CN110056266A - 门装置及手套箱 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种安装在腔室上的门装置及手套箱，腔室包含内部空间以及限定在其一个表面中的开口。门包含：封盖单元，配置成封盖开口；第一磁性单元，安装在封盖单元或腔室上；以及第二磁性单元，安装在封盖单元或腔室上以面向第一磁性单元，变换其极性，且以可分离方式耦接到第一磁性单元。

Description

门装置及手套箱

技术领域

本发明涉及一种门装置及手套箱，且更具体地，涉及一种可容易打开及关闭且稳定地密封腔室内部的门装置，以及手套箱。

背景技术

一般来说，手套箱具有内部空白空间以及限定在其一个表面中的开口。此外，沿开口的形状限定的门安装在手套箱上以打开及关闭开口。举例来说，当手套箱充满N₂气体时，可使用门来密封手套箱以防止外部空气进入手套箱或手套箱中的N₂气体泄漏至外部。

通常，通过使用夹持单元来将门压缩到所述箱。也就是说，所述门安置在手套箱的开口上，且通过多个夹持单元朝向箱按压所述门。因此，通过门来封盖所述箱的开口，且去除箱与门之间的间隙，以密封所述箱的内部。

然而，大约需要一百个夹持单元以通过将门压缩到所述箱来去除间隙。即使在压缩小型门的情况下，也需要约四十到约五十个夹持单元。因此，当多个夹持单元中的至少一些不正常工作时，可能在门与箱之间产生间隙。此外，由于打开门需操作所有多个夹持单元，因此需要大量时间来打开及关闭门。此外，当打开及关闭门时，由于夹持单元施加了冲击力，因此门可能容易损坏。

[相关技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)韩国专利公开案第10-2011-0127586号

发明内容

本发明提供：一种能够容易打开及关闭且稳定地密封腔室内部的门装置，以及手套箱。

本发明还提供一种允许其中安置的设备的维护工作容易执行的门装置及手套箱。

根据示例性实施例，提供一种安装在腔室上的门装置，所述腔室包含内部空间以及限定在其一个表面中的开口，所述门装置包含：封盖单元，配置成封盖所述开口；第一磁性单元，安装在所述封盖单元或腔室上；以及第二磁性单元，安装在所述封盖单元或腔室上以面向所述第一磁性单元，变换其极性，且以可分离方式耦接到所述第一磁性单元。

在示例性实施例中，所述第一磁性单元可为固定的，且所述第二磁性单元可在极性位置中变换。

在示例性实施例中，所述第二磁性单元可包含包括安装在所述腔室或封盖单元上的支撑构件，以及以可旋转方式安装在所述支撑构件中的磁体构件。

在示例性实施例中，所述第二磁性单元可包含电磁体以及配置成将电流供应到所述电磁体的电力供应器。

在示例性实施例中，所述门装置可进一步包含：位置检测单元，配置成检测所述封盖单元的位置；以及控制单元，连接到所述位置检测单元且控制所述电力供应器单元的操作。

在示例性实施例中，所述第一磁性单元可包含金属构件及磁体中的至少一个。

在示例性实施例中，所述门装置可进一步包含缓冲器单元，所述缓冲器单元安装在第一磁性单元及第二磁性单元中的至少一个上以减小第一磁性单元与第二磁性单元之间的冲击。

在示例性实施例中，所述腔室可包含配置成包围所述开口的周围的第一突起以及配置成包围所述第一突起的周围的第二突起，且所述封盖单元可包含配置成封盖所述开口的第一封盖，以及连接到所述第一封盖以封盖第一封盖与第一突起之间的间隙且与所述第二突起相接触的第二封盖。

在示例性实施例中，所述门装置可进一步包含密封单元，所述密封单元安装在所述封盖单元上以阻挡所述腔室与所述封盖单元之间的间隙且与所述腔室相接触。

在示例性实施例中，所述密封单元可包含安装在所述第一封盖上的第一密封构件及安装在所述第二封盖上的第二密封构件中的至少一个。

根据另一示例性实施命名，所述手套箱包含：腔室，具有内部空间以及限定在其一个表面中的开口；气体供应单元，配置成将惰性气体供应到所述腔室中；以及门，配置成通过磁力打开及关闭所述开口。

在示例性实施例中，所述门可包含：封盖单元，配置成封盖所述开口；第一磁性单元，安装在所述封盖单元或所述腔室上；以及第二磁性单元，安装在所述封盖单元或所述腔室上以面向所述第一磁性单元，且变换面向第一磁性单元的部分的极性。

在示例性实施例中，所述第一磁性单元以及所述第二磁性单元可以多个提供且沿所述开口的周围设置。

在示例性实施例中，所述门可进一步包含密封单元，所述密封单元安装在所述封盖单元上以与所述腔室相接触且沿所述开口的周围设置在第一磁性单元和第二磁性单元中的每一个的周围的内部和外部的至少一个位置。

在示例性实施例中，所述密封单元可具有突出所述封盖单元的外部的至少一个部分，且所述门可进一步包含配置成允许所述密封单元与所述腔室紧密接触的按压单元。

在示例性实施例中，所述按压单元可包含安装在所述封盖单元上的第一磁性体以及安装在所述腔室上的第二磁性体，且所述密封单元安置在所述第一磁性体与所述第二磁性体之间。

在示例性实施例中，所述手套箱可进一步包含：氧气测量单元，配置成测量所述腔室中的氧浓度；以及控制单元，配置成基于由所述氧气测量单元获得的测量结果来变换所述第二磁性单元的极性。

在示例性实施例中，所述手套箱可进一步包含配置成将含氧气体供应到所述腔室中的氧气供应单元。

在示例性实施例中，所述手套箱可进一步包含：入口-出口端，限定在所述腔室中；闸，配置成打开及关闭所述入口-出口端；以及传送单元，安装在所述腔室中以通过所述入口-出口端传送基板。

附图说明

自结合附图进行的以下描述可更详细地理解示例性实施例，其中：

图1是说明根据示例性实施例的手套箱的外观的概念透视图。

图2(a)及图2(b)是说明根据示例性实施例的手套箱的外观的概念横截面视图。

图3(a)及图3(b)是说明根据示例性实施例的第一磁性单元及第二磁性单元的操作结构的视图。

图4(a)至图4(f)是说明根据示例性实施例的门装置的结构的视图。

图5(a)及图5(b)是说明根据示例性实施例的按压单元的操作结构的视图。

图6是说明根据另一示例性实施例的门装置的结构的视图。

图7是说明根据示例性实施例的手套箱的结构的视图。

图8是说明根据示例性实施例的手套箱的结构的平面视图。

附图标号说明

51：装置；

52：装置；

100：门装置；

110：封盖单元；

111：第一封盖；

112：第二封盖；

120：第一磁性单元；

130：铰链单元；

131：板；

132：第一铰链；

133：第二铰链；

140：密封单元；

141：第一密封构件；

142：第二密封构件；

150：第二磁性单元；

151：支撑构件；

152：磁体构件；

155：电磁体；

170：位置检测单元；

190：按压单元；

191：第一磁性体；

192：第二磁性体；

200：腔室；

210：第一突起；

220：第二突起；

230：入口-出口端；

240：闸；

310：气体供应单元；

311：供应管线；

312：供应阀；

320：气体排放单元；

321：排放管线；

322：排放阀；

410：氧气供应单元；

411：氧气管线；

412：控制阀；

420：氧气测量单元；

500：控制单元；

600：传送单元；

1000：手套箱。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细地描述特定实施例。然而，可以不同形式体现本发明，且不应将本发明解释为限于本文中所阐述的实施例。确切地说，提供这些实施例以使得本发明将为透彻且完整的，且将向所属领域的技术人员充分传达本发明的范围。在附图中，为了清楚起见而夸示层以及区的厚度。附图中相同的参考数字表示相同的元件。

图1是说明根据示例性实施例的手套箱的外观的概念透视图。在下文中，将描述根据示例性实施例的手套箱。

参考图1，手套箱1000包含腔室200、气体供应单元以及门。此外，手套箱1000可进一步包含气体排放单元、氧气测量单元、控制单元以及传送单元。

腔室200可具有其中限定内部空间的长方形容器形状。可打开腔室200的一个表面(例如，顶部表面)的至少一个部分以限定开口。所述开口可具有根据腔室200的平面形状的长方形形状。

此外，腔室200可包含包围开口的周围的第一突起210以及包围第一突起210的外周围的第二突起220。第一突起210及第二突起220可在垂直方向上具有不同位置，且由于垂直方向上的位置之间的差异可产生步进部分。举例来说，第一突起210可高于第二突起220而安置。也就是说，第一突起210及第二突起220可为高度不同的表面。替代地，第二突起220可高于第一突起210而安置。

多个入口-出口端可限定在腔室200的侧表面中，以使得基板被插入且通过其抽出。也就是说，入口-出口端可限定在与其中限定开口的表面不同的表面中。腔室200的内部可与用于处理通过入口-出口端的基板的其它装置连通。此处，多个闸分别设置于入口-出口端上以打开及关闭入口-出口端中的每一个。举例来说，所述闸可为闸阀。因此，可控制所述闸以允许腔室200的内部及其它装置的内部在其间连通或阻塞。然而，示例性实施例不限于腔室200的结构及形状。

门用以打开及关闭腔室200的开口。所述门可通过磁力来打开及关闭腔室200的开口。因此，所述门可阻止或防止腔室200中的气体泄漏至外部或外部气体进入腔室200中。

图2(a)及图2(b)是说明根据示例性实施例的手套箱的外观的概念横截面视图，且图3(a)及图3(b)是说明根据示例性实施例的第一磁性单元及第二磁性单元的操作结构的视图。在下文中，将详细地描述根据示例性实施例的门装置的结构。

参考图2(a)及图2(b)、图3(a)及图3(b)，门装置100安装在具有限定在其一个表面中的开口的腔室200上。门装置100包含封盖单元110、第一磁性单元120以及第二磁性单元150。此外，门装置100可进一步包含铰链单元130、密封单元140、位置检测单元170以及缓冲器单元(未图示)。此处，门装置100可设置在根据示例性实施例的手套箱100上。

封盖单元110用以打开及关闭腔室200的开口。封盖单元110可包含封盖腔室200的开口的第一封盖111，以及连接到第一封盖111以封盖第一封盖111与第一突起210之间的间隙且能够与第二突起220相接触的第二封盖112。

第一封盖111用以封盖腔室200的开口。第一封盖111可具有根据腔室200的开口的形状的长方形板形状。第一开口111的表面积可大于开口的表面积。因此，当第一开口111安置在开口上方时，第一封盖111可封盖所述开口以关闭所述开口。然而，示例性实施例不限于第一封盖111的形状。

第二封盖112用以封盖第一封盖111与第一突起210之间的间隙。第二封盖112可具有沿第一封盖111或第一突起210的周围形状的矩形环，且连接到第一封盖111的下部部分。也就是说，第二封盖112可连接到第一封盖111以向下突起，且包围开口的周围。

此外，第二封盖112可具有一垂直方向长度，其等于或大于第一突起210的垂直方向长度，且第二封盖112的底部表面可与第二突起220的顶部表面相接触。因此，当第二封盖112位于第二突起220上时，第一封盖111可封盖腔室200的开口，且第二封盖112可封盖第一封盖111与第一突起210之间的间隙。然而，示例性实施例不限于第二封盖112的结构及形状。

此处，把手(未图示)可设置在封盖单元110上。举例来说，把手可安装在第一封盖111的顶部表面、第二封盖112的顶部表面以及第二封盖112的侧表面当中的至少一个部分上。因此，工人可通过使用把手来打开及关闭封盖单元110。

此外，静电去除构件(未图示)可设置在封盖单元110上。所述静电去除构件可为由导电纤维制成的电线。所述静电去除构件的一端可连接到第一封盖111、第二封盖112以及把手中的至少一个，且另一端接地。因此，当工人打开及关闭封盖单元110时，可防止发生静电。然而，示例性实施例不限于封盖单元110的结构及形状。

如图2(a)及图2(b)中所说明，铰链单元130用于以可旋转方式将封盖单元110连接到腔室200。铰链单元130可包含板131、以可旋转方式将封盖单元110连接到板131的一侧的第一铰链132，以及以可旋转方式将腔室200连接到板131的另一侧的第二铰链133。

板131可具有长方形板形状，且包含在其顶侧及底侧上的突起部分。板131可为单个或多个。板131可在第一封盖111的延伸方向或穿过第一封盖111的延伸方向的方向上延伸。此外，多个板131可排成一行设置。然而，示例性实施例不限于板131的结构及形状。

第一铰链132可固定到第二封盖112，同时以可旋转方式连接到板131。举例来说，第一铰链132可包含以可旋转方式穿过板131的顶侧突起部分的旋转轴。所述旋转轴可耦接到第二封盖112的侧表面。因此，封盖单元110可关于第一铰链132垂直旋转。因此，当封盖单元110向上旋转上，可打开腔室200的开口，且当封盖单元110向下旋转时，可封盖且通过封盖单元110关闭腔室200的开口。然而，示例性实施例不限于第一铰链132的结构。

第二铰链133可固定到腔室200，同时以可旋转方式连接到板131。举例来说，第二铰链133可包含以可旋转方式穿过板131的底侧突起部分的旋转轴。所述旋转轴可耦接到腔室200的侧表面。因此，板131可关于第二铰链133垂直旋转。因此，当板131旋转时，封盖单元110可与板131一起旋转。然而，示例性实施例不限于第二铰链133的结构。

如上文所描述，封盖单元110及腔室200可通过具有双铰链结构的铰链单元130连接。因此，由于封盖单元110可通过铰链单元130双重地旋转，因此可阻止或防止当打开及关闭封盖单元110时发生的封盖单元110与腔室200的突起之间的冲突。因此，可轻易地打开及关闭封盖单元110，且可阻止或防止由封盖单元110与腔室200的突起之间的冲突引起的损坏。然而，示例性实施例不限于铰链单元130的结构。

第一磁性单元120可安装在封盖单元110或腔室200上。举例来说，第一磁性单元120可安装在第一封盖111的底部表面上。第一磁性单元120可包含含有金属成分的金属构件及磁体(或永久磁体)中的至少一个。因此，第一磁性单元120可通过磁力耦接到第二磁性单元150或与第二磁性单元150分离。

此外，第一磁性单元120可具有沿开口的周围形状的矩形环，或以多个板的型式提供且沿开口的周围设置。当第一磁性单元120为磁体时，第一磁性单元120的极性的位置(即N极及S极的位置)为固定的。然而，示例性实施例不限于第一磁性单元120的结构、形状以及安装位置。

第二磁性单元150可安装在腔室200或封盖单元110上以面向第一磁性单元120。也就是说，当第一磁性单元120安装在封盖单元110上时，第二磁性单元150可安装在腔室200上，且当第一磁性单元120安装在腔室200上时，第二磁性单元150可安装在封盖单元110上。举例来说，第二磁性单元150可安装在第一突起210的顶部表面上以面向第一磁性单元120，且通过磁力以可分离方式耦接到第一磁性单元120。

此外，第二磁性单元150可包含安装在腔室200或封盖单元110上的支撑构件151，以及以可旋转方式安装在支撑构件151中的磁体构件152。第二磁性单元150可变换N极及S极的位置。因此，当变换第二磁性单元150的极性的位置时，第二磁性单元150可耦接到第一磁性单元120或与第一磁性单元120分离。

此处，第一磁性单元120以及第二磁性单元150可以多个提供且沿开口的周围设置。当腔室200的周围的长度大于第一磁性单元120及第二磁性单元150中的每一个的长度时，第一磁性单元120及第二磁性单元150可以多个提供。由于第一磁性单元120与第二磁性单元150之间的吸力，尽管第一磁性单元120(或第二磁性单元150)彼此间隔开，封盖单元110及腔室200仍可彼此紧密接触且密封。其它构件，例如铰链单元130，可安置在第一磁性单元120(或第二磁性单元150)之间。

此外，第一磁性单元120及第二磁性单元150可不安置在开口的拐角上。此外，第一磁性单元120及第二磁性单元150可不安置在延伸方向为弯曲的位置上。因此，由于设置在第二磁体单元150上的磁体构件152可在一个方向上延伸，因此磁体构件152可通过旋转轻易地变换极性位置。然而，示例性实施例不限于此。举例来说，第一磁性单元120以及第二磁性单元150可以单个提供且沿开口的周围设置。

支撑构件151用以支撑磁体构件152。举例来说，支撑构件151可安装在第一突起210的顶部表面上。支撑构件151可具有中空式内部，且磁体构件152可在支撑构件151中插入及旋转。支撑构件151以单个或多个提供且沿开口的周围设置。

当由于其不同极性在磁体构件152与第一磁体单元120之间产生吸力时，支撑构件151的顶部表面及第一磁性单元120的底部表面可彼此接触且通过磁力耦接。然而，示例性实施例不限于支撑构件151的结构、形状以及安装位置。

磁体构件152可为具有磁力的永久磁体。磁体构件152可具有环形棒形状，且以可旋转方式安装在支撑构件151中。也就是说，磁体构件152可通过旋转变换N极及S极的位置。磁体构件152可以多个提供且设置成包围开口的周围。然而，示例性实施例不限于磁体构件152的结构及形状。

此外，拉杆(未图示)可安装在磁体构件152上以使磁体构件152旋转。所述拉杆可具有棒形状且与磁体构件152一起旋转。所述拉杆可在穿过磁体构件152的延伸方向的方向上延伸，且其一端连接到磁体构件152且另一端穿过封盖单元110。此处，所述拉杆穿过的通孔(未图示)可限定在封盖单元110中。所述通孔限定所述拉杆垂直旋转通过的路径。因此，当工人将所述拉杆的另一端关于其一端垂直旋转时，磁体构件152可旋转，且当磁体构件152旋转时可变换极性位置。因此，封盖单元110及腔室200可彼此耦接或分离。

此外，磁体构件152可连接到驱动单元(未图示)。所述驱动单元可为电动机或旋转气缸。所述驱动单元可安装在腔室200或封盖单元110上。所述驱动单元可连接到磁体构件152的旋转中心轴。因此，磁体构件152可通过驱动单元的操作关于所述中心轴旋转。因此，可变换磁体构件152的S极及N极。此处，所述驱动单元可以单个或多个提供且连接到设置在多个第二磁体单元150上的磁体构件152中的至少一个。控制单元500可控制驱动单元的操作以选择性地打开及关闭腔室200的开口。然而，示例性实施例不限于磁体构件152的旋转方法。

举例来说，当第一磁性单元120为金属构件时，磁体构件152可以大约80°至大约120°的角度旋转。举例来说，当磁体构件152的N极及S极维持水平状态时，磁体构件152可耦接到第一磁性单元120。此处，由于腔室200具有大于外部压力的内部压力，因此当磁体构件152旋转时，第一磁性单元120与磁体构件152之间的接合力可变弱，且封盖单元110可通过腔室200的内部压力向上移动。因此，磁体构件152可旋转以打开腔室200的开口。

此外，当第一磁性单元120为永久磁体时，由于第一磁性单元120是固定的，因此未变换第一磁性单元120的极性位置。第二磁性单元150可以等于或大于约180°的角度旋转。因此，当第二磁性单元的顶部表面的极性通过旋转第二磁性单元150而不同于第一磁性单元120的底部表面的极性时，第一磁性单元120通过第一磁性单元120与第二磁性单元150之间的磁力附接到第二磁性单元150。因此，封盖单元110可封盖腔室200的开口，且可密封腔室200的内部。

相反，当第一磁性单元120及第二磁性单元150的面向彼此的部分通过旋转第二磁性单元150具有相同极性时，第一磁性单元120及第二磁性单元150可彼此推动。因此，封盖单元110可向上移动，且可打开腔室200的开口。因此，可通过旋转第二磁性单元150来打开及关闭腔室200的开口。

缓冲器单元(未图示)可安装在第一磁性单元120与第二磁性单元150的至少一个上以减小第一磁性单元120与第二磁性单元150之间的冲击。缓冲器单元可比第一磁性单元120更向下突起，或比第二磁性单元150更向上突起。缓冲器单元可包围第一磁性单元120或第二磁性单元150的周围。举例来说，当缓冲器单元包围第一磁性单元120的周围时，缓冲器单元可比第一磁性单元120更向下突起且具有用于收缩或延伸的弹性力。

此处，当第一磁性单元120及第二磁性单元150的面向彼此的部分具有不同极性以吸引彼此时，可通过首先接触第一突起210的顶部表面或第二磁性单元150的顶部表面来压缩缓冲器单元，且随后，第一磁性单元120及第二磁性单元150可彼此接触。因此，由于缓冲器单元被压缩，因此可阻止或防止由第一磁性单元120与第二磁性单元150之间的接触产生的冲击。然而，示例性实施例不限于缓冲器单元的结构、形状以及安装位置。

图4(a)至图4(f)是说明根据示例性实施例的门装置的结构的视图，且图5(a)及图5(b)是说明根据示例性实施例的按压单元的操作结构的视图。在下文中，将描述根据示例性实施例的密封单元及按压单元。

参考图4(a)至图4(f)，密封单元140用以阻挡腔室200与封盖单元110之间的间隙。密封单元140可沿开口的周围形成且安置在第一磁性单元120及第二磁性单元150中的每一个的周围的内部及外部中的至少一个上。

此外，密封单元140可安装在封盖单元110上且具有突出封盖单元110外部的至少一个部分。此处，由于密封单元140具有弹性力，因此可扩展或收缩密封单元140。因此，当关闭封盖单元110时，密封单元140可在封盖单元110与腔室200接触之前首先与腔室200接触，且当收缩密封单元140时，封盖单元110可与腔室200相接触。因此，密封单元140可减小封盖单元110与腔室200之间的冲击，且有效地阻挡封盖单元110与腔室200之间的间隙。密封单元140可包含安装在第一封盖111上的第一密封构件141及安装在所述第二封盖112上的第二密封构件142中的至少一个。

如图4(a)及图4(b)中所说明，当仅提供第一密封构件141时，第一密封构件141可安装在第一封盖111的面向第一突起210的部分上，且与第一突起210的顶部表面相接触。举例来说，第一封盖111的至少一部分插入其中的凹槽可限定在第一密封构件141的下部部分中，且第一密封构件141可插入于第一封盖111中限定的凹槽中。第一密封构件141可充当O形环，且阻挡第一封盖111与第一突起210之间的间隙。

此外，第一密封构件141可比第一封盖111的底部表面更向下突起，且具有弹性力。此处，当第一磁性单元120安装在第一封盖111的下部部分上时，第一密封构件141可比第一磁性单元120的底部表面更向下突起。因此，当第一封盖111与第一突起210紧密接触时，第一密封构件141可压缩在第一封盖111与第一突起210之间。因此，第一封盖111可与第一突起210相接触。此外，第一磁性单元120可与安装在第一突起210上的第二磁性单元150相接触。第一密封构件141可阻挡第一封盖111与第一突起210之间的所有间隙以密封腔室200的内部。然而，示例性实施例不限于第一密封构件141的结构及位置。

如图4(c)及图4(d)中所说明，当仅提供第二密封构件142时，第二密封构件142可安装在第二封盖112的面向第二突起220的部分上，且与第二突起220的顶部表面相接触。举例来说，第二封盖112的至少一部分插入其中的凹槽可限定在第二密封构件142的下部部分中，且第二密封构件142可插入于第二封盖112中限定的凹槽中。第二密封构件142可充当O形环，且阻挡第二封盖112与第二突起220之间的间隙。

此外，第二密封构件142可比第二封盖112的底部表面更向下突起，且具有弹性力。因此，当第二封盖112与第二突起220紧密接触时，第二密封构件142可压缩在第二封盖112与第二突起220之间。因此，第二封盖112可与第二突起220相接触，且第二密封构件142可阻挡第二封盖112与第二突起220之间的所有间隙，以密封腔室200的内部。然而，示例性实施例不限于第二密封构件142的结构及位置。

如图4(e)及图4(f)中所说明，可提供第一密封构件141及第二密封构件142两者。因此，第一封盖111与第一突起210之间的间隙可由第一密封构件141初次阻挡，且第二封盖112与第二突起220之间的间隙可由第二密封构件142二次阻挡。也就是说，由于腔室200的内部以双重方式密封，因此腔室200可有效地防止外部气体进入腔室200中或腔室200的内部气体泄漏到外部。然而，示例性实施例不限于封盖单元110的结构及组件。

如图5(a)及图5(b)中所说明，按压单元190用以按压密封单元140，以使得密封单元140与腔室200紧密接触。按压单元190可包含安装在封盖单元110上的第一磁性体191以及安装在腔室200上的第二磁性体192。

第一磁性体191可安装在封盖单元110上。举例来说，第一磁性体191可安装在封盖单元110的第一密封构件141插入其中的凹槽中。第一磁性体191可为具有磁力的磁体或电磁体。此外，当第二磁性体192由具有磁力的材料制成时，第一磁性体191可由具有磁体的附接特性的金属制成。

第二磁性体192可安装在腔室200上。第二磁性体192可面向密封单元140。因此，当关闭封盖单元110时，密封单元140可安置在第一磁性体191与第二磁性体192之间。也就是说，第一磁性体191、密封单元140以及第二磁性体192可安置在垂直方向上的同一线上。第二磁性体192可为具有磁力的磁体或电磁体。此外，当第一磁性体191由具有磁力的材料制成时，第二磁性体192可由具有磁体的附接特性的金属制成。

当关闭封盖单元110且第一磁性体191及第二磁性体192变为彼此邻接时，第一磁性体191及第二磁性体192可通过磁力彼此吸引。因此，密封单元140可压缩在第一磁性体191与第二磁性体192之间，且封盖单元110可稳定地闭合到腔室200上。此外，当压缩密封单元140时，第一磁性单元120及第二磁性单元150可稳定地彼此附接。

此处，由于第一磁性体191与第二磁性体192彼此间隔，因此第一磁性体191与第二磁性体192之间产生的力可小于第一磁性单元120与第二磁性单元150之间产生的力。因此，当在第一磁性单元120与第二磁性单元150之间产生斥力时，封盖单元110可稳定地打开腔室200的开口。然而，示例性实施例不限于通过按压单元190按压密封单元140的方法。

图6是说明根据示例性实施例的门装置的结构的视图。在下文中，将描述根据另一示例性实施例的第二磁性单元150的结构。

参考图6，根据另一示例性实施例的第二磁性单元150可包含电磁体155以及将电力供应到电磁体155的电力供应器(未图示)。

当供应电力时，电磁体155可产生磁力。此外，电磁体155可具有基于所供应电力的方向变换的极性。电磁体155可以单个或多个提供，且沿开口的周围安装。举例来说，电磁体155可安装在第一突起210的顶部表面上，且所述顶部表面可面向安装在第一封盖111的底部表面上的第一磁性单元120。然而，示例性实施例不限于电磁体155的安装位置。

所述电力供应单元连接到电磁体155，且用以将电力供应到电磁体155。因此，当所述电力供应单元将电力供应到电磁体155时，电磁体155可具有磁力，且当所述电力供应单元停止供应电力时，电磁体155可失去磁力。也就是说，所述电力供应单元充当电磁体155的开关。因此，当封盖单元110关闭腔室200时，可将电力供应给电磁体155，且当打开腔室200时，可停止对电磁体155的电力供应。此外，所述电力供应单元可改变电流供应的方向以变换电磁体155的极性位置。

同时，第一磁性单元120可为磁体。举例来说，第一磁性单元120的面向电磁体155的表面可为N极。此处，当电磁体155以多个变换，且因此，电磁体155的极性不同于第一磁性单元120的极性时，电磁体155可附接到第一磁性单元120，且可密封腔室200的内部。相反，当电磁体155变换极性，且因此电磁体155的极性与第一磁性单元120的极性相同时，电磁体155可容易地与第一磁性单元120分离，这是因为电磁体155以及第一磁性单元120的面向电磁体155的表面具有相同极性。

此外，第一磁性单元120可为金属构件。因此，当封盖单元110耦接到腔室200时，电力供应单元可将电流供应到电磁体155，以使得电磁体155具有磁力。相反，当封盖单元110与腔室200分离时，电力供应单元可停止将电流供应给电磁体155，以使得电磁体155失去磁力。因此，封盖单元110可容易打开及关闭腔室200的开口。

此外，第一磁性单元120可为电磁体。因此，当密封腔室200的内部时，由于第一磁性单元120及电磁体155具有不同极性，因此封盖单元110可耦接到腔室200。当打开腔室的内部时，第一磁性单元120及电磁体155具有相同极性，封盖单元110可与腔室200分离。因此，当第一磁性单元120及电磁体155变换极性时，可自动打开及关闭腔室的内部。

然而，示例性实施例不限于第一磁性单元120的极性位置以及电磁体的安装位置。此外，当电磁体155安装在第一封盖111上时，第一磁性单元120可安装在第一突起210的与第二磁性单元150接触的部分上。此外，将随后描述的缓冲器单元122b可安装在磁体构件152或电磁体155的周围的至少一部分上。因此，可通过磁力阻止或防止当封盖单元110与腔室200接触时产生的冲击。同时，第二磁性单元150可安装在第二封盖112或第二突起220上。

位置检测单元170用以检测封盖单元110的位置。举例来说，位置检测单元170可为接触传感器，且安装在封盖单元110的底部表面上以与腔室200的顶部表面相接触。此外，位置检测单元170可安装在腔室200的顶部表面上以与封盖单元110的底部表面相接触。因此，当封盖单元110或腔室200与位置检测单元170相接触时，位置检测单元170可检测封盖单元110封盖腔室200的开口。另一方面，当封盖单元110或腔室200不与位置检测单元170接触时，位置检测单元170可检测封盖单元110不封盖腔室200的开口。然而，示例性实施例不限于由位置检测单元170检测封盖单元110的位置的方法。

此处，控制单元500可连接到位置检测单元170，且控制第二磁性单元150的操作。也就是说，控制单元500可根据封盖单元110的位置控制第二磁性单元150的操作以允许封盖单元110与腔室200紧密接触或与其分离。举例来说，当工人允许封盖单元110向下旋转以使得封盖单元110与腔室200相接触时，控制单元500可将电力供应给电磁体155。因此，可维持封盖单元110自动地与腔室200紧密接触的状态。

相反，当工人允许封盖单元110向上旋转以使得封盖单元110与腔室200分离时，可变换控制单元160的N极及S极的位置以停止电力供应。因此，可维持封盖单元110打开腔室200的开口的状态。

同时，控制单元500还可检测工人打开及关闭封盖单元110。举例来说，控制器可检测工人施加到封盖单元110的力。因此，当将工人的力施加到把手时，控制单元500可变换电磁体的N极及S极的位置以停止供应电力。因此，工人可容易地打开封盖单元110。

图7是说明根据示例性实施例的手套箱的结构的视图。图8是说明根据示例性实施例的手套箱的结构的平面视图。在下文中，将描述根据示例性实施例的气体排放单元、氧气测量单元以及控制单元。

参考图8，气体供应单元310用以将惰性气体(例如，N₂气体)供应到腔室200中。因此，腔室200内部及外部的气氛可不同。气体供应单元310可包含供应管线311及供应阀312。

供应管线311可限定惰性气体移动通过的路径。供应管线311的一端连接到储存惰性气体的罐(未图示)，且另一端连接到腔室200的上部部分。因此，可通过供应管线311将罐中储存的惰性气体供应到腔室200中。因此，腔室200的内部可充满惰性气体。

供应阀312安装在供应管线311中。供应阀312用以打开及关闭限定于供应管线311中的惰性气体的移动路径。因此，可在操作中控制供应阀312以调节供应到腔室200的惰性气体的量。然而，示例性实施例不限于气体供应单元310的结构。

气体排放单元320用以将腔室200中的气体排放到外部。因此，可去除腔室200中的空气，且腔室200的内部可仅充满惰性气体。此外，可去除腔室200中的惰性气体。气体排放单元320可包含排放管线321及排放阀322。

排放管线321可限定气体移动通过的路径。排放管线321的一端连接到排放泵(未图示)，且另一端连接到腔室200的下部部分。因此，腔室200中的惰性气体或空气可通过排放管线321排出腔室200。

排放阀322安装在排放管线321上。排放阀322用以打开及关闭限定于排放管线321中的气体的移动路径。因此，可在操作中控制排放阀322以选择性地去除腔室200中的气体。然而，示例性实施例不限于气体排放单元320的结构。

传送单元600安装在腔室200的内部空间中。举例来说，传送单元600可为用于传送基板的传送自动机。因此，传送单元600可通过限定于腔室200中的入口-出口端230传送基板。举例来说，从用于处理基板的一个装置51传送的基板可通过传送单元600插入于腔室200中，且传送单元600可将所述基板传送到用于处理基板的另一装置52，所述装置与腔室200连通。由于腔室200充满惰性气体，因此可防止基板在传送时受污染。此处，设置在腔室200上的闸240可与传送单无600一起操作以传送基板。然而，用于执行另一程序的装置可安装在腔室200而非传送单元600中。

氧气测量单元420可安装在腔室200中。氧气测量单元420可为用于测量氧浓度的传感器。因此，可由氧气测量单元420来监测腔室200中的氧浓度。

氧气供应单元410用以将含氧气体供应到腔室200中。

因此，腔室200中的氧浓度可升高。氧气供应单元410可包含氧气管线411及控制阀412。

氧气管线411可定义含氧气体移动通过的路径。氧气管线411的一端连接到储存含氧气体的氧气罐(未图示)，且另一端连接到腔室200的另一端。因此，可通过氧气管线411将氧气罐中储存的气体供应到腔室200中。因此，腔室200可充满含氧气体。

控制阀412安装在氧气管线411上。控制阀412用以打开及关闭限定在氧气管线411中的含氧气体的移动路径。因此，可在操作中控制控制阀412以调节供应到腔室200的含氧气体的量。然而，示例性实施例不限于氧气供应单元410的结构。

控制单元500可根据氧气测量单元420的测量结果来变换第二磁性单元的极性。当腔室200中的氧浓度小于约20％时，如果工人打开腔室200的内部，则工人可能窒息。因此，当工人控制门装置100的操作以打开腔室200的内部时，控制单元500可根据腔室200中的氧浓度选择性地打开门装置100。

举例来说，控制单元500可将由氧气测量单元420测量的测量值与预设的浓度值进行比较。因此，当测量值小于预设浓度值时，可控制门装置100不由工人打开。当测量值等于或大于预设浓度值时，控制单元500可控制门装置100由工人打开。

此外，控制单元500可控制氧气供应单元410的操作。也就是说，当工人在测量值小于预设浓度值的情况下打开门装置100时，控制单元500可控制氧气供应单元410的操作以将含氧气体供应到腔室200中。因此，当工人在腔室200中的氧浓度增加的情况下打开门装置100时，可防止工人窒息。同时，当腔室200中的设备损坏时，可打开腔室200以执行维修或维护工作。除以上情况之外，可密封腔室200的内部。

如上文所描述，能够变换极性位置的第二磁性单元150设置在腔室200或打开及关闭腔室200的开口的封盖单元100上。因此，由于变换了第二磁性单元150的极性，因此腔室200及封盖单元110可彼此耦接或分离。因此，可通过控制第二磁性单元150的操作以简单且快速的方式打开及关闭腔室200的开口。

此外，由于腔室200及封盖单元110通过第二磁性单元150的磁力彼此紧密接触，因此可密封腔室200与封盖单元110之间的间隙。因此，可防止腔室200中的气体泄漏至外部，或可防止腔室200外的外部气体进入腔室200中。

此外，施加到封盖单元110的冲击力可比使用夹持单元时施加的冲击力进一步减少。因此，封盖单元110的使用寿命可增加，且可容易执行对设备的维护。

根据示例性实施例，能够变换极性方向的磁性单元设置在腔室或打开及关闭腔室的开口的封盖单元上。因此，腔室及封盖单元可通过变换磁性单元的极性彼此耦接或分离。因此，可通过控制磁性单元的操作以简单且快速的方式打开及关闭所述箱的开口。

此外，由于腔室及封盖单元通过磁性单元的磁力彼此紧密接触，因此可阻挡腔室与封盖单元之间的间隙。因此，可防止腔室中的气体泄漏至外部，或可防止腔室外的外部气体进入腔室中。

此外，施加到封盖单元的冲击力可比使用夹持单元时施加的冲击力进一步减少。因此，封盖单元的使用寿命可增加，且可容易执行对设备的维护。

如上文所描述，虽然已参考本发明的优选实施例具体地显示及描述本发明，但所属领域的技术人员应理解，可于其中进行形式及细节上的各种改变且不脱离所附权利要求所定义的本发明的精神及范围。因此，本发明的范围并不由本发明的详细描述定义而由随附权利要求定义，且范围内的所有差异将被视为包含于本发明中。

Claims (19)

1.一种安装在腔室上的门装置，所述腔室包括内部空间以及限定在其一个表面中的开口，其特征在于，所述门装置包括：

封盖单元，配置成封盖所述开口；

第一磁性单元，安装在所述封盖单元或所述腔室上；以及

第二磁性单元，安装在所述封盖单元或所述腔室上以面向所述第一磁性单元，变换其极性，且以可分离方式耦接到所述第一磁性单元。

2.根据权利要求1所述的门装置，其特征在于，所述第一磁性单元为固定的，且所述第二磁性单元在极性位置中变换。

3.根据权利要求2所述的门装置，其特征在于，所述第二磁性单元包括安装在所述腔室或所述封盖单元上的支撑构件，以及以可旋转方式安装在所述支撑构件中的磁体构件。

4.根据权利要求1所述的门装置，其特征在于，所述第二磁性单元包括电磁体以及配置成将电流供应到所述电磁体的电力供应器。

5.根据权利要求4所述的门装置，其特征在于，进一步包括：

位置检测单元，配置成检测所述封盖单元的位置；以及

控制单元，连接到所述位置检测单元且控制所述电力供应器单元的操作。

6.根据权利要求1所述的门装置，其特征在于，所述第一磁性单元包括金属构件以及磁体中的至少一个。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的门装置，其特征在于，进一步包括缓冲器单元，所述缓冲器单元安装在所述第一磁性单元以及所述第二磁性单元中的至少一个上以减小所述第一磁性单元与所述第二磁性单元之间的冲击。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的门装置，其特征在于，所述腔室包括配置成包围所述开口的周围的第一突起以及配置成包围所述第一突起的周围的第二突起，且

所述封盖单元包括配置成封盖所述开口的第一封盖，以及连接到所述第一封盖以封盖所述第一封盖与所述第一突起之间的间隙且与所述第二突起相接触的第二封盖。

9.根据权利要求8所述的门装置，其特征在于，进一步包括密封单元，所述密封单元安装在所述封盖单元上以阻挡所述腔室与所述封盖单元之间的间隙且与所述腔室相接触。

10.根据权利要求9所述的门装置，其特征在于，所述密封单元包括安装在所述第一封盖上的第一密封构件以及安装在所述第二封盖上的第二密封构件中的至少一个。

11.一种手套箱，其特征在于，包括：

腔室，具有内部空间以及限定在其一个表面中的开口；

气体供应单元，配置成将惰性气体供应到所述腔室中；以及

门，配置成通过磁力打开及关闭所述开口。

12.根据权利要求11所述的手套箱，其特征在于，所述门包括：

封盖单元，配置成封盖所述开口；

第一磁性单元，安装在所述封盖单元或所述腔室上；以及

第二磁性单元，安装在所述腔室或所述封盖单元上以面向所述第一磁性单元，且变换面向所述第一磁性单元的部分的极性。

13.根据权利要求12所述的手套箱，其特征在于，所述第一磁性单元以及所述第二磁性单元以多个提供且沿所述开口的周围设置。

14.根据权利要求12所述的手套箱，其特征在于，所述门进一步包括密封单元，所述密封单元安装在所述封盖单元上以与所述腔室相接触且沿所述开口的所述周围设置在所述第一磁性单元及所述第二磁性单元中的每一个的周围的内部及外部的至少一个位置。

15.根据权利要求14所述的手套箱，其特征在于，所述密封单元具有突出所述封盖单元的外部的至少一个部分，且

所述门进一步包括配置成允许所述密封单元与所述腔室紧密接触的按压单元。

16.根据权利要求15所述的手套箱，其特征在于，所述按压单元包括安装在所述封盖单元上的第一磁性体以及安装在所述腔室上的第二磁性体，且

所述密封单元安置在所述第一磁性体与所述第二磁性体之间。

17.根据权利要求11至16中任一项所述的手套箱，其特征在于，进一步包括：

氧气测量单元，配置成测量所述腔室中的氧浓度；以及

控制单元，配置成基于由所述氧气测量单元获得的测量结果来变换所述第二磁性单元的极性。

18.根据权利要求17所述的手套箱，其特征在于，进一步包括配置成将含氧气体供应到所述腔室中的氧气供应单元。

19.根据权利要求11至16中任一项所述的手套箱，其特征在于，进一步包括：

入口-出口端，限定在所述腔室中；

闸，配置成打开及关闭所述入口-出口端；以及

传送单元，安装在所述腔室中以通过所述入口-出口端传送基板。