CN110394729B - 一种研磨垫的定位结构、研磨设备及定位方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种研磨垫的定位结构、研磨设备及定位方法，研磨垫的定位结构包括：第一组件，设置有固定结构，用于将第一组件以可拆卸方式固定在研磨盘上；第二组件，与第一组件连接，超出所述第一组件的部分且靠近第一组件的一侧为弧面，弧面的圆心与研磨盘的圆心重合。这样可以保证研磨垫与研磨盘圆心完全重合，来保证研磨零件的加工均匀度，进而保证每次更换研磨垫后有相同的工艺输出结果，同时还可以减少对研磨垫的浪费，可以减少生产成本。

Description

一种研磨垫的定位结构、研磨设备及定位方法

技术领域

本发明涉及化学机械研磨领域或硅片的最终抛光领域，特别涉及一种研磨垫的定位结构、研磨设备及定位方法。

背景技术

在研磨垫的更换过程中，操作者需要将直径为830mm的研磨垫粘贴在直径为800mm的研磨盘上，且需要保证研磨盘和研磨垫的圆心重合(如图1所示)。但在实际操作过程中，操作者在没有使用辅助工具的情况下无法保证研磨垫和研磨盘的圆心重合，常会出现偏心现象(如图2所示)。由于研磨垫上有与研磨盘同心的沟槽，这些沟槽主要用于疏导研磨液，由于研磨垫和研磨盘的偏心现象，使得每次更换研磨垫后研磨液的分布出现偏差，进而对研磨零件的加工均匀度产生影响，无法保证每次更换研磨垫后有相同的工艺输出结果。另外，由于研磨垫只能粘贴一次，反复撕扯会对研磨垫造成损伤。每次研磨垫和研磨盘出现偏心现象时，都需要将研磨垫从研磨盘撕掉重新粘贴，最终使得大量的研磨垫由于反复撕扯无法使用，会浪费大量的研磨垫。

发明内容

本发明实施例提供了一种研磨垫的定位结构、研磨设备及定位方法，以解决在研磨垫的更换过程中研磨垫的定位问题。

第一方面，为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种研磨垫的定位结构，包括：

第一组件，设置有固定结构，所述固定结构用于将所述第一组件以可拆卸方式固定在研磨盘上；

第二组件，与所述第一组件连接，超出所述第一组件的部分且靠近所述第一组件的一侧为弧面，所述弧面的圆心与所述研磨盘的圆心重合。

可选地，第一组件包括：相对的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有固定结构，所述第二组件位于靠近所述第二表面一侧，超出所述第一表面的部分靠近所述第一组件的一侧为弧面，超出所述第一表面的部分与所述第一组件形成台阶结构。

可选地，所述第二组件与所述第一组件的第二表面贴合连接，且所述第二组件与所述第一组件为固定连接。

可选地，所述第二组件与所述第一组件为滑动连接。

可选地，所述第一组件设置有一第一滑槽和锁紧部，所述锁紧部平行于所述第一表面设置，所述第一滑槽的开口设置在所述第二表面上；

所述第二组件的一端端部设置有一滑动部，所述滑动部与所述第一滑槽活动连接；

当所述锁紧部与所述滑动部抵接时，所述滑动部相对于所述第一滑槽固定不动；当所述锁紧部与所述滑动部分离时，所述滑动部可以沿着所述第一滑槽向第一方向或与所述第一方向相反的第二方向运动。

可选地，所述固定结构为设置在所述第一组件的第一表面上的一个或多个第一磁性件；

或者，所述固定结构为设置在所述第一组件的第一表面上的销钉或销孔。

可选地，所述第一组件包括：

第一连接件，包括：第三表面，所述第三表面与研磨盘的侧面贴合连接，所述固定结构设置在所述第一连接件上；

第二连接件，与所述第一连接件连接，所述第二连接件位于所述第一连接件远离所述第三表面一侧，所述第二连接件上设置有第二滑槽和设置在所述第二滑槽中的卡接部，所述第二滑槽与所述研磨盘的轴线平行设置。

可选地，所述第二组件包括：

第三连接件，所述第三连接件的一端可移动地插装在所述第二滑槽中，所述第三连接件靠近所述卡接部一侧设置有卡槽；

第四连接件，与所述第三连接件的另一端连接，所述弧面设置在所述第四连接件上，所述弧面和所述第三表面之间设置有预设距离；

当所述卡接部卡装在所述卡槽中时，所述第一连接件和所述第二连接件相对于所述第三连接件和所述第四连接件固定不动；

当所述卡接部与所述卡槽分离时，所述第三连接件可沿所述第二滑槽向第三方向和与所述第三方向相反的第四方向运动。

第二方面，本发明实施例还提供了一种研磨设备，包括研磨盘，和固定在所述研磨盘侧表面上的至少两个如上所述的定位结构；

任意两个相邻的所述定位结构与研磨盘圆心的连线夹角小于预设角度。

第三方面，本发明实施例还提供了一种研磨垫的定位方法，包括：

将至少两个如上所述的定位结构通过固定结构以可拆卸方式固定在研磨盘的侧面，并且使得任意两个相邻的所述定位结构与研磨盘圆心的连线夹角小于预设角度；

将研磨垫放置到研磨盘的承载面上，调整所述研磨垫的位置，使得所述研磨垫的边缘与所述定位结构的弧面抵接；

将所述研磨垫与所述研磨盘粘贴到一起。

本发明的实施例具有如下有益效果：

在本发明实施例中，通过定位结构可以在每次更换研磨垫时对研磨垫进行定位，来保证研磨垫与研磨盘圆心完全重合，可以排除因为研磨盘与研磨垫圆心未对准导致的工艺不稳定性因素，来保证研磨零件的加工均匀度，进而保证每次更换研磨垫后有相同的工艺输出结果。同时，通过该定位结构还可以减少对研磨垫的浪费，可以减少生产成本。

附图说明

图1为研磨垫与研磨盘的理想状态下的位置示意图；

图2为研磨垫与研磨盘的实际状态下的位置示意图；

图3为本发明实施例的定位结构的示意图之一；

图4为本发明实施例的定位结构的装配示意图之一；

图5为本发明实施例的定位结构的装配示意图之二；

图6为本发明实施例的定位结构的示意图之二；

图7为本发明实施例的定位结构的示意图之三；

图8为本发明实施例的定位结构的示意图之四；

图9为本发明实施例的第一组件的示意图；

图10为本发明实施例的第二组件的示意图；

图11为本发明实施例的定位结构的装配示意图之三；

图12为本发明实施例的定位结构的装配示意图之四；

图13为本发明实施例的研磨垫的定位方法的流程示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

本发明的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本发明实施例提供了一种研磨垫的定位结构，该定位结构1为一种快速寻找中心点并辅助粘贴研磨垫的工具，可以应用于研磨设备上，通过该定位结构1可以对研磨垫3进行定位，进而将研磨垫3和研磨盘2的中心进行对准。

参见图3～图6，该定位结构1包括：第一组件11和第二组件12。其中，所述第一组件11设置有固定结构112，所述固定结构112用于将所述第一组件11以可拆卸方式固定在研磨盘2上；所述第二组件12与所述第一组件11连接，超出所述第一组件11的一侧为弧面122，所述弧面122的圆心与所述研磨盘2的圆心重合。

需要说明的是，所述第一组件11和所述第二组件12有多种连接方式，接下来以其中几种优选的实施方式进行示例性说明。

方式一：

参见图3～图6，该定位结构1包括：第一组件11和第二组件12。其中，所述第一组件11包括：相对的第一表面110和第二表面111，所述第一表面110设置有固定结构112；所述第二组件12位于靠近所述第二表面111一侧，超出所述第一表面110的部分与所述第一组件11形成台阶结构。

具体地，所述第一组件11与所述第二组件12可以有多种实现方式，接下来以其中几种优选的实施方式进行示例性说明。

1)所述第二组件12与所述第一组件11的第二表面111贴合连接，所述第二组件12与所述第一组件11为固定连接。

例如：参见图3和图4，所述定位结构1沿着垂直于所述第一表面110方向切割所得的截面形状为L形，需要说明的是，以上有关所述定位结构1的描述只是示例并非限定，可以理解的是，本发明实施例中并不具体限定所述定位结构1的具体结构形式。

2)所述第二组件12与所述第一组件11为滑动连接。

在本发明实施例中，通过将所述第一组件11和所述第二组件12之间的连接方式设置为滑动连接，这样可以根据研磨垫3的大小调整所述第二组件12的位置，使得所述定位结构1可以对不同直径的研磨垫3的进行定位，适用性更广。

继续参见图6，进一步地，所述第一组件11设置有一第一滑槽114和锁紧部115，所述锁紧部115平行于所述第一表面110设置，所述第一滑槽114的开口设置在所述第二表面111上，所述第二组件12的一端端部设置有一滑动部121，所述滑动部121与所述第一滑槽114活动连接。

当所述锁紧部115与所述滑动部121抵接时，所述滑动部121相对于所述第一滑槽114固定不动；当所述锁紧部115与所述滑动部121分离时，所述滑动部121可以沿着所述第一滑槽114向第一方向或与所述第一方向相反的第二方向运动。

继续参见图6，进一步地，所述第一滑槽114可以为燕尾槽或T形槽，当然并不仅限于此。需要说明的是，本发明实施例并不仅限于图6所示的所述第一滑槽114为T形槽时的情形。

继续参见图6，进一步地，所述第一组件11还设置有多个第一安装槽116，所述第一安装槽116垂直于所述第一滑槽114设置，且所述第一安装槽116与所述第一滑槽114连通，所述锁紧部115插装在所述第一安装槽116中。

具体地，所述锁紧部115可以为销钉或螺栓，当然并不仅限于此。需要说明的是，本发明实施例并不仅限于图6所示的所述锁紧部115为螺栓的情形。

当所述锁紧部115为螺栓时，所述第一安装槽116为螺纹槽，即所述锁紧部115与所述第一组件11为螺纹连接。旋拧所述锁紧部115可以使得所述锁紧部115的一端与所述第二组件12抵接，即所述锁紧部115的一端压紧所述第二组件12，进而可以实现所述第二组件12相对于所述第一组件11固定不动。当将所述锁紧部115从所述第一安装槽116中拧出，可以使得所述锁紧部115的一端与所述第二组件12分离，所述第二组件12可以沿所述第一滑槽114相对所述第一组件11向第一方向或与所述第二方向运动。

进一步地，所述第一方向可以为沿所述第一滑槽114指向所述研磨盘2的方向；所述第二方向可以为沿所述第一滑槽114远离所述研磨盘2的方向。需要说明的是，以上有关所述第一方向和所述第二方向的描述只是示例并非限定。

方式二：

参见图7至图9，所述第一组件11包括：第一连接件118和第二连接件119；其中，所述第一连接件118包括：第三表面1181，所述第三表面1181与研磨盘2的侧面贴合连接，所述固定结构112设置在所述第一连接件118上；所述第二连接件119与所述第一连接件118连接，所述第二连接件119位于所述第一连接件118远离所述第三表面1181一侧，所述第二连接件119上设置有第二滑槽1191和设置在所述第二滑槽1191中的卡接部1192，所述第二滑槽1191与所述研磨盘2的轴线平行设置，所述卡接部1192与所述研磨盘2的轴线垂直设置。

参见图7、图8和图10，对应地，所述第二组件12包括：第三连接件123和第四连接件124；其中，所述第三连接件123的一端可移动地插装在所述第二滑槽1191中，所述第三连接件123靠近所述卡接部1192一侧设置有卡槽1231；所述第四连接件124与所述第三连接件123的另一端连接，所述弧面122设置在所述第四连接件124上，所述弧面122和所述第三表面1181之间设置有预设距离t。

当所述卡接部1192卡装在所述卡槽1231中时，所述第一连接件118和所述第二连接件119相对于所述第三连接件123和所述第四连接件124固定不动；当所述卡接部1192与所述卡槽1231分离时，所述第三连接件123可沿所述第二滑槽1191向第三方向和与所述第三方向相反的第四方向运动。

其中，所述第三方向可以为沿所述第二滑槽1191或沿所述研磨盘2的轴线指向研磨盘2的承载面一侧的方向，所述第四方向可以为沿所述第二滑槽1191或沿所述研磨盘2的轴线背离研磨盘2的承载面一侧的方向。

需要说明的是，所述第三表面1181为与所述研磨盘2侧面相适应的弧面。所述预设距离t为研磨垫的直径和研磨盘2的直径之差的一半，或者所述预设距离t为研磨垫的半径和研磨盘2的半径的差值。参见图8，以研磨垫的直径为830mm，研磨盘的直径为800mm为例，所述预设距离t为15mm，此时弧面122到研磨盘2的圆心的距离为研磨垫的半径，即415mm。

在本发明实施例中，所述第二滑槽1191的形状可以为方形、五边形或六边形等多边形的凹槽。对应地，所述第三连接件123的的形状可以为方形、五边形或六边形等多边形的柱状结构。

在本发明实施例中，所述固定结构112垂直于所述研磨盘2的侧面设置，所述第一组件11通过所述固定结构112与所述研磨盘2螺纹连接。进一步地，所述第一连接件118上设置有第二安装槽(图中未示出)，所述固定结构112插装在所述第二安装槽中。其中所述固定结构112为设置在第一连接件118上的一个或多个螺栓。

进一步地，所述第二滑槽1191中设置有第三安装槽(图中未示出)，所述第三安装槽的开口方向垂直于所述研磨盘2的轴线方向，所述卡接部1192的至少部分位于所述第三安装槽中。

具体地，所述卡接部1192的数量为至少一个，例如：所述卡接部1192的数量为两个。需要说明的是，以上有关所述卡接部1192的数量的描述只是示例并非限定，可以理解的是，本发明实施例并不具体限定所述卡接部1192的数量。

参见图11，当远离研磨盘2的承载面一侧的卡接部1192卡装在所述卡槽1231中，所述弧面122超出所述研磨盘2的承载面，通过定位结构1对研磨垫进行定位。在不需要使用定位结构时，可以将靠近研磨盘2的承载面一侧的卡接部1192卡装在所述卡槽1231中，所述弧面122未超出所述研磨盘2的承载面，所述定位结构不起作用。其中，位于图11中左侧的定位结构1是将靠近研磨盘2的承载面一侧的卡接部1192卡装在所述卡槽1231时的情形。位于图10中右侧的定位结构1是将远离研磨盘2的承载面一侧的卡接部1192卡装在所述卡槽1231时的情形。

继续参见图9，所述卡接部1192至少包括：弹性件(图中未示出)和卡接件11921；其中所述弹性件的一端与所述第二连接件119连接，所述弹性件的另一端与所述卡接件11921的一端连接，当所述卡接件11921卡装在所述卡槽1231中时，所述第一连接件118和所述第二连接件119相对于所述第三连接件123和所述第四连接件124固定不动；当所述卡接件11921与所述卡槽1231分离时，所述第三连接件123可沿所述第二滑槽1191向第三方向和与所述第三方向相反的第四方向运动。

当所述卡接件11921卡装在所述卡槽1231中时，向所述第三方向或所述第四方向拉动所述第四连接件124，使得所述第三连接件123挤压所述卡接件11921，进而使得所述弹性件在压力作用收缩，所述卡接件11921与所述卡槽1231分离。

进一步地，所述卡槽1231形状为半球形，对应地，所述卡接件11921为半球形。

同样地，所述固定结构112可以有多种实现方式，接下来以其中几种优选的实施方式进行示例性说明。

方式一：所述固定结构112为设置在第一组件11的第一表面110上的一个或多个第一磁性件。

进一步地，所述第一磁性件的材质可以为磁性材料。其中磁性材料按性质分为金属和非金属两类，前者主要有电工钢、镍基合金和稀土合金等，后者主要是铁氧体材料。

方式二：所述固定结构112为设置在第一组件11的第一表面110上的一个或多个销钉或销钉孔。

进一步地，所述固定结构112可以为圆柱形、圆锥形或方形的销钉或销钉孔等。

方式三：所述固定结构112为设置在第一组件11上的一个或多个螺栓。

需要说明的是，可以根据需要确定所述固定结构的具体结构形式，可以理解的是，可以将以上三种方式单独或结合使用，在本发明实施例中并不具体限定所述固定结构的具体结构形式。

在本发明实施例中，所述第一组件11的承载面117的宽度可以根据所述研磨垫3和所述研磨盘2的直径的差值确定。进一步地，所述第一组件11的承载面117的宽度可以为研磨垫3的直径和研磨盘2的直径之间差值的一半或者研磨垫3的半径和研磨盘2的半径之间的差值。

在本发明实施例中，通过定位结构1可以在每次更换研磨垫3时对研磨垫3进行定位，来保证研磨垫3与研磨盘2圆心完全重合，可以排除因为研磨盘2与研磨垫3圆心未对准导致的工艺不稳定性因素，来保证研磨零件的加工均匀度，进而保证每次更换研磨垫3后有相同的工艺输出结果。同时，通过该定位结构1还可以减少对研磨垫3的浪费，可以减少生产成本。

继续参见图4和图5，本发明实施例还提供了一种研磨设备，该研磨设备包括：研磨盘2，和固定在所述研磨盘2侧表面上的至少两个如上所述的定位结构1；任意两个相邻的所述定位结构1与研磨盘2圆心的连线夹角小于预设角度α。

需要说明的是，为了保证研磨垫3的定位效果，将该定位结构1固定到所述研磨盘2上时，需要保证所述第二组件12的弧面122超出所述研磨盘2的承载面20。

为了进一步保证研磨垫3的定位效果，可以进一步调整所述定位结构1的位置，使得定位结构1的承载面117与研磨盘2的承载面20位于同一平面。

具体地，所述预设角度α可以为180度，当然并不仅限于此。

继续参见图11，基于研磨盘2配重的考量，可以在研磨盘2的周围设置3个定位结构1，即在所述研磨垫的周围每隔120度安装一个定位结构1。需要说明的是，本发明实施例中并不具体限定所述定位结构1的数量。

接下来根据所述固定结构112的多种实现方式，对研磨设备的结构进行举例说明。需要说明的是，以下几种方式为其中几种优选的实施方式，本发明实施例并不仅限于以下几种实施方式。

方式一：所述固定结构112为设置在第一组件11的第一表面110上的一个或多个第一磁性件。

对应地，当所述固定结构112为第一磁性件时，所述研磨盘2包括：与所述第一磁性件极性相反的第二磁性件(图中未示出)。

需要说明的是，所述第一磁性件和所述第二磁性件对应设置，且可以根据需要调整所述第一磁性件和所述第二磁性件的位置，即所述第一磁性件和所述磁性件的位置可以根据研磨垫3的定位需要确定。

方式二：所述固定结构112为设置在第一组件11的第一表面110上的一个或多个销钉或销钉孔。

对应地，当所述固定结构112为设置在第一组件11的第一表面110上的一个或多个销钉时，所述研磨盘2的侧面上设置有一个或多个销钉孔；或者，当所述固定结构112为设置在第一组件11的第一表面110上的一个或多个销钉孔时，所述研磨盘2的侧面上设置有一个或多个销钉。

方式三：所述第一组件11与所述研磨盘2可以为螺纹连接，进一步地所述固定结构112为设置在第一组件11上的一个或多个螺栓。

对应地，所述研磨盘2的侧面上设置有一个或多个螺纹孔。

需要说明的是，以上三种方式可以单独使用或组合使用，可以根据需要确定所述固定结构和研磨盘的连接方式，在本发明实施例中并不具体限定所述固定结构和研磨盘的连接方式。

在本发明实施例中，研磨设备是通过定位结构1可以在每次更换研磨垫3时对研磨垫3进行定位，来保证研磨垫3与研磨盘2圆心完全重合，可以排除因为研磨盘2与研磨垫3圆心未对准导致的工艺不稳定性因素，来保证研磨零件的加工均匀度，进而保证每次更换研磨垫3后有相同的工艺输出结果。同时，通过该定位结构1还可以减少对研磨垫3的浪费，可以减少生产成本。

参见图13，本发明实施例还提供了一种研磨垫3的定位方法，所述方法具体步骤包括：

步骤1301：将至少两个如上所述的定位结构1通过固定结构112以可拆卸方式固定在研磨盘2的侧面，并且使得任意两个相邻的所述定位结构1与研磨盘2圆心的连线夹角小于预设角度α；

在本发明实施例中，所述预设角度α可以为180度，当然并不仅限于此。

继续参见图12，基于研磨盘2配重的考量，可以在研磨盘2的周围设置3个定位结构1，即在所述研磨垫的周围每隔120度安装一个定位结构1。需要说明的是，本发明实施例中并不具体限定所述定位结构1的数量。

步骤1302：将研磨垫3放置到研磨盘2的承载面20上，调整所述研磨垫3的位置，使得所述研磨垫3的边缘与所述定位结构1的弧面122抵接；

步骤1303：将所述研磨垫3与所述研磨盘2粘贴到一起。

在步骤1303之后，即完成研磨垫3的定位之后，可以将图3至图6所示的定位结构从研磨盘2上将定位结构1拆卸下来，或者将图7至图10所示的定位结构调整成为图11左侧的定位结构所示的状态。

在本发明实施例中，当需要更换研磨垫3时，将至少两个定位结构1通过固定结构112以可拆卸方式固定在所述研磨盘2的侧面上，例如：两个定位结构1通过设置在第一表面110的磁性件吸附在研磨盘2的侧面，两个定位结构1与研磨盘2的圆心连线夹角小于180度，将研磨垫3置于研磨盘2的承载面20上，使得研磨垫3的边缘与定位结构1的弧面122面接触，并将研磨垫3与研磨盘2粘贴在一起，来保证研磨垫3的圆心与研磨盘2的圆心重合。

在本发明实施例中，研磨垫3的定位方法是通过定位结构1可以在每次更换研磨垫3时对研磨垫3进行定位，来保证研磨垫3与研磨盘2圆心完全重合，可以排除因为研磨盘2与研磨垫3圆心未对准导致的工艺不稳定性因素，并且可以保证研磨零件的加工均匀度，进而保证每次更换研磨垫3后有相同的工艺输出结果。同时，通过该定位结构1还可以减少对研磨垫3的浪费，可以减少生产成本。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种研磨垫的定位结构，其特征在于，包括：

第一组件，设置有固定结构，所述固定结构用于将所述第一组件以可拆卸方式固定在研磨盘上；

第二组件，与所述第一组件连接，超出所述第一组件的部分且靠近所述第一组件的一侧为弧面，所述弧面的圆心与所述研磨盘的圆心重合；

所述第一组件包括：

第一连接件，包括：第三表面，所述第三表面与研磨盘的侧面贴合连接，所述固定结构设置在所述第一连接件上；

第二连接件，与所述第一连接件连接，所述第二连接件位于所述第一连接件远离所述第三表面一侧，所述第二连接件上设置有第二滑槽和设置在所述第二滑槽中的卡接部，所述第二滑槽与所述研磨盘的轴线平行设置。

2.根据权利要求1所述的研磨垫的定位结构，其特征在于，所述第二组件包括：

第三连接件，所述第三连接件的一端可移动地插装在所述第二滑槽中，所述第三连接件靠近所述卡接部一侧设置有卡槽；

第四连接件，与所述第三连接件的另一端连接，所述弧面设置在所述第四连接件上，所述弧面和所述第三表面之间设置有预设距离；

当所述卡接部卡装在所述卡槽中时，所述第一连接件和所述第二连接件相对于所述第三连接件和所述第四连接件固定不动；

当所述卡接部与所述卡槽分离时，所述第三连接件可沿所述第二滑槽向第三方向和与所述第三方向相反的第四方向运动。

3.一种研磨设备，其特征在于，包括研磨盘，和固定在所述研磨盘侧表面上的至少两个如权利要求1～2任一项所述的定位结构；

任意两个相邻的所述定位结构与研磨盘圆心的连线夹角小于预设角度。

4.一种研磨垫的定位方法，其特征在于，所述方法包括：

将至少两个如权利要求1～2任一项所述的定位结构通过固定结构以可拆卸方式固定在研磨盘的侧面，并且使得任意两个相邻的所述定位结构与研磨盘圆心的连线夹角小于预设角度；

将研磨垫放置到研磨盘的承载面上，调整所述研磨垫的位置，使得所述研磨垫的边缘与所述定位结构的弧面抵接；

将所述研磨垫与所述研磨盘粘贴到一起。

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