CN110373633A - 一种oled蒸镀用坩埚 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及坩埚技术领域，特别涉及一种OLED蒸镀用坩埚，通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内，能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况，保证蒸镀速率稳定正常，提高蒸镀薄膜的均匀性，改善OLED器件的品质及提高器件寿命，减轻人力劳动及缩短异常处理时间。
Description
技术领域
本发明涉及坩埚技术领域，特别涉及一种OLED蒸镀用坩埚。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-emitting Diode，简称为OLED)是新一代的显示技术，在目前OLED真空蒸镀制程中，坩埚作为蒸镀设备的蒸发源，坩埚本体中盛放金属或有机材料，受热后材料汽化再经由坩埚上盖的喷嘴溢出，最终沉积到基板上形成有机薄膜，用于实现OLED器件发光。但是，现有蒸镀用坩埚本体有加热系统供热，而坩埚上盖不会，因此坩埚本体与喷嘴处温度不一致也就有温度差，汽化的蒸镀材料经过喷嘴时由于温度降低冷凝，附着到喷嘴周围，一定时间后就会造成喷嘴堵塞，造成蒸镀速率降低，且不稳定，基板薄膜均匀性受到影响，最后引起OLED器件品质与寿命降低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种能够防止喷嘴堵塞的OLED蒸镀用坩埚。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种OLED蒸镀用坩埚，包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖，所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。
本发明的有益效果在于：
通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内，能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况，保证蒸镀速率稳定正常，提高蒸镀薄膜的均匀性，改善OLED器件的品质及提高器件寿命，减轻人力劳动及缩短异常处理时间。
附图说明
图1为根据本发明的一种OLED蒸镀用坩埚的结构示意图；
图2为根据本发明的一种OLED蒸镀用坩埚的结构拆解图；
标号说明：
1、坩埚本体；2、坩埚上盖；3、喷嘴；4、加热装置；5、环形石墨垫片。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
本发明最关键的构思在于：通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。
请参照图1和图2，本发明提供的技术方案：
一种OLED蒸镀用坩埚，包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖，所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：
通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内，能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况，保证蒸镀速率稳定正常，提高蒸镀薄膜的均匀性，改善OLED器件的品质及提高器件寿命，减轻人力劳动及缩短异常处理时间。
进一步的，所述喷射物为升华型材料，所述预设阈值范围为25-35℃。
进一步的，所述喷射物为熔融型材料，所述预设阈值范围为50-65℃。
进一步的，所述加热装置包括圆筒和底座，所述圆筒与所述底座固定连接，所述底座通过螺丝固定在所述坩埚上盖，所述底座上设有通孔，所述圆筒与所述通孔相对设置且相通，所述喷嘴的一端依次穿过所述圆筒和通孔与所述坩埚上盖螺纹连接，所述喷嘴的另一端凸出所述圆筒上表面，所述圆筒的内壁上设有通电的金属线圈。
由上述描述可知，通过在圆筒的内壁上设有通电的金属线圈，使得喷嘴的温度高于坩埚本体的温度；喷嘴的一端依次穿过圆筒和通孔与坩埚上盖螺纹连接，所述喷嘴的另一端凸出述圆筒上表面，能够在喷嘴发生堵塞时，只需将堵塞的喷嘴拧出就可方便处理，处理完毕后再将喷嘴固定到坩埚上盖即可，无需将整个坩埚从蒸镀腔体取出并开盖，可方便处理，减轻人力劳动及缩短异常处理时间。
进一步的，所述圆筒与所述喷嘴之间设有环形石墨垫片。
由上述描述可知，圆筒与喷嘴之间设置环形石墨垫片，环形石墨垫片与圆筒内壁和喷嘴外壁紧密贴合，加热装置的圆筒的内壁上设有金属线圈，通电后可产生热量，由于石墨具有优良的导热性能，热量可传导到喷嘴使喷嘴具有较高的温度，使得材料蒸汽在坩埚本体内部上升到喷嘴处时没有温度损失，从而避免蒸镀蒸汽冷凝而附着在喷嘴周围造成的喷嘴堵塞。
进一步的，所述加热装置的壳体的材质为不锈钢。
请参照图1和图2，本发明的实施例一为：
一种OLED蒸镀用坩埚，包括上端具有开口的坩埚本体1和盖设在所述开口处的坩埚上盖2，所述坩埚上盖2设有供坩埚本体1内的喷射物向外喷射的喷嘴3，所述喷嘴3上设有加热装置4以使OLED蒸镀时喷嘴3上的温度高于坩埚本体1的温度且喷嘴3上的温度与坩埚本体1内的温度的差在预设阈值范围内。
所述喷嘴3为管状结构，且所述喷嘴3的上端口径小于下端的口径。
所述加热装置4上设有温度检测装置，所述温度检测装置用以检测喷嘴3的温度，在温度检测装置检测到喷嘴3的温度小于坩埚本体1内的温度时，启动加热装置4加热，将喷嘴3的温度提升至所述预设阈值范围内，实现喷嘴3的间歇性加热，节约能源，所述温度检测装置可以为红外线传感器。
所述喷射物为升华型材料，所述预设阈值范围为25-35℃。
升华型材料可以为用于成膜OLED有机层的有机材料或用于成膜OLED金属阴极及LiF等无机材料。
所述喷射物为熔融型材料，所述预设阈值范围为50-65℃。
在实际中，喷嘴3上的温度与坩埚本体1内的温度的差的预设阈值范围可根据实际的喷射物的材料来设定，不同类型的材料对应的预设阈值范围不同。
所述加热装置4包括圆筒和底座，所述圆筒与所述底座固定连接，所述底座通过螺丝固定在所述坩埚上盖2，所述底座上设有通孔，所述圆筒与所述通孔相对设置且相通，所述喷嘴3的一端依次穿过所述圆筒和通孔与所述坩埚上盖2螺纹连接，所述喷嘴3的另一端凸出所述圆筒上表面，所述圆筒的内壁上设有通电的金属线圈。
所述圆筒与所述喷嘴3之间设有环形石墨垫片5。
所述加热装置4的壳体的材质为不锈钢。
所述坩埚本体1包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁的导热率大于外壁的导热率。
综上所述，本发明提供的一种OLED蒸镀用坩埚，通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内，能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况，保证蒸镀速率稳定正常，提高蒸镀薄膜的均匀性，改善OLED器件的品质及提高器件寿命，减轻人力劳动及缩短异常处理时间。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖，所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述喷射物为升华型材料，所述预设阈值范围为25-35℃。
3.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述喷射物为熔融型材料，所述预设阈值范围为50-65℃。
4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述加热装置包括圆筒和底座，所述圆筒与所述底座固定连接，所述底座通过螺丝固定在所述坩埚上盖，所述底座上设有第通孔，所述圆筒与所述第通孔相对设置且相通，所述喷嘴的一端依次穿过所述圆筒和第通孔与所述坩埚上盖螺纹连接，所述喷嘴的另一端凸出所述圆筒上表面，所述圆筒的内壁上设有通电的金属线圈。
5.根据权利要求4所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述圆筒与所述喷嘴之间设有环形石墨垫片。
6.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述加热装置的壳体的材质为不锈钢。
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