CN110243434B - 一种检测装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种检测装置，该检测装置设置于用于盛放液体的容器中，并包括囊状漂浮件、感应件及传感器，其中，所述囊状漂浮件包括一密封腔；所述感应件设置于所述密封腔内；所述传感器固定于所述容器内的预设位置处，用于在所述囊状漂浮件下移到预设位置时与所述感应件感应而发出信号。通过上述方式，本申请能够提高检测的准确率，以及扩大检测装置的适用范围。
Description
技术领域
本申请涉及检测技术领域，特别是涉及一种检测装置。
背景技术
在有液体使用的装置中，由于盛放液体的容器设置于装置内部等因素而难以对容器内的液体或者其它部件的位置等进行直接观察，因而需要设置相应的检测装置进行检测。
相关技术中，有采用光电传感器等进行检测，然而，光电传感器对光线具有一定的需求，从而在液体的透光度较低时，会在一定程度上影响光电传感器检测的准确率。
发明内容
本申请主要解决的技术问题是提供一种检测装置，能够提高检测的准确率，以及扩大检测装置的适用范围。
为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种检测装置，该检测装置设置于用于盛放液体的容器中，并包括囊状漂浮件、感应件及传感器，其中，所述囊状漂浮件包括一密封腔；所述感应件设置于所述密封腔内；所述传感器固定于所述容器内的预设位置处，用于在所述囊状漂浮件下移到预设位置时与所述感应件感应而发出信号。
进一步地，所述检测装置还包括第一隔板，在所述第一隔板受到容器内的晶舟的压力时，压迫所述囊状漂浮件向下运动，并与所述传感器接触而发出信号。
具体地，所述第一隔板朝向所述囊状漂浮件的一侧与所述囊状漂浮件固定连接。
进一步地，所述检测装置还包括一压块，所述压块连接设置在所述第一隔板远离所述囊状漂浮件的一侧，用于承载放入容器内的晶舟，且在承载所述晶舟时，压迫所述第一隔板进而带动所述囊状漂浮件向下运动，并与所述传感器接触，所述传感器与感应件感应而发出信号。
进一步地，所述检测装置还包括一与所述第一隔板相对设置的第二隔板，所述第二隔板与所述传感器连接，其中，所述囊状漂浮件位于所述第一隔板与所述第二隔板所限定的范围内。
其中，所述囊状漂浮件为橡胶气囊。
进一步地，所述检测装置还包括一设置于所述传感器外围的保护层，所述保护层的材质为聚四氟乙烯。
其中，所述传感器为电容式传感器。
其中，所述感应件为金属片。
其中，所述金属片活动设置于所述密封腔内。
本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请检测装置设置于用于盛放液体的容器中，其中的感应件设置于囊状漂浮件的密封腔内，在一般情况下，感应件随囊状漂浮件处于漂浮状态，在满足预设条件时，囊状漂浮件下移到预设位置，从而使感应件与传感器感应而发出信号，从而不受容器内液体的透明度等条件的影响，以提高检测的准确率，及扩大检测装置的适用范围。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
图1是本申请检测装置一实施方式的结构示意图；
图2是本申请检测装置一实施方式位于容器内一位置处结构示意图；
图3是本申请检测装置一实施方式位于容器内另一位置处的结构示意图；
图4是本申请检测装置另一实施方式的结构示意图；
图5是本申请检测装置一实施方式位于容器内且被晶舟压迫时的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
请参阅图1，图1是本申请检测装置一实施方式的结构示意图。本实施方式中的检测装置100设置于用于盛放液体的容器300中，并可用于对容器300中液体的液面高度进行检测，或者对于放置于液体上的其它物件在容器300中的位置等进行检测，以在容器300中的液体的液面低于预设液位或者其它物件位于预设位置时发出提醒。具体地，检测装置100可包括囊状漂浮件10、感应件20及传感器30。
其中，囊状漂浮件10包括一密封腔11。顾名思义，该囊状漂浮件10呈囊状设置，在放置于容器300中时，能够受浮力作用而漂浮在容器300内的液面上，图2中即为该囊状漂浮件10漂浮在液面上的状态。
进一步地，感应件20可设置于密封腔11内。具体地，该感应件20可活动设置于该密封腔11内，在囊状漂浮件10发生运动、翻滚时，感应件20可随之变换位置，从而使得感应件20能够始终处于密封腔11的囊状漂浮件10在重力方向上的下部。当然，感应件20也可固定于密封腔11的一固定位置处，具体可根据实际需求设置，只要在满足预设条件时，能够与传感器30发生感应即可。
传感器30可固定于容器300内的预设位置处，用于在囊状漂浮件10下移到预设位置时与感应件20感应而发出信号。具体地，传感器30可固定在容器300的底部，或者容器300的其它位置。例如，在用于低液位检测时，可固定在容器300的底部，而在用于其它作用时，则可根据实际的应用需求进行设置。
上述方式中，检测装置100设置于用于盛放液体的容器300中，其中的感应件20设置于囊状漂浮件10的密封腔11内，在一般情况下，感应件20随囊状漂浮件10处于漂浮状态，而不会与传感器30产生感应，而在满足预设条件时，囊状漂浮件10下移到预设位置，从而使感应件20与传感器30感应而发出信号，从而不受容器300内液体的透明度等因素的影响，能够提高检测的准确率，及扩大检测装置100的适用范围。
其中，囊状漂浮件10可以为由轻质、柔性材质制成的气囊，在一些实施方式中，该囊状漂浮件10的材质可进一步为弹性、绝缘材质。具体地，该囊状漂浮件10可以为橡胶气囊。橡胶具有良好的耐酸碱腐蚀性能，从而使得该囊状漂浮件10能够适应酸碱腐蚀环境，以扩大该检测装置100的适用范围，同时对容置于密封腔11内的感应件20具有良好的保护作用。
进一步地，检测装置100还可包括一设置在传感器30外围的保护层，该保护层的材质为聚四氟乙烯。
其中，聚四氟乙烯(Poly tetra fluoroethylene，PTFE)具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，且耐高温，使用该保护层能够对传感器30起到良好的保护作用，从而使得该传感器30适用于各种环境当中。
进一步地，传感器30可以为电容式传感器30，此时，感应件20可以为金属片，电容式传感器30通过与金属片之间的感应而产生信号。当然，也可以采用其他类型的传感器30，例如在该传感器30受到囊状漂浮件10的压力时，能够产生信号，只要能够满足上述需求即可，此处不做具体限定。
请参阅图2和图3，在一个应用场景中，检测装置100用于低液位检测。囊状漂浮件10始终漂浮于液面上方，在液位处于正常液位A时，位于密封腔11内的传感器30不与感应件20产生感应，而在容器300内的液体快要消耗完而到达较低液位B或者液位B以下时，囊状漂浮件10与传感器30接触，此时，感应件20与传感器30产生感应，而使得传感器30发出信号，以提醒操作人员液体已不足。
进一步地，在一实施方式中，该检测装置100可用于半导体产业当中，其中，容器300内的液体用于蚀刻晶片。具体地，在对晶片进行蚀刻时，先将晶片放置于晶舟500中，再将晶舟500放置于盛放有蚀刻液的容器300当中，并将其放置于容器300中的一定位置处，而使得晶片浸入至蚀刻液中进行蚀刻。
具体地，本实施方式中，检测装置100还可包括第一隔板40。在对晶片进行蚀刻时，将晶舟500放置于第一隔板40上，从而使得第一隔板40受到晶舟500的压力而进一步压迫囊状漂浮件10向下运动，并与传感器30接触而发出信号。
需要指出的是，本实施方式中，该第一隔板40一方面可以起到承载晶舟500以接受晶舟500的压力而压迫囊状漂浮件10的作用；另一方面，由于囊状漂浮件10为囊状、质轻且能够漂浮在液面上，因此，若晶舟500直接压设于其上，则该囊状漂浮件10容易由于液体的运动而漂浮至其它位置从而不能到达预设感应位置，而第一隔板40的设置，则能够在一定程度上对该囊状漂浮件10起到一定的约束作用，从而提高检测装置100检测的有效性。
具体地，该第一隔板40可以呈平板状设置，如图1中所示，或者也可以呈边缘朝向囊状漂浮件10弯曲的弧状设置，具体如图4所示。
在一实施方式中，第一隔板40朝向囊状漂浮件10的一侧与囊状漂浮件10固定连接，即第一隔板40与囊状漂浮件10固定在一起。通过这种方式，由于囊状漂浮件10受到第一隔板40的作用，从而能够以相对稳定的方式漂浮在液体上。
在另一实施方式中，检测装置100还可包括一压块50，该压块50连接设置在第一隔板40远离囊状漂浮件10的一侧。
在一个应用场景中，第一隔板40的两侧分别连接囊状漂浮件10和上述压块50；在另一应用场景中，第一隔板40仅与压块50固定，而与囊状漂浮件10之间无直接连接关系。
具体地，该压块50远离第一隔板40的一侧用于承载放入容器300内的晶舟500，且在承载晶舟500时，压迫第一隔板40进而带动囊状漂浮件10向下运动，并与传感器30接触，传感器30与感应件20感应而发出信号。
进一步地，由于囊状漂浮件10为弹性材质，因此，在晶舟500置于压块50上并压迫第一隔板40而带动囊状漂浮件10与传感器30接触时，该囊状漂浮件10能够产生形变而与传感器30紧密接触，而使得感应件20能够与传感器30之间能够建立良好的感应，从而提高检测装置100检测的稳定性。
进一步地，在一实施方式中，检测装置100还可包括一与第一隔板40相对设置的第二隔板60，该第二隔板60与传感器30连接，其中，囊状漂浮件10位于第一隔板40与第二隔板60所限定的范围内。
本实施方式中，与第一隔板40类似，第二隔板60于与第一隔板40的相对位置处对囊状漂浮件10的位置起到一定的约束作用。且该第二隔板60也既可以呈平板状，如图1中所示，同时也可以呈边缘朝向囊状漂浮件10弯曲的弧状，具体如图4所示。
在一个应用场景中，第二隔板60为传感器30的一部分，其背离容器300底部的一面为传感器30的感应面。由于囊状漂浮件10位于液体中，其位置具有不固定性，而第二隔板60的感应面具有较大的面积，从而能够使得在满足预设条件时(如晶舟500已达到预设位置)，感应件20不会由于囊状漂浮件10偏离了一定位置而不能与传感器30产生感应，而在囊状漂浮件10处于相对较大的范围内时均能够与传感器30产生感应，从而提高检测装置100的检测结果的准确性。
以下以应用于半导体行业中的晶片蚀刻为例，对本申请检测装置100进行说明。
请参阅图2和图5，传感器30设置于容器300底部，在容器300内未放入晶舟500时，囊状漂浮件10漂浮于容器300内的液面上，感应件20远离传感器30而不产生感应信号。在将晶舟500放入容器300中时，压块50承载晶舟500，并在晶舟500的压力作用下，压迫第一隔板40而带动囊状漂浮件10向容器300底部运动，并在囊状漂浮件10与传感器30接触时，晶舟500内所承载晶片被液体所浸没，此时密封腔11内的感应件20与传感器30产生感应而发出晶舟500已达到预设位置的信号。
以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种检测装置，所述检测装置设置于用于盛放液体的容器中，所述检测装置用于检测液体中晶舟的位置，并包括：
漂浮件，包括一密封腔；
感应件，设置于所述密封腔内；
传感器，固定于所述容器内的预设位置处，用于在所述漂浮件下移到预设位置时与所述感应件感应而发出信号；
其特征在于，所述漂浮件为囊状漂浮件；所述检测装置还包括第一隔板，在所述第一隔板受到容器内的晶舟的压力时，压迫所述囊状漂浮件向下运动，并与所述传感器接触而发出信号。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一隔板朝向所述囊状漂浮件的一侧与所述囊状漂浮件固定连接。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括一压块，所述压块连接设置在所述第一隔板远离所述囊状漂浮件的一侧，用于承载放入容器内的晶舟，且在承载所述晶舟时，压迫所述第一隔板进而带动所述囊状漂浮件向下运动，并与所述传感器接触，所述传感器与感应件感应而发出信号。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括一与所述第一隔板相对设置的第二隔板，所述第二隔板与所述传感器连接，其中，所述囊状漂浮件位于所述第一隔板与所述第二隔板所限定的范围内。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述囊状漂浮件为橡胶气囊。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括一设置于所述传感器外围的保护层，所述保护层的材质为聚四氟乙烯。
7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述传感器为电容式传感器。
8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述感应件为金属片。
9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述金属片活动设置于所述密封腔内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910551356.7A CN110243434B (zh) | 2019-06-24 | 2019-06-24 | 一种检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910551356.7A CN110243434B (zh) | 2019-06-24 | 2019-06-24 | 一种检测装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110243434A CN110243434A (zh) | 2019-09-17 |
| CN110243434B true CN110243434B (zh) | 2021-01-01 |
Family
ID=67889336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910551356.7A Active CN110243434B (zh) | 2019-06-24 | 2019-06-24 | 一种检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110243434B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110702188A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-01-17 | 江苏科技大学 | 一种零转弯半径割草机油箱油量的测量装置及方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57156524A (en) * | 1981-03-23 | 1982-09-27 | Tsurumi Seisakusho:Kk | Water level detector |
| US4779460A (en) * | 1987-11-02 | 1988-10-25 | Bltec, Inc. | Sensor and system for measuring the level of a liquid in a container |
| JP2007147403A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 水位検出装置 |
| CN103123275A (zh) * | 2011-11-21 | 2013-05-29 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种双重液位监测器 |
| CN205981380U (zh) * | 2016-08-30 | 2017-02-22 | 济南科琳宝环境科技有限公司 | 一种腐蚀性液态原料缺料报警装置 |
| CN207472388U (zh) * | 2017-08-31 | 2018-06-08 | 成都科创诺商贸有限公司 | 一种玻璃水测满浮子 |
| CN109637946B (zh) * | 2017-10-09 | 2020-09-08 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体批处理生产设备及半导体批处理系统 |
| CN109186719B (zh) * | 2018-10-19 | 2020-06-26 | 中国石油大学(华东) | 重油悬浮床加氢裂化高温高压反应器用电磁液位测定装置 |
-
2019
- 2019-06-24 CN CN201910551356.7A patent/CN110243434B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110243434A (zh) | 2019-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |