CN110241396B - 一种真空镀膜基片夹具 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种真空镀膜基片夹具，包括底座、夹框滑道、夹框、若干根定位臂杆及若干个顶盘，定位臂杆的一端可拆卸安装于夹框的侧面上，定位臂杆的另一端安装有顶盘，通过顶盘夹持基片，由于夹框的各侧面上均设有栅格，可使定位臂杆在栅格上进行水平移动、垂直移动以及旋入旋出运动，进而带动顶盘可在三维空间内做任意运动，同时，定位臂杆和顶盘为可转动连接，顶盘可以任意角度夹持基片，故本发明提供的一种真空镀膜基片夹具可以用于夹持任意形状及任意空间形态的基片。

Description

一种真空镀膜基片夹具
技术领域
本发明属于真空镀膜装置领域，尤其涉及一种真空镀膜基片夹具。
背景技术
随着真空技术的日趋成熟，采用真空技术来提高机械设备性能或零件的使用寿命已成为当前工业生产的重要手段。企业或研发单位通过真空镀膜实验来检验某种技术的可靠性或是产品的适用性的需求日益增强，同时对用于真空实验中基片夹具的功能性要求也不断提高。
但是，市面上现存的用于真空镀膜实验的基片夹具，可夹持基片的形状单一，且难以夹持需要变换空间形态的基片。
发明内容
本发明的目的是提供一种真空镀膜基片夹具，可用于夹持任意形状及任意空间形态的基片。
为解决上述问题，本发明的技术方案为：
一种真空镀膜基片夹具，包括：
底座；
夹框滑道，包括第一夹框滑道和第二夹框滑道，所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道对称安装于所述底座的上表面；
夹框，安装于所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道的上表面，所述夹框的各侧面上均设有栅格；
若干根定位臂杆，对应设于所述夹框的各侧面上，所述定位臂杆的一端设有螺纹，所述定位臂杆设有螺纹的一端通过螺栓连接安装于所述栅格内，所述定位臂杆的另一端朝向所述夹框内部；
若干个顶盘，所述顶盘与所述定位臂杆数量相等，所述顶盘与所述定位臂杆的朝向夹框内部的一端可转动连接，若干个所述顶盘用于夹持基片。
优选地，还包括基片垫高结构，所述基片垫高结构置于所述夹框内，所述基片垫高结构包括梯形凸台、凸台底座、四根套管及四个凸台定位螺钉，所述梯形凸台安装于所述凸台底座的上表面，所述凸台底座的四周各开有一个沿上下方向的螺纹孔，每个所述螺纹孔下方对应布设一根所述套管，所述套管的上端面与所述凸台底座的下表面接触，所述套管的下端面与所述夹框的底面接触，所述套管与所述螺纹孔同轴线，所述凸台定位螺钉穿过所述螺纹孔及所述套管与所述夹框底部进行旋合。
优选地，所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道的截面均呈L型，所述第一夹框滑道包括第一侧壁和第一水平滑道，所述第二夹框滑道包括第二侧壁和第二水平滑道，所述第一水平滑道和所述第二水平滑道相向布设，所述夹框安装于所述第一水平滑道和所述第二水平滑道的上表面。
优选地，还包括两根限位螺杆，所述第一侧壁上开设有第一限位滑槽，所述第二侧壁上开设有第二限位滑槽，所述限位螺杆的一端可拆卸安装于所述第一限位滑槽内，所述限位螺杆的另一端可拆卸安装于所述第二限位滑槽内，两根所述限位螺杆相互平行位于所述夹框的两侧，用于限定所述夹框的位置。
优选地，所述顶盘与所述定位臂杆连接的一端设有铰座，用于实现所述定位臂杆和所述顶盘之间的铰接。
优选地，所述夹框底面为正方形。
优选地，所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道均焊接在所述底座上。
本发明由于采用以上技术方案，使其与现有技术相比具有以下的优点和积极效果：
1)本发明提供了一种真空镀膜基片夹具，包括底座、夹框滑道、夹框、若干根定位臂杆及若干个顶盘，定位臂杆的一端可拆卸安装于夹框的侧面上，定位臂杆的另一端安装有顶盘，通过顶盘夹持基片，由于夹框的各侧面上均设有栅格，可使定位臂杆在栅格上进行水平移动、垂直移动以及旋入旋出运动，进而带动顶盘可在三维空间内做任意运动，同时，定位臂杆和顶盘为可转动连接，顶盘可以任意角度夹持基片，故本发明提供的一种真空镀膜基片夹具可以用于夹持任意形状及任意空间形态的基片。
2)本发明提供的一种真空镀膜基片夹具还包括基片垫高结构，基片垫高结构置于夹框内，基片垫高结构包括梯形凸台、凸台底座、四根套管及四个凸台定位螺钉，梯形凸台安装于凸台底座的上表面，凸台底座的四周各开有一个沿上下方向的螺纹孔，每个螺纹孔下方对应布设一根套管，套管的上端面与凸台底座的下表面接触，套管的下端面与夹框的底面接触，套管与螺纹孔同轴线，凸台定位螺钉穿过螺纹孔及套管与夹框底部进行旋合，由于设有梯形凸台，对于需要水平防止的基片，可以将基片直接放在梯形凸台的上表面，对于需要倾斜放置的多边形基片，可以将基片斜靠在梯形凸台的上表面，与梯形凸台呈一定倾角的线接触，同时在顶盘夹持的作用下，基片的定位方式为多线面接触，使基片夹持更稳定，同时，套管可以增加梯形凸台的高度，从而将基片进行垫高。
3)本发明提供的一种真空镀膜基片夹具，其夹框滑道上设有限位滑槽，并通过在限位滑槽内可拆卸安装两根限位螺杆，两限位螺杆用于夹住夹框在夹框滑道上平滑移动，可调整基片在真空设备炉中的位置，同时限位螺杆可以对夹框进行限位，从而增强夹框的耐气流冲击与机械冲击性能。
附图说明
图1为一种真空镀膜基片夹具的示意图；
图2为图1中第一限位滑槽的局部放大图；
图3为图1中顶盘与定位臂杆连接处的局部放大图；
图4为图1中梯形凸台的示意图；
图5a至5b为真空镀膜基片夹具水平夹持四边形基片的俯视图及前视图；
图6a至6b为真空镀膜基片夹具倾斜夹持四边形基片的俯视图及前视图；
图7a至7b为真空镀膜基片夹具夹持不规则三边形基片的俯视图及前视图；
图8为真空镀膜基片夹具中的夹框翻转90度垂直放置示意图。
附图标记说明：
1：底座；2：夹框滑道；21：第一夹框滑道；211：第一侧壁；2111：第一限位滑槽；212：第一水平滑道；22：第二夹框滑道；221：第二侧壁；2211：第二限位滑槽；222：第二水平滑道；23：限位螺杆；231：限位螺母；232：限位垫片；3：夹框；31：栅格；4：定位臂杆；41：定位螺母；42：定位垫片；5：顶盘；51：铰座；6：基片垫高结构；61：梯形凸台；62：凸台底座；63：套管；64：凸台定位螺钉；7：基片。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种真空镀膜基片夹具作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。
参看图1所示，图1为一种真空镀膜基片夹具的示意图，本发明提供了一种真空镀膜基片夹具，包括底座1；夹框滑道2，包括第一夹框滑道21和第二夹框滑道22，第一夹框滑道21和第二夹框滑道22对称安装于底座1的上表面；夹框3，安装于第一夹框滑道21和第二夹框滑道22的上表面，夹框3的各侧面上均设有栅格31；若干根定位臂杆4，对应设于夹框4的各侧面上，定位臂杆4的一端设有螺纹，定位臂杆4设有螺纹的一端通过螺栓连接安装于栅格31内，定位臂杆4的另一端朝向夹框3内部；若干个顶盘5，顶盘5与定位臂杆4数量相等，顶盘5与定位臂杆4的朝向夹框3内部的一端可转动连接，若干个顶盘5用于夹持基片7。
底座1为口字形底座，水平放置于底面，用于支撑夹框滑道2。
夹框滑道2，包括第一夹框滑道21和第二夹框滑道22，第一夹框滑道21和第二夹框滑道22对称安装于底座1的上表面，第一夹框滑道21和第二夹框滑道22可对称焊接于底座1的上表面，在本实施例中，第一夹框滑道21和第二夹框滑道22的截面均呈L型，第一夹框滑道21包括第一侧壁211和第一水平滑道212，第二夹框滑道22包括第二侧壁221和第二水平滑道222，第一水平滑道212和第二水平滑道222相向布设，夹框3安装于第一水平滑道212和第二水平滑道222的上表面，夹框3可在第一水平滑道212和第二水平滑道222的上表面进行移动，进而可以调整基片7在真空设备炉中的位置。在本实施例中，夹框滑道2还包括两根限位螺杆23，第一侧壁211上开设有第一限位滑槽2111，第二侧壁221上开设有第二限位滑槽2211，参看图2所示，图2为图1中第一限位滑槽的局部放大图，限位螺杆23的两端分别插于第一限位滑槽2111和第二限位滑槽2211内，限位螺杆23的两端分别都设有螺纹，配合限位螺母231及限位垫片232的旋紧，将限位螺杆固定在夹框滑道2上，两根限位螺杆23相互平行位于夹框3的两侧，用于限定夹框3的位置，本发明通过设置限位螺杆23用于夹住夹框3在夹框滑道2上平滑移动，进而可调整基片7在真空设备炉中的位置，同时限位螺杆23可以对夹框3进行限位，从而增强夹框的耐气流冲击与机械冲击性能。
夹框3，安装于第一夹框滑道21和第二夹框滑道22的上表面，夹框3的各侧面上均设有栅格31，在本发明中，夹框3的底面为正方形，其侧面上开有等间距的水平栅格31.
若干根定位臂杆4，夹框4的每个侧面上设有一根定位臂杆4，如图3所示，图3为图1中顶盘与定位臂杆连接处的局部放大图，定位臂杆4的一端设有螺纹，定位臂杆4设有螺纹的一端通过定位螺母41和定位垫片的配合旋紧固定安装于栅格31内，定位臂杆4的另一端朝向夹框3内部。
若干个顶盘5，顶盘5与定位臂杆4数量相等，顶盘5与定位臂杆4的朝向夹框3内部的一端可转动连接，参看图3所示，顶盘5的背部焊接有铰座51，用于实现定位臂杆4和顶盘5之间的铰接，其具体的铰接方式为，定位臂杆4与顶盘5连接的一端开有小孔，使用一螺柱依次穿过铰座51和定位臂杆4上的小孔后与螺母旋紧，若干个顶盘5用于夹持基片7。
本发明提供的一种真空镀膜基片夹具还包括基片垫高结构6，基片垫高结构6置于夹框3内，基片垫高结构6包括梯形凸台61、凸台底座62、四根套管63及四个凸台定位螺钉64，梯形凸台61安装于凸台底座62的上表面，凸台底座62的四周各开有一个沿上下方向的螺纹孔，每个螺纹孔下方对应布设一根套管63，套管63的上端面与凸台底座62的下表面接触，套管63的下端面与夹框3的底面接触，套管63与螺纹孔同轴线，凸台定位螺钉64穿过螺纹孔及套管63与夹框3底部上的螺纹孔进行旋合，由于设有梯形凸台61，对于需要水平放置的基片7，可以将基片7直接放在梯形凸台61的上表面，对于需要倾斜放置的多边形基片7，可以将基片7斜靠在梯形凸台61的上表面，与梯形凸台61呈一定倾角的线接触，同时在顶盘5夹持的作用下，基片7的定位方式为多线面接触，使基片7夹持更稳定，同时，套管63可以增加梯形凸台61的高度，从而将基片7进行垫高。
本发明提供了一种真空镀膜基片夹具，包括底座1、夹框滑道2、夹框3、若干根定位臂杆4及若干个顶盘5，定位臂杆4的一端可拆卸安装于夹框3的侧面上，定位臂杆4的另一端安装有顶盘5，通过顶盘5夹持基片7，由于夹框3的各侧面上均设有栅格31，可使定位臂杆4在栅格31上进行水平移动、垂直移动以及旋入旋出运动，进而带动顶盘5可在三维空间内做任意运动，同时，定位臂杆4和顶盘5为可转动连接，顶盘5可以任意角度夹持基片7，故本发明提供的一种真空镀膜基片夹具可以用于夹持任意形状及任意空间形态的基片。
参看图5a至5b所示，图5a至5b为真空镀膜基片夹具水平夹持四边形基片的俯视图及前视图，使用真空镀膜基片夹具水平夹持基片7进行真空镀膜，四个定位臂杆4呈中心对称分布，基片7呈水平放置，四个顶盘5夹持基片7，基片7与梯形凸台61得上表面贴合。
参看图6a至6b所示，图6a至6b为真空镀膜基片夹具倾斜夹持四边形基片的俯视图及前视图，定位臂杆4根据基片7的空间摆放位置来进行适当调整，如按照需要旋入或旋出定位臂杆4的长度，以及定位臂杆4在栅格31上做相应位置调整，顶盘5根据基片7的摆放位置进行适当的转动调整夹持基片7，然后再旋紧定位螺母41和定位垫片42，基片7倾斜靠在梯形凸台61上。
参看图7a至7b所示，图7a至7b为真空镀膜基片夹具夹持不规则三边形基片的俯视图及前视图，夹具倾斜夹持不规则三边形基片7时，定位臂杆4根据基片7的空间摆放位置来进行适当的整，如按照需要旋入或旋出定位臂杆4的长度，以及定位臂杆4在栅格31上做相应位置调整，顶盘5根据基片7的摆放位置进行适当的转动调整夹持基片7，然后再旋紧定位螺母41和定位垫片42，基片7倾斜靠在梯形凸台61上。
参看图8所示，图8为真空镀膜基片夹具中的夹框翻转90度垂直放置示意图，将夹框4翻转90度垂直放置，可以实现水平放置的离子源机构对基片进行真空镀膜。
本发明提供的一种真空镀膜基片夹具能在物理与化学气相沉积实验中，对基片7的装夹进行稳定精确的装夹；同时，在装夹不同形状或是定位不同空间形态的基片7时，可通过改变定位臂杆4的位置以及对顶盘5作出相应合适角度的转动实现；夹框3的水平或是竖直放置也增大了该夹具的使用范围，配合限位螺杆23与夹框滑道2，可实现多个夹框3并排使用，能在一定程度上提高实验效率，并较好保证了同组实验的真实可靠性。
上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式。即使对本发明作出各种变化，倘若这些变化属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则仍落入在本发明的保护范围之中。

Claims (6)

1.一种真空镀膜基片夹具，其特征在于，包括：
底座；
夹框滑道，包括第一夹框滑道和第二夹框滑道，所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道对称安装于所述底座的上表面；
夹框，安装于所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道的上表面，所述夹框的各侧面上均设有若干沿上下方向等间距的栅格；
若干根定位臂杆，对应设于所述夹框的各侧面上，所述定位臂杆的一端设有螺纹，所述定位臂杆设有螺纹的一端通过螺栓连接安装于任一所述栅格内，所述定位臂杆的另一端朝向所述夹框内部；
若干个顶盘，所述顶盘与所述定位臂杆数量相等，所述顶盘与所述定位臂杆的朝向夹框内部的一端可转动连接，若干个所述顶盘用于夹持基片；
所述顶盘与所述定位臂杆连接的一端设有铰座，用于实现所述定位臂杆和所述顶盘之间的铰接。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜基片夹具，其特征在于，还包括基片垫高结构，所述基片垫高结构置于所述夹框内，所述基片垫高结构包括梯形凸台、凸台底座、四根套管及四个凸台定位螺钉，所述梯形凸台安装于所述凸台底座的上表面，所述凸台底座的四周各开有一个沿上下方向的螺纹孔，每个所述螺纹孔下方对应布设一根所述套管，所述套管的上端面与所述凸台底座的下表面接触，所述套管的下端面与所述夹框的底面接触，所述套管与所述螺纹孔同轴线，所述凸台定位螺钉穿过所述螺纹孔及所述套管与所述夹框底部进行旋合。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜基片夹具，其特征在于，所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道的截面均呈L型，所述第一夹框滑道包括第一侧壁和第一水平滑道，所述第二夹框滑道包括第二侧壁和第二水平滑道，所述第一水平滑道和所述第二水平滑道相向布设，所述夹框安装于所述第一水平滑道和所述第二水平滑道的上表面。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜基片夹具，其特征在于，还包括两根限位螺杆，所述第一侧壁上开设有第一限位滑槽，所述第二侧壁上开设有第二限位滑槽，所述限位螺杆的一端可拆卸安装于所述第一限位滑槽内，所述限位螺杆的另一端可拆卸安装于所述第二限位滑槽内，两根所述限位螺杆相互平行位于所述夹框的两侧，用于限定所述夹框的位置。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜基片夹具，其特征在于，所述夹框底面为正方形。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜基片夹具，其特征在于，所述第一夹框滑道和所述第二夹框滑道均焊接在所述底座上。
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