CN110231149A - 光学波前量测系统及光学波前量测方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种光学波前量测系统和方法，应用于光学波前检测领域。光学波前量测系统包括承载装置、波前量测装置及温湿度装置，所述承载装置用于定位待测液态光学元件，所述波前量测装置用于检测通过所述液态光学元件的波前信息，所述温湿度装置用于调节所述液态光学元件所处环境的温度至预设温度，及调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度，处理器在确定所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，控制所述波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息，使得波前量测装置能够检测处于特定环境下的液态光学元件的光学性能，提高波前量测系统的量测精度，有利于提高液态光学元件的可靠性。

Description

光学波前量测系统及光学波前量测方法

技术领域

本发明涉及光学技术领域，特别涉及一种光学波前量测系统及光学波前量测方法。

背景技术

液态光学元件因其优良的变焦性能引起越来越多的关注。液态光学元件的光学性能通常在通过波前检测器的量测及验证后方能应用于拍照设备。然而，在一些特别的环境，例如，高温(如85摄氏度)环境可能会导致液态光学元件的“温漂”现象，影响液态光学元件的光学性能，致使摄取照片的清晰度不高。可见，现有的波前检测器对于液态光学元件的量测精度需要进一步提高。

发明内容

本申请实施例所要解决的技术问题在于一种能够提高量测精度的光学波前量测系统及光学波前量测方法。

为了实现上述目的，本申请实施方式采用如下技术方案：

第一方面，本申请实施方式提供一种光学波前量测系统，包括承载装置、波前量测装置、温湿度装置及处理器，承载装置用于定位待测液态光学元件，波前量测装置用于检测通过所述液态光学元件的波前信息，温湿度装置用于调节所述液态光学元件所处环境的温度至预设温度，及调节液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度，处理器与波前量测装置及温湿度装通信连接，处理器用于在确定液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，控制波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息。

由于温湿度装置能够调节液态光学元件所处环境的温度至预设温度，及调节液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度，使得波前量测装置能够检测处于特定环境下的液态光学元件的光学性能，提高波前量测系统的量测精度，有利于提高液态光学元件的可靠性。例如，预设温度为85摄氏度，预设湿度为90％，使得波前量测装置通过在高温高湿环境下检测液态光学元件的波前信息而获取液态光学元件在高温高湿环境下的光学性能，从而提高了波前量测系统的量测精度。

在一实施方式中，光学波前量测系统还包括光学检测漏液装置，用于检测液态光学元件是否发生漏液。

光学检测漏液装置通过检测液态光学元件的第一光学流体及第二光学流体的交界面形状、气泡等，而获取液态光学元件是否发生漏液。本实施方式中，光学检测漏液装置为显微镜。此外，可在光学检测漏液装置检测时，同步微调液态光学元件的第一光学流体及第二光学流体的交界面形状而与光学仿真软件对比，确保性能，使得液态光学元件应用于拍照设备时，让拍照体验更佳，实现超微距拍照功能并确保拍照品质的一致性。

在一实施方式中，所述光学波前量测系统还包括抽真空装置，用于对密封液态光学元件的腔体抽真空，以使液态光学元件处于真空环境下。

在真空环境下，由于液态光学元件的弹性膜层的内外压力不同，若液态光学元件发生破损，则第一光学流体及/或第二光学流体会漏出，由于液态光学元件通过二次漏液检测，进一步提高液态光学元件的出货品质，提高液态光学元件的可靠性。

在一实施方式中，光学波前量测系统还包括运动装置，温湿度装置、光学检测漏液装置及抽真空装置均固定于运动装置上，运动装置能够相对承载装置转动。

本实施方式中，根据光学波前量测系统量测的各个流程，通过运动装置灵活移动温湿度装置、光学检测漏液装置及抽真空装置的位置，而无需改变液态光学元件及波前量测装置的相对位置，即减少了因移动导致的误差，从而提高了光学波前量测系统的量测精度。

在一实施方式中，承载装置包括固定座及夹持件，固定座与夹持件固定连接，用于将液态光学元件固定夹持于固定座与所述夹持件之间，通过夹持固定的方式，将液态光学元件定位于固定座上，节约上料时间。

在一实施方式中，固定座包括座体及多个支撑臂，座体上贯通开设通孔，多个支撑臂间隔设置于通孔的内壁，支撑臂的一端固定连接于通孔的内壁上，支撑臂的另一端朝向通孔中心延伸，夹持件的数量对应所述支撑臂的数量，每个夹持件对应与一个支撑臂固定连接，用于将液态光学元件固定夹持于所述支撑臂与所述夹持件之间。如此，支撑臂在支撑液态光学元件的同时亦不会对液态光学元件量测通过液态光学元件波前信息造成干涉。

在一实施方式中，支撑臂朝向所述夹持件的一面凸设第一定位凸起，所述多个支撑臂的第一定位凸起围绕形成容纳所述液态光学元件的收容空间，方便将液态光学元件放置于固定座时进行定位。

在一实施方式中，支撑臂还包括与第一定位凸起及间隔设置的第二定位凸起，其中，第一定位凸起位于第二定位凸起与通孔的内壁之间，从而进一步方便将液态光学元件放置于固定座时进行定位。

在一实施方式中，波前量测装置包括光发生器及光接收器，固定座位于光发生器与光接收器之间，光接收器包括透镜阵列及位于透镜阵列的焦平面上的图像传感器，光发生器用于产生均匀光束，从光发生器输出的均匀光束通过待测的液态光学元件发生畸变而产生不均匀光束入射至透镜阵列，图像传感器用于捕获所述焦平面上的光并生成光点图像，处理器用于根据所述光点图像获取通过液态光学元件的波前信息，从而检测液态光学元件是否达到所要求的光学性能。

在一实施方式中，光学检测装置为显微镜或波前检测装置。

第二方面，本申请提供一种光学波前量测方法，所述光学波前量测方法包括：调节液态光学元件所处环境的温度至预设温度；调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度；在所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息。

在一实施方式中，光学波前量测方法还包括：光学检测装置检测所述液态光学元件是否发生漏液。

在一实施方式中，所述光学检测装置检测所述液态光学元件是否发生漏液，包括：在液态光学元件的弹性膜层受力变形时，光学检测漏液装置检测液态光学元件是否发生漏液。由于在液态光学元件的弹性膜层受力变形时，对液态光学元件进行检测漏液，提高了漏液检测的精度。

在一实施方式中，光学波前量测方法还包括：将所述液态光学元件所处环境转换为真空环境，检测所述液态光学元件是否发生漏液。

在一实施方式中，所述将所述液态光学元件所处环境转换为真空环境，以检测所述液态光学元件是否发生漏液，包括：将所述液态光学元件放置于腔体；通过抽真空装置对所述腔体进行抽真空，使所述液态光学元件处于真空环境下，从而进一步检测所述液态光学元件是否发生漏液。

附图说明

图1为本申请一实施方式提供的光学波前量测系统的结构示意图。

图2为本申请一实施方式提供的光学波前量测系统的承载装置的示意图。

图3为液态光学元件承载于承载装置的固定座的示意图。

图4a为本申请一实施方式提供的液态光学元件的结构示意图。

图4b为图4a所示的液态光学元件变焦状态下的一示意图。

图5为本申请一实施方式提供的液态光学元件应用于镜头模组的结构示意图。

图6为本申请另一实施方式提供的光学波前量测系统的结构示意图。

图7为本申请又一实施方式提供的光学波前量测系统的结构示意图。

图8为本申请实施方式提供的一种光学波前量测方法的流程示意图。

具体实施方式

请参阅图1，图1为本申请一实施方式提供的光学波前量测系统的结构示意图。一种光学波前量测系统100包括承载装置10、波前量测装置30、温湿度装置50及处理器60。承载装置10用于定位待测的液态光学元件200。波前量测装置30用于检测通过液态光学元件200的波前信息。温湿度装置50包括用于调节液态光学元件200所处环境的温度至预设温度，及调节液态光学元件200所处环境的湿度至预设湿度。处理器60与波前量测装置30及温湿度装置50通信连接。处理器60在确定液态光学元件200所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，控制波前量测装置30检测通过液态光学元件200的波前信息，使得波前量测装置30能够检测处于特定环境下的液态光学元件200的光学性能，从而提高波前量测系统100的量测精度，有利于提高液态光学元件200的可靠性。

本实施方式中，预设温度为85摄氏度，预设湿度为90％，使得波前量测装置30通过在高温高湿环境下检测液态光学元件200的波前信息而获取液态光学元件200在高温高湿环境下的光学性能，从而提高了波前量测系统100的量测精度。可以理解，预设温度不限定为85摄氏度，可以根据实际需要进行设置，例如预设温度可以为不小于85摄氏度的高温；预设湿度不限定为90％，例如预设温度可以为不小于90％的高湿度，可以根据实际需要进行设置。处理器60与波前量测装置30及温湿度装置50通过导线电性连接而实现通信。可以理解，处理器60与波前量测装置30及温湿度装置50可以通过无线方式而实现通信。

具体的，请参阅图2与图3，图2为本申请一实施方式提供的光学波前量测系统的承载装置的示意图，图3为液态光学元件承载于承载装置的固定座的示意图。承载装置10包括至少一个承载单元，每个承载单元包括固定座11及夹持件13。固定座11与夹持件13固定连接，用于将待测的液态光学元件200固定夹持于固定座11与夹持件13之间，以方便液态光学元件200安装于承载装置10上。承载单元为多个时，方便对液态光学元件200进行批量检测，从而提高量测效率。

在一实施方式中，固定座11包括座体113及多个支撑臂115。座体113上贯通开设通孔1131。多个支撑臂115间隔设置于通孔1131的内壁。支撑臂113的一端固定连接于通孔1131的内壁上，支撑臂115的另一端朝向通孔1131的中心延伸。夹持件13的数量对应支撑臂115的数量。每个夹持件13对应与一个支撑臂115固定连接，用于将液态光学元件200固定夹持于支撑臂115与夹持件13之间。

支撑臂115朝向夹持件13的一面凸设定位凸起1150，用于方便将液态光学元件200放置于固定座11时进行定位。本实施方式中，定位凸起1150包括间隔凸设于支撑臂115朝向夹持件13的一面的第一定位凸起1151及第二定位凸起1153，其中，第一定位凸起1151位于第二定位凸起1153与通孔1131的内壁之间。多个支撑臂115的第一定位凸起1151围绕形成容纳所述液态光学元件200的收容空间。可以理解，定位凸起1150可以省略第一定位凸起1151或第二定位凸起1153。

请再次参阅图1，波前量测装置30为卧式波前量测设备。波前量测装置30包括光发生器31及光接收器33。固定座11位于光发生器31与光接收器33之间。光接收器33包括透镜阵列331及位于透镜阵列331的焦平面上的图像传感器333。光发生器31用于产生均匀光束。光发生器31输出的均匀光束通过待测的液态光学元件200发生畸变而产生不均匀光束入射至透镜阵列331。图像传感器333用于捕获所述焦平面上的光并生成光点图像。处理器60用于根据所述光点图像获取通过液态光学元件200的波前信息，从而检测液态光学元件200是否达到所要求的光学性能。本实施例中的波前量测装置30为示例性地，可以理解，不限定波前量测装置30的结构，其能够量测透过液态光学元件200的波前信息即可。

温湿度装置50包括调温器51及加湿器53。调温器51及加湿器53均与处理器60通信连接。调温器51用于在处理器60的控制下调节液态光学元件200所处环境温度至预设温度。调温器51具温度检测单元511。加湿器53用于在处理器60的控制下调节液态光学元件200所处环境湿度至预设湿度。加湿器53具湿度检测单元531。处理器60依据调温器51的温度检测单元检测液态光学元件200所处环境的温度，及依据加湿器53的湿度检测单元检测液态光学元件200所处环境的湿度。在处理器60确定液态光学元件200所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，处理器60控制光发生器31输出均匀光束。处理器60根据图像传感器333捕获所述焦平面上的光而生成的光点图像获取在所述预设温度及所述预设湿度的环境下通过液态光学元件200的波前信息。可以理解，可以在承载装置10或者其他结构上设置温度检测单元检测液态光学元件200所处环境的温度，可以在承载装置10或者其他结构上设置湿度检测单元检测液态光学元件200所处环境的湿度。

本实施方式中，液态光学元件200为液体镜头。请参阅图4a,图4a为本申请一实施方式提供的液态光学元件的结构示意图。液态光学元件200包括容器201、弹性膜层202、光学流体203及致动器205。弹性膜层202覆盖容器201，容器201与弹性膜层202共同围成容纳光学流体202的收容空间。光学流体203包括两种不同的第一光学流体2031及第二光学流体2033。请参阅图4b,图4b为图4a所示的液态光学元件变焦状态下的一示意图。致动器205用于对弹性膜层202施加压力以使弹性膜层202受力形变，而改变第一光学流体2031及第二光学流体2033交界面形状(即交接处大致呈月牙形表面的形状)，实现焦距的变化。液体镜头相对于传统的变焦系统而言，具有结构紧凑和低成本的优势。本实施方式中，致动器205为金属构件。在波前量测装置30对液态光学元件200进行波前检测时，可以对与液态光学元件200连接的驱动件通电，使致动器205对弹性膜层202施加压力，从而使液态光学元件200变焦，以方便波前量测装置30检测液态光学元件200在不同焦距下的光学性能。可以理解，致动器205也可以为其他材料制成，例如玻璃。

请参阅图5，图5为本申请一实施方式提供的液态光学元件应用于镜头模组的结构示意图。液态光学元件200应用于拍照设备的镜头模组300中。拍照设备可以为手机、平板电脑、笔记本电脑、阅读器等终端设备。镜头模组300包括液态光学元件200、定焦镜头302、驱动件、电路板304及图像传感器305。液态光学元件200位于定焦镜头302的入光侧，定焦镜头302位于液态光学元件200的出光侧，电路板304与驱动件电性连接。驱动件可以为马达，以带动致动器205向弹性膜层202施加压力，使得液态光学元件200变焦。图像传感器305位于定焦镜头302背离液态光学元件200的一侧，用于接收透过液态光学元件200与定焦镜头302的光并生成图像信息。可以理解，液态光学元件200位于定焦镜头302的出光侧，定焦镜头302位于液态光学元件200的入光侧。

处理器60可以被一个或多个应用专用集成电路(ASIC)、数字信号处理器(DSP)、数字信号处理设备(DSPD)、可编程逻辑器件(PLD)、现场可编程门阵列(FPGA)、控制器、微控制器、微处理器或其他电子元件实现。

光学波前量测系统100还包括光学检测漏液装置70，用于检测液态光学元件200是否发生漏液，以进一步提高液态光学元件200的出货品质。检测时，通过致动器205对弹性膜层202施力，光学检测漏液装置70通过检测液态光学元件的第一光学流体2031及第二光学流体2033的交界面形状、气泡等，而检测液态光学元件200是否发生漏液。本实施方式中，光学检测漏液装置70为显微镜。此外，在光学检测漏液装置70检测时，同步微调液态光学元件200的第一光学流体2031及第二光学流体3033的交界面形状而与光学仿真软件对比，确保性能，使得液态光学元件200应用于拍照设备时，让拍照体验更佳，实现超微距拍照功能并确保拍照品质的一致性。

可以理解，对液态光学元件200的波前检测及漏液检测可以同步进行也可以异步进行，即在波前量测装置30对液态光学元件200进行波前检测时，光学检测漏液装置70也可以对液态光学元件200进行漏液检测；或者，波前量测装置30对液态光学元件200进行的波前检测，与光学检测漏液装置70对液态光学元件200进行的漏液检测分开进行。

光学波前量测系统100不仅能够通过波前量测装置30量测液态光学元件200的波前信息而检测液态光学元件200的光学性能，还能够通过光学检测漏液装置70检测液态光学元件200是否漏液，从而提高液态光学元件200的出货品质。

光学波前量测系统100还包括用于存储指令和数据的存储器(图未示)。处理器60用于读取存储器中存储的指令执行相应的功能。

在一实施方式中，请参阅图6，图6为本申请另一实施方式提供的光学波前量测系统的结构示意图。光学波前量测系统100a还包括抽真空装置80。抽真空装置80用于对密封液态光学元件的腔体(图未示)抽真空，以使液态光学元件处于真空环境下，在真空环境下，由于液态光学元件的弹性膜层的内外压力不同，若液态光学元件发生破损，则第一光学流体及/或第二光学流体会漏出。本实施方式中，需通过抽真空装置80抽真空进行漏液检测时，承载装置位于腔体内。光学检测漏液装置70a也可以对液态光学元件进行漏液检测后，载有液态光学元件的承载装置进入腔体，抽真空装置80对腔体进行抽真空以对液态光学元件进行漏液检测，实现二次检测，以提高漏液检测精度。可以理解，通过抽真空装置80抽真空的方式对液态光学元件进行漏液检测后，再利用光学检测漏液装置70a对液态光学元件进行漏液检测。

可以理解，承载装置、波前量测装置、温湿度装置、光学检测漏液装置70a均位于密闭腔体内。通过抽真空装置80使液态光学元件处于真空环境下的方式来检测液态光学元件是否发生漏液，进一步提高液态光学元件200的出货品质。

处理器60a与抽真空装置80通信连接，处理器60a还用于控制抽真空装置80抽真空。处理器60a与波前量测装置30a包括光发生器31a及光接收器33a通信连接。本实施方式中，通过光学检测漏液装置70a及抽真空装置80抽真空两种方式，检测液态光学元件是否漏液，能够进一步提高对液态光学元件检测漏液的精度。

光学波前量测系统100a还包括可相对承载装置转动地运动装置90。运动装置90包括载台91及驱动载台91运动的驱动件93。处理器60a与驱动件93电性连接，用于控制驱动件93驱动载台91运动。本实施方式中，载台91可绕轴转动。温湿度装置50a、光学检测漏液装置70a及抽真空装置80均设置于运动装置90上。运动装置80根据光学波前量测系统100a量测的流程而改变与承载装置的相对位置。当波前量测装置30a需量测液态光学元件的波前信息时，运动装置90将温湿度装置50转动至与承载装置对应的第一预设位置。温湿度装置50a的调温器调节液态光学元件所处环境的温度至预设温度，温湿度装置50a的加湿器调节液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度。当需光学检测漏液装置70检测液态光学元件是否漏液时，运动装置90将光学检测漏液装置70a转动至与液态光学元件对应的第二预设位置，以方便光学检测漏液装置70a检测。当需通过抽真空装置80抽真空进行漏液检测时，运动装置90将抽真空装置80转动至第三预设位置。可以理解，第一预设位置、第二预设位置与第三预设位置可以相同也可以不相同。

根据光学波前量测系统100a量测的各个流程，处理器60a控制运动装置90灵活移动温湿度装置50、光学检测漏液装置70a及抽真空装置80的位置，而无需改变液态光学元件200及波前量测装置30的相对位置，即减少了因移动导致的误差，从而提高了光学波前量测系统100a的量测精度。

可以理解，可以省略抽真空装置80，通过机构件(例如通过治具上下扣合)使液态光学元件的弹性膜层发生位移而改变形状，观察液态光学元件内是否产生气泡，检查漏液。

可以理解，可以省略光学检测漏液装置70a，直接通过波前量测装置检测液态光学元件是否发生漏液。

在一实施方式中，请参阅图7，图7为本申请又一实施方式提供的光学波前量测系统的结构示意图，光学波前量测系统的100b的波前量测装置30b为立式波前量测设备，波前量测装置30b的光发生器31b、光接收器33b呈图7所示的纵向排列。

请参阅图8，图8为本申请实施方式提供的一种光学波前量测方法的流程示意图。一种光学波前量测方法，应用于上述光学波前量测系统。光学波前量测方法包括以下步骤：

步骤101，调温器调节待测液态光学元件所处环境的温度至预设温度。

步骤102，加湿器调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度。

步骤103，在所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，波前量测装置检测通过液态光学元件的波前信息。

光学波前量测方法还包括步骤：

步骤104，光学检测漏液装置检测所述液态光学元件是否发生漏液。

步骤105，将所述液态光学元件所处环境转换为真空环境，检测所述液态光学元件是否发生漏液。

所述步骤104，光学检测漏液装置检测所述液态光学元件是否发生漏液，包括：在所述液态光学元件的弹性膜层受力变形时，光学检测漏液装置检测所述液态光学元件是否发生漏液。本实施方式中，如图4a所示，通过玻璃(图未示)对致动器205施加压力F使弹性膜层202受力变形时，光学检测漏液装置检测所述液态光学元件是否发生漏液。在进行步骤103时亦可同时进行步骤104，以节约时间，提高检测效率。另外，使用透光率高的玻璃施加压力，可减少漏液检测对波前检测的干涉。

步骤105包括：将所述液态光学元件放置于腔体；抽真空装置对所述腔体进行抽真空使得所述液态光学元件处于真空环境下。在真空环境下，由于液态光学元件的弹性膜层的内外压力不同，若液态光学元件发生破损，则液态光学元件内的第一光学流体及/或第二光学流体会漏出。

在进行完步骤104后再进行步骤105，即通过光学检测漏液装置及抽真空两种方式，检测液态光学元件是否漏液能够进一步提高对液态光学元件检测漏液的精度。

所述检测所述液态光学元件是否发生漏液，包括：通过显微镜或者波前量测装置检测所述液态光学元件在真空环境下是否发生漏液。

可以理解，不限定步骤101-105依次进行，步骤101-106根据实际需要调整步骤顺序，例如步骤104也可以位于步骤101前，一些步骤也可以同步进行，例如步骤101与步骤102。

本申请提供的光学波前检测系统及光学波前检测方法，由于将待测液态光学元件所处环境的温度调节至预设温度及湿度至预设湿度，使得波前量测装置能够检测处于特定环境下的液态光学元件的光学性能，提高波前量测装置的量测精度，有利于提高液态光学元件的可靠性。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种光学波前量测系统，其特征在于，包括承载装置、波前量测装置、温湿度装置及处理器，所述承载装置用于定位待测液态光学元件，所述波前量测装置用于检测通过所述液态光学元件的波前信息，所述温湿度装置用于调节所述液态光学元件所处环境的温度至预设温度，及调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度，所述处理器与所述波前量测装置及所述温湿度装通信连接，所述处理器用于在确定所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，控制所述波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息。

2.根据权利要求1所述的光学波前量测系统，其特征在于，所述光学波前量测系统还包括光学检测漏液装置，用于检测所述液态光学元件是否发生漏液。

3.根据权利要求2所述的光学波前量测系统，其特征在于，所述光学波前量测系统还包括与所述处理器通信连接的抽真空装置，用于对密封液态光学元件的腔体抽真空，以使液态光学元件处于真空环境下。

4.根据权利要求3所述的光学波前量测系统，其特征在于，所述光学波前量测系统还包括运动装置，所述温湿度装置、所述光学检测漏液装置及所述抽真空装置均固定于所述运动装置上，所述运动装置能够相对所述承载装置转动。

5.根据权利要求1所述的光学波前量测系统，其特征在于，所述承载装置包括固定座及夹持件，所述固定座与所述夹持件固定连接，用于将所述液态光学元件固定夹持于所述固定座与所述夹持件之间。

6.根据权利要求5所述的光学波前量测系统，其特征在于，所述固定座包括座体及多个支撑臂，所述座体上贯通开设通孔，所述支撑臂的一端固定连接于所述通孔的内壁上，所述支撑臂的另一端朝向所述通孔中心延伸，所述夹持件的数量对应所述支撑臂的数量，每个夹持件对应与一个支撑臂固定连接，用于将所述液态光学元件固定夹持于所述支撑臂与所述夹持件之间。

7.根据权利要求6所述的光学波前量测系统，其特征在于，所述支撑臂朝向所述夹持件的一面凸设第一定位凸起，所述多个支撑臂的第一定位凸起围绕形成容纳所述液态光学元件的收容空间。

8.一种光学波前量测方法，其特征在于，所述光学波前量测方法包括：

调节液态光学元件所处环境的温度至预设温度；

调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度；

在所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息。

9.根据权利要求8所述的光学波前量测方法，其特征在于，还包括：光学检测装置检测所述液态光学元件是否发生漏液。

10.根据权利要求9所述的光学波前量测方法，其特征在于，所述光学检测装置检测所述液态光学元件是否发生漏液，包括：在所述液态光学元件的弹性膜层受力变形时，光学检测漏液装置检测所述液态光学元件是否发生漏液。

11.根据权利要求9所述的光学波前量测方法，其特征在于，还包括：将所述液态光学元件所处环境转换为真空环境，检测所述液态光学元件是否发生漏液。

12.根据权利要求11所述的光学波前量测方法，其特征在于，所述将所述液态光学元件所处环境转换为真空环境，以检测所述液态光学元件是否发生漏液，包括：

将所述液态光学元件放置于腔体；

通过抽真空装置对所述腔体进行抽真空，使所述液态光学元件处于真空环境下，从而进一步检测所述液态光学元件是否发生漏液。