CN110383517B - 压电部件及其制造方法、超声波振荡元件、超声波探头、超声波诊断装置 - Google Patents

压电部件及其制造方法、超声波振荡元件、超声波探头、超声波诊断装置 Download PDF

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Abstract

提供提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件。压电部件(102)具备压电元件(21)和分别形成压电元件(21)的一对对置面(21b、21c)上的一对电极(41、42)，电极(41、42)具有：基底膜(41a)，其形成在压电元件(21)的对置面(21b、21c)上，具有硫醇基；金属粘合膜(41b)，其形成在基底膜(41a)上；以及电极膜(41c)，其形成在金属粘合膜(41b)上，用于对压电元件(21)施加电压，金属粘合膜(41b)由与电极膜(41c)不同的材料形成，具有1nm以上10nm以下的厚度。

Description

压电部件及其制造方法、超声波振荡元件、超声波探头、超声 波诊断装置
技术领域
本发明涉及能够利用于超声波测定装置及其他各种超声波应用设备的压电部件、具备该压电部件的超声波振荡元件、超声波探头以及超声波诊断装置、和压电部件的制造方法。
背景技术
作为压电部件，公知有具备在压电元件上包含具有硫醇基的化合物的膜和形成在该硫醇化合物膜上的由Au、Ni、或者Pt构成的金属电极的压电部件(参照专利文献1、2)。硫醇化合物膜以提高压电元件与电极的连接强度的目的而使用。另外，由Au等构成的金属电极的膜应力较小，以抑制压电元件的位移的阻碍为目的而使用。
然而，在将硫醇化合物膜设于压电元件与金属电极之间的情况下，存在金属电极对压电元件的紧贴性降低的趋势。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015－72978号公报
专利文献2：日本特开2015－92616号公报
发明内容
本发明鉴于上述背景技术而完成，目的在于提供提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件。
另外，本发明的目的在于，提供具备提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件的超声波振荡元件、超声波探头以及超声波诊断装置。
另外，本发明的目的在于提供提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件的制造方法。
为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的第一压电部件具备：压电元件其具备一对对置面；一对电极，其分别形成在压电元件的一对对置面上，一对电极的至少一方具有：基底膜，其形成在该对置面上，包含具有硫醇基的材料；金属粘合膜，其形成在基底膜上；以及电极膜，其形成在金属粘合膜上，用于对压电元件施加电压，金属粘合膜由与电极膜不同的材料形成，具有1nm以上10nm以下的厚度。
另外，为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的第二压电部件具备：压电元件，其具备一对对置面；以及一对电极，其分别形成在压电元件的一对对置面上，一对电极的至少一方具有：基底膜，其形成在该对置面上，包含具有硫醇基的材料；金属粘合膜，其形成在基底膜上；以及电极膜，其形成在金属粘合膜上，用于对压电元件施加电压，金属粘合膜由与电极膜不同的材料形成，并以岛状分布。
另外，为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的超声波振荡元件具备上述压电部件。
另外，为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的超声波探头具备上述超声波振荡元件和驱动超声波振荡元件的驱动电路。
另外，为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的超声波诊断装置具备上述超声波探头和控制超声波探头的动作并且接收超声波探头的检测信号的控制装置。
另外，为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的第一压电部件的制造方法是具备压电元件和分别形成在该压电元件的一对对置面上的一对电极的压电部件的制造方法，包括如下步骤：在压电元件的一对对置面中的至少一方的对置面上形成基底膜，该基底膜包含具有硫醇基的材料，在基底膜上以岛状形成金属粘合膜，在金属粘合膜上，以与所述金属粘合膜不同的材料形成用于对压电元件施加电压的电极膜。
另外，为了实现上述目的中的至少一个，反映了本发明的一方面的第二压电部件的制造方法是具备压电元件和分别形成在该压电元件的一对对置面上的一对电极的压电部件的制造方法，包括如下步骤：在压电元件的一对对置面中的至少一方的对置面上形成基底膜，该基底膜包含具有硫醇基的材料，在基底膜上形成具有1nm以上10nm以下的厚度的金属粘合膜，在金属粘合膜上，以与金属粘合膜不同的材料形成用于对压电元件施加电压的电极膜。
附图说明
图1是说明本发明的一实施方式的压电部件的放大剖面图。
图2A～2C是说明包含图1所示的压电部件的超声波振荡元件的俯视图、AA向视剖面图以及侧视图。
图3是说明电极的构造的概念剖面图。
图4是说明图4A～4D压电部件的制造方法的图。
图5A示出实施例的压电部件中的电极的状态，图5B示出比较例的压电部件中的电极的状态，图5C是与图5B相同地示出电极的状态、但附记了剥离的位置的图。
图6是说明组装有图2所示的超声波振荡元件的超声波探头以及超声波诊断装置的概念图。
图7是说明图7A以及7B变形例的压电部件的概念立体图。
具体实施方式
以下，参照附图，对作为本发明的一实施方式的压电部件或超声波振荡元件以及其制造方法进行说明。
图1是实施方式的压电部件的放大剖面图，图2A～2C是说明组合了多个图1所示的压电部件的集合体即超声波振荡元件的俯视图、剖面图等。
如图1所示，单片的压电部件102具备：周期性配置多个压电元件21而成的立体构造组20；填埋立体构造组20的间隙的多该填充部31；和以夹着立体构造组20的方式上下设置的第一以及第二电极41、42。这里，立体构造组20是由多个压电元件21构成的阵列。以下将组合了立体构造组20与填埋该间隙的填充部31的构造体、换句话说是具有从压电部件102除去电极41、42后的复合构造的构造体称作复合型压电体120。复合型压电体120是在XY面上沿X方向具有相对较长的长方形的轮廓、并且在Z方向上薄的长方体状或者板状的部件。在复合型压电体120的上侧对置面120b上以接合的状态形成有薄膜状的第一电极41，在复合型压电体120的下侧对置面120c上以接合的状态形成有薄膜状的第二电极42。
图2A～2C所示的超声波振荡元件202通过将分别具有图1所示的构造的多个块状的压电部件102在Y方向上接近地排列而成，广义上也可以视作压电部件。构成超声波振荡元件202的各该压电部件102通过未图示的支承体、粘合剂以保持相互的配置关系的方式被固定。
压电部件102中的构成立体构造组20的压电元件21由单晶材料形成，具体而言，由固溶体单晶材料形成。通过用适当的单晶材料形成压电元件21，能够实现具有相对较大的压电特性的压电部件102。压电元件21在具体例中，能够由PMN－PT(铌镁酸铅钛酸铅)、PZT(锆钛酸铅)、其他Pb类压电材料(例如包含PMNT、PIMNT、PSMNT)形成。这里，PMN－PT由PbO－MgO－Nb2O5－TiO2构成，例如包含69.9～70.6质量％的氧化铅、2.5～3.1质量％的氧化镁、16.8～20.3质量％的氧化铌、6.7～10.1质量％的氧化钛。立体构造组20由形成为薄板状或者壁状的多个压电元件21构成，具有将它们在一个方向上重叠排列的构造。多个压电元件21在深度Y方向以及纵向Z方向上较薄且以板状延伸，并且在X方向上大致等间隔地排列。各压电元件21具有大致相同的形状，在以与YZ面平行的横剖面观察的情况下，具有接近正方形的矩形的轮廓。
压电元件21的对置面21b的一边为100μm以下。这里，一边是指压电元件21具有长方形端面而并非正方形端面的情况下的短边。具体而言，压电元件21的对置面21b的一边、换句话说是与XZ面平行的横剖面上的宽度(也称为横向宽度)W1为100μm以下，例如设定为5～30μm左右。另外，压电元件21的与XZ面平行的横剖面上的高度(也称为深度)h例如设定为60～300μm左右。另外，关于相邻的压电元件21的间隔W2(换句话说是各该填充部31的厚度)，虽然没有特别限制，例如设定为1～30μm左右。
填充部31例如由环氧树脂形成，在确保各自的压电元件21间的超声波的隔离以及绝缘性的同时，与多个压电元件21成为一体地构成了复合型压电体120。多个压电元件21经由其侧面21a而支承于填充部31。各压电元件21由于填充部31的存在而与相邻的压电元件21电独立，成为超声波上也难以产生相互作用的状态。
如图2A～2C所示，在超声波振荡元件202中，一组第一电极41沿多个复合型压电体120的上侧对置面120b在X方向上延伸，整体形成梳齿状电极141。同样，一组第二电极42也沿多个复合型压电体120的下侧对置面120c在X方向上延伸，整体形成梳齿状电极142。另外，复合型压电体120以及夹着其的第一以及第二电极41、42在Y方向上存在例如192个通道的量，这些192通道的复合型压电体120例如独立地接收驱动信号。即，各压电部件102被供给定时等不同的各个驱动信号。
图3是说明第一电极41的构造的概念的剖面图。第一电极41是多层膜，形成在作为压电元件21的表面的对置面21b上、填充部31的表面31a上。第一电极41以包含具有硫醇基的材料的基底膜41a为基底，由在基底膜41a上形成的金属粘合膜41b和形成在金属粘合膜41b上并用于向压电元件21施加电压的电极膜41c构成。
基底膜41a具有分子尺寸的膜厚，作为形成基底膜41a的含硫醇基化合物，例如能够使用(3－巯丙基)三甲氧基硅烷。作为形成基底膜41a的含硫醇基化合物，例如也能够使用日本特开平10－77311号公报所记载的含巯基聚合体、即含硫醇基聚合体。具体而言，能够使用在主链上具有由下述的一般式(1)或者(2)
－CH(SH)－CH(SH)－…(1)
－CH2－C(SH)(SH)－…(2)
表示的构造单位的含硫醇基聚合体(与日本特开平10－77311号公报的权利要求1所记载的含巯基聚合体对应)。另外，能够使用使碱金属的氢硫化物与在主链上具有由下述的一般式(3)或者(4)
－CH(Cl)－CH(Cl)－…(3)
－CH2－C(Cl)(Cl)－…(4)
表示的构造单位的氯化聚乙烯反应而得的含硫醇基聚合体(与日本特开平10－77311号公报的权利要求2所记载的含巯基聚合体对应)。
金属粘合膜41b出于实现与电极膜41c的紧贴性提高的观点被附加，由Cr、Pt、Pd、In等形成。金属粘合膜41b具有1nm以上10nm以下的厚度。金属粘合膜41b的厚度有时为1～10nm，形成为岛状。通过使金属粘合膜41b分布成岛状，使得金属粘合膜41b沿对置面21b分离地配置，因此电极41导致的压电变形阻碍的影响变少。即，在金属粘合膜41b的厚度为1～10nm或者金属粘合膜41b形成为岛状的情况下，可防止金属粘合膜41b的刚性提高，沿电极41延伸的面的变形变得相对较容易。金属粘合膜41b通过物理成膜法、具体而言是溅射法形成。通过用溅射法形成金属粘合膜41b，易于使金属粘合膜41b的岛致密。
作为金属粘合膜41b的膜厚的测定方法，有使用溅射深度分布、集束离子束加工装置(FIB：Focused Ion Beam)等的方法。在使用溅射深度分布的情况下，一边用离子蚀刻一边重复表面分析。作为深度方向分析法，有X射线光电子分光(XPS：X-ray PhotoelectronSpectroscopy)、俄歇电子分光(AES：Auger Electron Spectroscopy)、飞行时间型二次离子质量分析(TOF－SIMS：Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)等。在使用FIB的情况下，用FIB制作薄剖面，用透射式电子显微镜(TEM：TransmissionElectronMicroscope)进行观察。
电极膜41c具有规定以上的导电性，由Au、Pt、Ag、Ni等形成。电极膜41c具有0.05～1μm的厚度。电极膜41c能够通过各种物理的成膜法、化学的成膜法形成，例如，能够使用镀敷、溅射、蒸镀等成膜法来形成。电极膜41c的材料优选根据金属粘合膜41b的材料而选择。具体而言，作为电极膜/金属粘合膜的组合，能够使用Au/Cr、Au/Ti、Au/In、Pt/Ti、Pt/Pd、Ni/Cr、Ag/Cr等组合。通过设为这种组合，电极膜41c与基底膜41a或者压电元件21经由金属粘合膜41b以足够的强度紧贴。
虽然省略详细的说明，第二电极42具有与第一电极41相同的构造。其中，构成第二电极42的基底膜、金属粘合膜以及电极膜和构成第一电极41的基底膜41a、金属粘合膜41b以及电极膜41c不必为同一材料。
以下，参照图4A～4D，对图1A等所示的压电部件102、超声波振荡元件202的制造方法进行说明。首先，为了获得多个压电元件21，利用切割锯等对块状材料进行切断加工，从而准备多个薄板状的前体。接下来，将多个薄板状的前体浸渍在含有氟化物等的蚀刻液中，对薄板状的前体的表面进行湿式蚀刻，从而获得成为压电元件21的部分。接下来，在成为以层状重叠的压电元件21的部分之间供给适度粘度的环氧树脂及其他树脂粘合剂。之后，以适度的压力夹着以层状重叠的压电元件21，进行调整以使树脂粘合剂的厚度成为目标值，并且使树脂粘合剂固化。结果，获得交替地层叠有多个压电元件21与多个填充部31的复合型压电体120(参照图4A)。另外，对复合型压电体120进行研削、研磨，形成一对对置面120b、120c。一对对置面120b、120c包含压电元件21的一对对置面21b、21c。
之后，在复合型压电体120的一对对置面120b、120c上形成第一以及第二电极41、42。具体而言，首先，形成基底膜41a。即，将复合型压电体120浸渍到用水、乙醇、以及醋酸稀释含硫醇基聚合体(例如(3－巯丙基)三甲氧基硅烷)而得的溶液中，将复合型压电体120从溶液取出，向干燥炉内投入规定时间之后，从干燥炉中取出，用流水清洗，再次将复合型压电体120投入干燥炉内而干燥。由此，在一对对置面120b、120c上形成基底膜41a(参照图4B)。接下来，在基底膜41a上形成金属粘合膜41b。即，通过溅射法在基底膜41a上以1nm以上10nm以下的厚度形成Cr、Pt、Pd、In等金属材料(参照图4C)。在该厚度下，Cr、Pt、Pd、In等金属材料以岛状且以较小地分离的状态形成，金属粘合膜41b并非均匀厚度的层，而是在横向上不连续。最后，形成电极膜41c。即，在金属粘合膜41b上以物理成膜法、化学气相生长法以0.05～1μm的厚度形成Au、Pt、Ag、Ni等金属材料(参照图4D)。第一以及第二电极41、42在图示的例子中，并行地形成，但能够将两者分别分体地形成。以下将这样形成了第一以及第二电极41、42的复合型压电体120称作超声波振荡元件母材202a。
最后，通过切割装置等与XZ面平行地沿Y方向分割形成了第一以及第二电极41、42的复合型压电体120、即超声波振荡元件母材202a，从而获得多个压电部件102(参照图2A～2C)。由一个以上的超声波振荡元件母材202a获得的多个压电部件102构成超声波振荡元件202。另外，压电部件102所含且沿X方向排列的压电元件21的具体数量例如为几十～几百个左右。通过将这样获得的多个压电部件102沿Y方向排列规定数量并相互固定，能够获得超声波振荡元件202。
以下，对压电部件或超声波振荡元件的具体的制作例进行说明。若对共同的事项进行说明，压电部件中的除去电极的基材部分使用了块状的压电元件的块状材料、或者在以阵列状配置的多个压电元件间填充有树脂的复合构造体。作为压电元件的材料，使用了PMN－PT，作为填充的树脂，使用了环氧树脂。另外，基底膜使用(3－巯丙基)三甲氧基硅烷而形成。具体而言，在将0.056g的(3－巯丙基)三甲氧基硅烷、0.005g醋酸、6.1g的水、1g的乙醇混合并搅拌60分钟而得的溶液中，将复合型压电体浸渍5分钟，放入60℃的干燥炉20分钟后取出，用流水清洗3分钟，之后在50℃干燥炉中干燥15分钟。金属粘合膜是以Cr为材料，通过溅射法而形成。电极膜是以Au为材料通过蒸镀而形成。另外，金属粘合膜以及电极膜都是以RF输出为150W、工序压力为0.3Pa、氩气流量为20sccm的条件进行溅射而形成，前者的成膜时间设为20秒～300秒(2nm～30nm)，后者的成膜时间设为2970秒(450nm)。对如以上那样获得的压电部件进行切割，用光学显微镜观察了电极的剥离状态。以下的表1总结了结果。
〔表1〕
Figure BDA0002188008940000081
根据上述表1可知，通过使用含硫醇基膜作为基底膜，在其上将2～10nm左右的Cr成膜为金属粘合膜，从而能够形成即使切割也难以剥离的电极。
图5A示出实施例3的压电部件的电极面，未产生电极的剥离。另外，图5B示出比较例1的压电部件的电极面，产生了电极的一部分剥离。另外，图5C是对图5B标注了标记的图，虚线所示的圆内的部分成为产生了剥离的位置。
图6是对使用图2A等所示的超声波振荡元件202制作出的超声波探头以及超声波诊断装置进行说明的图。
超声波诊断装置100具有超声波探头70和控制装置80。超声波探头70具备包含超声波振荡元件202的振动部71、配置于振动部71的背后的背衬材料72、配置于振动部71的前面的匹配层73、以及使振动部71动作的驱动电路74。构成振动部71的超声波振荡元件202具有规定数量n个(具体而言例如是128个通道)的沿附图横向排列的复合型压电体120、以及从上下夹住该复合型压电体120的梳齿状电极141、142。一方的梳齿状电极141例如是正电极，以各个第一电极41为单位连接于带状的并列布线78a，另一方的梳齿状电极142例如是负电极，以各个第二电极42为单位连接于带状的并列布线78b。两并列布线78a、78b从驱动电路74延伸，对各频道所对应的单位探头或者像素(相当于图1所示的压电部件102)施加与超声波对应的周期的电压，使构成其的多个压电元件21产生超声波振动，并且将由这些多个压电元件21接收到的超声波振动转换为电压信号。另外，背衬材料72防止超声波向振动部71的后方放射。另外，匹配层73具有抑制向振动部71的前方入射或者出射的超声波的反射的作用。
控制装置80具有输入输出部81、存储部82、以及主控制部85。输入输出部81包含与超声波探头70之间的接口电路、用户用的显示器键盘等。存储部82保管用于使超声波探头70动作的程序、数据，也能够记录由超声波探头70获得的计测结果。主控制部85基于用户的指示，使超声波探头70进行超声波的发送动作、接收动作。
对超声波探头70以及超声波诊断装置100的具体动作进行说明。超声波诊断装置100交替重复在纳秒至微秒的期间进行的超声波的发送动作和在相同的期间进行的超声波的接收动作。在发送动作时，驱动电路74接收来自控制装置80的触发信号，以对构成超声波探头70的各压电部件102设定的规定的延迟时间进行超声波振动。在接收动作时，驱动电路74接收与由各压电部件102检测出的超声波的反射对应的电压信号，以对各压电部件102设定的规定的延迟时间进行信号的合成。由此，能够进行超声波的波面控制，能够朝向超声波探头70前方的点状的对象照射希望的振动数的超声波，并且能够选择性地接收从该点状的对象反射而返回来的超声波而作为检测信号。控制装置80的主控制部85能够根据由超声波探头70获得的检测信号重建对象的剖面图像等，且例如显示于输入输出部81的显示器。
在以上说明的实施方式的超声波探头70或者超声波诊断装置100所组装的压电部件102中，插入到由具有硫醇基的材料形成的基底膜41a与用于向压电元件21施加电压的电极膜41c之间的金属粘合膜41b的厚度为1nm以上10nm以下，因此金属粘合膜41b变得极薄，例如成为岛状。结果，包含金属粘合膜41b、电极膜41c的电极主体的刚性降低，因此能够减少压电变形阻碍的影响。另一方面，由于金属粘合膜41b的存在，与基于具有硫醇基的基底膜41a的粘合强化相结合，压电元件21与电极膜41c的紧贴性提高，能够确保压电元件21的变形量，并且能够抑制电极膜41c的剥离。
在多个压电元件21之间填充有树脂的构造有利于超声波探头70的高灵敏度化。另外，通过采用在多个压电元件21之间填充有树脂的构造，即使在使压电元件21微细化的情况下，由于沿着电极41、42的面方向的变形变少，因此电极41、42变得更难以剥离。另外，由于树脂不发生压电变形，因此树脂部上的膜不剥离。
另外，由于超声波振荡元件202、超声波探头70具备上述的压电部件102，通过提高压电部件102的紧贴性提高提高耐久性、动作性能、制造的成品率等。另外，具备上述的超声波探头70的超声波诊断装置100能够利用该超声波探头70使诊断的精度提高。
以上，根据实施方式对本发明进行了说明，但本发明的压电部件等并不限于上述内容。例如压电元件21的横向宽度、深度长度、高度(或者深度)的具体例只是例示，可以在权利要求书记载的限制范围内任意设定。
压电元件21并不局限于如图2A以及2B所示那样将板状或者壁状的压电元件以一维排列，能够将俯视时形成为正方形或者长方形的柱状的压电元件21以二维排列。即，例如如图7A以及7B局部所示，二维周期性排列四棱柱状的压电元件21，利用填充部31填充这些压电元件21之间并研磨端面，由此得到具有对置面120b(仅图示单侧)的复合型压电体120。虽然省略图示，但在对置面120b上形成第一电极41。
关于电极膜41c，并不局限于由单一的金属导电膜构成，能够层叠多种金属导电膜。
虽然优选的是将第一以及第二电极41、42设为相同的材料以及相同的构造，但也可以使两者的材料以及构造中的至少一方与另一方不同。例如，也可以使电极膜、金属粘合膜以及基底膜中的至少一个在两个电极中不同，或使这些膜中的至少一个的厚度在两个电极中不同。另外，根据压电部件的用途等，能够使第一以及第二电极41、42中的任一方具有有着超过10nm的厚度的金属粘合膜，或省略金属粘合膜。

Claims (16)

1.一种压电部件，具备：
压电元件，其具备一对对置面；以及
一对电极，其分别形成在所述压电元件的一对对置面上；
所述一对电极的至少一方具有：基底膜，其形成在该对置面上，包含具有硫醇基的材料；金属粘合膜，其形成在所述基底膜上；以及电极膜，其形成在所述金属粘合膜上，用于对所述压电元件施加电压；
所述金属粘合膜由与所述电极膜不同的材料形成，具有1nm以上且10nm以下的厚度，
所述金属粘合膜以岛状分布。
2.根据权利要求1所述的压电部件，其特征在于，
具备分别具有一边为100μm以下的所述一对对置面的多个所述压电元件作为阵列，并且在构成该阵列的相邻的压电元件之间填充有树脂。
3.根据权利要求1或2所述的压电部件，其特征在于，
所述压电元件由单晶材料形成。
4.根据权利要求1或2所述的压电部件，其特征在于，
所述基底膜由(3－巯丙基)三甲氧基硅烷形成。
5.根据权利要求1或2所述的压电部件，其特征在于，
所述金属粘合膜由选自Cr、Pt、Pd以及In的材料形成。
6.一种压电部件，具备：
压电元件，其具备一对对置面；以及
一对电极，其分别形成在所述压电元件的一对对置面上；
所述一对电极的至少一方具有：基底膜，其形成在该对置面上，包含具有硫醇基的材料；金属粘合膜，其形成在所述基底膜上；以及电极膜，其形成在所述金属粘合膜上，用于对所述压电元件施加电压；
所述金属粘合膜由与所述电极膜不同的材料形成，并以岛状分布。
7.一种超声波振荡元件，具备权利要求1至6中任一项所述的压电部件。
8.一种超声波探头，具备权利要求7所述的超声波振荡元件和驱动所述超声波振荡元件的驱动电路。
9.一种超声波诊断装置，具备：权利要求8所述的超声波探头；以及控制装置，其控制所述超声波探头的动作，并且接收所述超声波探头的检测信号。
10.一种压电部件的制造方法，该压电部件具备压电元件和分别形成在该压电元件的一对对置面上的一对电极，其特征在于，所述压电部件的制造方法包括如下步骤：
在所述压电元件的一对对置面中的至少一方的对置面上形成基底膜，该基底膜包含具有硫醇基的材料，
在所述基底膜上以岛状形成金属粘合膜，
在所述金属粘合膜上，以与所述金属粘合膜不同的材料形成用于对所述压电元件施加电压的电极膜。
11.根据权利要求10所述的压电部件的制造方法，其特征在于，
在所述基底膜上通过溅射法形成所述金属粘合膜。
12.根据权利要求10或11所述的压电部件的制造方法，其特征在于，
使用构造体作为所述压电元件，在该构造体上形成所述一对电极，所述构造体包含分别具有一边为100μm以下的所述一对对置面并且构成阵列的多个压电元件、和填充在相邻的压电元件之间的树脂。
13.根据权利要求10或11所述的压电部件的制造方法，其特征在于，
所述压电元件由单晶材料形成。
14.根据权利要求10或11所述的压电部件的制造方法，其特征在于，
所述基底膜由(3－巯丙基)三甲氧基硅烷形成。
15.根据权利要求10或11所述的压电部件的制造方法，其特征在于，
所述金属粘合膜由选自Cr、Pt、Pd以及In的材料形成。
16.一种压电部件的制造方法，该压电部件具备压电元件和分别形成在该压电元件的一对对置面上的一对电极，其特征在于，所述压电部件的制造方法包括如下步骤：
在所述压电元件的所述一对对置面中的至少一方的对置面上形成基底膜，该基底膜包含具有硫醇基的材料，
在所述基底膜上形成具有1nm以上且10nm以下的厚度，以岛状分布的金属粘合膜，
在所述金属粘合膜上，以与所述金属粘合膜不同的材料形成用于对所述压电元件施加电压的电极膜。
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