CN110071230B - 一种柔性基板及其制作方法、显示面板 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种柔性基板及其制作方法、显示面板。所述柔性基板包括：第一柔性层；所述第一柔性层包括弯折区和显示区；设于所述第一柔性层的显示区上的金属氧化层；设于所述第一柔性层的弯折区上的第一金属层，且所述第一金属层的表面被氧化为金属氧化层，以使柔性基板具有优异的水氧阻隔能力和耐弯折性能。

Description

一种柔性基板及其制作方法、显示面板
技术领域
本发明涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种柔性基板及其制作方法、显示面板。
背景技术
随着现代显示技术的快速发展，显示技术领域正朝着更轻、更薄、更柔、更透明的方向发展。传统的玻璃基板由于自身硬和脆等特性，难以满足未来柔性显示技术的要求，而高分子薄膜基板具有质轻、柔性、综合性能优异等特点，可以很好地满足显示技术对柔性的要求。因此，柔性高分子基板材料是未来柔性显示技术的首选材料。
目前用作柔性基板最具发展前景的高分子材料是聚酰亚胺(polyimide,PI)。聚酰亚胺具有优异的耐热性、耐辐射性能、耐化学性、电绝缘性、机械性能等，但其自身的阻水阻氧能力较弱。现有技术一般通过在柔性基板表面沉积厚度均匀的单层或多层堆叠结构的无机薄膜，或采用多层聚酰亚胺/无机薄膜交替堆叠的结构来实现柔性基板的阻水阻氧能力，但这些结构均存在无机薄膜应力集中、弯折区域易断裂、高温高湿易分离等问题。
发明内容
本发明实施例提供一种柔性基板及其制作方法、显示面板，以解决现有柔性基板内应力增加、弯折区易断裂、高温高湿易分离的问题。
本发明实施例提供了一种柔性基板，包括：
第一柔性层；所述第一柔性层包括弯折区和显示区；
设于所述第一柔性层的显示区上的金属氧化层；
设于所述第一柔性层的弯折区上的第一金属层，且所述第一金属层的表面被氧化为金属氧化层。
进一步地，所述柔性基板还包括：
设于所述显示区的金属氧化层和所述第一金属层表面的金属氧化层上的第二柔性层；
设于所述第二柔性层上的第二金属层，且所述第二金属层的表面被氧化为金属氧化层。
进一步地，所述第一金属层和所述第二金属层均为金属铝层，所述金属氧化层为氧化铝层。
进一步地，所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料包括聚酰亚胺或柔性玻璃。
本发明实施例还提供了一种显示面板，包括：
上述柔性基板；
设于所述柔性基板上的阵列层；
设于所述阵列层上的显示层。
本发明实施例还提供了一种柔性基板的制作方法，包括：
提供基板；
在所述基板上形成第一柔性层；所述第一柔性层包括弯折区和显示区；
在所述第一柔性层的显示区上形成金属氧化层，在所述第一柔性层的弯折区上形成第一金属层，并使所述弯折区上的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层；
去除所述基板。
进一步地，所述在所述第一柔性层的显示区上形成金属氧化层，在所述第一柔性层的弯折区上形成第一金属层，具体包括：
在所述第一柔性层上形成第一金属层；
对所述第一金属层进行图案化氧化，使所述第一柔性层的显示区上的第一金属层被完全氧化为金属氧化层。
进一步地，在所述去掉所述基板之前，还包括：
在所述显示区的金属氧化层和所述第一金属层表面的金属氧化层上形成第二柔性层；
在所述第二柔性层上形成第二金属层；
对所述第二金属层进行整面氧化，使所述第二金属层的表面被氧化为金属氧化层。
进一步地，所述对所述第二金属层进行整面氧化，具体包括：
采用自然氧化技术或加热氧化技术对所述第二金属层进行整面氧化。
进一步地，所述第一金属层和所述第二金属层均为金属铝层，所述金属氧化层为氧化铝层，所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料包括聚酰亚胺或柔性玻璃。
本发明的有益效果为：在第一柔性层的显示区上设置金属氧化层，以保证显示区中的显示区具有优异的阻水阻氧能力，从而保护其上的显示器件，在第一柔性层的弯折区上设置第一金属层，且弯折区的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层，以使薄薄的金属氧化层阻隔弯折区的水氧进入，同时第一金属层优异的延展性能提高柔性基板的弯折性能；第一金属层表面的金属氧化层具有更好的表面粗糙度，可提高金属层与柔性层之间的粘附力，在高温高湿环境下或在弯折状态下具有更优异的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的柔性基板的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的柔性基板的另一结构示意图；
图3为本发明实施例提供的显示面板的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的柔性基板的制作方法的流程示意图；
图5为本发明实施例提供的柔性基板的制作方法中步骤402的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的柔性基板的制作方法中步骤403的部分结构示意图；
图7为本发明实施例提供的柔性基板的制作方法中步骤403的另一部分结构示意图。
具体实施方式
以下参考说明书附图介绍本发明的优选实施例，用以举例证明本发明可以实施，这些实施例可以向本领域中的技术人员完整介绍本发明的技术内容，使得本发明的技术内容更加清楚和便于理解。然而本发明可以通过许多不同形式的实施例来得以体现，本发明的保护范围并非仅限于文中提到的实施例。
本发明说明书中使用的术语仅用来描述特定实施方式，而并不意图显示本发明的概念。除非上下文中有明确不同的意义，否则，以单数形式使用的表达涵盖复数形式的表达。在本发明说明书中，应理解，诸如“包括”、“具有”以及“含有”等术语意图说明存在本发明说明书中揭示的特征、数字、步骤、动作或其组合的可能性，而并不意图排除可存在或可添加一个或多个其他特征、数字、步骤、动作或其组合的可能性。附图中的相同参考标号指代相同部分。
参见图1，是本发明实施例提供的柔性基板的结构示意图。
本实施例提供的柔性基板包括第一柔性层110，所述第一柔性层110包括弯折区和非弯折区。其中，非弯折区包括显示区和非显示区，且柔性基板的显示区对应显示面板的显示区，柔性基板的弯折区对应显示面板的弯折区。可选地，第一柔性层110可以为聚酰亚胺，也可以为柔性玻璃等。
进一步地，所述柔性基板还包括设于所述第一柔性层110的显示区上的金属氧化层111。所述第一柔性层110的非弯折区中的非显示区上也可设置金属氧化层111。其中，金属氧化层111是由设于显示区上的金属完全氧化而成的致密氧化层。由于显示面板的显示区需要具备优异的阻水阻氧能力，因此在第一柔性层110的显示区设置致密的金属氧化层，可以很好地避免水氧从第一柔性层110进入，从而保护显示面板显示区中的显示器件等。
进一步地，所述柔性基板还包括设于所述第一柔性层110的弯折区上的第一金属层101，且所述第一金属层101的表面被氧化为金属氧化层113。其中，第一金属层101表面的金属氧化层113是第一金属层101表面自然氧化而成的自然氧化层，金属氧化层113较薄，且金属氧化层113与金属氧化层111的物质相同。由于显示面板的弯折区需要具备优异的弯折性能，因此在第一柔性层110的弯折区上设置具有良好延展性的第一金属层101，以实现柔性基板优异的弯折性能。同时，在第一金属层11表面自然氧化薄薄的金属氧化层113，以避免水氧从弯折区进入。
进一步地，如图2所示，所述柔性基板还包括设于所述显示区的金属氧化层111和所述第一金属层101表面的金属氧化层113上的第二柔性层120。可选地，第二柔性层120可以为聚酰亚胺，也可以为柔性玻璃等。由于金属氧化层113为第一金属层101表面的自然氧化层，相对于现有技术沉积的无机膜层，具有更好的表面粗糙度，可以提高第一金属层101与第二柔性层120之间的粘附力，使柔性基板在高温高湿环境下或者在弯折状态下更加稳定，避免因弯折导致的内应力增加及无机层断裂等问题。
进一步地，所述柔性基板还包括设于所述第二柔性层120上的第二金属层102，且所述第二金属层102的表面被氧化为金属氧化层112。其中，第二金属层102表面的金属氧化层112是第二金属层102表面自然氧化而成的自然氧化层，且金属氧化层112较薄。由于金属氧化层111、第一金属层101和金属氧化层113已实现柔性基板的水氧阻隔性能和弯折性能，因此在第二金属层112的表面只需自然氧化薄薄的金属氧化层112，以使柔性基板在保持优异的水氧阻隔性能和弯折性能的同时实现工艺优化。
需要说明的是，金属铝(Aluminium,Al)具有优异的延展性能，高温下难与水氧反应，是热的良导体，且在空气中易形成一层薄薄的致密氧化铝膜(Aluminium Oxide,Al2O3)，阻止其进一步被氧化或腐蚀，而氧化铝化学性质稳定，具有极其优异的阻水阻氧性能，因此设置第一金属层101和第二金属层102为金属铝层，而金属氧化层111为第一柔性层110的显示区上的金属铝被完全氧化后形成的致密氧化铝层，金属氧化层113是第一金属层101的表面自然氧化而成的氧化铝层，金属氧化层112是第二金属层101的表面自然氧化而成的氧化铝层。
由上述可知，本实施例提供的柔性基板，能够在第一柔性层的显示区上设置金属氧化层，以保证显示区具有优异的阻水阻氧能力，从而保护其上的显示器件，在第一柔性层的弯折区上设置第一金属层，且弯折区的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层，以使薄薄的金属氧化层阻隔弯折区的水氧进入，同时第一金属层优异的延展性能够提高柔性基板的弯折性能；第一金属层表面的金属氧化层具有更好的表面粗糙度，可提高金属层与柔性层之间的粘附力，在高温高湿环境下或在弯折状态下具有更优异的稳定性。
参见图3，是本发明实施例提供的显示面板的结构示意图。
所述显示面板包括柔性基板、阵列层130和显示层140。其中，柔性基板31为上述实施例中的柔性基板，阵列层130设于柔性基板上，显示层140设于阵列层130上。
例如，如图3所示，柔性基板包括第一柔性层110，设于第一柔性层110的显示区上的金属氧化层111，设于所述第一柔性层110的弯折区上的第一金属层101，第一金属层101表面自然氧化的金属氧化层113，设于所述显示区的金属氧化层111和所述第一金属层101表面的金属氧化层113上的第二柔性层120，设于所述第二柔性层120上的第二金属层102，以及第二金属层102表面自然氧化的金属氧化层112。阵列层130设于金属氧化层112上，显示层设于阵列层130上。
由上述可知，本实施例提供的显示面板，能够在第一柔性层的显示区上设置金属氧化层，以保证显示区具有优异的阻水阻氧能力，从而保护其上的显示器件，在第一柔性层的弯折区上设置第一金属层，且弯折区的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层，以使薄薄的金属氧化层阻隔弯折区的水氧进入，同时第一金属层优异的延展性能够提高柔性基板的弯折性能；第一金属层表面的金属氧化层具有更好的表面粗糙度，可提高金属层与柔性层之间的粘附力，在高温高湿环境下或在弯折状态下具有更优异的稳定性。
参见图4，是本发明实施例提供的柔性基板的制作方法的流程示意图。
本发明实施例还提供一种柔性基板的制作方法，包括：
401、提供基板。
本实施例中，基板可以为玻璃基板。
402、在所述基板上形成第一柔性层；所述第一柔性层包括显示区和弯折区。
本实施例中，如图5所示，在洁净光滑的基板100上制备第一柔性层110。第一柔性层包括弯折区和非弯折区，所述非弯折区包括显示区和非显示区。可选地，第一柔性层110可以为聚酰亚胺，也可以为柔性玻璃等。
403、在所述第一柔性层的显示区上形成金属氧化层，在所述第一柔性层的弯折区上形成第一金属层，并使所述弯折区上的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层。
具体地，步骤103包括：
在所述第一柔性层上形成第一金属层；
对所述第一金属层进行图案化氧化，使所述第一柔性层的显示区上的第一金属层被完全氧化为金属氧化层，并使所述弯折区上的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层。
本实施例中，如图6所示，在第一柔性层110的弯折区和非弯折区上制备第一金属层101，在第一金属层101的弯折区设置单一图案1或者设置多个均匀分布的图案，然后对第一金属层101进行图案化氧化，使未被图案001遮挡的非弯折区的第一金属层101被完全氧化为金属氧化层111，从而使第一柔性层110的显示区上为金属氧化层111，而被图案1遮挡的第一金属层101在去除图案1后表面自然氧化为金属氧化层113，如图7所示。可选地，第一金属层101为金属铝层，金属氧化层111和金属氧化层113为氧化铝层。
需要说明的是，由于显示面板的显示区需要具备优异的阻水阻氧能力，因此在第一柔性层110的显示区设置致密的金属氧化层，可以很好地避免水氧从第一柔性层110进入，从而保护显示面板显示区中的显示器件等。而由于显示面板的弯折区需要具备优异的弯折性能，因此在第一柔性层110的弯折区上设置具有良好延展性的第一金属层101，以实现柔性基板优异的弯折性能。同时，在第一金属层11表面自然氧化薄薄的金属氧化层113，以避免水氧从弯折区进入。
404、去除所述基板。
本实施例中，采用激光剥离技术或机械剥离技术将基板与第一柔性层分离，以去除基板，从而获得柔性显示面板，如图1所示。
进一步地，在所述去掉所述基板之前，还包括：
在所述显示区的金属氧化层和所述第一金属层表面的金属氧化层上形成第二柔性层；
在所述第二柔性层上形成第二金属层；
对所述第二金属层进行整面氧化，使所述第二金属层的表面被氧化为金属氧化层。
进一步地，所述对所述第二金属层进行整面氧化，具体包括：
采用自然氧化技术或加热氧化技术对所述第二金属层进行整面氧化。
本实施例中，如图2所示，所述显示区的金属氧化层111和所述第一金属层101表面的金属氧化层113上形成第二柔性层120。可选地，第二柔性层120可以为聚酰亚胺，也可以为柔性玻璃等。在所述第二柔性层120上形成第二金属层102，且对所述第二金属层102的表面进行氧化形成金属氧化层112。可选地，第二金属层102为金属铝层，金属氧化层112为氧化铝层。
需要说明的是，由于金属氧化层113为第一金属层101表面的自然氧化层，相对于现有技术沉积的无机膜层，具有更好的表面粗糙度，可以提高第一金属层101与第二柔性层120之间的粘附力，使柔性基板在高温高湿环境下或者在弯折状态下更加稳定，避免因弯折导致的内应力增加及无机层断裂等问题。而由于金属氧化层111、第一金属层101和金属氧化层113已实现柔性基板的水氧阻隔性能和弯折性能，因此在第二金属层112的表面只需自然氧化薄薄的金属氧化层112，以使柔性基板在保持优异的水氧阻隔性能和弯折性能的同时实现工艺优化。
本实施例提供的柔性基板的制作方法，在第一柔性层的显示区上设置金属氧化层，以保证显示区具有优异的阻水阻氧能力，从而保护其上的显示器件，在第一柔性层的弯折区上设置第一金属层，且弯折区的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层，以使薄薄的金属氧化层阻隔弯折区的水氧进入，同时第一金属层优异的延展性能提高柔性基板的弯折性能；第一金属层表面的金属氧化层具有更好的表面粗糙度，可提高金属层与柔性层之间的粘附力，在高温高湿环境下或在弯折状态下具有更优异的稳定性。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种柔性基板，其特征在于，包括：
第一柔性层；所述第一柔性层包括弯折区和显示区；
设于所述第一柔性层的显示区上的金属氧化层；
设于所述第一柔性层的弯折区上的第一金属层，且所述第一金属层的表面被氧化为金属氧化层；
所述显示区上的金属氧化层为致密氧化层，所述第一金属层表面的金属氧化层为自然氧化层。
2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板还包括：
设于所述显示区的金属氧化层和所述第一金属层表面的金属氧化层上的第二柔性层；
设于所述第二柔性层上的第二金属层，且所述第二金属层的表面被氧化为金属氧化层。
3.根据权利要求2所述的柔性基板，其特征在于，所述第一金属层和所述第二金属层均为金属铝层，所述金属氧化层为氧化铝层。
4.根据权利要求2所述的柔性基板，其特征在于，所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料包括聚酰亚胺或柔性玻璃。
5.一种显示面板，其特征在于，包括：
如权利要求1至4任一项所述的柔性基板；
设于所述柔性基板上的阵列层；
设于所述阵列层上的显示层。
6.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：
提供基板；
在所述基板上形成第一柔性层；所述第一柔性层包括弯折区和显示区；
在所述第一柔性层的显示区上形成金属氧化层，在所述第一柔性层的弯折区上形成第一金属层，并使所述弯折区上的第一金属层的表面被氧化为金属氧化层；
去除所述基板；
所述显示区上的金属氧化层为致密氧化层，所述第一金属层表面的金属氧化层为自然氧化层。
7.根据权利要求6所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，所述在所述第一柔性层的显示区上形成金属氧化层，在所述第一柔性层的弯折区上形成第一金属层，具体包括：
在所述第一柔性层上形成第一金属层；
对所述第一金属层进行图案化氧化，使所述第一柔性层的显示区上的第一金属层被完全氧化为金属氧化层。
8.根据权利要求6所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，在所述去掉所述基板之前，还包括：
在所述显示区的金属氧化层和所述第一金属层表面的金属氧化层上形成第二柔性层；
在所述第二柔性层上形成第二金属层；
对所述第二金属层进行整面氧化，使所述第二金属层的表面被氧化为金属氧化层。
9.根据权利要求8所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，所述对所述第二金属层进行整面氧化，具体包括：
采用自然氧化技术或加热氧化技术对所述第二金属层进行整面氧化。
10.根据权利要求8所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，所述第一金属层和所述第二金属层均为金属铝层，所述金属氧化层为氧化铝层，所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料包括聚酰亚胺或柔性玻璃。
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