CN110289239A - 一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，包括移动板、处理器、存放盒和吸取机构，存放盒内设有存放机构，吸取机构包括吸管、风机、固定板和缓冲组件，缓冲组件包括海绵块、平板和若干弹簧，存放机构包括升降板、平移组件、平移块、竖杆、平台和两个升降组件，升降组件包括第一电机、第一连杆和第二连杆，该具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备通过拾取组件将芯片吸附起来，并通过海绵块进行缓冲保护，避免芯片过度受挤压而损坏，而后利用存放机构带动平台移动至芯片的下方，风机停止运行，使得芯片存放在平台上，避免拾取芯片后风机持续抽气，从而减少了能耗，实现节能的效果，进而提高了设备的实用性。
Description
技术领域
本发明涉及芯片拾取设备领域，特别涉及一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备。
背景技术
集成电路(Integrated Circuit，IC)，也称微芯片、晶片或芯片，在电子学中是一种把电路(包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面。
随着半导体行业的发展，集成电路芯片的生产规模也越来越大，在芯片的生产过程中，通常需要利用各种装置进行芯片拾取的操作，现有的芯片拾取设备大都依靠吸盘吸附芯片完成拾取工作，但是在进行拾取过程中，需要风机持续从吸盘内部吸气，保持对芯片的吸附作用力，导致芯片的拾取时间越长，风机的持续时间也越长，进而增大了能耗，不仅如此，现有的芯片拾取设备，难以控制风机的作用力，导致设备无法精确控制吸盘的吸力，吸力过大，容易损坏芯片，吸力过小，又不足以吸附芯片，进而使得现有的芯片拾取设备实用性降低。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，包括移动板、处理器、存放盒和吸取机构，所述吸取机构设置在移动板的下方，所述存放盒的开口向下，所述存放盒固定在移动板的下方，所述存放盒内设有存放机构，所述处理器内设有PLC；
所述吸取机构包括吸管、风机、固定板和缓冲组件，所述吸管固定在移动板的下方，所述风机设置在吸管内，所述固定板与吸管同轴设置，所述固定板固定在吸管上，所述缓冲组件设置在固定板的下方，所述缓冲组件包括海绵块、平板和若干弹簧，所述弹簧周向均匀分布在吸管的外周，所述平板位于吸管的下方，所述平板通过弹簧与固定板连接，所述弹簧处于拉伸状态，所述海绵块固定在平板的下方，所述平板的中心处设有第一通孔，所述海绵块的中心处设有第二通孔，所述第一通孔、第二通孔均与吸管同轴设置，所述第一通孔和第二通孔的内径小于吸管的内径，所述吸管的顶部设有若干出气口；
所述存放机构包括升降板、平移组件、平移块、竖杆、平台和两个升降组件，两个升降组件分别位于升降板的上方的两侧，所述升降组件与升降板传动连接，所述平移组件位于升降板的下方，所述平移组件与平移块传动连接，所述平台通过竖杆固定在平移块的下方；
所述升降组件包括第一电机、第一连杆和第二连杆，所述第一电机固定在存放盒内的底部，所述第一电机与PLC电连接，所述第一电机与第一连杆传动连接，所述第一连杆通过第二连杆与升降板铰接。
作为优选，为了实现平板固定方向的移动，所述缓冲组件还包括若干定向单元，所述定向单元周向均匀分布在吸管的外周，所述定向单元包括支架、定向环和固定轴，所述固定轴固定在平板的上方，所述定向环通过支架固定在固定板的下方，所述定向环套设在固定轴上。
作为优选，为了避免固定轴脱离定向环，所述固定轴的顶端设有凸板。
作为优选，为了检测吸管的正下方有无芯片，所述第一通孔的内壁上设有若干距离传感器，所述距离传感器周向均匀分布在第一通孔的内壁上，所述距离传感器与PLC电连接。
作为优选，为了避免吸管内进灰，所述平板和吸管之间设有滤网，所述滤网的外径大于吸管的外径。
作为优选，为了防止滤网滑动，所述滤网的上方设有安装单元，所述安装单元周向均匀分布在吸管的外周，所述安装单元包括插环和插杆，所述插环固定在吸管上，所述插环套设在插杆上，所述插杆固定在平板的上方。
作为优选，为了检测滤网是否发生堵塞，所述吸管内设有流量计，所述流量计与PLC电连接。
作为优选，为了实现平移块的移动，所述平移组件包括第二电机、丝杆和轴承，所述第二电机和轴承均固定在升降板的下方，所述第二电机与PLC电连接，所述第二电机与丝杆的一端传动连接，所述丝杆的另一端设置在轴承内，所述平移块套设在丝杆上，所述平移块抵靠在升降板的下方，所述平移块的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹。
作为优选，为了保证升降板的稳定移动，所述存放盒的两侧的内壁上均设有滑轨，所述滑轨的形状为U形，所述滑轨的两端固定在存放盒的内壁上，所述升降板套设在滑轨上。
作为优选，为了避免芯片从平台上滑落，所述平台上设有限位框，所述限位框的形状为回形，所述限位框固定在平台的上方。
本发明的有益效果是，该具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备通过拾取组件将芯片吸附起来，并通过海绵块进行缓冲保护，避免芯片过度受挤压而损坏，而后利用存放机构带动平台移动至芯片的下方，风机停止运行，使得芯片存放在平台上，避免拾取芯片后风机持续抽气，从而减少了能耗，实现节能的效果，进而提高了设备的实用性。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备的结构示意图；
图2是本发明的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备的吸取机构的结构示意图；
图3是图2的A部放大图；
图4是本发明的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备的存放机构的结构示意图；
图中：1.移动板，2.处理器，3.存放盒，4.吸管，5.风机，6.固定板，7.海绵块，8.平板，9.弹簧，10.升降板，11.平移块，12.竖杆，13.平台，14.第一电机，15.第一连杆，16.第二连杆，17.支架，18.定向环，19.固定轴，20.凸板，21.距离传感器，22.滤网，23.插环，24.插杆，25.流量计，26.第二电机，27.丝杆，28.轴承，29.滑轨，30.限位框。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示，一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，包括移动板1、处理器2、存放盒3和吸取机构，所述吸取机构设置在移动板1的下方，所述存放盒3的开口向下，所述存放盒3固定在移动板1的下方，所述存放盒3内设有存放机构，所述处理器2内设有PLC；
将移动板1固定安装在芯片的处理设备上后，通过控制移动板1的移动，实现该芯片拾取设备的移动，移动板1的下方，处理器2通过PLC控制设备进行拾取工作，由吸取机构从下方抽气，将芯片吸取上来后，PLC控制存放盒3内的存放机构启动，将芯片进行存放，移动板1移动时，进而带动芯片移动，避免吸取机构持续吸气，耗费过多能源，从而实现了设备的节能效果。
如图2所示，所述吸取机构包括吸管4、风机5、固定板6和缓冲组件，所述吸管4固定在移动板1的下方，所述风机5设置在吸管4内，所述固定板6与吸管4同轴设置，所述固定板6固定在吸管4上，所述缓冲组件设置在固定板6的下方，所述缓冲组件包括海绵块7、平板8和若干弹簧9，所述弹簧9周向均匀分布在吸管4的外周，所述平板8位于吸管4的下方，所述平板8通过弹簧9与固定板6连接，所述弹簧9处于拉伸状态，所述海绵块7固定在平板8的下方，所述平板8的中心处设有第一通孔，所述海绵块7的中心处设有第二通孔，所述第一通孔、第二通孔均与吸管4同轴设置，所述第一通孔和第二通孔的内径小于吸管4的内径，所述吸管4的顶部设有若干出气口；
在拾取芯片时，移动板1带动吸管4移动至芯片的正上方后，PLC控制吸管4内部的风机5启动，将吸管4内的空气通过出气口排出，使得吸管4内的气压减小后，外部的空气通过海绵块7上的第二通孔和平板8上的第一通孔进入吸管4内部，在这过程之间，空气带动下方的芯片向上移动，使得芯片的上表面抵靠在海绵块7的下方，由于海绵块7具有柔软的弹性，因此，避免了对芯片表面造成过度的挤压而引起芯片的损坏，吸管4的外周，通过拉伸状态的弹簧9向上拉动平板8，使得平板8抵靠在吸管4的下方，便于固定平板8和海绵块7的位置，避免平板8和海绵块7脱离吸管4下方。
如图4所示，所述存放机构包括升降板10、平移组件、平移块11、竖杆12、平台13和两个升降组件，两个升降组件分别位于升降板10的上方的两侧，所述升降组件与升降板10传动连接，所述平移组件位于升降板10的下方，所述平移组件与平移块11传动连接，所述平台13通过竖杆12固定在平移块11的下方；
所述升降组件包括第一电机14、第一连杆15和第二连杆16，所述第一电机14固定在存放盒3内的底部，所述第一电机14与PLC电连接，所述第一电机14与第一连杆15传动连接，所述第一连杆15通过第二连杆16与升降板10铰接。
当风机5抽气，将芯片吸附到海绵块7的下方后，PLC控制存放机构中的两个升降组件同时启动，第一电机14运行，带动第一连杆15转动，第一连杆15通过第二连杆16作用在升降板10上，使得升降板10沿着竖直方向上向下移动，进而带动平移组件、平移块11向下移动，通过竖管使得平台13移动至存放盒3的下方后，平台13的高度低于芯片的高度，而后PLC控制存放盒3内的平移组件启动，带动平移块11向吸管4靠近移动，使得平台13移动至芯片的下方后，PLC控制吸管4内的风机5停止运行，此时芯片落在平台13上，移动板1移动时，通过平台13带动芯片同步移动，避免拾取芯片后风机5持续抽气，增加设备的能耗，通过暂时存放芯片可节省能耗，进而提高了设备的实用性。
作为优选，为了实现平板8固定方向的移动，所述缓冲组件还包括若干定向单元，所述定向单元周向均匀分布在吸管4的外周，所述定向单元包括支架17、定向环18和固定轴19，所述固定轴19固定在平板8的上方，所述定向环18通过支架17固定在固定板6的下方，所述定向环18套设在固定轴19上。
通过支架17固定了定向环18的位置，将平板8上方的固定轴19穿过定向环18，当平板8移动时，固定轴19沿着定向环18上下移动，从而固定了平板8的固定方向的移动，同时避免平板8和海绵块7左右滑动，进而使得第一通孔和第二通孔位于吸管4的正下方，当风机5启动后，能够将外部空气引入吸管4内，完成芯片的吸附拾取工作。
作为优选，为了避免固定轴19脱离定向环18，所述固定轴19的顶端设有凸板20。由于凸板20无法通过定向环18，因此在固定轴19的顶端增设凸板20，避免了固定轴19脱离定向环18。
作为优选，为了检测吸管4的正下方有无芯片，所述第一通孔的内壁上设有若干距离传感器21，所述距离传感器21周向均匀分布在第一通孔的内壁上，所述距离传感器21与PLC电连接。利用距离传感器21检测设备与下方障碍物的距离，并将距离数据实时传递给PLC，当移动板1进行平移后，当吸管4的边缘位置位于芯片上方后，其中某个距离传感器21检测的距离数据缩小，移动板1继续移动，使得第一通孔内的各个距离传感器21均位于芯片正上方，此时PLC接收到的各个距离数据均相等，而后PLC控制风机5启动，可将芯片吸附上来。
作为优选，为了避免吸管4内进灰，所述平板8和吸管4之间设有滤网22，所述滤网22的外径大于吸管4的外径。将滤网22放置在吸管4和平板8之间，可对进入吸管4内部的空气进行过滤，避免吸管4内部进灰，保证吸管4内的洁净。
如图3所示，所述滤网22的上方设有安装单元，所述安装单元周向均匀分布在吸管4的外周，所述安装单元包括插环23和插杆24，所述插环23固定在吸管4上，所述插环23套设在插杆24上，所述插杆24固定在平板8的上方。在放置滤网22时，向下拉动平板8，而后在吸管4的下方放入滤网22，并使滤网22上的插杆24正对插环23后，松开平板8，此时受拉伸的弹簧9带动平板8上移，带动滤网22上移，使得滤网22上的插杆24穿过插环23，可避免滤网22在吸管4的下方发生滑动，进而固定了滤网22的位置。
作为优选，为了检测滤网22是否发生堵塞，所述吸管4内设有流量计25，所述流量计25与PLC电连接。利用流量计25检测进入吸管4内部的空气流量，并将流量数据传递给PLC，PLC检测到流量数据小时，即可确定滤网22的表面积灰过多而引起堵塞，此时可向下拉动平板8，将滤网22向下移动，使得插杆24脱离插环23，即可取下滤网22，对滤网22进行清洁。
如图4所示，所述平移组件包括第二电机26、丝杆27和轴承28，所述第二电机26和轴承28均固定在升降板10的下方，所述第二电机26与PLC电连接，所述第二电机26与丝杆27的一端传动连接，所述丝杆27的另一端设置在轴承28内，所述平移块11套设在丝杆27上，所述平移块11抵靠在升降板10的下方，所述平移块11的与丝杆27的连接处设有与丝杆27匹配的螺纹。
PLC控制第二电机26启动，带动丝杆27在轴承28的支撑作用下旋转，丝杆27通过螺纹作用在平移块11上，使得平移块11发生移动。
作为优选，为了保证升降板10的稳定移动，所述存放盒3的两侧的内壁上均设有滑轨29，所述滑轨29的形状为U形，所述滑轨29的两端固定在存放盒3的内壁上，所述升降板10套设在滑轨29上。利用固定在存放盒3内部的滑轨29，固定了升降板10的移动方向，使得升降组件启动后，带动升降板10沿着滑轨29进行移动。
作为优选，为了避免芯片从平台13上滑落，所述平台13上设有限位框30，所述限位框30的形状为回形，所述限位框30固定在平台13的上方。平移组件带动竖杆12靠近吸管4后，平台13上的限位框30位于吸管4的正下方，风机5停止运行，使得芯片落在平台13的上方限位框30的内侧，利用限位框30限制了芯片在平台13上的位置，避免芯片从平台13上滑落。
该芯片拾取设备运行时，风机5启动进行抽气，使得芯片被吸附在缓冲组件中的海绵块7上，由于海绵块7具有柔软的弹性，避免芯片过度受挤压而损坏，在芯片吸附后，升降组件带动升降板10向下移动，使得平台13向下移动后，平移组件带动平移块11靠近吸管4移动，使得平台13位于芯片的正下方后，PLC控制风机5停止运行，芯片落在平台13上，此时芯片随着移动板1的移动而移动，避免设备拾取芯片后，风机5持续运行抽气，从而减少了设备的能耗，实现了节能的效果，提高了设备的实用性。
与现有技术相比，该具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备通过拾取组件将芯片吸附起来，并通过海绵块7进行缓冲保护，避免芯片过度受挤压而损坏，而后利用存放机构带动平台13移动至芯片的下方，风机5停止运行，使得芯片存放在平台13上，避免拾取芯片后风机5持续抽气，从而减少了能耗，实现节能的效果，进而提高了设备的实用性。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (10)
1.一种具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，包括移动板(1)、处理器(2)、存放盒(3)和吸取机构，所述吸取机构设置在移动板(1)的下方，所述存放盒(3)的开口向下，所述存放盒(3)固定在移动板(1)的下方，所述存放盒(3)内设有存放机构，所述处理器(2)内设有PLC；
所述吸取机构包括吸管(4)、风机(5)、固定板(6)和缓冲组件，所述吸管(4)固定在移动板(1)的下方，所述风机(5)设置在吸管(4)内，所述固定板(6)与吸管(4)同轴设置，所述固定板(6)固定在吸管(4)上，所述缓冲组件设置在固定板(6)的下方，所述缓冲组件包括海绵块(7)、平板(8)和若干弹簧(9)，所述弹簧(9)周向均匀分布在吸管(4)的外周，所述平板(8)位于吸管(4)的下方，所述平板(8)通过弹簧(9)与固定板(6)连接，所述弹簧(9)处于拉伸状态，所述海绵块(7)固定在平板(8)的下方，所述平板(8)的中心处设有第一通孔，所述海绵块(7)的中心处设有第二通孔，所述第一通孔、第二通孔均与吸管(4)同轴设置，所述第一通孔和第二通孔的内径小于吸管(4)的内径，所述吸管(4)的顶部设有若干出气口；
所述存放机构包括升降板(10)、平移组件、平移块(11)、竖杆(12)、平台(13)和两个升降组件，两个升降组件分别位于升降板(10)的上方的两侧，所述升降组件与升降板(10)传动连接，所述平移组件位于升降板(10)的下方，所述平移组件与平移块(11)传动连接，所述平台(13)通过竖杆(12)固定在平移块(11)的下方；
所述升降组件包括第一电机(14)、第一连杆(15)和第二连杆(16)，所述第一电机(14)固定在存放盒(3)内的底部，所述第一电机(14)与PLC电连接，所述第一电机(14)与第一连杆(15)传动连接，所述第一连杆(15)通过第二连杆(16)与升降板(10)铰接。
2.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述缓冲组件还包括若干定向单元，所述定向单元周向均匀分布在吸管(4)的外周，所述定向单元包括支架(17)、定向环(18)和固定轴(19)，所述固定轴(19)固定在平板(8)的上方，所述定向环(18)通过支架(17)固定在固定板(6)的下方，所述定向环(18)套设在固定轴(19)上。
3.如权利要求2所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述固定轴(19)的顶端设有凸板(20)。
4.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述第一通孔的内壁上设有若干距离传感器(21)，所述距离传感器(21)周向均匀分布在第一通孔的内壁上，所述距离传感器(21)与PLC电连接。
5.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述平板(8)和吸管(4)之间设有滤网(22)，所述滤网(22)的外径大于吸管(4)的外径。
6.如权利要求5所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述滤网(22)的上方设有安装单元，所述安装单元周向均匀分布在吸管(4)的外周，所述安装单元包括插环(23)和插杆(24)，所述插环(23)固定在吸管(4)上，所述插环(23)套设在插杆(24)上，所述插杆(24)固定在平板(8)的上方。
7.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述吸管(4)内设有流量计(25)，所述流量计(25)与PLC电连接。
8.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述平移组件包括第二电机(26)、丝杆(27)和轴承(28)，所述第二电机(26)和轴承(28)均固定在升降板(10)的下方，所述第二电机(26)与PLC电连接，所述第二电机(26)与丝杆(27)的一端传动连接，所述丝杆(27)的另一端设置在轴承(28)内，所述平移块(11)套设在丝杆(27)上，所述平移块(11)抵靠在升降板(10)的下方，所述平移块(11)的与丝杆(27)的连接处设有与丝杆(27)匹配的螺纹。
9.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述存放盒(3)的两侧的内壁上均设有滑轨(29)，所述滑轨(29)的形状为U形，所述滑轨(29)的两端固定在存放盒(3)的内壁上，所述升降板(10)套设在滑轨(29)上。
10.如权利要求1所述的具有节能效果的防损坏的芯片拾取设备，其特征在于，所述平台(13)上设有限位框(30)，所述限位框(30)的形状为回形，所述限位框(30)固定在平台(13)的上方。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013180891A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Ushio Inc | 基板搬送装置 |
| CN106449881A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-02-22 | 东莞市北扬工业设计有限公司 | 一种光伏板的无损输送装置 |
| CN206798617U (zh) * | 2017-04-21 | 2017-12-26 | 迅得机械（东莞）有限公司 | 一种板件吸取装置 |
| CN109116218A (zh) * | 2018-09-07 | 2019-01-01 | 长鑫存储技术有限公司 | 抓取装置及具有该抓取装置的电子芯片测试设备 |
| CN208352282U (zh) * | 2018-07-17 | 2019-01-08 | 锐捷光电科技（江苏）有限公司 | 一种用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的icp基板吸取结构 |
-
2019
- 2019-04-12 CN CN201910293708.3A patent/CN110289239B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013180891A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Ushio Inc | 基板搬送装置 |
| CN106449881A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-02-22 | 东莞市北扬工业设计有限公司 | 一种光伏板的无损输送装置 |
| CN206798617U (zh) * | 2017-04-21 | 2017-12-26 | 迅得机械（东莞）有限公司 | 一种板件吸取装置 |
| CN208352282U (zh) * | 2018-07-17 | 2019-01-08 | 锐捷光电科技（江苏）有限公司 | 一种用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的icp基板吸取结构 |
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