CN110249266B - 描绘装置及描绘方法 - Google Patents

Abstract

描绘装置(1)的光调制部(46)对来自光源(43)的光进行调制。扫描机构(2)在基板(9)上扫描通过光调制部(46)而调制的光。控制部(6)根据描绘数据控制光调制部(46)及扫描机构(2)，以执行对基板(9)的描绘。控制部(6)具备存储部及数据生成部。关于显示基板(9)的来自基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，存储部预先存储对以各伸缩率伸缩的基板(9)进行描绘的情况的图像的行程长度数据(run‑length data)而作为多个初始描绘数据。数据生成部利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据基板(9)的实际伸缩率而自多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。由此，可迅速且精度良好地对产生伸缩的基板(9)进行描绘。

Description

描绘装置及描绘方法

技术领域

本发明涉及一种在对象物上描绘图像的技术。

背景技术

当前，通过对形成于半导体基板、印刷电路基板或者电浆显示设备或液晶显示设备用的玻璃基板等(以下，称为“基板”)的感光材料照射光，而进行图案的描绘。近年来，伴随图案的高精细化，利用有一种描绘装置，其在感光材料上扫描经调制的光束而直接描绘图案。

在所述的描绘装置中，在基板产生有翘曲、畸形、失真等变形的情况下，配合基板的变形而补正描绘数据。通常通过测量设置于基板上的对准标记等的标记的位置，且根据测量结果计算出基板上的各位置的位移后，使各位置的描绘数据与该位移整合而进行描绘数据的补正。

例如，在日本专利第5752967号公报(文献1)中，提出有一种根据描绘图案的衬底图案来求得偏移量从而补正描绘数据时，对应于比像素尺寸小的偏移量而对描绘数据进行补正的技术。具体而言，在文献1的描绘装置中，从第1栅格化开始位置将以向量数据记述的描绘图案栅格化而获取第1描绘数据。此外，从第2栅格化开始位置将描绘图案栅格化而获取第2描绘数据，其中，该第2栅格化开始位置是从第1栅格化开始位置位移了比像素尺寸小的位移量的位置。然后，选择第1描绘数据及第2描绘数据中的与用以补正相对于衬底图案的位置偏移的补正量对应的描绘数据，且根据该补正量进行补正。

此外，在不是这种衬底图案的局部失真(即，非线形失真)，而是产生有基板整体的伸缩(即，线形失真)的情况下，在已知的描绘装置中进行机械式的补正。具体而言，调整在感光材料上进行扫描的光束的调制间隔，并且，调整光束的扫描区域的宽度方向上的步进移动的间隔。从而，使描绘于基板上的图案纵横伸缩。

然而，在薄膜基板、印刷电路基板、树脂基板或金属基板等的伸缩较大的基板中，在如上述的描绘装置的机械性补正中，存在有不能与基板的伸缩对应的情况。

发明内容

本发明是用于将图像描绘在对象物上的描绘装置，其目的在于迅速地对产生伸缩的对象物进行描绘。本发明还可以是用于将图像描绘在对象物上的描绘方法。

本发明的描绘装置具备：光源；光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；及控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘；所述控制部具备：存储部，其针对显示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘的情况的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；及数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据，是根据所述对象物的实际伸缩率而从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。根据该描绘装置，可迅速地对产生伸缩的对象物进行描绘。

在本发明的一优选实施方式中，还具备摄像部，其拍摄位于所述对象物上的多个标记，所述控制部还具备伸缩率获取部，该伸缩率获取部根据所述摄像部的摄像结果，获取所述多个标记的测量位置，且比较所述多个标记的所述测量位置与设计位置，从而获取所述对象物的实际伸缩率。

在本发明的另一优选实施方式中，在所述数据生成部中，假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据而生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含：利用所述扫描机构进行的向主扫描方向扫描时利用所述光调制部进行的调制间隔的变更、及利用所述扫描机构进行的向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

在本发明的又一优选实施方式中，在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，所述数据生成部在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

更优先地，利用所述数据生成部进行的对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分的补正，是对所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

在本发明的再一优选实施方式中，在所述多个初始描绘数据内不包含与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据的情况下，中止对所述对象物的描绘且开始进行对其他的对象物的描绘，在与对其他的对象物的描绘并行地生成与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据之后，进行对所述对象物的描绘。

上述目的及其他的目的、特征、方式及益处，根据以下进行的本发明的详细的说明，且参照所附的图而变得更加清楚。

附图说明

图1为描绘装置的侧视图。

图2为描绘装置的俯视图。

图3为控制部的框图。

图4为表示描绘装置的描绘流程的图。

图5为表示描绘装置的描绘流程的图。

具体实施方式

图1为表示本发明的一实施方式的描绘装置1的构成的侧视图。图2为表示描绘装置1的俯视图。描绘装置1是通过对设置于描绘的对象物即薄膜基板、印刷电路基板、树脂基板或金属基板等(以下，简称为「基板9」)的表面的感光材料照射光，而在基板9上直接描绘电路图案等的图像的直接描绘装置。

描绘装置1具备扫描机构2、基板保持部3、光照射部4及摄像部5。基板保持部3保持基板9，该基板9在(+Z)侧的主面91(以下，称为「上面91」)上形成有感光材料的层。扫描机构2设置于基台11上，且向垂直于Z方向的X方向及Y方向移动基板保持部3。或者说，扫描机构2是水平移动基板保持部3的保持部移动机构。

在基台11上横跨基板保持部3及扫描机构2而固定有框架12。光照射部4及摄像部5安装于框架12。光照射部4对基板9上的感光材料照射经调制的光。摄像部5例如横跨于基板9的X方向的全宽而设置，对基板9的上面91进行摄像。此外，如图1所示，描绘装置1具备控制扫描机构2、光照射部4及摄像部5等各结构的控制部6。再者，在图2中，省略控制部6的图示。

基板保持部3具备工件台31、工件台旋转机构32及支撑板33。基板9载置于工件台31上。支撑板33可旋转地支撑工件台31。工件台旋转机构32在支撑板33上，使工件台31以垂直于基板9的上面91的旋转轴321为中心进行旋转。

扫描机构2具备副扫描机构23、底板24及主扫描机构25。副扫描机构23使基板保持部3沿X方向(以下，称为“副扫描方向”)移动。底板24经由副扫描机构23而支撑支撑板33。主扫描机构25使基板保持部3与底板24一同沿垂直于X方向的Y方向(以下，称为“主扫描方向”)移动。在描绘装置1中，通过扫描机构2，使基板保持部3向与基板9的上面91平行的主扫描方向及副扫描方向移动。

副扫描机构23，具备线性马达231及一对线性导轨232。线性马达231，在支撑板33的下侧(即(-Z)侧)，沿平行于工件台31的主面、且与主扫描方向垂直的副扫描方向延长。一对线性导轨232沿副扫描方向延长。一对线性导轨232配置于线性马达231的(+Y)侧及(-Y)侧。主扫描机构25，具备线性马达251及一对气动滑块252。线性马达251在底板24的下侧，沿平行于工件台31的主面的主扫描方向延长。一对气动滑块252沿主扫描方向延长。一对气动滑块252配置于线性马达251的(+X)侧及(-X)侧。

如图2所示，光照射部4具备沿副扫描方向且以等间距排列而被安装于框架12的多个(本实施方式中为8个)的光学头41。此外，如图1所示，光照射部4具备连接于各光学头41的光源光学系统42、射出紫外光的光源43及光源驱动部44。光源43是固体激光。通过驱动光源驱动部44，从光源43射出波长355nm的紫外光，且经由光源光学系统42被向光学头41引导。

各光学头41具备射出部45、光学系统451、47及光调制部46。射出部45向下方射出来自光源43的光。光学系统451将来自射出部45的光反射后向光调制部46引导。光调制部46调制经由光学系统451照射的来自射出部45的光(即，来自光源43的光)并进行反射。光学系统47将来自光调制部46的经调制的光向设置于基板9的上面91的感光材料上引导。

光调制部46例如具备衍射光栅型(diffraction grating)的多个光调制组件，该其等光调制组件将经由射出部45而被照射的来自光源43的光向基板9的上面91引导。作为衍射光栅型的光调制组件，例如已知一种GLV(Grating Light Valve：光栅式光阀)(Silicon Light Machines(森尼韦尔、加利福尼亚州)的注册商标)。再者，在光调制部46中，也可利用衍射光栅型的光调制组件以外的各种各样的光调制组件或光调制装置。此外，光调制部46的对光的调制，也可仅为ON/OFF，也可将ON时的光量变更为多阶层。

在描绘装置1中，对通过扫描机构2的主扫描机构25而沿主扫描方向移动的基板9，照射通过光照射部4的光调制部46调制的光。或者说，主扫描机构25作为一种照射位置移动机构，其使来自光调制部46而被向基板9引导的光的照射在基板9上的照射位置，相对于基板9而沿主扫描方向相对地移动。再者，在描绘装置1中，例如也可不移动基板9，而通过使光调制部46沿主扫描方向移动以使基板9上的照射位置沿主扫描方向移动。在描绘装置1中，使基板9沿副扫描方向步进移动而确定了副扫描方向上的光的照射位置之后，一面控制光调制部46的对光的调制，一面使基板9沿主扫描方向移动。在描绘装置1中，通过反复地进行该动作，在基板9上描绘图案。

图3为表示控制部6的功能的框图。在图3中，还一并描绘控制部6以外的构成。控制部6具备存储部61、行程长度数据生成部62、数据生成部63、伸缩率获取部64及描绘控制部65。控制部6与普通的计算机相同，将进行各种运算处理的CPU、作为存储或运算处理被执行的程序的作业区域的RAM、存储基本程序的ROM、存储各种信息的固定磁盘、对作业者显示各种信息的显示器、及键盘、鼠标等的输入部等连接而构成。在图3中，显示有通过控制部6的CPU等根据程序进行运算处理等而实现的多个功能。再者，其等的功能也可通过复数台的计算机而实现。

存储部61存储通过CAD(Computer Aided Design，计算机辅助设计)等制成的图案数据，作为描绘于基板9的图像的数据。图案数据是电路图案等图像的设计数据。图案数据通常为多边形等的向量数据。行程长度数据生成部62将该向量数据变换而生成行程长度数据。通过行程长度数据生成部62生成的行程长度数据，被储存在存储部61。数据生成部63，根据基板9的变形对存储在存储部61的行程长度数据进行补正，生成最终的描绘数据。描绘控制部65根据该描绘数据，控制光调制部46及扫描机构2，从而在基板9上扫描通过光调制部46调制的光，执行对基板9的描绘。伸缩率获取部64获取基板9的伸缩率。

其次，对补正描绘在基板上的电路图案的数据的处理的基本概念进行说明。图案数据通常在假定为无变形且上面平坦的理想形状的基板(以下，称为“基准状态的基板”)的情况下而制成。然而，实际的基板上有时却会产生伴随前步骤的处理而导致的伸缩及失真等的变形。该情况下，若将电路图案描绘在以图案数据设定的基板上的配置位置，则不能获得所期望的产品。因此，需要以配合产生在基板的变形而形成电路图案的方式，进行根据基板的变形而变换电路图案的描绘位置的补正处理。

在已知的描绘装置中，基板的源于基准状态的伸缩通过光调制部及扫描机构的机械性补正而加以应对。具体而言，在基板向主扫描方向伸展的情况下，例如，使光调制部中的光的调制间隔增大。此外，在基板向副扫描方向伸展的情况下，例如，使副扫描机构的在基板上的光的照射位置的步进移动距离(即，主扫描机构的光的扫描区域的副扫描方向上的间隔)增大。然而，能够以这种机械性补正进行应对的伸缩率(以下，称为“应对极限伸缩率”)，例如为100ppm左右。

因此，在图1及图2所示的描绘装置1中，为了还能应对超过应对极限伸缩率的基板9的伸缩，首先，根据基板9的伸缩进行使电路图案整体伸缩的线形补正(所谓的整体校准)。然后，根据基板9的局部失真，进行补正电路图案的一部分形状的非线形补正(所谓的局部校准)，而生成描绘数据。

图4为表示描绘装置1的描绘流程的图。在描绘装置1中，首先设定显示基板9的源于基准状态的伸缩程度的多个伸缩率。以下，将被设定的伸缩率称为“设定伸缩率”。多个设定伸缩率，分别比应对极限伸缩率大。多个设定伸缩率，例如，在0ppm至+10000ppm之间每隔100ppm而设定。该多个设定伸缩率，例如还包含基板9不伸缩的情况的伸缩率(即，基准状态的伸缩率)即0ppm。并且，对以各设定伸缩率伸缩的基板9进行描绘的情况的图像的行程长度数据通过行程长度数据生成部62所生成。与多个设定伸缩率对应的多个行程长度数据作为多个初始描绘数据而被储存在图3所示的控制部6的存储部61(步骤S11)。即，初始描绘数据是将以设定伸缩率使所述图案数据伸缩者变换为行程长度数据的数据。

其次，通过摄像部5拍摄位于基板9的上面91上的多个标记(步骤S12)。该多个标记，例如，是为了利用在基板9的定位等而设置的对准标记(即整体校准标记)。再者，只要可正确地特定该位置，标记不限于对准标记，例如也可为设置于基板的贯通孔或电路图案的一部分。通过摄像部5获取的图像，被传送至伸缩率获取部64。

在伸缩率获取部64中，根据摄像部5的摄像结果(即，步骤S12的摄像结果)，获取所述多个标记的测量位置。然后，比较该多个标记的测量位置、与预先存储在存储部61的该多个标记的设计位置(即，基准状态的基板9上的多个标记的位置)。从而，获取基板9的实际伸缩率(步骤S13)。通过伸缩率获取部64获取的基板9的实际伸缩率，被传送至数据生成部63。

在数据生成部63中，根据基板9的实际伸缩率，从步骤S11中被预先存储在存储部61的多个初始描绘数据中，选择一个初始描绘数据。以下，将选出的初始描绘数据称为“选择描绘数据”。初始描绘数据例如为与最接近于基板9的实际伸缩率的设定伸缩率对应的行程长度数据。基板9的实际伸缩率与该最接近的设定伸缩率的差为所述应对极限伸缩率以下。在数据生成部63中，利用选择描绘数据进行描绘数据的生成(步骤S14)。

具体而言，根据该描绘区域的失真(即，各描绘块的失真)，对选择描绘数据中的分别与预先被设定在基板9上的描绘区域的多个描绘块对应的部分(以下，称为“区块描绘数据”)进行补正。多个描绘块，例如为将描绘区域分割成矩阵状的区域，且分别为矩形的区域。描绘区域的失真是比与应对极限伸缩率对应的变形小的变形。

描绘区域的失真，例如，通过摄像部5拍摄位在基板9的上面91上的多个标记(所谓的局部校准标记)，且根据摄像结果而求得。用以求得描绘区域的失真的标记的摄像，也可与步骤S12中的多个标记的摄像分别进行，也可同步进行。各区块描绘数据的补正，例如为源自描绘区域中的各描绘块的设计位置的位置偏移的补正。即，使区块描绘数据的坐标位移基板9上的描绘块的实际位置与该描绘块的设计位置的差。

通过数据生成部63生成的描绘数据，被传送至描绘控制部65。然后，通过描绘控制部65根据描绘数据控制扫描机构2及光调制部46，执行对基板9的图案的描绘(步骤S15)。具体而言，如上所述，通过一面控制光调制部46的对光的调制，一面使基板9沿主扫描方向移动，以进行向沿主扫描方向延伸的线状或带状的扫描区域的描绘。该扫描区域是当扫描机构2进行向主扫描方向的光的扫描时，通过该光扫描的基板9上的区域。接着，在基板9沿副扫描方向步进移动既定的距离之后，一面控制光调制部46的对光的调制一面使基板9沿主扫描方向移动，从而在副扫描方向上进行向邻接于所述扫描区域的下一扫描区域的描绘。然后，通过依序进行向排列于副扫描方向的多个扫描区域的描绘，而进行向基板9上的图案的描绘。

在描绘装置1中，在步骤S13中获取的基板9的实际伸缩率、与对应于步骤S14中选出的选择描绘数据的设定伸缩率不同的情况下，该设定伸缩率与实际伸缩率的差可以以所述的机械性补正进行应对，因此，在步骤S15中的对基板9的描绘时被机械性地补正。例如，主扫描方向上的伸缩率的差通过利用扫描机构2进行的向主扫描方向扫描时的光调制部46的对光的调制间隔的变更而被补正。副扫描方向上的伸缩率的差，例如，通过利用扫描机构2进行的向主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域的在副扫描方向上的间隔的变更而被补正。具体而言，变更副扫描机构23的基板9的向副扫描方向的步进移动的距离。或者，利用变焦透镜，变更照射在基板9上的光的副扫描方向的宽度。

如以上说明，描绘装置1具备光源43、光调制部46、扫描机构2及控制部6。光调制部46调制来自光源43的光。扫描机构2在对象物(即基板9)上扫描通过光调制部46调制的光。控制部6通过根据描绘数据控制光调制部46及扫描机构2，执行对基板9的描绘。控制部6具备存储部61及数据生成部63。存储部61对于显示基板9的来自基准状态的伸缩程度的多个伸缩率而预先存储对以各伸缩率伸缩的基板9进行描绘的情况的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据(步骤S11)。数据生成部63利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据基板9的实际伸缩率而从多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据(步骤S14)。从而，每当对产生伸缩的基板9进行描绘时，由于不需要重新制作配合基板9的伸缩率的行程长度数据，因此可迅速地生成描绘数据。其结果，可迅速且精度良好地对产生伸缩的基板9进行描绘。

如上所述，描绘装置1还具备摄像部5。摄像部5拍摄位于基板9上的多个标记(步骤S12)。控制部6还具备伸缩率获取部64。伸缩率获取部64根据摄像部5的摄像结果，获取该多个标记的测量位置，且比较多个标记的测量位置与设计位置，从而获取基板9的实际伸缩率(步骤S13)。从而，可在描绘装置1内获取基板9的实际伸缩率。此外，通过还将所述多个标记的摄像结果利用在描绘装置1内的基板9的定位，可缩短基板9的描绘所需的时间。

在描绘装置1中，在所述多个伸缩率内包含比应对极限伸缩率大的伸缩率。如上所述，作为应对极限伸缩率，在数据生成部63中，假定利用与基准状态对应的初始描绘数据而生成描绘数据的情况下，是可通过利用扫描机构2进行的向主扫描方向扫描时的光调制部46的调制间隔的变更、及利用扫描机构2进行的向主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域的在副扫描方向上的间隔的变更而描绘的基板9的伸缩率的上限值。从而，即使对于以在描绘装置1中的所述机械性补正中不能应对的伸缩率而伸缩的基板9，也可精度良好地进行描绘。

在以描绘装置1进行描绘的基板9上的描绘区域设定有多个描绘块。数据生成部63在生成描绘数据时，根据描绘区域的失真，对选择描绘数据的分别与多个描绘块对应的部分进行补正(步骤S14)。从而，可与基板9上的描绘区域的失真对应，精度良好地描绘图像。

此外，数据生成部63的分别与选择描绘数据的多个描绘块对应的部分的补正，是源自描绘区域的多个描绘块的各设计位置的位置偏移的补正。如上所述，在描绘装置1中，由于通过选自多个初始描绘数据中的选择描绘数据的选择而进行基板9的较大的伸缩的补正，因此可依此而简化描绘区域的失真的补正。

图5为显示描绘装置1的描绘流程的其他例子的图。图5中的步骤S11～S13的动作与图4所示的步骤S11～S13相同。此外，图5中的步骤S14、S15的动作与图4所示的步骤S14、S15相同。

在图5所示的例中，当在数据生成部63中选择选择描绘数据时，将最接近基板9的实际伸缩率的设定伸缩率、与基板9的实际伸缩率的差，与应对极限伸缩率进行比较。然后，在该伸缩率的差比应对极限伸缩率大的情况下，判断为与基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据未被包含在预先存储在存储部61的多个初始描绘数据内，进而中止选择描绘数据的选择(步骤S131)。

然后，中止对基板保持部3上的基板9的描绘，且从描绘装置1搬出基板9。接着，将下一片基板9搬入描绘装置1(步骤S132)，返回步骤S12，对该下一片基板9进行摄像、伸缩率的获取、及伸缩率的比较(步骤S12、S13、S131)。然后，在与该下一片基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据包含在预先存储在存储部61的多个初始描绘数据内的情况下，进行选择描绘数据的选择，并进行描绘数据的生成、及图像的描绘(步骤S14、S15)。

在描绘装置1中，通过行程长度数据生成部62生成与在步骤S132中被搬出的基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据，且储存在存储部61。该初始描绘数据的生成，优选为与对其他的基板9(例如，所述的下一片基板9)的描绘同步进行。然后，在对该其他的基板9的描绘结束之后(例如，在对一批量内包含的复数片基板9的描绘结束之后)，进行对在步骤S132中被搬出的基板9的描绘。

如此，在描绘装置1中，在与基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据未包含在所述多个初始描绘数据内的情况下，中止对基板9的描绘，开始对其他的基板9的描绘。此外，与对该其他的基板9的描绘同步，生成与被中止描绘的基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据。然后，进行对该基板9的描绘。从而，可缩短对复数片基板9的描绘所需的时间。

再者，在描绘装置1中，在与基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据未包含在所述多个初始描绘数据内的情况下，也可不搬出基板9，而生成与基板9的实际伸缩率对应的初始描绘数据，进行对基板9的描绘。其中，从描绘装置1的节拍缩短的观点考虑，优选进行图5所示的所述处理。

在所述描绘装置1中，可进行各种各样的变更。

例如，数据生成部63的对各区块描绘数据的补正，不限于源自所述描绘块的设计位置的位置偏移的补正，也可通过其他的方法(例如，自各描绘块的设计形状的变形的补正)而进行。

此外，根据描绘区域的失真的所述各区块描绘数据的补正，不一定要通过数据生成部63而进行。在不以数据生成部63进行各区块描绘数据的补正的情况下，在数据生成部63中，从多个初始描绘数据选择选择描绘数据，且例如通过将该选择描绘数据直接作为描绘数据沿用，进行描绘数据的生成。然后，根据需要对该描绘数据进行基于描绘区域的失真的补正，且根据补正后的描绘数据进行对基板9的描绘。

所述初始描绘数据，例如，也可作为主扫描方向及副扫描方向上的伸缩率相同的数据，根据各伸缩率而生成。或者，也可将主扫描方向上的伸缩率与副扫描方向上的伸缩率不同的情况考虑在内，针对主扫描方向的伸缩率及副扫描方向的伸缩率的各组合，生成初始描绘数据。

在描绘装置1中，也可省略摄像部5及伸缩率获取部64。该情况下，例如，将通过描绘装置1以外的装置而获取的基板9的实际伸缩率输入描绘装置1，且预先存储在存储部61。然后，通过数据生成部63，根据该伸缩率选择选择描绘数据。

在描绘装置1中，也可省略行程长度数据生成部62。该情况下，例如，将以描绘装置1以外的装置而预先生成的多个初始描绘数据输入描绘装置1，且存储在存储部61。

通过描绘装置1进行描绘的对象物，不限于所述基板9，例如，也可为液晶显示设备等的平板显示设备用的玻璃基板、光罩用的玻璃基板、或半导体基板。此外，描绘装置1也可在基板以外的各种对象物上描绘图像时被利用。

所述实施方式及各变形例的构成，只要不相互矛盾，也可适宜组合。

虽对发明进行了详细地描写及说明，但上述说明仅为例示而并非限制。因此，只要不超出本发明的范围，存在大量的变形及方式。

附图标记说明

1 描绘装置

2 扫描机构

5 摄像部

6 控制部

9 基板

43 光源

46 光调制部

61 存储部

63 数据生成部

64 伸缩率获取部

S11～S15、S131、S132 步骤

Claims (24)

1.一种描绘装置，在对象物上描绘图像，其具备：

光源；

光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；

扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；以及

控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，

所述控制部具备：

存储部，其针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；以及

数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据，

所述多个伸缩率包含比所述描绘装置中以机械性补正进行应对的伸缩率即应对极限伸缩率大的伸缩率，

所述实际伸缩率与所述选择描绘数据对应的伸缩率的差为所述应对极限伸缩率以下。

2.如权利要求1所述的描绘装置，其中，

还具备摄像部，其拍摄位于所述对象物上的多个标记，

所述控制部还具备伸缩率获取部，该伸缩率获取部根据所述摄像部的摄像结果，获取所述多个标记的测量位置，比较所述多个标记的所述测量位置与设计位置，从而获取所述对象物的实际伸缩率。

3.如权利要求2所述的描绘装置，其中，

在所述数据生成部，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、以及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

4.如权利要求3所述的描绘装置，其中，

在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，

所述数据生成部在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

5.如权利要求4所述的描绘装置，其中，

所述数据生成部对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

6.如权利要求1所述的描绘装置，其中，

在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，

所述数据生成部在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

7.如权利要求6所述的描绘装置，其中，

所述数据生成部对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

8.如权利要求1至7中任一项所述的描绘装置，其中，

在所述多个初始描绘数据内不包含与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据的情况下，中止对所述对象物的描绘且开始进行对其他的对象物的描绘，在与对其他的对象物的描绘并行地生成与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据之后，进行对所述对象物的描绘。

9.一种描绘装置，在对象物上描绘图像，其具备：

光源；

光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；

扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；以及

控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，

所述控制部具备：

存储部，其针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；以及

数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据，

在所述数据生成部，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、以及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

10.如权利要求9所述的描绘装置，其中，

在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，

所述数据生成部在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

11.如权利要求10所述的描绘装置，其中，

所述数据生成部对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

12.一种描绘装置，在对象物上描绘图像，其具备：

光源；

光调制部，其对来自所述光源的光进行调制；

扫描机构，其在对象物上扫描通过所述光调制部调制的光；以及

控制部，其根据描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，

所述控制部具备：

存储部，其针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；以及

数据生成部，其利用选择描绘数据生成所述描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据，

所述描绘装置还具备摄像部，其拍摄位于所述对象物上的多个标记，

所述控制部还具备伸缩率获取部，该伸缩率获取部根据所述摄像部的摄像结果，获取所述多个标记的测量位置，比较所述多个标记的所述测量位置与设计位置，从而获取所述对象物的实际伸缩率，

在所述数据生成部，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、以及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

13.一种描绘方法，通过描绘装置在对象物上描绘图像，该描绘装置具备光源、对来自所述光源的光进行调制的光调制部、以及在所述对象物上扫描通过所述光调制部调制的光的扫描机构，该描绘方法具备：

a)步骤，针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；

b)步骤，利用选择描绘数据生成描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据；以及

c)步骤，根据所述描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，

所述多个伸缩率包含比所述描绘装置中以机械性补正进行应对的伸缩率即应对极限伸缩率大的伸缩率，

所述实际伸缩率与所述选择描绘数据对应的伸缩率的差为所述应对极限伸缩率以下。

14.如权利要求13所述的描绘方法，其中，

还具备以下步骤：

d)在所述b)步骤之前，拍摄位于所述对象物上的多个标记；以及

e)根据所述d)步骤中的摄像结果，获取所述多个标记的测量位置，比较所述多个标记的所述测量位置与设计位置，从而获取所述对象物的实际伸缩率。

15.如权利要求14所述的描绘方法，其中，

在所述b)步骤中，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

16.如权利要求15所述的描绘方法，其中，

在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，

在所述b)步骤中，在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

17.如权利要求16所述的描绘方法，其中，

所述b)步骤中的对所述选择描绘数据的分别对所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

18.如权利要求13所述的描绘方法，其中，

在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，

在所述b)步骤中，在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

19.如权利要求18所述的描绘方法，其中，

所述b)步骤中的对所述选择描绘数据的分别对所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

20.如权利要求13至19中任一项所述的描绘方法，其中，

在所述多个初始描绘数据内不包含与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据的情况下，中止对所述对象物的描绘且开始进行对其他的对象物的描绘，在与对其他的对象物的描绘并行地生成与所述对象物的实际伸缩率对应的初始描绘数据之后，进行对所述对象物的描绘。

21.一种描绘方法，通过描绘装置在对象物上描绘图像，该描绘装置具备光源、对来自所述光源的光进行调制的光调制部、以及在所述对象物上扫描通过所述光调制部调制的光的扫描机构，该描绘方法具备：

a)步骤，针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；

b)步骤，利用选择描绘数据生成描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据；以及

c)步骤，根据所述描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘，

在所述b)步骤中，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

22.如权利要求21所述的描绘方法，其中，

在所述对象物上的描绘区域设定有多个描绘块，

在所述b)步骤中，在生成所述描绘数据时，根据所述描绘区域的失真，对所述选择描绘数据的分别与所述多个描绘块对应的部分进行补正。

23.如权利要求22所述的描绘方法，其中，

所述b)步骤中的对所述选择描绘数据的分别对所述多个描绘块对应的部分的补正，是所述描绘区域中的所述多个描绘块相对各自设计位置的位置偏移的补正。

24.一种描绘方法，通过描绘装置在对象物上描绘图像，该描绘装置具备光源、对来自所述光源的光进行调制的光调制部、以及在所述对象物上扫描通过所述光调制部调制的光的扫描机构，该描绘方法具备：

a)步骤，针对表示所述对象物从基准状态的伸缩程度的多个伸缩率，预先存储对以各伸缩率伸缩的所述对象物进行描绘时的图像的行程长度数据，作为多个初始描绘数据；

b)步骤，利用选择描绘数据生成描绘数据，该选择描绘数据是根据所述对象物的实际伸缩率从所述多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据；

c)步骤，根据所述描绘数据控制所述光调制部及所述扫描机构，从而执行对所述对象物的描绘；

d)在所述b)步骤之前，拍摄位于所述对象物上的多个标记；以及

e)根据所述d)步骤中的摄像结果，获取所述多个标记的测量位置，比较所述多个标记的所述测量位置与设计位置，从而获取所述对象物的实际伸缩率，

在所述b)步骤中，在假定利用与所述基准状态对应的初始描绘数据生成所述描绘数据的情况下，在所述多个伸缩率内包含有比能够通过下述间隔的变更来描绘的所述对象物的伸缩率大的伸缩率，所述间隔的变更包含利用所述扫描机构向主扫描方向扫描时通过所述光调制部进行的调制间隔的变更、及利用所述扫描机构向所述主扫描方向扫描时被扫描的扫描区域在副扫描方向上的间隔的变更。

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