CN110174129B - 位置检测编码器和位置检测编码器的制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种位置检测编码器包括：标尺，该标尺具有沿与位置检测图案的长度方向平行的方向形成的位置检测图案和直线图案；和位置检测器，其产生由于位置检测图案沿长度方向的移位而具有不同值的位置检测信号。在位置检测器中，形成位置确认图案，其包括以一间隔布置的两个标记，该间隔等于或小于沿位置检测图案宽度方向的位置检测器和标尺之间位置关系的偏差容许值。

Description

位置检测编码器和位置检测编码器的制造方法
技术领域
本发明涉及位置检测编码器。
背景技术
在位置检测编码器中，必须以高度准确性检测被测量物体的位置。日本已公开专利No.2008-64498公开了一种技术，用于对由于构成位置检测编码器的部件的位置偏差造成的被测量物体位置的检测误差进行修正。
通过使用日本已公开专利No.2008-64498中描述的技术，甚至在构成位置检测编码器的部件的位置偏差时，也可通过修正检测结果了改善被测量物体位置的检测准确性。然而，在常规技术中，必须在标尺上形成专用于修正用途(除了位置检测用途外)的图案，且需要用于修正用途的特殊计算等来执行修正。
发明内容
有鉴于这种情况，本发明提供了一种技术，其能容易地调整构成位置检测编码器的部件的位置关系。
本发明的一个方面是一种位置检测编码器，其包括：标尺，包括沿与位置检测图案的长度方向平行的方向形成的位置检测图案和直线图案；和位置检测器，其产生由于位置检测图案沿长方向的移位而改变的位置检测信号。在位置检测器中，形成位置确认图案，其包括以一间隔布置的两个标记，该间隔等于或小于沿位置检测图案的短方向的位置检测器和标尺之间位置关系的偏差容许值。
位置确认图案可以形成在一位置处，在该位置处，在标尺沿长方向移位时，直线图案的预定范围被包括在两个标记之间的状态下，位置检测器可经由位置检测图案接收表明标尺位置的信号。在位置检测器中，多个位置确认图案可以形成在沿长方向的不同位置处。
多个位置确认图案可以形成在一些位置处，其中在直线图案的预定范围被包括在属于相应位置确认图案的两个标记之间的状态下，位置检测器可输出正常位置检测信号。
位置确认图案可以进一步包括至少一个辅助标记，其被布置在将两个标记连接的直线上的一位置处。至少一个辅助标记可以被布置在所述两个标记之间。
位置确认图案也可以包括多个辅助标记，且在多个辅助标记中的邻近辅助标记之间的间隔被限定为Δ，多个位置确认图案之间的距离限定为L，且标尺和位置检测器之间的沿偏转方向的偏差容许值限定为θ时，位置确认图案可以满足关系θ>tan-1(Δ/L)。
标尺可以具有多个直线图案，其形成为沿位置检测图案的短方向接触位置检测图案的两端部。标尺可以包括用于检测绝对位置的绝对位置检测图案和用于检测相对位置的相对位置检测图案，且直线图案可以形成在绝对位置检测图案和相对位置检测图案的边界位置处。
本发明的另一方面是一种位置检测编码器的制造方法，该位置检测编码器设置有标尺，该标尺包括位置检测图案和沿与位置检测图案的长方向平行的方向形成的直线图案；和位置检测器，其产生由于位置检测图案沿长方向的移位而改变的位置检测信号，位置检测器形成有位置确认图案，该位置确认图案包括以一间隔布置的两个标记，该间隔等于或小于用于沿位置检测图案的短方向的位置检测器和标尺之间位置关系的偏差容许值。制造方法包括移位步骤和判断步骤，该移位步骤让标尺沿长方向移位，该判断步骤在执行沿长方向移位的同时判断直线图案是否被包括在两个标记之间。
根据本发明，构成位置检测编码器的部件的位置关系可被容易地调整。
附图说明
通过本发明示例性实施例的非限制性例子参考多个附图，进一步在下文详细描述本发明，其中相同附图标记在附图的几幅图中代表相似零件，且其中：
图1示意性地示出了测量设备的构造；
图2示出了标尺的构造；
图3A和3B显示了根据第一实施例的位置检测器的构造；
图4示意性地示出了位置确认图案的修改例的构造；
图5示意性地示出了位置确认图案的修改例的构造；
图6A到6C显示了根据第二实施例的位置检测器的构造；
图7示出了沿偏转方向的位置偏差量和信号幅值之间的关系；
图8A和8B显示了标尺修改例的构造；和
图9示出了标尺修改例的构造。
具体实施方式
本文所示的细节是示例性的且目的是仅对本发明的实施例进行示例性描述，且目的是提供被认为最有用且易于理解的本发明原理和原则的内容。在这方面，不会试图比对本发明进行基本理解所必要的更详细地显示本发明的结构细节，对附图的描述使得本领域技术人员理解可以如何实施本发明的形式。
第一实施例
测量设备S的构造
图1示意性地示出了测量设备S的构造。测量设备S使用增量系统(incrementalsystem)和绝对系统(absolute system)测量被测量物体的位置。增量系统在起动操作之后通过连续识别标尺相对于最初位置的相对位置而对位置进行测量。绝对系统通过识别标尺相对于在起动操作之前设定的预定测量参考位置的绝对位置而对位置进行测量。
测量设备S包括光源1、透镜2、光栅3、标尺4、位置检测器5、线缆7和处理设备8。光源1、透镜2、光栅3、标尺4、和位置检测器5用作位置检测编码器6。线缆7用作传输通道，以传输通过位置检测器5发送的串行信号。处理设备8经由线缆7(传输通道)发送串行信号，该串行信号包括用于控制位置检测器5的控制数据。
光源1是用作能发光的光学发射器的装置且例如是发光二极管(LED)。光源1以朝向透镜2发光的取向设置。
透镜2改变从光源1而来的入射光的取向，使得从光源1发射的光照射标尺4的预定区域。具体地，透镜2将通过光源1发射的光转换为平行光束，使得通过光源1发射的光通过行经形成在标尺4上的多个轨道(track)而到达位置检测器5。通过透镜2转换为平行光束的光入射到光栅3。
光栅3使得经由透镜2达到的入射光的照度均匀。具体地，光栅3配置为在位置检测器5中对光进行检测的区域中使得从透镜2入射的平行光束的光照分布均匀。在从透镜2发射的平行光束的光照分布均匀的情况下，可以不为测量设备S设置光栅3。
图2示出了标尺4的构造。标尺4是允许从光源1发射的光的至少一部分经过的板且包括分别具有不同图案的多个轨道。标尺4包括用于检测被测量物体的位置的位置检测图案40和用于检查标尺4和位置检测器5的位置关系的直线图案P11。
如图2所示，位置检测图案40沿标尺4的长方向(长度方向)具有第一轨道41、第二轨道42、和第三轨道43，其中透光区域和不透光区域彼此平行地顺序布置。直线图案P11是沿与位置检测图案40的长方向平行的方向形成的线。在第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43中，标尺4让经由光栅3达到的入射光部分透过并根据位置检测器5中的位置产生具有不同强度的透射光。
第一轨道41和第三轨道43是绝对标尺图案(absolute scale pattern)(后文称为ABS图案)，其用于使用绝对系统指定被测量物体的位置。第一轨道41的图案周期不同于第三轨道43的图案周期。
第二轨道42是增量标尺图案(incremental scale pattern)(后文称为INC图案)，其用于使用增量系统指定被测量物体的位置。第二轨道42的图案周期比第一轨道41和第三轨道43的图案周期更短。
返回到图1，位置检测器5是用于产生位置检测信号的光接收模块，该位置检测信号通过让位置检测图案40沿长方向移位而改变。位置检测器5包括基板，在其上安装光接收器元件，其根据分别经由第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43接收的光强度输出光信号。光接收器元件是将光转换为电流的光电元件。安装了光接收器元件的基板例如是玻璃基板，且形成有布线图案(wiring pattern)，用于将通过光接收器元件输出的位置检测信号发送到处理设备8。位置检测器5输出位置检测信号，该位置检测信号具有与通过光接收器元件接收的光量对应的值，该位置检测信号由于位置检测图案40沿长方向的移位而改变。
在本说明书中位置检测编码器6被描述为光电编码器，但是可以是另一类型的编码器，例如静电编码器或电磁感应编码器。在位置检测编码器6是静电编码器时，位置检测器5输出与电容变化对应的信号。在位置检测编码器6是电磁感应编码器时，位置检测器5输出与基于电磁感应的移位量对应的信号。此外，在本说明书中，位置检测编码器6被描述为绝对系统编码器，其具有ABS图案和INC图案，但是可以是仅具有INC图案的增量系统编码器。下文是位置检测器5的详细描述。
位置检测器5的构造
图3A和3B显示了根据第一实施例的位置检测器5的构造。位置检测器5包括光接收器51，其产生位置检测信号，该位置检测信号由于位置检测图案40沿长方向的移位而具有不同值。
在如上所述的标尺4中，具有透光区域和不透光区域的多个轨道沿与标尺4的长方向正交的短方向(宽度方向)布置。在位置检测器5沿短方向的位置与设计值偏离(后文称为横向偏差位置)时，会在光接收器51接收的多个光信号之间发生串扰，且光接收器51接收的光信号的强度会降低。结果，通过位置检测器5做出的位置检测的准确性会降低。
如图3A所示，位置确认图案P21形成在位置检测器5的玻璃基板中，且在使用形成在标尺4中的直线图案P11调整横向偏差位置时使用。具体地，位置检测器5形成有位置确认图案P21，其如图3B所示包括两个标记P211和P212，该两个标记按间隔R布置，该间隔R等于或小于用于沿位置检测图案40的短方向的位置检测器5和标尺4之间位置关系的偏差容许值。该偏差容许值是与在光信号串扰或光信号强度降低量为容许值时的偏差量对应的值。
位置确认图案P21形成在一位置，在该位置，在标尺4沿长方向移位时，直线图案P11的预定范围被包括在两个标记P211和P212之间的状态下，位置检测器5可经由位置检测图案40接收表明标尺4的位置的信号。表明标尺4的位置的信号例如是由于光电编码器中的标尺4的移位而改变的光、由于静电编码器中的标尺4的移位而改变的电容等。在本说明书中，表明标尺4的位置的信号被描述为光电编码器中的光。具体地，位置确认图案P21形成在一位置，在该位置，在直线图案P11的预定范围被包括在两个标记P211和P212之间的状态下，光信号的串扰或光信号强度降低量在容许范围内。
位置检测编码器6的制造方法
在制造位置检测编码器6的过程中，操作者例如让标尺4沿长方向移位同时使用显微镜对位置确认图案P21附近情况进行观察，且在沿长方向执行标尺4的移位的同时判断直线图案P11是否被包括在两个标记P211和P212之间。操作者在整个直线图案P11被包括在两个标记P211和P212之间时做出“正常”的判断，且在整个直线图案P11未被包括在两个标记P211和P212之间时做出“异常”的判断。在操作者判断存在异常时，操作者调整标尺4和位置检测器5的位置关系，且随后再次做出判断。
如上所述的制造过程的至少一部分可以通过计算机执行。例如，标尺4可以在计算机的控制下沿长方向移位。在沿长方向执行移位时，通过图像位置确认图案P21周围的区域的图像并通过用计算机分析捕捉的图像，可以做出直线图案P11是否被包括在两个标记P211和P212之间的判断。
第一实施例的优点
如上所述，在根据第一实施例的位置检测编码器6中，标尺4包括直线图案P11且位置检测器5包括位置确认图案P21。通过让位置检测编码器6具有这种构造，操作者可通过在位置检测编码器6制造过程期间检测直线图案P11是否被包括在位置确认图案P21的两个标记P211和P212之间而容易地确认在横向偏差位置中是否存在偏差。结果，使用位置检测编码器6，可容易地调整构成位置检测编码器6的部件的位置关系。
此外，通过让位置检测编码器6具有这种构造，可以检查在横向偏差位置中是否存在偏差，而不需测量位置偏差量，且因此可减少对例如摄像头这样的设备和测量软件进行投资的成本。此外，在使用接收信号测量位置偏差量的情况下，必须根据位置检测编码器6的类型在一定环境中执行调整工作：例如，在位置检测编码器6是光电编码器时，需要在黑暗的地方执行调整工作。然而，根据位置检测编码器6，可以检查横向偏差位置中是否存在偏差，而不需测量位置偏差量，且因此可不受环境影响地调整构成位置检测编码器6的部件的位置关系。
进一步地，在标尺4的附着器、固定标尺4的机构(附图中未示出)和位置检测器5中之一倾斜的情况下，操作者也可在标尺4沿长方向移位时检查直线图案P11的对位置确认图案P21的第一标记进行接近和运动远离第二标记的移位。通过在位置检测编码器6制造过程中间执行的中间检验中执行这种检查，可以防止由于在位置检测编码器6已经制造之后执行的最终检查中找到了构件的位置偏差而再次执行该过程。
第一修改例
在前述描述中，给出了一例子，其中位置检测器5包括具有两个标记P211和P212的位置确认图案P21，但是，包括在位置确认图案P21中的标记并不限于这两个标记P211和P212。图4示意性地示出了位置确认图案P21的修改例的构造。如图4所示，位置确认图案P21定位在连接两个标记P211和P212的直线上且可以进一步包括布置在两个标记P211和P212之间的辅助标记P213。在图4中，给出了一例子，其中位置确认图案P21包括四个辅助标记P213。
在这种情况下，例如，辅助标记P213以间隔Δ1布置，该间隔等于或小于用于横向偏差位置的偏差容许值的1/2。在图4所示的位置确认图案P21中，四个辅助标记以等于用于横向偏差位置的偏差容许值的1/5的间隔布置。在仅两个标记P211和P212被包括在位置确认图案P21中的情况下，操作者可仅判断位置检测器5是否在用于横向偏差位置的偏差容许值以内。然而，通过进一步具有辅助标记P213的位置确认图案P21，操作者可确认横向偏差位置所偏差的程度。
第二修改例
在以上描述中，给出了一例子，其中安装了光接收器元件的基板是玻璃基板，但是基板不总是透明的。图5示意性地示出了位置确认图案P21的修改构造。例如，在基板是非透明基板(例如印刷电路板(PCB))时，多个孔可以形成在基板中作为标尺标记。例如，端面上的多个半圆、V形或其他凹槽、边缘附近的多个图案、或多个圆形孔等可以形成在基板中，以作为位置确认图案P21。在这种情况下，形成在基板中的多个凹槽等可以形成在一位置，在该位置，在直线图案P11的预定范围被包括在多个凹槽等之间的状态下，位置检测器5可接收经由位置检测图案40达到的光。
具体地，如图5中的位置确认图案P26那样，基板可以具有多个半圆凹槽，所述多个半圆凹槽在分别与包括在位置确认图案P21中的两个标记P211和P212对应的位置处形成在端面上。此外，如图5中的位置确认图案P27那样，基板可以具有多个圆形孔，所述多个圆形孔在分别与包括在位置确认图案P21中的两个标记P211和P212对应的位置处形成。
进一步地，如图5中的位置确认图案P28和P29那样，基板可以具有多个半圆或方形凹槽，所述多个半圆或方形凹槽在分别与包括在位置确认图案P22中的两个标记P221和P222和多个辅助标记P223对应的位置处形成在端面上。进而，如图5中的位置确认图案P30那样，基板可以具有多个圆形孔，所述多个圆形孔在分别与两个标记P221和P222和多个辅助标记P223对应到位置处且还在分别与包括在位置确认图案P22中的标记和辅助标记之间或两个辅助标记之间对应的位置处交替地形成。以此方式，在位置检测编码器6的制造过程中，操作者可通过检查经过形成在基板中的多个孔的光而容易地确认是否在横向偏差位置中存在偏差。
第二实施例
沿偏转方向(Yawing Direction)进行位置偏差的检测
接下来，描述第二实施例。在根据第一实施例的位置检测编码器6中，位置检测器5包括一个位置确认图案。然而，难以使用一个位置确认图案沿偏转方向(标尺4和位置检测器5的倾斜方向)检测位置偏差。为此，根据第二实施例的位置检测编码器6沿位置检测器5的长方向包括多个位置确认图案。后文中，对与第一实施例不同的部分进行描述。在适当的情况下省略与第一实施例相同的部分的描述。
图6A到6C显示了根据第二实施例的位置检测器5的构造。在根据第二实施例的位置检测器5中，在沿长方向的不同位置处形成多个位置确认图案。如图6A所示，定位在光接收器51左侧的位置确认图案P22和定位在光接收器51右侧的位置确认图案P23形成在位置检测器5中。位置确认图案P22和P23形成在一些位置处，其中在形成在标尺4中的直线图案P11的预定范围被包括在属于每一个图案的两个标记(例如标记P221和P222)之间的状态下，位置检测器5可输出正常位置检测信号。位置确认图案P22和位置确认图案P23之间的距离以及位置确认图案P22和位置确认图案P23的标记之间的距离被限定为一距离，其中可以检测沿偏转方向的位置偏差是否在容许范围内。在位置检测器5具有多个这种位置确认图案时，标尺4和位置检测器5之间沿偏转方向的位置偏差可被容易地确认。
位置确认图案可以进一步包括至少一个辅助标记，其被布置在将两个标记连接的直线上的一位置处。具体地，至少一个辅助标记被布置在两个标记之间。更具体地，如图6B所示，位置确认图案P22包括布置在两个标记P221和P222之间的四个辅助标记P223。以此方式，在位置检测图案具有辅助标记时，可以以高度准确性检测沿偏转方向的位置偏差量。
图7示出了沿偏转方向的位置偏差量和信号幅值之间的关系。图7中的垂直轴线表示光接收器51接收的光信号的幅值与最大值的比，且水平轴线表示沿偏转方向的位置偏差的角度(在中心为0.0°时)。如图7所示，基于光信号幅值减小量所允许的范围确定沿偏转方向的偏差容许值。在沿偏转方向的偏差容许值被超过时，位置检测器5的信号强度降低且检测被测量物体位置的准确性降低。为此，如图6C所示，在四个邻近辅助标记之间的间隔被限定为Δ2时，两个位置确认图案P22和P23之间的距离被限定为L，且沿偏转方向在标尺4和位置检测器5之间的偏差容许值被限定为θ，以满足关系θ>tan-1(Δ2/L)的间隔布置多个辅助标记P223。
位置检测编码器6的制造方法
在制造位置检测编码器6的过程中，例如，操作者让标尺4沿长方向移位，同时使用显微镜来观察位置确认图案P22和P23的附近情况。在沿长方向执行移位的同时，判断直线图案P11是否被包括在多个位置确认图案中的一标记和辅助标记之间或两个对应的邻近辅助标记之间。“两个对应辅助标记”是沿标尺4的短方向具有相同位置的辅助标记。
操作者在整个直线图案P11被包括在多个位置确认图案中的一标记和辅助标记之间或两个对应邻近辅助标记之间时做出“正常”的判断(例如，沿偏转方向的偏差量小于θ)，且在整个直线图案P11未被包括在两个邻近辅助标记之间或一标记和辅助标记之间时做出“异常”的判断。在操作者判断存在异常时，操作者调整标尺4和位置检测器5的位置关系，且随后再次做出判断。
如上所述的制造过程的至少一部分可以通过计算机执行。例如，标尺4可以在计算机的控制下沿长方向移位。在沿长方向执行移位的同时，通过捕捉位置确认图案P22和P23周围的区域的图像并通过用计算机分析捕捉的图像，可以做出直线图案P11是否被分别包括在多个位置确认图案中的所述标记和辅助标记之间或两个邻近辅助标记之间的判断。
第二实施例的优点
如上所述，在根据第二实施例的位置检测编码器6中，位置检测器5包括多个位置确认图案，其具有布置在两个标记之间的至少一个辅助标记。通过让位置检测编码器6具有这种构造，操作者可在位置检测编码器6的制造过程中通过检查直线图案P11是否分别被包括在用于多个位置确认图案的一标记和辅助标记之间或两个邻近辅助标记之间而容易地确认沿偏转方向是否存在位置偏差。
修改例
在前述描述中，给出了一例子，其中标尺4包括一个直线图案P11。然而，标尺4所具有的直线图案的数量并不限于一个。图8A、8B、和9显示了标尺4的修改构造。标尺4可以包括多个直线图案，其形成为沿位置检测图案的短方向接触位置检测图案40的两端部。如图8A所示，除了形成在第一轨道41上方的直线图案P11，标尺4可以具有形成在第三轨道43下方且定位在与直线图案P11相对侧的直线图案P12。
在这种情况下，如图8B所示，位置确认图案P22和P23(其布置为使得在标尺4和位置检测器5的位置关系正常时直线图案P11被包括在预定范围内)和位置确认图案P24和P25(其布置为使得在标尺4和位置检测器5的位置关系正常时直线图案P12被包括在预定范围内)形成在位置检测器5上。以此方式，操作者可根据位置检测编码器6的类型基于易于观察的位置确认图案检查在标尺4和位置检测器5的位置关系中是否存在偏差。
此外，通过沿标尺4的位置检测图案的短方向将直线图案布置在两端部上，可以在不与位置检测图案重叠的位置处形成直线图案。进一步地，在制造标尺4时，在以尖锐点结束的形状上执行蚀刻，例如ABS图案的最前端，这在制造期间降低稳定性。然而，通过在标尺4的两端部处形成直线图案，可以在距ABS图案最前端部较远的位置处形成直线图案，因此改善制造期间的稳定性。
因为有限的表面区域，难以沿短方向在标尺4的两端部上形成直线图案。在具有ABS图案和INC图案的标尺4中，可以在ABS图案和INC图案的边界位置处形成直线图案。如图9所示，标尺4可以具有在第一轨道(ABS图案)和第二轨道(INC图案)的边界位置处具有直线图案P13，且可以在第二轨道和第三轨道(ABS图案)的边界位置处具有直线图案P14。以此方式，可以在比沿标尺4的沿短方向的两端部更宽的区域中在标尺4上形成直线图案。
通过实施例如上描述了本发明，但是本发明的技术范围并不限于如上所述的实施例，且可以在描述范围内进行各种修改。例如，分离或整合装置的具体实施例并不限于如上所述的实施例，且其全部或一部分可在功能上或实体地配置为分离或在任何期望单元中整合。此外，通过多个实施例的任意组合形成的新颖实施例也包括在本发明实施例的范围内。通过这种组合产生的新颖实施例的优点也包括原始本发明实施例的优点。
应注意，前述例子仅出于说明的目的提供且不是为了构成对本发明的限制。尽管已经参考示例性实施例描述了本发明，但是应理解本文已经使用的词语是描述和说明性的词语，而不是限制性的词语。可以在所陈述和所修改的所附权利要求的范围内可以做出改变，而在其一些方面，不脱离本发明的范围和精神。虽然已经参考具体结构、材料和实施例在本文描述了本发明，但是本发明不应被限制为所公开的具体形式；相反，本发明涵盖虽有功能等同的结构、方法、和用途，例如在所附权利要求的范围内。
本发明并不限于如上所述的实施例，且可以在不脱离本发明范围的情况下做出各种变化和修改。
相关申请的交叉引用
本申请根据35U.S.C.§119要求2018年2月21日提交的日本申请No.2018-029187的优先权，该申请的内容通过引用全部合并于本文。

Claims (10)

1.一种位置检测编码器，包括：
标尺，包括：
位置检测图案；和
直线图案，沿与位置检测图案的长度方向平行的方向延伸；和
位置检测器，产生位置检测信号，该位置检测信号由于位置检测图案沿长度方向的移位而改变，
其中，所述直线图案用于检查标尺和位置检测器的位置关系；
位置检测器包括：
位置确认图案，其包括以一间隔布置的两个标记，该间隔小于或等于沿位置检测图案宽度方向的位置检测器和标尺之间位置关系的偏差容许值。
2.如权利要求1所述的位置检测编码器，其中位置确认图案形成在一位置处，在该位置处，在标尺沿长度方向移位时，直线图案的预定范围被包括在所述两个标记之间的状态下，位置检测器能经由位置检测图案接收表明标尺位置的信号。
3.如权利要求1所述的位置检测编码器，其中位置确认图案包括沿长度方向形成在不同位置处的多个位置确认图案。
4.如权利要求3所述的位置检测编码器，其中所述不同位置包括这样的位置，其中在直线图案的预定范围被包括在属于多个位置确认图案的相应位置确认图案的两个标记之间的状态下，位置检测器能输出正常位置检测信号。
5.如权利要求3所述的位置检测编码器，其中多个位置确认图案中的一位置确认图案进一步包括至少一个辅助标记，其布置在连接所述两个标记的直线上的一位置处。
6.如权利要求5所述的位置检测编码器，其中至少一个辅助标记布置在所述两个标记之间。
7.如权利要求5所述的位置检测编码器，其中：
多个位置确认图案中的每一个位置确认图案包括多个辅助标记，且
在多个辅助标记中的邻近辅助标记之间的间隔被限定为Δ，多个位置确认图案之间的距离限定为L，且标尺和位置检测器之间的沿偏转方向的偏差容许值限定为θ时，位置确认图案满足关系θ>tan-1(Δ/L)。
8.如权利要求1所述的位置检测编码器，其中直线图案包括多个直线图案，所述多个直线图案布置为沿位置检测图案的宽度方向接触位置检测图案的两端部。
9.如权利要求1所述的位置检测编码器，其中所述标尺进一步包括：
绝对位置检测图案，用于检测绝对位置；和
相对位置检测图案，用于检测相对位置，其中直线图案形成在绝对位置检测图案和相对位置检测图案的边界位置处。
10.一种制造位置检测编码器的方法，该编码器具有标尺和位置检测器，该标尺包括位置检测图案和沿与位置检测图案的长度方向平行的方向形成的直线图案，且该位置检测器产生位置检测信号，该位置检测信号由于位置检测图案沿长度方向的移位而改变，该位置检测器形成有位置确认图案，该位置确认图案包括以一间隔布置的两个标记，所述间隔等于或小于沿位置检测图案宽度方向的位置检测器和标尺之间位置关系的偏差容许值，该方法包括：
让标尺沿长度方向移位；和
在执行沿长度方向的移位的同时判断直线图案是否被包括在所述两个标记之间。
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