CN110355703B - 一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法。该基板自动对位夹具装置包括：基台；第一组推压夹具和第二组推压夹具，第一组推压夹具中的推压夹具分布在基台相接的两条边上，第二组推压夹具中的推压夹具分布在基台相接的另外两条边上；至少第一组推压夹具中的推压夹具上设置有距离传感器，至少第二组推压夹具中的推压夹具上设置有压力传感器；控制电路，用于根据距离传感器和压力传感器的反馈信号，控制推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。本发明实施例解决了现有基板夹具的夹持位置需要进行人工计算和设定的问题，实现了对基板的自动对位夹持，同时可避免人工设置时由误差等导致的对基板的损坏，提高夹持过程中基板的良率。

Description

一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法。

背景技术

在使用玻璃基板为载体的显示器件制造工艺中，每一步骤的每台设备为了保证玻璃基板工艺品质及玻璃基板的安全，都需要通过在玻璃基板四周设置推压夹具以限定玻璃基板的位置和相对基台的旋转角度。

而目前的制造工艺中，推压夹具的夹持位置由人工进行设置，推压夹具自动向玻璃基板移动直至设定的夹持位置，从而强制性夹紧玻璃基板。然而此种方法在实际生产中，人员调试夹具的过程须花费大量的人力物力以及时间。并且，调整玻璃基板与基台的相对位置以及旋转角度时，由于推压夹具根据人工设置的参数进行移动，在人工设置存在误差时，容易挤压玻璃基板，造成玻璃基板的损坏，一定程度上增加了生成成本，降低了生产效率。

发明内容

本发明提供一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法，以实现对基板的自动对位夹持，避免了人工设置时导致的对基板的损坏。

本发明实施例提供了一种基板自动对位夹具装置，包括：

基台，所述基台包括首尾相接的四条边；

第一组推压夹具和第二组推压夹具，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；

至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与待夹持基板之间的压力；

控制电路，分别与所述推压夹具、所述距离传感器和所述压力传感器电连接，所述控制电路用于根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，控制所述推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板。

如上所述的基板自动对位夹具装置，可选地，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器；

或者，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器和压力传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上至少设置有压力传感器。

如上所述的基板自动对位夹具装置，可选地，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括三个推压夹具，且在所述基台相对的两条边上，所述推压夹具一一对应。

如上所述的基板自动对位夹具装置，可选地，所述基台包括相对的两条第一边和相对的两条第二边，所述第一边的长度大于或等于所述第二边；

每条所述第一边均匀分布有至少两个所述推压夹具，每条所述第二边均匀分布有至少一个所述推压夹具。

如上所述的基板自动对位夹具装置，可选地，所述推压夹具包括夹具基座以及设置在所述夹具基座上驱动马达和传动杆，所述驱动马达与所述传动杆传动连接，所述传动杆在垂直所述基台的边的方向上延伸；

所述距离传感器设置在所述传动杆的侧面，所述压力传感器设置在所述传动杆的顶端；所述驱动马达与所述控制电路电连接。

如上所述的基板自动对位夹具装置，可选地，所述控制电路包括控制器和反馈放大电路，所述控制器与所述驱动马达和所述反馈放大电路电连接，所述反馈放大电路分别与所述距离传感器和所述压力传感器电连接。

本发明实施例还提供了一种基板自动对位方法，包括：

在基台上放置所述基板；

至少根据距离传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

至少根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板；

其中，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与所述基板之间的压力。

如上所述的基板自动对位方法，可选地，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有所述距离传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有所述压力传感器；

至少根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置，包括：

根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

至少根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至夹持所述基板，包括：

根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板。

如上所述的基板自动对位方法，可选地，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器和压力传感器；

至少根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置，包括：

根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别以预设压力推动所述基板移动至预设位置。

如上所述的基板自动对位方法，可选地，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上均设置有距离传感器和压力传感器；

所述至少根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；至少根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板，包括：

根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，同时控制所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具中的所述推压夹具移动至预设距离，并以预设压力夹持所述基板。

本发明实施例提供的基板自动对位夹具装置，通过设置基台，其中基台包括首尾相接的四条边；另外设置第一组推压夹具和第二组推压夹具，并且，第一组推压夹具和第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，第一组推压夹具分布在基台相接的两条边上，第二组推压夹具分布在基台另外相接的两条边上；同时至少在第一组推压夹具中的推压夹具上设置距离传感器，用以测量推压夹具与基台的距离，至少在第二组推压夹具中的推压夹具上设置压力传感器，用以测量推压夹具与待夹持基板之间的压力，从而利用控制电路与推压夹具、距离传感器和压力传感器的电连接，接收距离传感器和压力传感器的反馈信号，根据反馈信号，控制推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。本发明实施例解决了现有基板夹具的夹持位置需要进行人工计算和设定的问题，可以实现对基板的自动对位夹持，节省大量的人力物力及时间成本，保证基板与基台的正交性夹持；同时可避免了人工设置时由误差等导致的对基板的损坏，保证以预设的压力夹持基板，提高夹持过程中基板的良率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种基板自动对位夹具装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种基板自动对位夹持装置的局部俯视示意图；

图3是本发明实施例提供的另一种基板自动对位夹持装置的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的又一种基板自动对位夹具装置的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的又一种基板自动对位夹具装置的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的一种基板自动对位方法的流程图；

图7是本发明实施例提供的另一种基板自动对位方法的流程图；

图8是本发明实施例提供的又一种基板自动对位方法的流程图；

图9是本发明实施例提供的又一种基板自动对位方法的流程图。

附图标记说明：10-基台，110-边，111-第一边，112-第二边，21-第一组推压夹具，22-第二组推压夹具，200-推压夹具，201-夹具基座，202-驱动马达，203-传动杆，30-距离传感器，40-压力传感器，50-基板，60-控制电路，61-控制器，62-反馈放大电路。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1是本发明实施例提供的一种基板自动对位夹具装置的结构示意图，参考图1，该基板自动对位夹具装置包括：基台10，基台10包括首尾相接的四条边110；第一组推压夹具21和第二组推压夹具22，第一组推压夹具21和第二组推压夹具22分别包括至少三个推压夹具200，第一组推压夹具21中的推压夹具200分布在基台10相接的两条边110上，第二组推压夹具22中的推压夹具200分布在基台10相接的另外两条边110上；至少第一组推压夹具21中的推压夹具200上设置有距离传感器30，至少第二组推压夹具22中的推压夹具200上设置有压力传感器40，距离传感器30用于测量推压夹具200与基台10的距离，压力传感器40用于测量推压夹具200与待夹持基板50之间的压力；控制电路60，分别与推压夹具200、距离传感器30和压力传感器40电连接，控制电路60用于根据距离传感器30和压力传感器40的反馈信号，控制推压夹具200移动，直至以预设压力夹持基板50。

其中，第一组推压夹具21和第二组推压夹具22中的推压夹具200均通过在基板10边缘施加推力来推动基板50，位于基台10两侧的推压夹具200分别通过施加相对的推力实现对基板50的夹持，从而限制基板50相对基台10的位置，可以保证基板50位于基台10中心位置。并且，由于每组推压夹具中均设置有至少三个推压夹具200，此时在基台10的一条边上至少设置有两个推压夹具200，因而可以对基板50的一侧边进行限位，从而可以通过两个推压夹具200调节基板50相对基台10的旋转角度。对于矩形的基台10和矩形的基板50，在基台10一条边上设置的至少两个推压夹具200，可以通过调整使基板50和基台10同侧的侧边相互平行，也即可以实现基板50与基台10的正交性。

第一组推压夹具21和第二组推压夹具22的区别在于，由控制电路60进行驱动进行自动对位时，两组推压夹具所起作用存在不同。其中，第一组推压夹具21可作为抵持夹具，限制基板50相邻的两边的位置；而第二组推压夹具22可作为驱动夹具，驱动基板50移动至与第一组推压夹具21抵持，或单纯移动至与基板50接触而与第一组推压夹具21共同作用夹持基板50。第一组推压夹具21中至少设置有距离传感器30，以测量与基台10的距离，实现预设的抵持位置。第二组推压夹具22中则至少设置有压力传感器40，以测量与基板50之间的压力，保证第二组推压夹具22在驱动基板50或夹持基板50时采用适当的驱动力，驱动基板50至预设位置，同时在基板安全的受力范围内停止推动基板50，避免了对基板50的强制挤压。在实际驱动控制时，控制电路60可根据预设的距离参数和压力参数，分别控制第一组推压夹具21和第二组推压夹具22。需要说明的是，图1所示的距离传感器30和压力传感器40的结构和形状以及设置位置仅用于示意，此处并非对距离传感器30和压力传感器40的限定。

本发明实施例提供的基板自动对位夹具装置，通过设置基台，其中基台包括首尾相接的四条边；另外设置第一组推压夹具和第二组推压夹具，并且，第一组推压夹具和第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，第一组推压夹具分布在基台相接的两条边上，第二组推压夹具分布在基台另外相接的两条边上；同时至少在第一组推压夹具中的推压夹具上设置距离传感器，用以测量推压夹具与基台的距离，至少在第二组推压夹具中的推压夹具上设置压力传感器，用以测量推压夹具与待夹持基板之间的压力，从而利用控制电路与推压夹具、距离传感器和压力传感器的电连接，接收距离传感器和压力传感器的反馈信号，根据反馈信号，控制推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。本发明实施例解决了现有基板夹具的夹持位置需要进行人工计算和设定的问题，可以实现对基板的自动对位夹持，节省大量的人力物力及时间成本，保证基板与基台的正交性夹持；同时可避免了人工设置时由误差等导致的对基板的损坏，保证以预设的压力夹持基板，提高夹持过程中基板的良率。

图2是本发明实施例提供的一种基板自动对位夹持装置的局部俯视示意图，参考图2，具体地，该基板自动对位夹具装置中，推压夹具包括夹具基座201以及设置在夹具基座201上驱动马达202和传动杆203，驱动马达202与传动杆203传动连接，传动杆203在垂直基台10的边110的方向上延伸；距离传感器30设置在传动杆203的侧面，压力传感器40设置在传动杆203的顶端；驱动马达202与控制电路60电连接。

需要说明的是，本发明不同实施例中的推压夹具上可单独设置一距离传感器30，也可单独设置一压力传感器40，或者同时设置距离传感器30和压力传感器40。图中所示推压夹具上同时设置有距离传感器30和压力传感器40，其仅用于说明距离传感器30和压力传感器40在传动杆203上的设置位置，并非对每一推压夹具设置距离传感器30和压力传感器40进行限制。

图3是本发明实施例提供的另一种基板自动对位夹持装置的结构示意图，参考图3，进一步地，控制电路60包括控制器61和反馈放大电路62，控制器60与驱动马达202和反馈放大电路62电连接，反馈放大电路62分别与距离传感器30和压力传感器40电连接。其中，反馈放大电路62用于将距离传感器30和压力传感器40采集的信号进行放大处理，生成控制器61所能识别的反馈信号。控制器61通过数据处理过程得出控制指令，以反馈控制各驱动马达202，驱动传动杆203运动。

进一步地，如图2和图3所示，夹具基座201与基台10的相对位置固定，夹具基座201上设置的驱动马达202与夹具基座201固定连接，而传动杆203与驱动马达202传动连接。在控制器61的控制下，驱动马达202可驱动传动杆203进行伸缩运动，传动杆203用以限制或推动基板50的位置。

可选地，继续参考图3，在该基板自动对位夹具装置中，可设置第一组推压夹具21中的推压夹具200上设置有距离传感器30，第二组推压夹具22中的推压夹具200上设置有压力传感器。

在传动杆203的移动过程中，对于第一组推压夹具200，其传动杆203侧面设置的距离传感器30可实时测量与基台10的距离，控制器61可以实时接收距离的反馈信号，在到达预设距离时，则停止驱动传动杆203移动。对于第二组推压夹具200，其传动杆203顶端设置的压力传感器40可实时测量与基板的压力，控制器61可以实时接收压力的反馈信号，在压力值达到预设压力时，则停止驱动传动杆203移动。

图4是本发明实施例提供的又一种基板自动对位夹具装置的结构示意图，参考图4，可选地，该基板自动对位夹具装置中，可设置第一组推压夹具21中的推压夹具200上设置有距离传感器30和压力传感器40，第二组推压夹具22中的推压夹具200上至少设置有压力传感器40。

此时，在实际驱动传动杆203时，第一组推压夹具200上设置的距离传感器30和压力传感器40可以实时向控制器61反馈距离信号和压力信号，因而在通过驱动马达202驱动传动杆203时，可以保证压力值在预设范围内地推动基板50，避免推动基板50的过程中基板50受到较强地压迫而损伤。同时可以保证第一组推压夹具21中的各个推压夹具200的推动力相平均，避免基板50在移动过程中发生歪斜等，从而实现基板整体的移动。

上述实施例中，进一步可选地，基台包括相对的两条第一边和相对的两条第二边，第一边的长度大于或等于第二边；每条第一边均匀分布有至少两个推压夹具，每条第二边均匀分布有至少一个推压夹具。

继续参考图1-4，第一组推压夹具21和第二组推压夹具22分别包括三个推压夹具200，且在基台10相对的两条边110上，推压夹具200一一对应。进一步地，可将第一组推压夹具21和第二组推压夹具22中的各两个推压夹具200设置在相对的两条边110上，并且设置在三分位置处，每组中的另一推压夹具200则设置在另外相对的两条边110上，同时设置在二分位置处。

图5是本发明实施例提供的又一种基板自动对位夹具装置的结构示意图，参考图5，示例性地，基台10包括相对的两条第一边111和相对的两条第二边112，第一边111的长度大于或等于第二边112；每条第一边111均匀分布有两个推压夹具200，每条第二边112均匀分布有两个推压夹具200。

通过在基台10的边上均匀布置推压夹具200，一方面可以保证基板10每条边可以被均匀夹持，同时也能够保证驱动传动杆推动基板50的过程中，基板10的每条边可以多处受力，防止推压压强过大造成基板损伤。

本发明实施例还提供了一种基板自动对位方法，该基板自动对位方法采用上述实施例提供的任意一种基板自动对位夹具装置。图6是本发明实施例提供的一种基板自动对位方法的流程图，参考图1和图6，首先该基板自动对位夹具装置中包括基台10、第一组推压夹具21和第二组推压夹具22，第一组推压夹具21和第二组推压夹具22分别包括至少三个推压夹具200，第一组推压夹具21中的推压夹具200分布在基台10相接的两条边110上，第二组推压夹具22分布在基台10相接的另外两条边110上；至少第一组推压夹具21中的推压夹具200上设置有距离传感器30，至少第二组推压夹具22中的推压夹具200上设置有压力传感器40，距离传感器30用于测量推压夹具200与基台10的距离，压力传感器40用于测量推压夹具200与基板50之间的压力。该基板自动对位方法包括：

S110、在基台上放置基板；

该步骤基板50放置在基台10的过程为人工或自动化放置过程，基板50在基台10上的位置需要进行大致固定，即需要保证基板50位于基台10内，或者需要保证基板50位于各推压夹具200之间，以便于推压夹具200推压基板50最终实现对位夹持。

S120、至少根据距离传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

预设位置由人工根据实际的基台形状和大小进行计算和设定，该预设位置可以体现在与基台10边缘的距离参数，在上述实施例提供的基板自动对位夹具装置中，可将预设的距离参数输入控制器中。在驱动过程中则根据实际的反馈距离信息与预设的距离参数实时比对，直至反馈的距离信息与预设的距离参数相等时，即基板到达预设位置，从而停止对第一组推压夹具21中推压夹具200的移动。

S130、至少根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。

预设压力值同样由人工根据实际试验等方式获得，在上述实施例中，同样可将预设的压力值输入控制器中。在驱动第二组推压夹具22时，则根据实际的反馈压力信息与预设的压力值进行实施比对，直至反馈的压力信息与预设的压力值相等时，即默认基板50移动到位，第二组推压夹具22与第一组推压夹具21以预设的压力值夹持基板50。此处需要说明的是，在第二组推压夹具22推动基板50的过程中，基板50可能因瞬时摩擦力较大而被推压夹具200压迫损伤，而由于推压夹具200对基板50的夹持力通常较小，因而预设压力值设置较小，故在实时监测的压力值发生突增时会由于预设压力值的限制而立即停止推压，因此可以保护基板50。

本发明实施例提供的基板自动对位方法，利用本发明实施例提供的基板自动对位夹具装置，通过先在基台上放置基板，然后至少根据距离传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置，然后至少根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板，解决了现有基板夹具的夹持位置需要进行人工计算和设定的问题，本发明实施例可以实现对基板的自动对位夹持，节省大量的人力物力及时间成本，保证基板与基台的正交性夹持；同时可避免了人工设置时由误差等导致的对基板的损坏，保证以预设的压力夹持基板，提高夹持过程中基板的良率。

图7是本发明实施例提供的另一种基板自动对位方法的流程图，参考图3和图7，其中，第一组推压夹具21中的推压夹具200上设置有距离传感器30，第二组推压夹具22中的推压夹具200上设置有压力传感器40。该基板自动对位方法包括：

S210、在基台上放置基板。

S220、根据距离传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置。

S230、根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。

针对图4所示的基板自动对位夹具装置，本发明实施例还提供了一种基板自动对位方法。图8是本发明实施例提供的又一种基板自动对位方法的流程图，参考图4和图8，其中，第一组推压夹具21中的推压夹具200上设置有距离传感器30和压力传感器40。该基板自动对位方法包括：

S310、在基台上放置基板。

S320、根据距离传感器和压力传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别以预设压力推动基板移动至预设位置。

其中，针对第一组推压夹具21上设置的距离传感器30和压力传感器40，需要向控制器61输入预设的距离参数和压力值，距离传感器和压力传感器实时反馈信号给控制器61，控制器61通过对比反馈的距离信号和压力信号，保证推压夹具以预设的压力推动基板直至预设位置。该过程中可以通过压力传感器40实时测量对基板的推动力，避免摩擦力突增等情况造成的推压夹具压迫基板，防止基板受到损伤。

S330、至少根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持基板。

除上述实施例的基板自动对位夹具装置以及对应的基板自动对位方法外，还可以在第一组推压夹具和第二组推压夹具中的推压夹具上均设置距离传感器和压力传感器。图9是本发明实施例提供的又一种基板自动对位方法的流程图，参考图9，对应地，该基板自动对位方法则包括：

S410、在基台上放置基板；

S420、根据距离传感器和压力传感器的反馈信号，同时控制第一组推压夹具和第二组推压夹具中的推压夹具移动至预设距离，并以预设压力夹持基板。

该过程中的第一组推压夹具和第二组推压夹具可相互作为抵持夹具和驱动夹具。在实际的对位夹持过程中，需要针对第一组推压夹具和第二组推压夹具均设置预设距离和预设压力值，由控制器将预设距离和压力值实时与反馈的距离和压力信号进行比对，以驱动第一组推压夹具和第二组推压夹具移动至预设位置。该过程中，基板可由第一组推压夹具和/或第二组推压夹具进行推动。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种基板自动对位夹具装置，其特征在于，包括：

基台，所述基台包括首尾相接的四条边；

第一组推压夹具和第二组推压夹具，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；

至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与待夹持基板之间的压力；

控制电路，分别与所述推压夹具、所述距离传感器和所述压力传感器电连接，所述控制电路用于根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，控制所述推压夹具移动，直至在预设位置以预设压力夹持所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器；

或者，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器和压力传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上至少设置有压力传感器。

3.根据权利要求2所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括三个推压夹具，且在所述基台相对的两条边上，所述推压夹具一一对应。

4.根据权利要求2所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述基台包括相对的两条第一边和相对的两条第二边，所述第一边的长度大于或等于所述第二边；

每条所述第一边均匀分布有至少两个所述推压夹具，每条所述第二边均匀分布有至少一个所述推压夹具。

5.根据权利要求1所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述推压夹具包括夹具基座以及设置在所述夹具基座上的驱动马达和传动杆，所述驱动马达与所述传动杆传动连接，所述传动杆在垂直所述基台的设置对应夹具基座的边的方向上延伸；

所述距离传感器设置在所述传动杆的侧面，所述压力传感器设置在所述传动杆的顶端；所述驱动马达与所述控制电路电连接。

6.根据权利要求5所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述控制电路包括控制器和反馈放大电路，所述控制器与所述驱动马达和所述反馈放大电路电连接，所述反馈放大电路分别与所述距离传感器和所述压力传感器电连接。

7.一种基板自动对位方法，其特征在于，包括：

在基台上放置所述基板；

至少根据距离传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

至少根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板；

其中，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与所述基板之间的压力。

8.根据权利要求7所述的基板自动对位方法，其特征在于，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有所述距离传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有所述压力传感器；

至少根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置，包括：

根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

至少根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至夹持所述基板，包括：

根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板。

9.根据权利要求7所述的基板自动对位方法，其特征在于，

所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器和压力传感器；

至少根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置，包括：

根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别以预设压力推动所述基板移动至预设位置。

10.根据权利要求7所述的基板自动对位方法，其特征在于，

所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上均设置有距离传感器和压力传感器；

根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，同时控制所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具中的所述推压夹具移动至预设距离，并以预设压力夹持所述基板。

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