CN110372227A - 节能改进型双银中空玻璃的镀膜及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括中空玻璃其作为室外侧玻璃上设置的第一镀膜层及作为室内侧玻璃上设置的第二镀膜层；第一镀膜层与第二镀膜层的层次结构相同，均包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层、第一铬化镍膜层、第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。本发明制成的双银中空玻璃，其可见光透射比增加、传热系数降低、遮阳系数降低，使得中空玻璃的节能效果得到显著加强，采光性能更好，产能增加。

Description

节能改进型双银中空玻璃的镀膜及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种节能改进型双银中空玻璃的镀膜及其制备方法。
背景技术
镀膜玻璃是通过在玻璃基板一表面向外涂制一层或多层金属，合金或金属化合物薄膜，以达到改变玻璃的光学性能，满足特定要求的一种玻璃。而目前的双银中空玻璃，由于其膜系结构设计不够合理，其节能效果还不够，采光性能也一般，尤其很难达到既节能效果好且采光性能好的镀膜中空玻璃；目前的可见光透射比一般在50％左右，传热系数为1.7，遮阳系数为0.5。公开号为CN107759108A的专利：一种低透光率离线浅灰色双银镀膜玻璃及其制备方法，所述镀膜玻璃包括玻璃基底以及依次设于玻璃基底上的氮化锰铁层、硅合金薄膜层、第一介质层、第一阻挡层、第一Ag层、第二阻挡层、第二介质层、第三阻挡层、第二Ag层、第四阻挡层和第三介质层。本发明通过在玻璃基底上磁控溅射形成氮化锰铁层和硅合金薄膜层，二者的阻隔和协效作用以及双银镀膜层的存在，可有效提升玻璃的隔热和光热性能。虽然其传热系数能达到1.2的低值，但其仍然无法兼顾节能效果好且采光性能好这两点。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种节能改进型双银中空玻璃的镀膜，可见光透射比增加、传热系数降低、遮阳系数降低，使得中空玻璃的节能效果得到显著加强，采光性能更好，产能增加。
为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层、第一铬化镍膜层、第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。采用本发明镀膜的双银镀膜中空玻璃其可见光透射比可高达65％，且传热系数只有1.5，遮阳系数也只有0.4。这种膜系结构的设置使得本双银镀膜中空玻璃能够兼顾节能效果与采光性能。节能效果更加好，但却仍然保证了非常高的采光性。并且改变了真空溅射腔室内的靶间距，使得膜层的均匀度(均匀度的测量为现有技术，通过购买光度计直接测量，从边部检测点选择20几个，检测每点粒子含量)更高，因而靶材蒸镀的电功率提高，制造速度可以提高，可以由原来的2m/min提高到3m/min，这样提高了产能。
本发明还提供的技术方案是，节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括中空玻璃其作为室外侧玻璃上设置的第一镀膜层及作为室内侧玻璃上设置的第二镀膜层；第一镀膜层与第二镀膜层的层次结构相同，均包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层、第一铬化镍膜层、第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。这样将原来一侧的双银镀膜改成分成两部分分别镀在玻璃的两侧，能够几乎达到原先的节能效果及采光性，且由于两侧有些对称，能够在镀膜时节省时间。
本发明还提供的技术方案是，节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括设置在玻璃基片两侧的第一镀膜层及第二镀膜层；第一镀膜层与第二镀膜层的层次结构相同，均包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层、第一铬化镍膜层、第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。本发明在内外侧均采用此双银镀膜，其节能效果更是被大大增强。
进一步的技术方案是，第一氮化硅膜层厚度为0.6～0.7nm，所述第一氧化锌膜层厚度为8～10nm，所述第一银膜层厚度为11～17nm，所述第一铬化镍膜层厚度为0.4～0.8nm，所述第二氧化锌膜层厚度为8～10nm，所述第二银膜层厚度为11～17nm，所述第二铬化镍膜层厚度为0.4～0.8nm，所述第二氮化硅膜层厚度为0.6～0.7nm。
本发明还提供的技术方案是，制备所述镀膜的方法，包括如下步骤：
S1：选择玻璃基片并按所使用的真空磁控溅射镀膜设备装载尺寸进行分切；
S2：根据欲镀膜的种类选择真空磁控溅射镀膜设备的阴极靶；
S3：设置真空磁控溅镀工艺条件。
进一步的技术方案是，在S2步骤中，先对玻璃基片的外侧面溅射第一氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；然后对玻璃基片的室外侧溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；然后对玻璃基片的室外侧及室内侧溅射第二银膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后对玻璃基片的室外侧溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；对玻璃基片的室外侧溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；对玻璃基片的室外侧溅射第一银膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.18；对玻璃基片的室外侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1:1.15；对玻璃基片的室外侧溅射第一氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3。
另一种技术方案是，在S1步骤中，磁控溅射镀膜基材置放座上设置用于竖向放置玻璃基片的插槽；
在所述S2步骤中，先对玻璃基片的外侧面及内侧面分别溅射第二氮化硅膜层及第一氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；然后玻璃直接水平置放在置放座上对玻璃基片的室外侧溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；然后将玻璃翻面对玻璃基片的室内侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1个，工艺气体比例为氧气：氩气为0.5:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第二银膜层和第一银膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后玻璃直接水平置放在置放座上对玻璃基片的室外侧溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；然后将玻璃翻面对玻璃基片的室内侧溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃再翻面，对玻璃基片的室外侧溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氮气：氩气为0.7:1；然后再将玻璃再翻面，对玻璃基片的室内侧溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一银膜层和第二银膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.18；然后将玻璃水平置放在置放座上且使得室外侧朝上，对玻璃基片的室外侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1:1.15；然后将玻璃翻面对玻璃基片的室内侧溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一氮化硅膜层和第二氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；
每次镀不同膜层时更换相应的阴极靶；溅射气压为负5个大气压。
针对内外两侧的双银镀膜的特点，在镀膜时根据对称情况，选择有时一起镀玻璃两侧的膜<只要对应的对称膜层相同>，节约了更换阴极靶的次数，节省了镀膜的时间。
进一步的技术方案为，插槽的槽侧壁固定设置用于紧固玻璃基片的耐高温橡胶垫条。
另一种技术方案是，在S1步骤中，磁控溅射镀膜基材置放座上设置用于竖向放置玻璃基片的插槽；
在所述S2步骤中，先将玻璃基片水平置于基片置放座上并对玻璃基片的外侧面溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；然后翻面，对玻璃基片其内侧面溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一银膜层和第二银膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后玻璃直接水平置放在置放座上对玻璃基片的室外侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1个，工艺气体比例为氧气：氩气为0.5:1；然后翻面对玻璃基片其内侧面溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一氮化硅膜层和第二氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；
每次镀不同膜层时更换相应的阴极靶；溅射气压为负5个大气压。将原来一侧的双银镀膜改成分成两部分分别镀在玻璃的两侧，能够几乎达到原先的节能效果及采光性，且由于两侧有些对称，能够在镀膜时节省时间。极大地提高了生产效率，使得产量几乎翻一番。
本发明的优点和有益效果在于：可见光透射比增加、传热系数降低、遮阳系数降低，使得中空玻璃的节能效果得到显著加强，采光性能更好，产能增加。采用本发明镀膜的双银镀膜中空玻璃其可见光透射比可高达65％，且传热系数只有1.5，遮阳系数也只有0.4。节能效果更加好，但却仍然保证了非常高的采光性。并且改变了真空溅射腔室内的靶间距，使得膜层的均匀度更高，因而制造速度可以提高，可以由原来的2m/min提高到3m/min。针对双银镀膜的特点，在镀膜时根据对称情况，选择有时一起镀玻璃两侧的膜<只要对应的对称膜层相同>，节约了更换阴极靶的次数，节省了镀膜的时间。将原来一侧的双银镀膜改成分成两部分分别镀在玻璃的两侧，能够几乎达到原先的节能效果及采光性，且由于两侧有些对称，能够在镀膜时节省时间。极大地提高了生产效率，使得产量几乎翻一番。
附图说明
图1是本发明一种节能改进型双银中空玻璃的镀膜实施例一镀在玻璃基片上后的示意图；
图2是本发明实施例二镀在玻璃基片上后的示意图；
图3是图2中第一镀膜层或第二镀膜层的层次结构示意图；
图4是本发明实施例二中置放座的示意图；
图5是本发明实施例三镀在玻璃基片上后的示意图；
图6是图5中第一镀膜层的层次结构示意图；
图7是图5中第二镀膜层的层次结构示意图；
图8是本发明实施例三中置放座的示意图。
图中：1、第一氮化硅膜层；2、第一氧化锌膜层；3、第一银膜层；4、第一铬化镍膜层；5、第二氧化锌膜层；6、第二银膜层；7、第二铬化镍膜层；8、第二氮化硅膜层；9、第一镀膜层；10、第二镀膜层；11、玻璃基片；12、置放座；13、插槽；14、耐高温橡胶垫条。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例一：
如图1所示，本发明是一种节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层1、第一氧化锌膜层2、第一银膜层3、第一铬化镍膜层4、第二氧化锌膜层5、第二银膜层6、第二铬化镍膜层7及第二氮化硅膜层8。第一氮化硅膜层1厚度为0.6～0.7nm，所述第一氧化锌膜层2厚度为8～10nm，所述第一银膜层3厚度为
11～17nm，所述第一铬化镍膜层4厚度为0.4～0.8nm，所述第二氧化锌膜层5厚度为8～10nm，所述第二银膜层6厚度为11～17nm，所述第二铬化镍膜层7厚度为0.4～0.8nm，所述第二氮化硅膜层8厚度为0.6～0.7nm。
制备所述镀膜的方法，包括如下步骤：
S1：选择玻璃基片11并按所使用的真空磁控溅射镀膜设备装载尺寸进行分切；
S2：根据欲镀膜的种类选择真空磁控溅射镀膜设备的阴极靶；
S3：设置真空磁控溅镀工艺条件。
在S2步骤中，先对玻璃基片11的外侧面溅射第一氮化硅膜层1，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；然后对玻璃基片11的室外侧溅射第二铬化镍膜层7，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；然后对玻璃基片11的室外侧及室内侧溅射第二银膜层6，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后对玻璃基片11的室外侧溅射第二氧化锌膜层5，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；对玻璃基片11的室外侧溅射第一铬化镍膜层4，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；对玻璃基片11的室外侧溅射第一银膜层3，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.18；对玻璃基片11的室外侧溅射第一氧化锌膜层2，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1:1.15；对玻璃基片11的室外侧溅射第一氮化硅膜层1，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3。
实施例二：
与实施例一的不同在于，如图2至图4所示，节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括分别设置在玻璃基片11外侧和内侧的第一镀膜层9与第二镀膜层10，第一镀膜层9与第二镀膜层10的层次结构相同，均包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层1、第一氧化锌膜层2、第一银膜层3、第一铬化镍膜层4、第二氧化锌膜层5、第二银膜层6、第二铬化镍膜层7及第二氮化硅膜层8。
在S1步骤中，磁控溅射镀膜基材置放座12上设置用于竖向放置玻璃基片11的插槽13；
在所述S2步骤中，先对玻璃基片11的外侧面及内侧面分别溅射第二氮化硅膜层8及第一氮化硅膜层1，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；然后玻璃直接水平置放在置放座12上对玻璃基片11的室外侧溅射第二铬化镍膜层7，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；然后将玻璃翻面对玻璃基片11的室内侧溅射第一氧化锌膜层2，其中，交流旋转靶1个，工艺气体比例为氧气：氩气为0.5:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片11的室外侧及室内侧同时溅射第二银膜层6和第一银膜层3，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后玻璃直接水平置放在置放座12上对玻璃基片11的室外侧溅射第二氧化锌膜层5，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；然后将玻璃翻面对玻璃基片11的室内侧溅射第一铬化镍膜层4，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃再翻面，对玻璃基片11的室外侧溅射第一铬化镍膜层4，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氮气：氩气为0.7:1；然后再将玻璃再翻面，对玻璃基片11的室内侧溅射第二氧化锌膜层5，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃竖直放置对玻璃基片11的室外侧及室内侧同时溅射第一银膜层3和第二银膜层6，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.18；然后将玻璃水平置放在置放座12上且使得室外侧朝上，对玻璃基片11的室外侧溅射第一氧化锌膜层2，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1:1.15；然后将玻璃翻面对玻璃基片11的室内侧溅射第二铬化镍膜层7，其中，交流旋转靶1个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃竖直放置对玻璃基片11的室外侧及室内侧同时溅射第一氮化硅膜层1和第二氮化硅膜层8，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；
每次镀不同膜层时更换相应的阴极靶；溅射气压为负5个大气压。插槽13的槽侧壁固定设置用于紧固玻璃基片11的耐高温橡胶垫条14。
实施例三：
与实施例儿的不同在于，如图5至图8所示，节能改进型双银中空玻璃的镀膜，包括分别设置在玻璃基片11外侧和内侧的第一镀膜层9及第二镀膜层10，第一镀膜层9由外至内依次为第一氮化硅膜层1、第一氧化锌膜层2、第一银膜层3及第一铬化镍膜层4；第二镀膜层10由外至内依次为第二氧化锌膜层5、第二银膜层6、第二铬化镍膜层7及第二氮化硅膜层8。
在S1步骤中，磁控溅射镀膜基材置放座12上设置用于竖向放置玻璃基片11的插槽13；
在所述S2步骤中，先将玻璃基片11水平置于基片置放座12上并对玻璃基片11的外侧面溅射第一铬化镍膜层4，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；然后翻面，对玻璃基片11其内侧面溅射第二氧化锌膜层5，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片11的室外侧及室内侧同时溅射第一银膜层3和第二银膜层6，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后玻璃直接水平置放在置放座12上对玻璃基片11的室外侧溅射第一氧化锌膜层2，其中，交流旋转靶1个，工艺气体比例为氧气：氩气为0.5:1；然后翻面对玻璃基片11其内侧面溅射第二铬化镍膜层7，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片11的室外侧及室内侧同时溅射第一氮化硅膜层1和第二氮化硅膜层8，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；
每次镀不同膜层时更换相应的阴极靶；溅射气压为负5个大气压。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.节能改进型双银中空玻璃的镀膜，其特征在于，包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层、第一铬化镍膜层、第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。
2.节能改进型双银中空玻璃的镀膜，其特征在于，包括设置在玻璃两侧的第一镀膜层及第二镀膜层，第一镀膜层由外至内依次为第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层及第一铬化镍膜层；第二镀膜层由外至内依次为第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。
3.节能改进型双银中空玻璃的镀膜，其特征在于，包括设置在玻璃基片两侧的第一镀膜层及第二镀膜层；第一镀膜层与第二镀膜层的层次结构相同，均包括由外至内依次设置的第一氮化硅膜层、第一氧化锌膜层、第一银膜层、第一铬化镍膜层、第二氧化锌膜层、第二银膜层、第二铬化镍膜层及第二氮化硅膜层。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的节能改进型双银中空玻璃的镀膜，其特征在于，所述第一氮化硅膜层厚度为0.6～0.7nm，所述第一氧化锌膜层厚度为8～10nm，所述第一银膜层厚度为11～17nm，所述第一铬化镍膜层厚度为0.4～0.8nm，所述第二氧化锌膜层厚度为8～10nm，所述第二银膜层厚度为11～17nm，所述第二铬化镍膜层厚度为0.4～0.8nm，所述第二氮化硅膜层厚度为0.6～0.7nm。
5.制备如权利要求4所述镀膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：选择玻璃基片并按所使用的真空磁控溅射镀膜设备装载尺寸进行分切；
S2：根据欲镀膜的种类选择真空磁控溅射镀膜设备的阴极靶；
S3：设置真空磁控溅镀工艺条件。
6.根据权利要求5所述的镀膜制备方法，其特征在于，在所述S2步骤中，先对玻璃基片的外侧面溅射第一氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；然后对玻璃基片的室外侧溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；然后对玻璃基片的室外侧及室内侧溅射第二银膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后对玻璃基片的室外侧溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；对玻璃基片的室外侧溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；对玻璃基片的室外侧溅射第一银膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.18；对玻璃基片的室外侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1:1.15；对玻璃基片的室外侧溅射第一氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3。
7.根据权利要求5所述的镀膜制备方法，其特征在于，在所述S1步骤中，磁控溅射镀膜基材置放座上设置用于竖向放置玻璃基片的插槽；
在所述S2步骤中，先对玻璃基片的外侧面及内侧面分别溅射第二氮化硅膜层及第一氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；然后玻璃直接水平置放在置放座上对玻璃基片的室外侧溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；然后将玻璃翻面对玻璃基片的室内侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1个，工艺气体比例为氧气：氩气为0.5:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第二银膜层和第一银膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后玻璃直接水平置放在置放座上对玻璃基片的室外侧溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；然后将玻璃翻面对玻璃基片的室内侧溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃再翻面，对玻璃基片的室外侧溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氮气：氩气为0.7:1；然后再将玻璃再翻面，对玻璃基片的室内侧溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一银膜层和第二银膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.18；然后将玻璃水平置放在置放座上且使得室外侧朝上，对玻璃基片的室外侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1:1.15；然后将玻璃翻面对玻璃基片的室内侧溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1个，工艺气体为纯氩气；然后将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一氮化硅膜层和第二氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；
每次镀不同膜层时更换相应的阴极靶；溅射气压为负5个大气压。
8.根据权利要求7所述的镀膜制备方法，其特征在于，所述插槽的槽侧壁固定设置用于紧固玻璃基片的耐高温橡胶垫条。
9.根据权利要求5所述的镀膜制备方法，其特征在于，在所述S1步骤中，磁控溅射镀膜基材置放座上设置用于竖向放置玻璃基片的插槽；
在所述S2步骤中，先将玻璃基片水平置于基片置放座上并对玻璃基片的外侧面溅射第一铬化镍膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体为纯氩气；然后翻面，对玻璃基片其内侧面溅射第二氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.1:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一银膜层和第二银膜层，其中，交流旋转靶3～4个，工艺气体比例为氧气：氩气为1.3:1；然后玻璃直接水平置放在置放座上对玻璃基片的室外侧溅射第一氧化锌膜层，其中，交流旋转靶1个，工艺气体比例为氧气：氩气为0.5:1；然后翻面对玻璃基片其内侧面溅射第二铬化镍膜层，其中，交流旋转靶2～3个，工艺气体比例为氮气：氩气为1.15:1；再将玻璃竖直放置对玻璃基片的室外侧及室内侧同时溅射第一氮化硅膜层和第二氮化硅膜层，其中，交流旋转靶1～2个，工艺气体比例为氧气：氩气为1:1.3；
每次镀不同膜层时更换相应的阴极靶；溅射气压为负5个大气压。
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