 구멍 사이에, 상기 전자파원이 발생시키는 전자파를 통과시키는 통로를 갖는다.
본 발명의 제2 측면은, 양극과, 전자파원과, 용기를 구비하는 전리 진공계에 있어서 사용되는 카트리지에 관련되고, 상기 카트리지는, 상기 양극이 통과하는 관통 구멍 및 상기 전자파원을 수용하는 수용부를 갖는 제1 음극판을 구비하고, 상기 제1 음극판은, 상기 수용부와 상기 관통 구멍 사이에, 상기 전자파원이 발생시키는 전자파를 통과시키는 통로를 갖는다.
도 1은 일 실시 형태의 진공 처리 장치 및 그것에 설치된 전리 진공계를 나타내는 도면.
도 2는 제1 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 3a는 제1 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 3b는 제1 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 4a는 제2 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 4b는 제2 실시 형태의 전리 진공계의 변형예의 구성을 나타내는 도면.
도 5a는 제2 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 5b는 제2 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 5c는 제2 실시 형태의 전리 진공계의 변형예의 구성을 나타내는 도면.
도 5d는 제2 실시 형태의 전리 진공계의 변형예의 구성을 나타내는 도면.
도 6은 제3 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 7a는 제3 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
도 7b는 제3 실시 형태의 전리 진공계의 구성을 나타내는 도면.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는 특허 청구 범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이들 복수의 특징 모두가 발명에 필수적인 것이라는 한정은 없고, 또한 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 또한, 첨부 도면에 있어서는, 동일 혹은 마찬가지의 구성에 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복된 설명은 생략한다.
도 1에는, 일 실시 형태의 진공 처리 장치(S) 및 그것에 설치된 전리 진공계(100)가 나타내져 있다. 진공 처리 장치(S)는, 예를 들어 성막 장치일 수 있다. 성막 장치로서는, 예를 들어 스퍼터링 장치, PVD 장치, CVD 장치 등을 들 수 있다. 진공 처리 장치(S)는 애싱 장치, 건식 에칭 장치 등의 표면 처리 장치여도 된다.
전리 진공계(100)는 측정자(102)와, 측정자(102)에 접속된 제어부(13)를 구비할 수 있다. 진공 처리 장치(S)는, 진공 용기(101)를 구비하고, 진공 용기(101) 중에서 기판 등의 처리 대상물을 처리할 수 있다. 측정자(102)는 진공 용기(101)의 벽에 마련된 개구 부분에 기밀을 유지한 상태로 설치된다. 일례에 있어서, 측정자(102)는 진공 용기(101)의 플랜지(8)를 통해 접속될 수 있다. 제어부(13)와 측정자(102)는 서로 분리되어 구성되어도 되고, 일체화하여 구성되어도 된다.
도 2에는, 제1 실시 형태의 전리 진공계(100)의 구성이 나타내져 있다. 전리 진공계(100)는, 예를 들어 역(逆)마그네트론형 진공계로서 구성될 수 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 측정자(102)는, 음극(1)을 구성하는 용기(103)와, 양극(2)을 구비할 수 있다. 음극(1)을 구성하는 용기(103)는, 예를 들어 원통 형상 등의 통 형상을 갖는 통부(TP)를 포함할 수 있다. 양극(2)은 막대 형상을 가질 수 있다. 음극(1)은 막대 형상의 양극(2)을 둘러싸게 배치될 수 있다. 양극(2)과 음극(1)에 의해 방전 공간(4)이 획정될 수 있다. 용기(103)는, 예를 들어 금속(예를 들어, 스테인레스 스틸) 등의 도전체에 의해 구성될 수 있다. 양극(2)은 금속(예를 들어, 몰리브덴, 텅스텐, 니켈, 티타늄) 등의 도전체에 의해 구성될 수 있다. 측정자(102)는 자장을 형성하는 자석(3)을 더 구비할 수 있다. 자석(3)은 통부(TP)를 둘러싸게 배치되고, 링 형상을 가질 수 있다. 자석(3)은, 예를 들어 페라이트 자석 등의 영구 자석일 수 있다. 용기(103)의 통부(TP)의 일단부(진공 용기(101)의 측)는 개방되고, 통부(TP)의 타단부는 절연성의 밀봉 부재(6)에 의해 밀봉될 수 있다. 일례에 있어서, 양극(2)은 밀봉 부재(6)를 관통하게 배치될 수 있다. 밀봉 부재(6)는, 예를 들어 알루미나 세라믹 등으로 구성될 수 있다.
용기(103) 내에는, 교체 가능한 카트리지(106)가 배치되어도 된다. 카트리지(106)는 전리 진공계(100)에 있어서 사용될 수 있는 소모 부품일 수 있다. 카트리지(106)는, 예를 들어 음극 구조체일 수 있다. 카트리지(106)는 폴 피스(음극판)(104, 105)와 내통(110)을 포함할 수 있다. 폴 피스(104, 105)는 자장을 조정하는 기능, 및 방전 공간(4)을 둘러싸는 기능을 가질 수 있다. 내통(110)은, 용기(103)의 내측면에 접하는 외측면과, 방전 공간(4)을 둘러싸는 내측면을 갖고, 폴 피스(104, 105)를 지지할 수 있다. 폴 피스(104, 105) 및 내통(110)은 금속 등의 도전체로 구성될 수 있다. 폴 피스(104, 105)를 구성할 수 있는 도전체는, 자성체(예를 들어, 자성을 갖는 스테인레스 스틸)여도 되고, 비자성체(예를 들어, 자성을 갖지 않는 스테인레스 스틸)여도 된다.
카트리지(106)는 통부(TP)와 전기적으로 접속되고, 폴 피스(104, 105) 및 내통(110)은 음극(1)의 일부를 구성할 수 있다. 카트리지(106)에 대한 이온 등의 충돌에 의해 카트리지(106)가 열화되었을 경우, 열화된 카트리지(106)를 새로운 카트리지(106)로 교체함으로써 전리 진공계(100)의 기능을 회복할 수 있다. 이 예에서는, 카트리지(106)가 교체 가능하지만, 카트리지(106)는 분리 불능으로 통부(TP)에 결합되어도 된다.
폴 피스(제1 음극판)(105)는, 양극(2)이 통과하는 관통 구멍(11) 및 전자파원(15)을 수용하는 수용부(22)를 가질 수 있다. 관통 구멍(11)은, 폴 피스(105)와 양극(2)이 전기적으로 접속되지 않도록, 즉, 폴 피스(105)와 양극(2) 사이에 간극이 구성되게 마련된다. 전자파원(15)은, 예를 들어 광원일 수 있다. 폴 피스(105)에는, 전자파원(15)을 덮는 커버(25)가 마련될 수 있다. 카트리지(106)가 통부(TP)로부터 분리될 때, 커버(25)는 폴 피스(105)와 함께 통부(TP)로부터 분리될 수 있다. 이 경우, 커버(25)는 카트리지(106)의 교체에 의해 교체될 수 있다. 커버(25)는 전자파원(15)이 방사하는 전자파를 투과시키는 소재(예를 들어, 석영)로 구성될 수 있다. 커버(25)는 방전 공간(4)에 면한 음극(1)(주로 카트리지(106))이 스퍼터링됨으로써 발생시킨 입자가 전자파원(15)에 퇴적되는 것을 방지한다. 커버(25)는, 예를 들어 원통 형상을 가질 수 있다.
폴 피스(제2 음극판)(104)는 폴 피스(105)로부터 이격되어 배치되고, 폴 피스(105)와 폴 피스(104) 사이에 방전 공간(4)이 획정될 수 있다. 폴 피스(105)는 폴 피스(104)와 밀봉 부재(6) 사이에 배치될 수 있다. 폴 피스(105)는 내통(110)의 일단부(밀봉 부재(6)측의 단부에 배치될 수 있다. 폴 피스(104)는 내통(110)의 타단부(통부(TP)의 개방 단부의 측)에 배치될 수 있다. 폴 피스(104)는 1개 또는 복수의 관통 구멍(10)을 갖고, 해당 1개 또는 복수의 관통 구멍(10)을 통과하여 진공 용기(101)와 방전 공간(4)이 연통된다.
카트리지(106) 혹은 음극(1)은, 폴 피스(105)(제1 음극판)와 폴 피스(104)(제2 음극판) 사이에 음극판(제3 음극판)(20)을 더 포함할 수 있다. 음극판(20)은 폴 피스(105)에 접촉하도록 배치될 수 있다. 음극판(20)은 양극(2)을 통과시키는 관통 구멍을 갖는다. 음극판(20)은, 폴 피스(104), 음극판(20) 및 내통(110)(통부(TP))에 의해 둘러싸인 방전 공간(4)에 대하여, 전자파원(15)이 발생시킨 전자파가 전달되게 구성될 수 있다. 예를 들어, 음극판(20)은 음극판(20)과 내통(110) 사이에 간극(21)을 형성하고, 전자파원(15)이 발생시킨 전자파가 간극(21)을 통과하여 방전 공간(4)에 전달되게 구성될 수 있다. 전자파원(15)이 발생시키는 전자파 외에도, 내통(110) 중의 음극판(20)과 폴 피스(105) 사이의 부분에의 전자파의 조사에 의해 광전 효과에 의해 발생하는 전자도, 간극(21)을 통과하여 방전 공간(4)에 공급될 수 있다. 내통(110)은 폴 피스(105, 104)와 마찬가지의 재료로 구성될 수 있다.
양극(2)은 제어부(13)에 전기적으로 접속된다. 제어부(13)는, 양극(2)에 전압을 인가하는 전원(18)과, 양극(2)과 음극(1) 사이에 흐르는 방전 전류를 측정하는 전류 검출부(19)를 포함할 수 있다. 전류 검출부(19)에 의해 검출되는 방전 전류는, 방전 공간(4)의 압력에 대하여 상관을 갖고, 이 상관에 기초하여 도시하지 않은 프로세서에 의해 압력이 계산될 수 있다. 이에 의해, 진공 용기(101)의 압력을 검출할 수 있다.
도 3a에는, 도 2에 나타내진 폴 피스(105)를 도 2에 있어서의 Z축의 +방향에서 본 상면도가 나타내져 있다. 또한, 도 3a에 있어서, 음극판(20)은 생략되어 있다. 도 3b에는, 도 3a의 A-A'선에 있어서의 폴 피스(105)의 단면도가 나타내져 있다. 도 2, 도 3a, 도 3b에 예시되는 바와 같이, 폴 피스(제1 음극판)(105)는 수용부(22)와 관통 구멍(11) 사이에, 전자파원(15)이 발생시키는 전자파를 통과시키는 통로(50)를 가질 수 있다. 통로(50)는 전자파원(15)과 관통 구멍(11) 사이에 직선 경로가 형성되게 마련될 수 있다. 통로(50)는 수용부(22)와 관통 구멍(11)을 접속하도록 방사 방향으로 연장될 수 있다. 통로(50)는 폴 피스(105), 밀봉 부재(6) 및 통부(TP)에 의해 둘러싸인 공간(5)에 면하게 마련될 수 있다. 폴 피스(105)에 통로(50)를 마련함으로써, 전자파원(15)이 발생시킨 전자파는, 통로(50)를 통과하여 관통 구멍(11)의 표면에 조사되어, 관통 구멍(11)의 표면에 있어서 광전 효과에 의해 전자를 발생시킨다. 전자파원(15)이 발생시킨 전자파는, 직접 관통 구멍(11)의 표면에 조사될 뿐 아니라, 통로(50) 및/또는 양극(2)의 표면에서 반사되어 관통 구멍(11)의 표면에 조사될 수 있다. 전자파원(15)이 발생시킨 전자파의 일부는, 통로(50)의 표면에 있어서 광전 효과에 의해 전자를 발생시킬 수 있다. 관통 구멍(11)의 표면 및 통로(50)의 표면에 있어서 발생한 전자는, 방전 공간(4)에 공급될 수 있다. 또한, 관통 구멍(11)에 있어서의 전극간 거리(폴 피스(105)와 양극(2) 사이의 거리)는, 전리 진공계(100) 내의 다른 공간에 있어서의 전극간 거리와 비교하여 상대적으로 작고, 그 때문에, 관통 구멍(11)에 있어서의 전계는 상대적으로 크다. 그 때문에, 통로(50)와 관통 구멍(11)의 경계에 형성되는 굴곡부(돌기)(60)에서는, 전계가 효율적으로 집중되고, 굴곡부(60)로부터는, 전계 방출에 의한 전자가 발생할 수 있다. 이상으로부터, 통로(50)를 마련함으로써, 방전 공간(4)에 방출되는 전자의 양을 증대시킬 수 있고, 그 결과, 방전의 유발 성능을 향상시킬 수 있다.
전자파원(15)은 전자파, 예를 들어 연X선을 발생시킬 수 있다. 전자파원(15)을 수용하는 수용부(22)는, 예를 들어 폴 피스(105)에 마련된 관통 구멍 또는 오목부일 수 있다. 수용부(22)는 전자파원(15)과 접촉해도 되고, 전자파원(15)과 접촉하지 않아도 된다. 수용부(22)는 전자파원(15)을 보유해도 되지만, 전자파원(15)을 보유하지 않아도 된다. 일례에 있어서, 수용부(22)와 내통(110) 사이의 거리는, 수용부(22)와 양극(2) 사이의 거리보다도 짧아도 된다. 다른 관점에 있어서, 전자파원(15)과 내통(110) 사이의 거리는, 전자파원(15)과 양극(2) 사이의 거리보다도 짧아도 된다. 이와 같은 구성은, 전자파원(15)이 발생시켜 내통(110)에 입사시키는 전자파의 감쇠를 작게 할 수 있다. 이것은, 광전 효과에 의해 내통(110)으로부터 방전 공간(4)에 방출되는 전자를 많게 하기 때문에 유리하다.
전자파원(15)과 방전 공간(4) 사이에는, 음극판(20)이 배치될 수 있다. 음극판(20)은 방전 공간(4)에 면한 음극(1)(주로 카트리지(106))이 스퍼터링됨으로써 발생시킨 입자가 전자파원(15)에 퇴적되는 것을 방지할 수 있다. 일례에 있어서, 폴 피스(105)의 방전 공간(4)측의 면은, 전자파원(15)으로부터 방사된 전자파가 내통(110) 및/또는 간극(21)에 제공되게 경사진 부분을 포함할 수 있다. 전자파원(15)에 대한 전력 공급은, 파워 케이블(27)에 의해 행해질 수 있다. 파워 케이블(27)은 밀봉 부재(6)를 통과하여 용기(103)의 외부로 인출될 수 있다. 파워 케이블(27) 및 양극(2)을 그들에 공통의 밀봉 부재(6)를 개재하여 외부로 인출하는 구성은, 전리 진공계(100)의 구조의 단순화에 유리하다.
전자파원(15) 및 커버(25)의 적어도 한쪽에는, 일함수가 낮은 재료, 예를 들어 금속을 포함하는 막이 코팅되어도 된다. 일함수가 낮은 재료에 전자파가 입사하면, 효율적으로 전자가 발생한다. 따라서, 전자파원(15) 및 커버(25)의 적어도 한쪽에 일함수가 낮은 재료를 포함하는 막을 코팅함으로써, 효율적으로 전자를 발생시킬 수 있다. 또한, 내통(110)의 내측면에, 내통(110)을 구성하는 모재보다도 일함수가 낮은 재료를 코팅해도 된다.
도 4a, 도 5a, 도 5b에는, 제2 실시 형태의 전리 진공계(100)의 구성이 나타내져 있다. 여기서, 도 5a에는, 도 4a에 나타내진 폴 피스(105)를 도 4a에 있어서의 Z축의 +방향에서 본 상면도가 나타내져 있다. 또한, 도 5a에 있어서, 음극판(20)은 생략되어 있다. 도 5b에는, 도 5a의 B-B'선에 있어서의 폴 피스(105)의 단면도가 나타내져 있다. 제2 실시 형태로서 언급하지 않는 사항은, 제1 실시 형태를 따를 수 있다.
도 4a, 도 5a, 도 5b에 예시되는 바와 같이, 폴 피스(제1 음극판)(105)는, 수용부(22)와 관통 구멍(11) 사이에, 전자파원(15)이 발생시키는 전자파를 통과시키는 통로(70)를 가질 수 있다. 통로(70)는 수용부(22)와 관통 구멍(11)을 연통시키는 관통 구멍일 수 있다. 통로(70)는 전자파원(15)과 관통 구멍(11) 사이에 직선 경로가 형성되게 마련될 수 있다. 통로(70)는 수용부(22)와 관통 구멍(11)을 접속하도록 방사 방향으로 연장될 수 있다. 통로(70)를 관통 구멍으로서 형성하면, 전자파원(15)으로부터 방사된 전자파를 통로(70) 내에 가둘 수 있기 때문에, 전자파는 더 효율적으로 관통 구멍(11)의 표면에 도달할 수 있다. 통로(70)는 수용부(22)와 내통(110) 사이에 연장되는 부분을 포함해도 된다.
도 4b, 도 5c, 도 5d에는, 제2 실시 형태의 전리 진공계(100)의 변형예의 구성이 나타내져 있다. 여기서, 도 5c에는, 도 4b에 나타내진 폴 피스(105)를 도 4b에 있어서의 Z축의 +방향에서 본 상면도가 나타내져 있다. 또한, 도 5c에 있어서, 음극판(20)은 생략되어 있다. 도 5d에는, 도 5c의 B-B'선에 있어서의 폴 피스(105)의 단면도가 나타내져 있다. 변형예에서는, 통로(70)는 공간(5)에 노출된 홈 내지 슬릿으로 구성되어 있다. 이와 같은 구성은, 가공이 용이한 점에서 우수하다. 통로(70)는 수용부(22)와 내통(110) 사이에 연장되는 부분을 포함해도 된다.
도 6, 도 7a, 도 7b에는, 제3 실시 형태의 전리 진공계(100)의 구성이 나타내져 있다. 여기서, 도 7a에는, 도 6에 도시된 폴 피스(105)를 도 6에 있어서의 Z축의 +방향에서 본 상면도가 나타내져 있다. 도 7b에는, 도 7a의 C-C'선에 있어서의 폴 피스(105)의 단면도가 나타내져 있다. 제3 실시 형태로서 언급하지 않는 사항은, 제1 또는 제2 실시 형태를 따를 수 있다.
도 6, 도 7a, 도 7b에 예시되는 바와 같이, 폴 피스(제1 음극판)(105)는, 수용부(22)와 관통 구멍(11) 사이에, 전자파원(15)이 발생시키는 전자파를 통과시키는 통로(80)를 가질 수 있다. 통로(80)는 폴 피스(105), 밀봉 부재(6) 및 통부(TP)에 의해 둘러싸인 공간(5)에 면하게 마련될 수 있다. 통로(80)는 수용부(22)와 관통 구멍(11)을 연통시키는 관통 구멍이어도 된다. 통로(80)는 전자파원(15)과 관통 구멍(11) 사이에 직선 경로가 형성되게 마련될 수 있다. 통로(80)는 수용부(22)와 관통 구멍(11)을 접속하도록 방사 방향으로 연장될 수 있다. 전자파원(15)으로부터 방사된 전자파는, 통로(80) 내를 반사하면서 진행하여 관통 구멍(11)의 표면에 도달할 수 있다. 폴 피스(105)의 공간(5)측의 면은, 전자파원(15)으로부터 방사된 전자파가 내통(110) 및/또는 간극(21)에 제공되게 경사진 부분을 포함할 수 있다.
발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것은 아니고, 발명의 정신 및 범위로부터 이탈하지 않고, 각종 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 밝히기 위해 청구항을 첨부한다.

Claims (12)

  1. 양극과, 음극과, 전자파원을 구비하는 전리 진공계이며,
    상기 음극은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 제1 음극판을 포함하고,
    상기 제1 음극판은, 상기 양극이 통과하는 제1 관통 구멍과, 상기 전자파원을 수용하도록 구성된 수용부와, 상기 수용부와 상기 제1 관통 구멍 사이에 배치되고 상기 전자파원에 의해 발생된 전자파를 통과시키도록 구성된 통로를 포함하며,
    상기 통로는 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 배치되는 부분을 포함하고, 상기 전자파원에 의해 발생된 전자파는 상기 통로의 상기 부분를 통해 상기 제1 관통 구멍까지 통과하는
    것을 특징으로 하는 전리 진공계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 음극은, 상기 양극 및 상기 제1 음극판을 둘러싸는 통부와, 상기 통부 내에 배치되어 제2 관통 구멍을 갖는 제2 음극판을 더 포함하고,
    상기 통부의 일단부는 개방되고, 상기 통부의 타단부는 밀봉 부재에 의해 밀봉되고, 상기 제1 음극판은 상기 제2 음극판과 상기 밀봉 부재 사이에 배치되어 있는
    것을 특징으로 하는 전리 진공계.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2 면과 상기 통로는, 상기 제1 음극판, 상기 밀봉 부재 및 상기 통부에 의해 둘러싸인 공간에 면해 있는
    것을 특징으로 하는 전리 진공계.
  4. 제2항에 있어서, 상기 통로의 부분은, 상기 수용부와 상기 제1 관통 구멍을 연통시키는 제3 관통 구멍인
    것을 특징으로 하는 전리 진공계.
  5. 제2항에 있어서, 상기 음극은, 상기 제1 음극판과 상기 제2 음극판 사이에 제3 음극판을 더 포함하고,
    상기 제3 음극판은, 상기 제2 음극판, 상기 제3 음극판 및 상기 통부에 의해 둘러싸이는 방전 공간에 대하여, 상기 전자파원이 발생시킨 전자파가 전달되게 구성되어 있는
    것을 특징으로 하는 전리 진공계.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 통로의 부분은, 상기 전자파원과 상기 제1 음극판의 상기 제1 관통 구멍 사이에 직선 경로가 형성되게 마련되어 있는
    것을 특징으로 하는 전리 진공계.
  7. 양극과, 전자파원과, 용기를 구비하는 전리 진공계에 있어서 사용되는 카트리지이며,
    상기 카트리지는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 제1 음극판을 포함하고,
    상기 제1 음극판은, 상기 양극이 통과하는 제1 관통 구멍과, 상기 전자파원을 수용하도록 구성된 수용부와, 상기 수용부와 상기 제1 관통 구멍 사이에 배치되고 상기 전자파원에 의해 발생된 전자파를 통과시키도록 구성된 통로를 포함하며,
    상기 통로는 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 배치되는 부분을 포함하고, 상기 전자파원에 의해 발생된 전자파는 상기 통로의 상기 부분를 통해 상기 제1 관통 구멍까지 통과하는
    것을 특징으로 하는 카트리지.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 음극판으로부터 이격되어 배치되어 제2 관통 구멍을 갖는 제2 음극판과, 상기 제1 음극판 및 제2 음극판을 지지하도록 상기 용기 내에 배치되는 내통을 더 구비하는
    것을 특징으로 하는 카트리지.
  9. 제8항에 있어서, 상기 용기의 일단부는 개방되고, 상기 용기의 타단부는 밀봉 부재에 의해 밀봉되고,
    상기 제2 면과 상기 통로는, 상기 제1 음극판과 상기 밀봉 부재 사이의 공간에 면하는
    것을 특징으로 하는 카트리지.
  10. 제8항에 있어서, 상기 통로의 부분은, 상기 수용부와 상기 제1 관통 구멍을 연통시키는 제3 관통 구멍인
    것을 특징으로 하는 카트리지.
  11. 제8항에 있어서, 상기 제1 음극판과 상기 제2 음극판 사이에 제3 음극판을 더 포함하고,
    상기 제3 음극판은, 상기 제2 음극판, 상기 제3 음극판 및 상기 내통에 의해 둘러싸이는 공간에 대하여, 상기 전자파원이 발생시킨 전자파가 전달되게 구성되어 있는
    것을 특징으로 하는 카트리지.
  12. 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 통로의 부분은, 상기 전자파원과 상기 제1 음극판의 상기 제1 관통 구멍 사이에 직선 경로가 형성되게 마련되어 있는
    것을 특징으로 하는 카트리지.
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