CN110320597A - 光器件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供可适当地实施芯层的极化、抑制了包覆层中的裂纹产生的光器件。一种光器件，其是在芯层的上下配置有包覆层且该芯层由EO聚合物构成的光器件，其特征在于，该包覆层使用以含有反应性离子液体的组成进行聚合而得到的聚合物。

Description

光器件
技术领域
本发明涉及光器件，特别是涉及在芯层的上下配置有包覆层并且该芯层由有机电光高分子(以下称为“EO聚合物”)构成的光器件。
背景技术
近年来，使用EO聚合物的光器件作为承担下一代光通信的元件而备受期待(参见专利文献1或2)。
作为EO聚合物中所使用的高分子材料，可以列举例如：聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸类树脂、聚碳酸酯类树脂、环氧类树脂、聚酰亚胺类树脂、有机硅类树脂、聚苯乙烯类树脂、聚酰胺类树脂、聚酯类树脂、酚醛类树脂、聚喹啉类树脂、聚喹喔啉类树脂、聚苯并唑类树脂、聚苯并噻唑类树脂、聚苯并咪唑类树脂等(以下称为“基本骨架树脂”)。
非线性光学有机化合物(以下称为“EO色素”)只要是公知的非线性光学有机化合物就没有特别限定，优选具有如下结构的分子：在一个分子中具备具有供电子性的原子团(以下称为“供体”)和具有吸电子性的原子团(以下称为“受体”)这两者、并且在供体与受体之间配置有π电子共轭体系的原子团。作为这样的分子，具体而言，可以列举分散红类、分散橙类、茋化合物等。
EO聚合物是指通过将上述EO色素添加到高分子材料中或者化学键合于高分子材料的侧链或主链上而导入至高分子材料而得到的物质。该EO聚合物通过经过使供体、受体取向的极化处理而显示出大于无机材料的二次非线性光学效果。另外，在EO色素内的导电性高的π电子共轭体系中电子发生迁移，由此光学特性发生变化，因此能够进行高速工作。
光器件的光波导通常以利用低折射率的包覆层包围高折射率的芯层的结构形成。在使用EO聚合物材料的光器件的情况下，使芯层为肋型的结构并且使上下为包覆层是公知的结构。图1是示出现有的在芯中配置有EO聚合物的光波导结构的一例的截面图。
具有如图1那样的结构的光波导例如如下形成。利用旋涂形成下部包覆层后，通过干法蚀刻等形成沟槽。然后，将使EO聚合物溶解于有机溶剂中而得到的液体利用旋涂进行形成，由此，由EO聚合物形成的芯层具有向下突出的肋部而形成。在其上涂布上部包覆层。光波导并非限于图1的上下翻转的肋型形状，也可以为使矩形的芯层以被下部包覆层和上部包覆层包围的方式进行配置的构成、或者形成为通过不对下部包覆层进行加工而仅使肋部分的EO聚合物残留地进行蚀刻而得到的肋型的构成。
在使用EO聚合物的光器件中，对所形成的EO聚合物层进行一边进行加热一边施加电压的极化处理。通过加热使聚合物软化，通过对EO聚合物层施加电场而使聚合物所含有的具有大的极化率的EO色素进行取向。在维持电场的状态下进行冷却，由此，聚合物发生固化，将EO色素固定，能够维持取向状态。
为了提高极化效率，需要对EO聚合物层高效地施加强电场。施加电场时，根据各层的电阻除以各层的电阻的总和而得到的比例来决定所施加的电场，因此，需要努力使包覆层的电阻降低。EO聚合物通常通过在基本骨架树脂中添加具有导电性的π电子共轭体系结构的EO色素而使电阻值低于基本骨架树脂。
因此，现有的包覆层不能使用未处理的基本骨架树脂，一直使用在树脂内具有羟基的材料等。具体而言，一直使用有机无机杂化树脂，所述有机无机杂化树脂是使用将烷氧基丙烯酸酯和烷氧基硅烷以及聚合引发剂混合而得到的涂布液，涂布、干燥后进行UV照射、加热，由此共聚而得到的。
但是，该有机无机杂化树脂主要在极化时的加热过程中产生由用于促进烷氧基硅烷的水解反应的催化剂、因水解而产生的醇、因脱水缩合而产生的水、聚合引发剂的末端基团的热分解物质等引起的多种气体。由于该气体使得设置于包覆层上的极化电极与包覆层的界面发生剥离，变为浮游状态的部分无法均匀地进行极化。
另外，将极化时的加热设定为150℃以上的情况下，EO聚合物的线性膨胀系数为正的系数，因此，虽然发生膨胀，但对于现有的包覆层而言，因脱水聚合等而发生热收缩，因此，存在因显著的应力而产生裂纹这样的问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2015-501945号公报
专利文献2：日本特开2007-25370号公报
发明内容
发明所要解决的问题
本发明所要解决的问题在于解决如上所述的问题，并提供可适当地实施芯层的极化、抑制了包覆层中的裂纹产生的光器件。
用于解决问题的方法
为了解决上述问题，本发明的光器件具有以下技术特征。
(1)一种光器件，其是在芯层的上下配置有包覆层且该芯层由EO聚合物构成的光器件，其特征在于，该包覆层使用以含有反应性离子液体的组成进行聚合而得到的聚合物。
(2)如上述(1)所述的光器件，其特征在于，该反应性离子液体是具有能够与基本骨架树脂聚合的反应基团的材料。
(3)如上述(1)或(2)所述的光器件，其特征在于，该反应性离子液体为由化学式1表示的材料。
其中，阴离子X-为[N(SO2CF3)2]-、[PF6]-、[BF4]-、Cl-、Br-中的任意一种。另外，R、R’、R”、R”’相同或各自不同地为氢原子、碳原子数1～10的烷基。
(4)如上述(1)～(3)中任一项所述的光器件，其特征在于，在芯层与包覆层之间设置有遮挡该反应性离子液体中所含的离子的迁移的阻挡层。
(5)如上述(4)所述的光器件，其特征在于，该阻挡层由SiO2、Al2O3中的任意一种形成。
发明效果
本发明为在芯层的上下配置有包覆层且该芯层由EO聚合物构成的光器件，其中，该包覆层使用以含有反应性离子液体的组成进行聚合而得到的聚合物，因此，并非是以往那样的阳离子自由基聚合，而成为使用Co络合物的聚合反应，也没有聚合引发剂的残留。因此，在极化电极与包覆层的界面发生剥离、或者在包覆层产生裂纹的现象得到抑制。
附图说明
图1是示出现有的光器件的概要的截面图。
图2是示出本发明的光器件的一例的截面图。
具体实施方式
以下，使用适合例对本发明的光器件详细地进行说明。如图1所示，本发明的光器件是在芯层的上下配置有包覆层且该芯层由EO聚合物构成的光器件，其特征在于，该包覆层使用以含有反应性离子液体的组成进行聚合而得到的聚合物。
作为EO聚合物，可以适当地使用利用PMMA作为基本骨架树脂并且在基本骨架树脂的侧链聚合有分散红1作为EO分子而得到的PMMA-DR1。另外，通过提高EO聚合物的玻璃化转变温度Tg，能够使耐热性提高。这种情况下，通过对基本骨架树脂的侧链赋予金刚烷基等笼型分子或使主骨架树脂为网状结构，能够提高Tg。
本发明的光器件的特征在于，包覆层中所使用的材料并非像以往使烷氧基丙烯酸酯和烷氧基硅烷以及聚合引发剂混合而得到的涂布液那样进行阳离子自由基聚合。具体而言，是使用了反应性离子液体的、基于Co络合物的聚合反应。因此，不会在包覆层残留聚合引发剂。
包覆层使用化学式1所示的反应性离子液体与丙烯酸树脂的聚合物。反应性离子液体是具有能够与基本骨架树脂聚合的反应基团的材料。
化学式1的阴离子X-为[N(SO2CF3)2]-、[PF6]-、[BF4]-、Cl-、Br-中的任意一种。特别是包覆层内的阴离子的扩散成为阴离子侵入芯层的EO聚合物中的原因。因此，体积大的[N(SO2CF3)2]-由于扩散被抑制而更优选。
化学式1的R、R’、R”、R”’相同或各自不同，为氢原子、碳原子数为1～10的烷基。更优选R、R’、R”为氢原子，R”’为氢原子或甲基。
此外，为了抑制包覆层中的阴离子侵入芯层，如图2所示，优选在芯层与包覆层之间设置有遮挡该反应性离子液体中所含的离子的迁移的阻挡层。
作为上述阻挡层，可以适当地使用SiO2、Al2O3中的任意一种。
在以下说明的方法中，制作四种包覆层，实施对特性进行评价的试验。
(实施例1)
制备出将1.5重量％的共荣化学工业公司制造的反应型离子液体IL-MA2、28.5重量％的日本合成化学公司制造的UV-1700B、1.5重量％的BASF公司制造的IRGACURE 127、15重量％的甲醇、15重量％的甲基异丁基酮、3重量％的丁基卡必醇、35.5重量％的正丁醇配合而成的混合液。通过旋涂进行涂布，在100℃下利用加热板进行干燥后，利用300W的UV照射机照射1分钟紫外线使其固化，从而形成包覆层。对该包覆层进行单个测定，结果，室温下的体积电阻为4×1013Ωcm，120℃、150℃、180℃下的体积电阻分别为3×1013Ωcm、2×1013Ωcm、1×1013Ωcm。
(实施例2)
使共荣化学工业公司制造的反应型离子液体IL-MA2为6重量％、使日本合成化学公司制造的UV-1700B为24重量％，除此以外，与实施例1同样地进行配合。对由该混合液制作出的包覆层进行单个测定，结果，室温下的体积电阻为2×1013Ωcm，120℃、150℃、180℃下的体积电阻分别为1×1013Ωcm、5×1012Ωcm、3×1012Ωcm。
(比较例1)
不加入反应型离子液体，使日本合成化学公司制造的UV-1700B为30重量％，除此以外，与实施例1同样地进行配合。对由该混合液制作出的包覆层进行单个测定，结果，室温下的体积电阻为1×1015Ωcm，120℃、150℃、180℃下的体积电阻分别为8×1014Ωcm、6×1014Ωcm、4×1014Ωcm。
(比较例2)
制备出将20重量％的信越化学工业株式会公司制造的丙烯酸硅烷KBM-503、10重量％的关东化学公司制造的四甲基硅烷、1.5重量％的BASF公司制造的IRGACURE 127、15重量％的甲醇、15重量％的甲基异丁基酮、3重量％的丁基卡必醇、35.5重量％的正丁醇配合而成的混合液，在60℃搅拌1小时。对由该混合液制作出的包覆层进行单个测定，结果，室温下的体积电阻为1×1014Ωcm，120℃、150℃、180℃下的体积电阻分别为3×1013Ωcm、2×1013Ωcm、1×1013Ωcm。
(试验方法)
在通过真空蒸镀形成有金电极(下部电极)的硅基板上，使用各包层材料形成下部包覆层，涂布玻璃化转变温度为120℃、150℃、180℃的不同的EO聚合物并干燥后，与下部包覆层同样地利用各种材料形成上部包覆层并进行层叠成膜。制作出与下部电极同样地在该层叠膜基板的一部分上设置有金电极、除此以外的部分没有载置金电极的试验片。
表1中示出针对各种试验片关于表面裂纹、电极剥离、极化来评价特性而得到的结果。
升高至与EO聚合物各自的玻璃化转变温度相同的温度，关于其表面和金电极的剥离状况进行评价。在表面存在裂纹的情况下，将每4英寸晶片有10条以上设定为×，将50条以上或裂纹达到EO聚合物层的状态以×××表示。在存在电极剥离的情况下，将4英寸晶片上有10处以上设为×，并且将波导图案的不良率为10％以上的情况以×××表示。
[表1]
极化处理的评价中，通过以下方法制作出光器件，并进行评价。
在Si基板上形成下部电极，形成上述包覆层作为下部包覆层。通过光刻和干法蚀刻形成成为波导的槽。然后，通过旋涂将EO聚合物溶液进行涂布，使其干燥，由此形成EO聚合物层。然后，与下部包覆层同样地形成上部包覆层，在其上设置电极，升高至EO聚合物的玻璃化转变温度附近，施加直流高电压，由此进行极化处理。然后，对极化电极进行加工，形成信号电极，制作出光器件。关于极化的效果，将存在极化后的光调制强度的试样设为○，将不存在极化后的光调制强度的试样设为×。△表示不均匀地进行了极化。
如表1所示，对于使用了反应型离子液体的包覆层，关于表面裂纹、电极剥离、极化，确认到没有产生不良。
产业上的可利用性
如以上说明的那样，根据本发明，可以提供可适当实施芯层的极化、抑制了包覆层中的裂纹产生的光器件。

Claims (5)

1.一种光器件，其是在芯层的上下配置有包覆层且该芯层由EO聚合物构成的光器件，其特征在于，该包覆层使用以含有反应性离子液体的组成进行聚合而得到的聚合物。
2.如权利要求1所述的光器件，其特征在于，该反应性离子液体是具有能够与基本骨架树脂聚合的反应基团的材料。
3.如权利要求1或2所述的光器件，其特征在于，该反应性离子液体为由化学式1表示的材料，
其中，阴离子X-为[N(SO2CF3)2]-、[PF6]-、[BF4]-、Cl-、Br-中的任意一种，另外，R、R’、R”、R”’相同或各自不同地为氢原子、碳原子数1～10的烷基。
4.如权利要求1～3中任一项所述的光器件，其特征在于，在芯层与包覆层之间设置有遮挡该反应性离子液体中所含的离子的迁移的阻挡层。
5.如权利要求4所述的光器件，其特征在于，该阻挡层由SiO2、Al2O3中的任意一种形成。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10598849B2 (en) * 2018-03-29 2020-03-24 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical device having EO polymer core and specially-polymerized clad

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10754093B2 (en) * 2018-05-15 2020-08-25 Lightwave Logic Inc. Fabrication process of polymer based photonic apparatus and the apparatus

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08166609A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Mitsubishi Chem Corp 非線形光学用積層体及び光導波路素子
CN1345421A (zh) * 1999-03-22 2002-04-17 杰姆法尔公司 光电子器件和光子器件
CN1573377A (zh) * 2003-05-23 2005-02-02 三洋电机株式会社 光器件及其制造方法
CN101535852A (zh) * 2006-11-16 2009-09-16 住友电木株式会社 光导波路及光导波路结构体
CN101592759A (zh) * 2004-10-07 2009-12-02 日立化成工业株式会社 光学材料用树脂组合物、光学材料用树脂薄膜及使用其的光导
CN102159976A (zh) * 2008-09-19 2011-08-17 日立化成工业株式会社 光波导
WO2013024840A1 (ja) * 2011-08-15 2013-02-21 国立大学法人九州大学 高屈折率クラッド材料及び電気光学ポリマー光導波路
WO2014038674A1 (ja) * 2012-09-07 2014-03-13 独立行政法人科学技術振興機構 有機重合薄膜とその製造方法
CN107430295A (zh) * 2015-01-19 2017-12-01 维帝安特光学有限公司 纳米复合物电光调制器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2003295685A1 (en) * 2002-11-19 2004-06-15 Lumera Corporation Electro-optic polymer waveguide devices and method for making such devices
JP2007025370A (ja) 2005-07-19 2007-02-01 Ricoh Co Ltd 有機導波路型光変調器・光通信システム
JP2007121405A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Fuji Xerox Co Ltd 非線形光学材料、及びその製造方法、並びに非線形光学素子
US20130121631A1 (en) 2011-11-11 2013-05-16 Gigoptix, Inc. Dual polarization quadrature modulator
US9765178B2 (en) * 2013-06-19 2017-09-19 Empire Technology Development Llc Self-writing waveguide with nanoparticles
JP2017191203A (ja) * 2016-04-13 2017-10-19 富士フイルム株式会社 積層体および液晶表示装置
JP7035718B2 (ja) * 2018-03-29 2022-03-15 住友大阪セメント株式会社 光デバイス

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08166609A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Mitsubishi Chem Corp 非線形光学用積層体及び光導波路素子
CN1345421A (zh) * 1999-03-22 2002-04-17 杰姆法尔公司 光电子器件和光子器件
CN1573377A (zh) * 2003-05-23 2005-02-02 三洋电机株式会社 光器件及其制造方法
CN101592759A (zh) * 2004-10-07 2009-12-02 日立化成工业株式会社 光学材料用树脂组合物、光学材料用树脂薄膜及使用其的光导
CN101535852A (zh) * 2006-11-16 2009-09-16 住友电木株式会社 光导波路及光导波路结构体
CN102159976A (zh) * 2008-09-19 2011-08-17 日立化成工业株式会社 光波导
WO2013024840A1 (ja) * 2011-08-15 2013-02-21 国立大学法人九州大学 高屈折率クラッド材料及び電気光学ポリマー光導波路
WO2014038674A1 (ja) * 2012-09-07 2014-03-13 独立行政法人科学技術振興機構 有機重合薄膜とその製造方法
CN107430295A (zh) * 2015-01-19 2017-12-01 维帝安特光学有限公司 纳米复合物电光调制器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10598849B2 (en) * 2018-03-29 2020-03-24 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical device having EO polymer core and specially-polymerized clad

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