CN110049235A - 一种光学防抖mems驱动器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光学防抖MEMS驱动器。现有的光学防抖驱动器，最多仅具有五轴。本发明包括平面三轴驱动器和垂直三轴驱动器。所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板。垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件。运动件包括第二框架、第二悬臂、偏转盘、弹簧条、中心盘和第三接触点。多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接，另一端均与第二框架连接。驱动件包括底盘和扇环状电极片组。扇环状电极片组包括n片扇环状电极片。n片扇环状电极片均固定在底板上。扇环状电极片组与偏转盘对齐。本发明可实现使图像传感器在平面三轴及竖直三轴上运动，解决由于相机抖动带来的图像模糊问题。
Description
技术领域
本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及一种光学防抖MEMS驱动器。
背景技术
图像稳定(Image Stabilization,IS)技术在提高手机拍摄性能方面发挥着关键作用。该技术主要有两种形式：一、光学图像稳定(Optical Image Stabilization,OIS)，俗称光学防抖，其在一帧的曝光时间内直接对相机抖动做机械补偿以消除图像模糊；二、电子图像稳定(Electronic Image Stabilization,EIS)，其通过对拍摄后的多帧图像进行计算处理以提高清晰度。目前，智能手机采用的光学防抖技术主要由音圈马达(Voice CoilMotor,VCM)提供驱动力，其工作原理是在VCM驱动下使透镜移位(lens shift)，以补偿摄像时发生的抖动。这种VCM光学防抖技术通常只可以在X轴和Y轴进行平移补偿，而由于透镜是旋转对称的，无法实现滚动轴(Roll axis)旋转补偿。
相对于基于透镜移位(lens shift)原理的VCM光学防抖技术，基于传感器移位(sensor shift)原理的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)光学防抖技术更具优势，被业界认为是可替代现有VCM光学防抖、弥补VCM防抖技术的诸多不足之处的下一代技术。MEMS光学防抖技术采用传感器移位原理，通过安装在图像传感器下面的MEMS驱动器控制图像传感器的运动，并使其发生平移和转动以补偿手机抖动。它的主要优势包括：高性能，根据传感器移位原理实现Pitch/Yaw/Roll和X/Y轴平移的实时运动补偿；10ms内完成亚微米精度定位，15ms内响应手机抖动；弱光环境降噪效果好，拍摄图像清晰；低功耗，与传统VCM相比，功耗降低了100倍以上；尺寸小，没有电磁干扰，与VCM相比减少了相机模块尺寸；成本低，基于半导体技术，可大规模量产，长期来看，成本较低。另外，随着双摄像头和多摄像头在智能手机中逐步普及，VCM光学防抖技术所存在的电磁干扰、尺寸过大、耗电功率高等问题也给手机制造商带来了巨大挑战，而MEMS光学防抖技术并不存在这些问题，可以更好地应用于双摄像头和多摄像头的应用场合。
目前，最新报道的是五轴光学防抖MEMS驱动器，本发明提出的光学防抖MEMS驱动器具有六轴或六个自由度，比五轴光学防抖MEMS驱动器增加了Z轴方向的平移自由度，可极大提高防抖过程的响应速度，快速补偿旋转造成的位移偏差，提高摄像稳定性和成像质量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光学防抖MEMS驱动器。
本发明一种光学防抖MEMS驱动器，包括平面三轴驱动器和垂直三轴驱动器。所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板。所述的中间固定板位于第一框架内。中间固定板上开设有沿中间固定板中心点的周向均布的m个卡入槽，m≥3。卡入槽由主干槽和a个分支槽组成。a个分支槽的内端均与主干槽连通。驱动臂由主干杆和a根分支杆组成。a个分支杆的内端均与主干杆连接。驱动臂共有m个。m个驱动臂分别设置在m个卡入槽内。驱动臂上的主干杆与第一框架通过第一悬臂连接。每根分支杆与对应分支槽内之间均设置有梳齿状驱动电极组。梳齿状驱动电极组由一根杆上梳齿电极和一根槽上梳齿电极组成。杆上梳齿电极与对应的分支杆固定。槽上梳齿电极与对应的分支槽固定。
所述的垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件。所述的运动件包括第二框架、第二悬臂、偏转盘、弹簧条、中心盘和第三接触点。所述的偏转盘设置在第二框架内。多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接，另一端均与第二框架连接。偏转盘与第一框架固定。中心盘设置在偏转盘中心的通孔内，且与偏转盘通过多根弹簧条连接。中心盘与平面三轴驱动器上的中间固定板的中部固定。所述的驱动件包括底盘和扇环状电极片组。扇环状电极片组包括n片扇环状电极片，n≥3。n片扇环状电极片均固定在底板上。扇环状电极片组与偏转盘对齐。
进一步地，本发明设置在OIS封装件内。所述的OIS封装件包括主框架、相机镜头、图像传感器、悬挂连接件和安装架。所述的相机镜头固定在主框架上。图像传感器固定在安装架上。安装架与主框架均通过悬挂连接件连接，使得图像传感器在主框架内悬空。悬挂件采用弹性材料。安装架与平面三轴驱动器内的第一框架固定。
进一步地，m根驱动臂上的杆上梳齿电极与移动设备内置的处理器内的m个第一控制接口分别相连。m个卡入槽上的槽上梳齿电极与移动设备内置的处理器内的m个第二控制接口分别相连。偏转盘与移动设备内置的处理器内的第三控制接口相连。n片扇环状电极片与移动设备内置的处理器内的n个第四控制接口分别相连。
进一步地，所述分支槽的长度方向与主干槽的长度方向垂直。与同一主干槽相连的a个分支槽分为两个分支槽组。两个分支槽组分别位于主干槽的两侧。所述驱动臂上的主干杆位于对应卡入槽的主干槽内。驱动臂上的a根分支杆分别位于对应卡入槽的a个分支槽内。
进一步地，所述的杆上梳齿电极及槽上梳齿电极均呈梳齿状，且相互形成叉指结构。同一驱动臂上，杆上梳齿电极位于对应分支杆的同一侧。
进一步地，所述的偏转盘采用氮化硅多晶硅氮化硅三层结构，其中，两层氮化硅厚度均为1um。多晶硅层的厚度为300nm。
进一步地，所述第一悬臂的长度大于驱动臂上的主干杆的长度。
进一步地，所述的中心盘与中间固定板之间相互绝缘。
进一步地，不通电状态下，扇环状电极片与偏转盘的间距为2um。扇环状电极片的材质为金。
进一步地，所述的第二悬臂具有弹性。偏转盘上与各第二悬臂的连接处沿偏转盘中心点的周向均布。各弹簧条沿中心盘的中心点的周向均布。n片扇环状电极片沿底盘中心点的周向均布。
本发明具有的有益效果是：
1、本发明可实现使图像传感器在平面三轴及竖直三轴上运动，解决由于相机抖动带来的图像模糊问题。本发明中的Z轴驱动，能够极大提高系统在Z轴方向上的响应速度，减少对焦时间；另一方面，MEMS驱动器在XY平面内的运动可能会造成Z轴方向发生微小的位移偏差，通过Z轴驱动补偿是最直接有效的。
2、本发明具有能实现10ms内完成亚微米精度定位，15ms内响应手机抖动；弱光环境降噪效果好，拍摄图像清晰等高性能。
3、本发明由平面三轴驱动器与垂直三轴驱动器组装而成。工艺制作简捷，便于产品升级，更适合大规模量产。
4、本发明的OIS模块与传统VCM模块相比，功耗降低了100倍以上，具有很大的低功耗优势。且与传统音圈马达相比减少了相机模块尺寸。
附图说明
图1为本发明设置在OIS封装件内的框架图；
图2为图像传感器的封装框图；
图3为本发明的爆炸示意图；
图4为本发明的俯视示意图；
图5为图4中A部分的局部放大图
图6为本发明中垂直三轴驱动器的工作原理示意图；
图7为本发明中运动件的示意图；
图8为本发明中驱动件的示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步说明。
如图1和2所示，一种光学防抖MEMS驱动器，设置在OIS封装件内。OIS封装件包括主框架1、相机镜头2、图像传感器3、悬挂连接件5和安装架7。相机镜头2固定在主框架1上。图像传感器3固定在安装架7上。安装架7的四个角与主框架1均通过悬挂连接件5连接，使得图像传感器3在主框架1内悬空。悬挂件5采用弹性材料，本实施例中采用细金属丝。主框架1的作用是将相机镜头、图像传感器、MEMS驱动器封装在一起。本发明的特殊设计在于，图像传感器3和MEMS驱动器4在主框架1内悬空，且悬挂连接件5为活动连接，即图像传感器与MEMS驱动器能在框架内完成一定量的位移。在图像传感器3的安装架7的四个角上均设置有用于与MEMS驱动器刚性连接的第一接触点6。
如图3、4和5所示，一种光学防抖MEMS驱动器，包括平面三轴驱动器Ⅰ(X/Y/Roll方向调节)和垂直三轴驱动器Ⅱ(Pitch/Yaw/Z方向调节)。平面三轴驱动器Ⅰ包括第一框架8、驱动臂10、中间固定板15和第二接触点9。四个第二接触点9分别设置在第一框架8的四个角上。四个第二接触点9与四个第一接触点6通过焊接固定。中间固定板15位于第一框架8内，且与第一框架8不接触，能够相对移动。中间固定板15上开设有沿中间固定板15中心点的周向均布的四个卡入槽。卡入槽由主干槽15-1和a个分支槽15-2组成，a＝10。a个分支槽15-2的内端均与主干槽15-1连通。分支槽15-2的长度方向与主干槽15-1的长度方向垂直。a个分支槽15-2分为两个分支槽15-2组。两个分支槽15-2组分别位于主干槽15-1的两侧。
驱动臂10由主干杆10-1和a根分支杆10-2组成。a个分支杆10-2的内端均与主干杆10-1连接。分支杆10-2的长度方向与主干杆10-1的长度方向垂直。驱动臂10共有四个。四个驱动臂10分别设置在四个卡入槽内。驱动臂上的主干杆10-1位于对应卡入槽的主干槽15-1内。驱动臂上的a根分支杆10-2分别位于对应卡入槽的a个分支槽15-2内。驱动臂上的主干杆10-1伸出卡入槽的内端与第一框架8通过第一悬臂22连接。第一悬臂22的长度大于驱动臂上的主干杆10-1的长度。每根分支杆10-2与对应分支槽15-2内之间均设置有梳齿状驱动电极组。梳齿状驱动电极组由一根杆上梳齿电极20和一根槽上梳齿电极21组成。杆上梳齿电极20与对应的分支杆10-2固定。槽上梳齿电极21与对应的分支槽15-2固定。杆上梳齿电极20及槽上梳齿电极21均呈梳齿状，且相互形成叉指结构(即交错咬合)。同一驱动臂10上，杆上梳齿电极20位于对应分支杆10-2的同一侧。当杆上梳齿电极20与槽上梳齿电极21上通相同或相反电压时，杆上梳齿电极20与槽上梳齿电极21相互排斥或相互吸引。第一框架8沿垂直于对应分支杆10-2轴线的方向移动。。本发明中，认为中间固定板15与垂直三轴驱动器Ⅱ内的底盘固定，视为保持静止。
四个驱动臂上的梳齿状驱动电极组分为两个平面驱动组。同一平面驱动组对应的两根驱动臂不相邻。当同一平面驱动组的梳齿状驱动电极组内的杆上梳齿电极20与槽上梳齿电极21均通同极电压(均通正电压或均通负电压)，使得同一平面驱动组内梳齿状驱动电极组对第一框架8的作用力方向保持一致，则第一框架8发生水平移动。两个平面驱动组分别实现平面内两个不同方向(X轴、Y轴方向)的水平移动。
当同一平面驱动组的梳齿状驱动电极组内的杆上梳齿电极20与槽上梳齿电极21均通不同极电压(通一正一负的电压)，使得同一平面驱动组内梳齿状驱动电极组对第一框架8的作用力方向相反，则第一框架8受到一个扭矩，发生绕Z轴方向(即Roll方向)的转动。
第一框架在X轴/Y轴方向位移范围为-25～25um，Roll方向旋转范围为-1～1°。第一框架定位精度优于1um。
如图3、6、7和8所示，垂直三轴驱动器Ⅱ包括运动件和驱动件。运动件包括第二框架16、第二悬臂11、偏转盘12、弹簧条17、中心盘18和第三接触点13。第二框架16中空设置。偏转盘12设置在第二框架16内。四根第二悬臂11的一端均与偏转盘12连接，另一端均与第二框架16连接。第二悬臂11具有弹性，使得偏转盘12在第二框架16内能够进行小幅度的翻转和移动。偏转盘12上与四根第二悬臂11的连接处沿偏转盘12中心点的周向均布。偏转盘12上设置有四个第三接触点13。四个第三接触点13与第一框架8通过焊接固定。中心盘18设置在偏转盘12中心的通孔内，且与偏转盘12通过四根弹簧条17连接。四根弹簧条17沿中心盘18的中心点的周向均布。弹簧条17使得偏转盘12与中心盘18能发生小幅度的相对翻转和移动。中心盘18与平面三轴驱动器Ⅰ上的中间固定板15的中部固定。中心盘18与中间固定板15之间相互绝缘(即电压可以不同)。
如图8所示，驱动件包括底盘19和扇环状电极片组。扇环状电极片组包括n片扇环状电极片14，n＝8。n片扇环状电极片14均固定在底板上，且沿底盘19中心点的周向均布。扇环状电极片组与偏转盘12对齐，使得扇环状电极片14与偏转盘12形成电容式结构。偏转盘12为导电材料，本实施例中偏转盘采用氮化硅-多晶硅-氮化硅三层结构，其中，两层氮化硅厚度均为1um。多晶硅层的厚度为300nm。不通电状态下，扇环状电极片14与偏转盘12的间距为2um。扇环状电极片14的材质为金。
当偏转盘12通正电压，其中一片扇环状电极片14通负电压时，偏转盘12与该扇环状电极片14相互吸引，使得偏转盘12发生翻转。因此，通过给不同的扇环状电极片14通电压，能够驱动偏转盘12绕不同的轴线发生翻转，进而实现了两轴(Pitch/Yaw方向)翻转运动。当偏转盘12通正电压，所有扇环状电极片14同时通正电压或负电压时，偏转盘12向上或向下移动，实现Z轴平移。偏转盘12在Pitch/Yaw方向上偏转范围在-1～1°，Z轴方向上的位移范围为2.5μm。偏转盘12的定位精度优于1um。
四根驱动臂10上的杆上梳齿电极20与移动设备内置的处理器内的四个第一控制接口分别相连。四个卡入槽上的槽上梳齿电极21与移动设备内置的处理器内的四个第二控制接口分别相连。偏转盘12与移动设备内置的处理器内的第三控制接口相连。八片扇环状电极片14与移动设备内置的处理器内的八个第四控制接口分别相连。
本发明的工作原理如下：
装有内含本发明的OIS模块的移动设备在拍照时出现X/Y/Z/Pitch/Yaw/Roll方向上的抖动，即相机镜头2出现X/Y/Z/Pitch/Yaw/Roll方向上的位移时，移动设备内置的陀螺仪检测出整个移动设备的位移大小，并通过移动设备内置的处理器的驱动MEMS驱动器。平面三轴驱动器Ⅰ在各梳齿状驱动电极组的作用下，驱动第一框架8在X/Y/Roll方向上发生抵消平面三轴抖动的位移。垂直三轴驱动器Ⅱ在扇环状电极片组的作用下，驱动偏转盘12在Pitch/Yaw/Z方向上发生偏转。由于偏转盘12与第一框架8刚性固定，故偏转盘12的运动将直接传递给第一框架8。又由于图像传感器与第一框架8刚性固定，故第一框架8的运动将直接传递给图像传感器，使得图像传感器能够跟随相机镜头2发生位移，以保证图像能稳定的呈现在图像传感器上。
Claims (10)
1.一种光学防抖MEMS驱动器，包括平面三轴驱动器；其特征在于：还包括垂直三轴驱动器；所述的平面三轴驱动器包括第一框架、驱动臂和中间固定板；所述的中间固定板位于第一框架内；中间固定板上开设有沿中间固定板中心点的周向均布的m个卡入槽，m≥3；卡入槽由主干槽和a个分支槽组成；a个分支槽的内端均与主干槽连通；驱动臂由主干杆和a根分支杆组成；a个分支杆的内端均与主干杆连接；驱动臂共有m个；m个驱动臂分别设置在m个卡入槽内；驱动臂上的主干杆与第一框架通过第一悬臂连接；每根分支杆与对应分支槽内之间均设置有梳齿状驱动电极组；梳齿状驱动电极组由一根杆上梳齿电极和一根槽上梳齿电极组成；杆上梳齿电极与对应的分支杆固定；槽上梳齿电极与对应的分支槽固定；
所述的垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件；所述的运动件包括第二框架、第二悬臂、偏转盘、弹簧条、中心盘和第三接触点；所述的偏转盘设置在第二框架内；多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接，另一端均与第二框架连接；偏转盘与第一框架固定；中心盘设置在偏转盘中心的通孔内，且与偏转盘通过多根弹簧条连接；中心盘与平面三轴驱动器上的中间固定板的中部固定；所述的驱动件包括底盘和扇环状电极片组；扇环状电极片组包括n片扇环状电极片，n≥3；n片扇环状电极片均固定在底板上；扇环状电极片组与偏转盘对齐。
2.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：设置在OIS封装件内；所述的OIS封装件包括主框架、相机镜头、图像传感器、悬挂连接件和安装架；所述的相机镜头固定在主框架上；图像传感器固定在安装架上；安装架与主框架均通过悬挂连接件连接，使得图像传感器在主框架内悬空；悬挂件采用弹性材料；安装架与平面三轴驱动器内的第一框架固定。
3.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：m根驱动臂上的杆上梳齿电极与移动设备内置的处理器内的m个第一控制接口分别相连；m个卡入槽上的槽上梳齿电极与移动设备内置的处理器内的m个第二控制接口分别相连；偏转盘与移动设备内置的处理器内的第三控制接口相连；n片扇环状电极片与移动设备内置的处理器内的n个第四控制接口分别相连。
4.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：所述分支槽的长度方向与主干槽的长度方向垂直；与同一主干槽相连的a个分支槽分为两个分支槽组；两个分支槽组分别位于主干槽的两侧；所述驱动臂上的主干杆位于对应卡入槽的主干槽内；驱动臂上的a根分支杆分别位于对应卡入槽的a个分支槽内。
5.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：所述的杆上梳齿电极及槽上梳齿电极均呈梳齿状，且相互形成叉指结构；同一驱动臂上，杆上梳齿电极位于对应分支杆的同一侧。
6.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：所述的偏转盘采用氮化硅多晶硅氮化硅三层结构，其中，两层氮化硅厚度均为1um；多晶硅层的厚度为300nm。
7.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：所述第一悬臂的长度大于驱动臂上的主干杆的长度。
8.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：所述的中心盘与中间固定板之间相互绝缘。
9.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：不通电状态下，扇环状电极片与偏转盘的间距为2um；扇环状电极片的材质为金。
10.根据权利要求1所述的一种光学防抖MEMS驱动器，其特征在于：所述的第二悬臂具有弹性；偏转盘上与各第二悬臂的连接处沿偏转盘中心点的周向均布；各弹簧条沿中心盘的中心点的周向均布；n片扇环状电极片沿底盘中心点的周向均布。
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Cited By (10)
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| CN111153378A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-15 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 一种mems驱动器及成像防抖装置 |
| CN113395447A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-09-14 | 江西晶浩光学有限公司 | 防抖机构、摄像装置及电子设备 |
| WO2021218529A1 (zh) * | 2020-04-26 | 2021-11-04 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 具有防抖功能的感光组件及相应摄像模组 |
| CN113676620A (zh) * | 2020-05-14 | 2021-11-19 | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 | 移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置 |
| WO2021249191A1 (zh) * | 2020-06-08 | 2021-12-16 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 具有防抖功能的感光组件、摄像模组及其组装方法 |
| CN113840051A (zh) * | 2020-06-23 | 2021-12-24 | 格科微电子（上海）有限公司 | 光学防抖装置、电子装置 |
| CN113965689A (zh) * | 2020-07-20 | 2022-01-21 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 用于摄像模组的线路板组件、摄像模组及终端设备 |
| CN115152199A (zh) * | 2019-12-24 | 2022-10-04 | Lg伊诺特有限公司 | 传感器驱动装置 |
| WO2022218262A1 (zh) * | 2021-04-15 | 2022-10-20 | 维沃移动通信有限公司 | 摄像装置及电子设备 |
| WO2022227851A1 (zh) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | 新思考电机有限公司 | 光学防抖机构、透镜驱动装置和摄像装置及电子设备 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6384952B1 (en) * | 1997-03-27 | 2002-05-07 | Mems Optical Inc. | Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method |
| US20050156481A1 (en) * | 2004-01-20 | 2005-07-21 | Guangya Zhou | Optical scanning using vibratory diffraction gratings |
| US20150350499A1 (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-03 | Apple Inc. | Comb drive and leaf spring camera actuator |
| CN106132867A (zh) * | 2014-04-04 | 2016-11-16 | Mems启动有限公司 | 用于移动光电设备的致动器 |
| CN106452163A (zh) * | 2015-08-04 | 2017-02-22 | Mems驱动公司 | 多方向致动器 |
| CN106569310A (zh) * | 2011-09-28 | 2017-04-19 | 数位光学Mems有限公司 | 基于mems的光学图像稳定 |
| CN106604887A (zh) * | 2014-08-04 | 2017-04-26 | 费斯·巴-提斯 | 三自由度mems活塞管静电微致动器 |
| CN209402619U (zh) * | 2019-03-06 | 2019-09-17 | 杭州电子科技大学 | 光学防抖mems驱动器 |
-
2019
- 2019-03-06 CN CN201910168289.0A patent/CN110049235A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6384952B1 (en) * | 1997-03-27 | 2002-05-07 | Mems Optical Inc. | Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method |
| US20050156481A1 (en) * | 2004-01-20 | 2005-07-21 | Guangya Zhou | Optical scanning using vibratory diffraction gratings |
| CN106569310A (zh) * | 2011-09-28 | 2017-04-19 | 数位光学Mems有限公司 | 基于mems的光学图像稳定 |
| CN106132867A (zh) * | 2014-04-04 | 2016-11-16 | Mems启动有限公司 | 用于移动光电设备的致动器 |
| US20150350499A1 (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-03 | Apple Inc. | Comb drive and leaf spring camera actuator |
| CN106604887A (zh) * | 2014-08-04 | 2017-04-26 | 费斯·巴-提斯 | 三自由度mems活塞管静电微致动器 |
| CN106452163A (zh) * | 2015-08-04 | 2017-02-22 | Mems驱动公司 | 多方向致动器 |
| CN209402619U (zh) * | 2019-03-06 | 2019-09-17 | 杭州电子科技大学 | 光学防抖mems驱动器 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115152199A (zh) * | 2019-12-24 | 2022-10-04 | Lg伊诺特有限公司 | 传感器驱动装置 |
| CN115152199B (zh) * | 2019-12-24 | 2023-09-08 | Lg伊诺特有限公司 | 传感器驱动装置 |
| CN111153378A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-05-15 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 一种mems驱动器及成像防抖装置 |
| WO2021218529A1 (zh) * | 2020-04-26 | 2021-11-04 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 具有防抖功能的感光组件及相应摄像模组 |
| CN113676620A (zh) * | 2020-05-14 | 2021-11-19 | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 | 移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置 |
| CN113676620B (zh) * | 2020-05-14 | 2022-12-23 | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 | 移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置 |
| WO2021249191A1 (zh) * | 2020-06-08 | 2021-12-16 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 具有防抖功能的感光组件、摄像模组及其组装方法 |
| CN113840051A (zh) * | 2020-06-23 | 2021-12-24 | 格科微电子（上海）有限公司 | 光学防抖装置、电子装置 |
| CN113965689A (zh) * | 2020-07-20 | 2022-01-21 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 用于摄像模组的线路板组件、摄像模组及终端设备 |
| WO2022218262A1 (zh) * | 2021-04-15 | 2022-10-20 | 维沃移动通信有限公司 | 摄像装置及电子设备 |
| WO2022227851A1 (zh) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | 新思考电机有限公司 | 光学防抖机构、透镜驱动装置和摄像装置及电子设备 |
| CN113395447A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-09-14 | 江西晶浩光学有限公司 | 防抖机构、摄像装置及电子设备 |
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Effective date of abandoning: 20241025 |