CN110379750A - 一种用于承载硅片的石英舟 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于承载硅片的石英舟，包括石英主架体，石英主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；侧围中还设有分隔杆；上述一对端板的顶边分别设有：可供分隔杆端部插放的定位缺口；该对端板的定位缺口对称设置；分隔杆的两端卡入一对对称设置的定位缺口中。本发明给现有石英舟配置了可拆卸的分隔杆；当分隔杆拆下，石英舟可插放一排竖置硅片；当分隔杆装上，可分隔石英舟的内部空间，进而可插放两排竖置硅片，该两排硅片左右设置。

Description

一种用于承载硅片的石英舟
技术领域
本发明涉及一种用于承载硅片的石英舟。
背景技术
石英舟是用于承载硅片的器具，其内部空间用于插放竖置硅片，包括石英主架体，石英主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合。
随着太阳能电池技术的发展，将硅片整片分割为至少两个分片，可提高太阳组件的效率。但现有的石英舟都是根据硅片整片的形状来设计的，故分片需要另外独立设计石英舟，增加了企业的生产成本。
发明内容
为了解决现有技术中的缺陷，本发明提供一种用于承载硅片的石英舟，其内部空间用于插放竖置硅片，包括石英主架体，石英主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；
所述侧围中还设有分隔杆；上述一对端板的顶边分别设有：可供分隔杆端部插放的定位缺口；该对端板的定位缺口对称设置；分隔杆的两端卡入一对对称设置的定位缺口中。
本发明给现有石英舟配置了可拆卸的分隔杆（分隔杆的两端可从定位缺口中取出）；当分隔杆拆下，石英舟可插放一排竖置硅片（整片）；当分隔杆装上（分隔杆的两端卡入一对对称设置的定位缺口中），可分隔石英舟的内部空间，进而可插放两排竖置硅片（该两排硅片可以是上述整片的分片），该两排硅片左右设置（即该两排硅片分设于分隔杆两侧）。
优选的，所述分隔杆为槽杆，且分隔杆的左右两侧分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽；分隔杆上的插槽与侧架上的插槽相配合。若分隔杆选择槽杆，槽杆上设有可供硅片插放的插槽，可以更稳定地放置硅片。
优选的，任一端板的顶边都设有至少两个定位缺口。分隔杆的安装位置在左右方向上可选择，可沿左右方向调整分隔杆的安装位置，以适应不同尺寸的硅片。
优选的，任一端板的顶边都设有至少三个定位缺口；同一端板上的定位缺口等间隔依次设置。分隔杆的安装位置在左右方向上可选择，且可沿左右方向等间隔地调整分隔杆的安装位置，以适应不同尺寸的硅片。
优选的，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的六分之一；该两个定位缺口给1/6分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/6分片可插放在该两个分隔杆之间。
优选的，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的五分之一；该两个定位缺口给1/5分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/5分片可插放在该两个分隔杆之间。
优选的，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的四分之一；该两个定位缺口给1/4分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/4分片可插放在该两个分隔杆之间。
优选的，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的三分之一；该两个定位缺口给1/3分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/3分片可插放在该两个分隔杆之间。
优选的，有位于某一端板上的定位缺口，它与上述一对侧架的间距相等；该定位缺口给1/2分片提供了放置的可能性，若有一个分隔杆与该定位缺口对应装配，则该分隔杆的左右两侧可分别插放1/2分片。
优选的，同一端板上装配有至少两个分隔杆，可插放多排硅片，该多排硅片沿左右方向依次设置，相邻两排硅片由一个分隔杆隔开。
附图说明
图1和图2是实施例1的示意图；
图3是实施例3的示意图；
图4是实施例4的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例1
如图1和图2所示，本发明提供一种用于承载硅片的石英舟，其内部空间用于插放竖置硅片，包括石英主架体，石英主架体包括侧围10和底架20，侧围10由一对左右设置的侧架11和一对前后设置的端板12围成，该对端板12竖置且相互平行，该对侧架11分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架11相互配合；
所述侧围10中还设有分隔杆30；上述一对端板12的顶边分别设有：可供分隔杆30端部插放的定位缺口40；该对端板12的定位缺口40对称设置；分隔杆30的两端卡入一对对称设置的定位缺口40中。
本发明给现有石英舟配置了可拆卸的分隔杆30（分隔杆30的两端可从定位缺口40中取出）；如图1所示，当分隔杆30拆下，石英舟可插放一排竖置硅片50（整片）；如图2所示，当分隔杆30装上（分隔杆30的两端卡入一对对称设置的定位缺口中），可分隔石英舟的内部空间，进而可插放两排竖置硅片51、52（硅片51、52可以是上述整片的分片），该两排硅片51、52左右设置（即该两排硅片51、52分设于分隔杆30两侧）。
所述分隔杆30可以选择槽杆，且分隔杆30的左右两侧分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽；分隔杆30上的插槽与侧架11上的插槽相配合。若分隔杆30选择槽杆，槽杆上设有可供硅片插放的插槽，可以更稳定地放置硅片。
实施例2
在实施例1的基础上，区别在于：
任一端板的顶边都设有至少两个定位缺口。分隔杆的安装位置在左右方向上可选择，可沿左右方向调整分隔杆的安装位置，以适应不同宽度的硅片。
实施例3
如图3所示，在实施例1的基础上，区别在于：
任一端板12的顶边都设有多个定位缺口40；同一端板12上的定位缺口40等间隔依次设置。分隔杆的安装位置在左右方向上可选择，且可沿左右方向等间隔地调整分隔杆的安装位置，以适应不同宽度的硅片。
优选的，实施例2和3中，同一端板上装配有至少两个分隔杆，可插放多排硅片，该多排硅片沿左右方向依次设置，相邻两排硅片由一个分隔杆隔开。
实施例4
如图4所示，在实施例1的基础上，区别在于：
任一端板12上都有个备选的定位缺口，该定位缺口与上述一对侧架11的间距相等；该定位缺口给1/2分片提供了放置的可能性，若有一个分隔杆30与该定位缺口对应装配，则该分隔杆30的左右两侧可分别插放1/2分片；即可插放两排竖置硅片53（硅片53是实施例1中整片的1/2分片），该两排硅片53左右设置。
实施例5
在实施例2的基础上，区别在于：
任一端板上都有两个备选的定位缺口，该两个定位缺口的间距为上述一对侧架间距的三分之一；该两个定位缺口给1/3分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/3分片可插放在该两个分隔杆之间。
实施例6
在实施例2的基础上，区别在于：
任一端板上都有两个备选的定位缺口，该两个定位缺口的间距为上述一对侧架间距的四分之一；该两个定位缺口给1/4分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/4分片可插放在该两个分隔杆之间。
实施例7
在实施例2的基础上，区别在于：
任一端板上都有两个备选的定位缺口，该两个定位缺口的间距为上述一对侧架间距的五分之一；该两个定位缺口给1/5分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/5分片可插放在该两个分隔杆之间。
实施例8
在实施例2的基础上，区别在于：
任一端板上都有两个备选的定位缺口，该两个定位缺口的间距为上述一对侧架间距的六分之一；该两个定位缺口给1/6分片提供了放置的可能性，若有两个分隔杆与该两个定位缺口一一对应装配，则1/6分片可插放在该两个分隔杆之间。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于承载硅片的石英舟，其内部空间用于插放竖置硅片，包括石英主架体，石英主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；其特征在于：
所述侧围中还设有分隔杆；上述一对端板的顶边分别设有：可供分隔杆端部插放的定位缺口；该对端板的定位缺口对称设置；分隔杆的两端卡入一对对称设置的定位缺口中。
2.根据权利要求1所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，所述分隔杆为槽杆，且分隔杆的左右两侧分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽；分隔杆上的插槽与侧架上的插槽相配合。
3.根据权利要求2所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的顶边都设有至少两个定位缺口。
4.根据权利要求2所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的顶边都设有至少三个定位缺口；同一端板上的定位缺口等间隔依次设置。
5.根据权利要求3所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的六分之一。
6.根据权利要求3所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的五分之一。
7.根据权利要求3所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的四分之一。
8.根据权利要求3所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，有位于同一端板上的两个定位缺口，它们的间距为上述一对侧架间距的三分之一。
9.根据权利要求1所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，有位于某一端板上的定位缺口，它与上述一对侧架的间距相等。
10.根据权利要求3至8中任一项所述的用于承载硅片的石英舟，其特征在于，同一端板上装配有至少两个分隔杆。
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ID=

Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0864667A (ja) * 1994-08-24 1996-03-08 Kawasaki Steel Corp 半導体ウェハ用カセット
JP2001308171A (ja) * 2000-04-26 2001-11-02 Shin Etsu Polymer Co Ltd バックグラインドウェーハの輸送容器及びバックグラインドウェーハの収納方法
KR100793238B1 (ko) * 2007-02-20 2008-01-10 (주)에스엠텍 반도체 적재용 트레이 매거진
US20080237157A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-02 Chee Keong Chin Wafer transport system
KR20090038088A (ko) * 2007-10-15 2009-04-20 (주)스마트에이스 웨이퍼 카세트
CN201812844U (zh) * 2010-09-29 2011-04-27 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种通用硅片承载盒
CN202183364U (zh) * 2011-07-27 2012-04-04 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 一种扩散用石英舟
CN202721112U (zh) * 2012-06-28 2013-02-06 杭州大和热磁电子有限公司 一种纵向放片的石英舟
CN204927319U (zh) * 2015-09-09 2015-12-30 新奥光伏能源有限公司 一种清洗花篮及清洗装置
CN205231025U (zh) * 2015-12-03 2016-05-11 钧石(中国)能源有限公司 一种用于承载硅片的一体式花篮
CN206422053U (zh) * 2016-12-30 2017-08-18 内蒙古中环光伏材料有限公司 一种用于盛放硅片的盒子
CN107993968A (zh) * 2018-01-08 2018-05-04 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种用于异形晶片的承载装置
CN207398106U (zh) * 2017-11-09 2018-05-22 润峰电力有限公司 一种光伏电池全自动上下料用花篮
CN207883667U (zh) * 2018-03-12 2018-09-18 横店集团东磁股份有限公司 太阳能电池硅片扩散石英舟
US20180374731A1 (en) * 2015-12-24 2018-12-27 Pico & Tera Co., Ltd. Wafer storage container
CN208444850U (zh) * 2018-06-28 2019-01-29 扬州协鑫光伏科技有限公司 硅片分片机
US20190067044A1 (en) * 2017-08-31 2019-02-28 Chung King Enterprise Co., Ltd. Wafer shipping box and a lower retaining member thereof
CN209045515U (zh) * 2018-11-12 2019-06-28 上海华力微电子有限公司 一种能降低晶圆运输报废的晶圆盒
CN209929280U (zh) * 2019-07-21 2020-01-10 常州时创能源科技有限公司 用于承载硅片的石英舟

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0864667A (ja) * 1994-08-24 1996-03-08 Kawasaki Steel Corp 半導体ウェハ用カセット
JP2001308171A (ja) * 2000-04-26 2001-11-02 Shin Etsu Polymer Co Ltd バックグラインドウェーハの輸送容器及びバックグラインドウェーハの収納方法
KR100793238B1 (ko) * 2007-02-20 2008-01-10 (주)에스엠텍 반도체 적재용 트레이 매거진
US20080237157A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-02 Chee Keong Chin Wafer transport system
KR20090038088A (ko) * 2007-10-15 2009-04-20 (주)스마트에이스 웨이퍼 카세트
CN201812844U (zh) * 2010-09-29 2011-04-27 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种通用硅片承载盒
CN202183364U (zh) * 2011-07-27 2012-04-04 中节能太阳能科技（镇江）有限公司 一种扩散用石英舟
CN202721112U (zh) * 2012-06-28 2013-02-06 杭州大和热磁电子有限公司 一种纵向放片的石英舟
CN204927319U (zh) * 2015-09-09 2015-12-30 新奥光伏能源有限公司 一种清洗花篮及清洗装置
CN205231025U (zh) * 2015-12-03 2016-05-11 钧石(中国)能源有限公司 一种用于承载硅片的一体式花篮
US20180374731A1 (en) * 2015-12-24 2018-12-27 Pico & Tera Co., Ltd. Wafer storage container
CN206422053U (zh) * 2016-12-30 2017-08-18 内蒙古中环光伏材料有限公司 一种用于盛放硅片的盒子
US20190067044A1 (en) * 2017-08-31 2019-02-28 Chung King Enterprise Co., Ltd. Wafer shipping box and a lower retaining member thereof
CN207398106U (zh) * 2017-11-09 2018-05-22 润峰电力有限公司 一种光伏电池全自动上下料用花篮
CN107993968A (zh) * 2018-01-08 2018-05-04 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种用于异形晶片的承载装置
CN207883667U (zh) * 2018-03-12 2018-09-18 横店集团东磁股份有限公司 太阳能电池硅片扩散石英舟
CN208444850U (zh) * 2018-06-28 2019-01-29 扬州协鑫光伏科技有限公司 硅片分片机
CN209045515U (zh) * 2018-11-12 2019-06-28 上海华力微电子有限公司 一种能降低晶圆运输报废的晶圆盒
CN209929280U (zh) * 2019-07-21 2020-01-10 常州时创能源科技有限公司 用于承载硅片的石英舟

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"太阳能电池硅片承载器(花篮) 北京市塑料研究所", 中国科技产业, no. 03 *

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Address before: Liyang City, Jiangsu province 213300 Li Cheng Zhen Wu Changzhou city Tandu Road No. 8

Applicant before: CHANGZHOU SHICHUANG ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd.

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