CN110161838B - 带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，包括主控制器和从控制器；所述主控制器包括第一压电元件，耦接第一压电元件的第一电荷放大器，第二压电元件，耦接第二压电元件的第二电荷放大器，耦接第一电荷放大器和第二电荷放大器的第一差分器，以及耦接第一差分器输出端的PC端；所述从控制器包括第三压电元件，耦接第三压电元件的第三电荷放大器，第四压电元件，耦接第四压电元件的第四电荷放大器，耦接第三电荷放大器和第四电荷放大器的第二差分器；以及PID控制器、PZT控制器和刀具快速伺服装置。本发明的系统可以使用压电陶瓷长时间测量静态力，能够实现对超稳定静态力测量、高刚度静态力反馈的超精密加工。
Description
技术领域
本发明涉及切削控制技术领域，具体涉及一种带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统。
背景技术
金刚石精密切割是生产复杂微结构表面的关键技术，可应用于半导体、精密光学、太阳能和生物设备等领域。随着微加工技术向大尺度和高精度的发展趋势，静态切屑力的测量和控制成为满足并优化加工生产率和质量的重要课题。
传统用于精密加工的力反馈控制只能通过应变片或者带位移传感器的悬臂梁结构来实现。然而这些传感器刚度低，不利于保持实际加工中的刚度要求。传统压电力传感器具有高刚度和高灵敏度等特性，但是受限于电荷放大器中不存在无限阻值的电阻和没有漏电流的运算放大器，压电传感器不能测量长时间的静态力。目前最新的压电力传感器只能实现几分钟内的静态力的测量，压电力传感器测量长时间静态力是发展的先决条件。
发明内容
本发明的目的在于提出一种带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，该方法通过自动补偿压电力传感器的静态漂移实现对微切屑力在极低的偏差范围内长时间稳定测量和控制，利用主从控制系统，实现在微切削过程中长期稳定的控制切削力输出。
为达到上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，包括主控制器和从控制器；
所述主控制器包括第一压电元件，耦接第一压电元件的第一电荷放大器，第二压电元件，耦接第二压电元件的第二电荷放大器，负极耦接第一电荷放大器、正极耦接第二电荷放大器的第一差分器，以及耦接第一差分器输出端的PC端；
所述从控制器包括第三压电元件，耦接第三压电元件的第三电荷放大器，第四压电元件，耦接第四压电元件的第四电荷放大器，负极耦接第三电荷放大器、正极耦接第四电荷放大器的第二差分器；以及PID控制器、PZT控制器和刀具快速伺服装置；
其中，所述第一压电元件用于接收设定控制力信号，第二压电元件用于接收乘以比例系数k的设定控制力信号；所述第三压电元件集成于所述刀具快速伺服装置中，用于测量刀具切削力，所述第四压电元件用于接收乘以比例系数n的刀具切削力信号；所述PID控制器的正端耦接所述PC端，负端耦接第二差分器的输出端，输出端耦接PZT控制器的输入端，PZT控制器的输出端耦接所述刀具快速伺服装置。
进一步的，所述第一压电元件、第二压电元件、第三压电元件和第四压电元件的型号和参数均相同，所述第一电荷放大器、第二电荷放大器、第三电荷放大器和第四电荷放大器的型号和参数均相同。
进一步的，所述第一电荷放大器包括运算放大器及耦接于运算放大器反相输入端与输出端之间的电容。
进一步的，所述第一压电元件和第二压电元件处于相同温度状态下，第三压电元件和第四压电元件处于相同温度状态下。
进一步的，所述第一差分器和第二差分器的型号和参数相同，包括运算放大器，耦接于运算放大器同相输入端的第一电阻，耦接于反相输入端的第二电阻，耦接于同相输入端和输出端间的第三电阻，以及耦接于反相输入端和接地点之间的第四电阻。
进一步的，所述第一差分器用于计算第一电荷放大器和第二电荷放大器的差值，第二差分器用于计算第三电荷放大器和第四电荷放大器的差值，从而实现对温度和芯片漏电流导致的漂移自动补偿。
可选的，所述压电元件为压电陶瓷制成的压电力传感器，包括钛酸钡压电力传感器、锆钛酸铅系压电力传感器、改性锆钛酸铅压电力传感器、偏铌酸铅压电力传感器、铌酸铅钡锂压电力传感器或改性钛酸铅压电力传感器。
优选的，所述压电元件为锆钛酸铅系压电力传感器。
进一步的，所述压电力传感器上表面覆着正电极，下表面覆着负电极。
进一步的，所述压电力传感器通过带粘性的铜箔和导电银胶连接所述电荷放大器。
本发明相对于现有技术的有益效果为：
第一，本发明首次将主从控制策略用于超精密加工系统，实现力反馈的超精密微切削力切削，能够在保持必要的系统刚度条件下灵敏地检测到具有小振幅的微切削力，实现大范围高精度加工要求；
第二，本发明通过取消电荷放大器中力检测单元的电阻，改善由电路电容漏电引起的输出漂移现象，通过对两个相同温度和电路连接状况下的压电力传感器进行差分计算，补偿由于温度变化和漏电流引起的输出漂移，实现利用压电传感器对静态力的长时间稳定测量。
附图说明
图1是本发明实施例的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统单元组成及连接关系示意图。
图2是本发明实施例的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统的工作流程图。
具体实施方式
为了进一步理解本发明，下面结合实施例对本发明优选实施方案进行描述，但是应当理解，这些描述只是为进一步说明本发明的特征和优点，而不是对本发明权利要求的限制。
如图1所示，本发明实施例提供了一种带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其包括压电元件、电荷放大器、差分器、PC端、PID控制器和刀具快速伺服(英文简称：FS-FTS)系统。
其中，由控制端104、压电力传感器105、压电力传感器103、电荷放大器106、电荷放大器102、差分器109和PC端111组成主控制器107。由刀具125、被加工工件124、压电力传感器123、压电力传感器121、电荷放大器122、电荷放大器120、快速伺服系统101、PZT控制器113、差分器116和PID控制器114组成从控制器119。
在本实施例例中压电力传感器103、压电力传感器105、压电力传感器123和压电力传感器121具有相同的结构和性能参数。工作时，压电力传感器105和压电力传感器103处于相同温度状态下，压电力传感器121和压电力传感器123相同温度状态下。
使用带粘性的铜箔和导电银胶将压电力传感器105的正极与电荷放大器106的负极相连，将压电力传感器105的负极与电荷放大器106的正极相连。使用相同的方法，将压电力传感器103的正极与电荷放大器102的负极相连，将压电力传感器103的负极与电荷放大器102的正极相连。相同的方法，将压电力传感器123的正极与电荷放大器122的负极相连，将压电力传感器123的负极与电荷放大器122的正极相连。相同的方法，将压电力传感器121的正极与电荷放大器120的负极相连，将压电力传感器121的负极与电荷放大器120的正极相连。
在本实施例例中，电荷放大器106、102、122和120均包括运算放大器及耦接于运算放大器反相输入端与输出端之间的电容。
本实施例中的电荷放大器与传统压电陶瓷电荷放大器不同，传统电荷放大器电路将电容和电阻并联后接在远算放大器负端和输出端，而本实施例中的电荷放大器取消放大电路中的与电容并联的电阻，只将电容接在运算放大器负端和输出端，从而能够补偿电容漏电导致的输出漂移现象。
在本实施例例中，差分器109和差分器116的型号和参数相同，包括运算放大器，耦接于运算放大器同相输入端的第一电阻，耦接于反相输入端的第二电阻，耦接于同相输入端和输出端间的第三电阻，以及耦接于反相输入端和接地点之间的第四电阻。
作为优选实施方案，上述的压电力传感器可选包括钛酸钡压电力传感器(英文简称：BT)、锆钛酸铅系压电力传感器、改性锆钛酸铅压电力传感器、偏铌酸铅压电力传感器、铌酸铅钡锂(英文简称：PBLN)压电力传感器、改性钛酸铅(英文简称：PT)压电力传感器等。
本实施例中优选的压电力传感器是锆钛酸铅系(英文简称：PZT)压电力传感器。
图2显示了本实施例的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统工作流程图。
压电力传感器105接收控制端104产生的设定力信号并产生电荷信号，由导线传送至电荷放大器106，经电荷放大器106后产生已经消除电容漏电流漂移的电压信号108并传送至差分器109正端。压电力传感器103接收比例系数k的设定力信号产生电荷信号，由导线传送至电荷放大器102，经电荷放大器102后产生已经消除电容漏电流漂移的电压信号112传送至差分器109负端。差分器109输出电荷放大器106产生的电压信号108与电荷放大器102产生的电压信号112的差值电压信号110，实现对温度和运算放大器漏电流产生的输出信号漂移进行补偿。并将经过漂移补偿后的电压信号110至PC端111，PC端111将其处理后作为控制输入信号传送至PID控制器114。
由快速伺服系统101控制刀具125与被加工工件124相接触，产生切削力。由压电力传感器123接收该切削力信号产生电荷，由导线传送至电荷放大器122，经电荷放大器122后产生已经消除电容漏电流漂移的电压信号117传送至差分器116正端。由压电力传感器121接收比例系数n的切削力信号产生电荷，由导线传送至电荷放大器120，经电荷放大器120后产生已经消除电容漏电流漂移的电压信号118传送至差分器116负端。差分器116输出电荷放大器122产生的电压信号117与电荷放大器120产生的电压信号118的差值电压信号115，实现对温度和运算放大器漏电流产生的输出信号漂移进行补偿。并将经过漂移补偿后的电压信号115作为力反馈信号传送至PID控制器114。
PID控制器114接收来自PC端111的控制输入信号和电荷放大器116的反馈信号，将两者差值经过PID运算后输出至PZT控制器113，用以控制快速伺服(英文简称：FS-FTS)系统101，控制刀具125与被加工工件124的相对运动。
以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。
Claims (6)
1.一种带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其特征在于，包括主控制器和从控制器；
所述主控制器包括第一压电元件，耦接第一压电元件的第一电荷放大器，第二压电元件，耦接第二压电元件的第二电荷放大器，负极耦接第一电荷放大器、正极耦接第二电荷放大器的第一差分器，以及耦接第一差分器输出端的PC端；
所述从控制器包括第三压电元件，耦接第三压电元件的第三电荷放大器，第四压电元件，耦接第四压电元件的第四电荷放大器，负极耦接第三电荷放大器、正极耦接第四电荷放大器的第二差分器；以及PID控制器、PZT控制器和刀具快速伺服装置；
其中，所述第一压电元件、第二压电元件、第三压电元件和第四压电元件的型号和参数均相同，且第一压电元件和第二压电元件处于相同温度状态下，第三压电元件和第四压电元件处于相同温度状态下；所述第一电荷放大器、第二电荷放大器、第三电荷放大器和第四电荷放大器的型号和参数均相同，其均包括运算放大器及耦接于运算放大器反相输入端与输出端之间的电容；所述第一压电元件用于接收设定控制力信号，第二压电元件用于接收乘以比例系数k的设定控制力信号；所述第三压电元件集成于所述刀具快速伺服装置中，用于测量刀具切削力，所述第四压电元件用于接收乘以比例系数n的刀具切削力信号；所述PID控制器的正端耦接所述PC端，负端耦接第二差分器的输出端，输出端耦接PZT控制器的输入端，PZT控制器的输出端耦接所述刀具快速伺服装置。
2.如权利要求1所述的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其特征在于，所述第一差分器和第二差分器的型号和参数相同，包括运算放大器，耦接于运算放大器同相输入端的第一电阻，耦接于反相输入端的第二电阻，耦接于同相输入端和输出端间的第三电阻，以及耦接于反相输入端和接地点之间的第四电阻。
3.如权利要求2所述的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其特征在于，所述第一差分器用于计算第一电荷放大器和第二电荷放大器的差值，第二差分器用于计算第三电荷放大器和第四电荷放大器的差值，从而实现对温度和芯片漏电流导致的漂移自动补偿。
4.如权利要求1-3任一项所述的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其特征在于，所述压电元件为压电陶瓷制成的压电力传感器，包括钛酸钡压电力传感器、锆钛酸铅系压电力传感器、改性锆钛酸铅压电力传感器、偏铌酸铅压电力传感器、铌酸铅钡锂压电力传感器或改性钛酸铅压电力传感器。
5.如权利要求4所 述的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其特征在于，所述压电力传感器上表面覆着正电极，下表面覆着负电极。
6.如权利要求5所述的带压电力传感器静态漂移自动补偿的切削力主从控制系统，其特征在于，所述压电力传感器通过带粘性的铜箔和导电银胶连接所述电荷放大器。
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|---|---|
| CN (1) | CN110161838B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102063089A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-05-18 | 吉林大学 | 一种金刚石车削刀具轨迹跟踪方法 |
| CN106343974A (zh) * | 2016-08-26 | 2017-01-25 | 深圳市前海安测信息技术有限公司 | 用于测量微信号的温度漂移补偿装置及方法 |
| KR20170012842A (ko) * | 2015-07-24 | 2017-02-03 | 한국기계연구원 | 광학필름 제조용 금형의 가공 툴 제조방법 및 이를 이용한 금형 제조방법 및 이를 이용한 광학필름 제조방법 및 금형 제조장치 |
| CN107132759A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-09-05 | 沈阳工业大学 | 一种直线电机驱动fts基于eso滑模改进重复控制方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7765905B2 (en) * | 2002-05-29 | 2010-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Magnetic micropositioner and method of providing the same |
| US7290471B2 (en) * | 2005-11-15 | 2007-11-06 | 3M Innovative Properties Company | Cutting tool having variable rotation about a y-direction transversely across a work piece for making microstructures |
| US8659977B2 (en) * | 2009-10-28 | 2014-02-25 | University Of Southern California | Acoustic signal generation system using moving reflecting surface |
| CN203484978U (zh) * | 2012-09-26 | 2014-03-19 | 上海埃斯凯变压器有限公司 | 直驱式r型变压器曲线开料机伺服进刀系统 |
| KR20150068429A (ko) * | 2012-10-05 | 2015-06-19 | 램버스 인코포레이티드 | 조건부-리셋, 멀티-비트 판독 이미지 센서 |
| DE102013207495A1 (de) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | Continental Automotive Gmbh | Handhabe für einen beweglichen Teil eines Kraftfahrzeugs und Verfahren zur Übertragung von Daten in einem Kraftfahrzeug |
| KR20160118723A (ko) * | 2015-04-03 | 2016-10-12 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 버스트 모드의 펄스 레이저 발생 장치 |
| CN204836096U (zh) * | 2015-07-08 | 2015-12-02 | 上海大学 | 一种压电加速度传感器的电荷放大器 |
| JP6342935B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2018-06-13 | ファナック株式会社 | 揺動切削を行う工作機械のサーボ制御装置、制御方法及びコンピュータプログラム |
| CN105700476B (zh) * | 2016-04-28 | 2018-05-01 | 上海交通大学 | 一种无模型参数和驱动器饱和下的颤振主动控制方法 |
| CN107009194A (zh) * | 2017-06-02 | 2017-08-04 | 广东工业大学 | 一种快速刀具伺服装置 |
| CN207283436U (zh) * | 2017-08-23 | 2018-04-27 | 苏州大学 | 压电陶瓷运动平台的驱动电路系统 |
| CN108593110B (zh) * | 2018-05-08 | 2020-10-02 | 天津大学 | 基于pzt相位调制实时补偿的全光纤傅里叶变换光谱仪 |
-
2019
- 2019-05-06 CN CN201910372333.XA patent/CN110161838B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102063089A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-05-18 | 吉林大学 | 一种金刚石车削刀具轨迹跟踪方法 |
| KR20170012842A (ko) * | 2015-07-24 | 2017-02-03 | 한국기계연구원 | 광학필름 제조용 금형의 가공 툴 제조방법 및 이를 이용한 금형 제조방법 및 이를 이용한 광학필름 제조방법 및 금형 제조장치 |
| CN106343974A (zh) * | 2016-08-26 | 2017-01-25 | 深圳市前海安测信息技术有限公司 | 用于测量微信号的温度漂移补偿装置及方法 |
| CN107132759A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-09-05 | 沈阳工业大学 | 一种直线电机驱动fts基于eso滑模改进重复控制方法 |
Non-Patent Citations (6)
| Title |
|---|
| Auto-tracking single point diamond cutting on non-planar brittle material substrates by a high-rigidity force controlled fast tool servo;Yuan-Liu Chen等;《Precision Engineering》;20170731;第49卷;第253-261页 * |
| Development of Low-Vibration Controller for Ultra-Precision Dual Stage;Seok Il Kang 等;《Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers》;20160229;第75-82页 * |
| Dual-piezoelectric ceramic micro-positioning control based on the modified Prandtl-Ishlinskii model;Jiawen Zheng 等;《IEEE International Conference on Information and Automation》;20170228;第2036-2040页 * |
| Large-area profile measurement of sinusoidal freeform surfaces using a new prototype scanning tunneling microscopy;Yuan-Liu Chen 等;《Precision Engineering》;20140430;第38卷(第2期);第414-420页 * |
| The Development of an Ultra-precision Dual-stage Based on a Master-Slave Control System;Bo-jie Hou 等;《2012 International Conference on Computer Distributed Control and Intelligent Enviromental Monitoring》;20120405;第727-730页 * |
| 主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计;范文超 等;《自动化技术与应用》;20151231(第06期);第9-15页 * |
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| CN110161838A (zh) | 2019-08-23 |
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