CN110031140B - 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 - Google Patents
一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110031140B CN110031140B CN201910345791.4A CN201910345791A CN110031140B CN 110031140 B CN110031140 B CN 110031140B CN 201910345791 A CN201910345791 A CN 201910345791A CN 110031140 B CN110031140 B CN 110031140B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- metal micro
- nano structure
- chiral
- optical signal
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 126
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 126
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000002983 circular dichroism Methods 0.000 claims description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004416 surface enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
本发明属于光学微结构领域，具体涉及一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法，由下及上依次设有：衬底层、柔性材料层和金属微纳结构层，金属微纳结构层上设有不少于一个的通孔，通孔内填充有柔性物质，柔性物质上固定有一手性金属微纳结构，柔性物质的厚度大于金属微纳结构层的厚度，通过柔性物质和柔性材料层的设置，将手性金属微纳结构设于柔性材料之上，手性金属微纳结构与通孔之间具有一定的高度差，耦合主要集中在纵向方向上，而非水平方向上，为平面手性结构的设计提供了一种新的思路。
Description
技术领域
本发明属于光学微结构领域，具体涉及一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法。
背景技术
光学微结构可以实现光束偏振态调控、光场调控、表面增强拉曼散射等，在手性探测、痕迹探测方面具有重要应用。
光学手性微纳结构可以产生圆二色性和手性电磁场，是实现偏振态调控和手性探测的重要手段。圆二色性可调的光学手性结构在该领域具有重要应用。
现有光学手性微结构主要是通过在水平方向上调节微纳结构之间的距离实现圆二色性调控的，且调控精度差。
发明内容
为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：
一种基于光学信号的压力探测结构，由下及上依次设有：衬底层、柔性材料层和金属微纳结构层；所述金属微纳结构层上设有不少于一个的通孔；所述通孔内填充有柔性物质；所述柔性物质上固定有一手性金属微纳结构；所述柔性物质的厚度大于所述金属微纳结构层的厚度。
进一步地，所述通孔为矩形通孔。
进一步地，所述手性金属微纳结构为Z形手性金属微纳结构。
进一步地，所述手性金属微纳结构由第一棒、第二棒和第三棒依次连接构成；所述第一棒和第二棒分别垂直连接与所述第二棒的两端；所述第一棒与所述第二棒平行；所述第一棒与所述矩形通孔的任一边平行。
进一步地，所述手性金属微纳结构由两个完全相同的三角金属结构构成；所述两个三角金属结构沿所述矩形通孔的中心点中心对称分布；所述两个三角金属结构分别有一条边与所述矩形通孔的任一边平行。
进一步地，所述两个三角金属结构分别位于所述矩形通孔的两对角区域。
进一步地，所述三角金属结构为等边三角金属结构。
进一步地，所述金属微纳结构层与所述手性金属微纳结构均由贵金属材料制成。
进一步地，一种基于光学信号的压力探测结构的使用方法，包括如下步骤：
步骤1，将所述一种基于光学信号的压力探测结构置于探测环境中，使得受力点为所述手性金属微纳结构的上表面，测得该状态下所述压力探测结构的圆二色信号为初始值；
步骤2，当有压力F施加于所述手性金属微纳结构表面时，所述手性金属微纳结构与所述通孔之间的垂直距离发生改变，所述手性金属微纳结构与所述金属微纳结构层之间的耦合程度也发生变化，产生不同于所述初始值的圆二色性信号测定值；
步骤3，通过判断所述测定值与所述初始值的差值，确定所述手性金属微纳结构的所受压力F是否为0；若差值＝0，则无压力产生；若差值≠0，则有压力产生。
与现有技术相比，本发明的有益效果：
1、本发明一种基于光学信号的压力探测结构，由下及上依次设有：衬底层、柔性材料层和金属微纳结构层，金属微纳结构层上设有不少于一个的通孔，通孔内填充有柔性物质，柔性物质上固定有一手性金属微纳结构，柔性物质的厚度大于金属微纳结构层的厚度。通过柔性物质和柔性材料层的设置，将手性金属微纳结构设于柔性材料之上，手性金属微纳结构与通孔之间具有一定的高度差，耦合主要集中在纵向方向上，而非水平方向上，为平面手性结构的设计提供了一种新的思路。
2、本发明一种基于光学信号的压力探测结构的使用方法，通过在手性金属微纳结构上施加一压力F，随着压力F的改变，手性金属结构与所述通孔之间的垂直距离h也发生改变，在入射光的照射下，手性金属微纳结构与所述金属微纳结构层表面的等离激元发生变化，两者之间的耦合程度也发生变化，进而产生不同的圆二色性信号，利用不同状态下的圆二色性信号不同可以判断手性金属微纳结构是否受力，从而达到压力探测的目的。
3、本发明一种基于光学信号的压力探测结构的圆二色性调控方法不用重新制备微纳结构，成本低。
4、本发明一种基于光学信号的压力探测结构通过探测圆二色性信号的变化，实现了高灵敏度的力学信号探测，并且探测方法简单。
附图说明
图1是本发明基于光学信号的压力探测结构的结构剖面示意图。
图2是本发明基于光学信号的压力探测结构的手性金属微纳结构为Z形结构示意图。
图3是本发明基于光学信号的压力探测结构的手性金属微纳结构为三角金属结构的结构示意图。
图4是本发明基于光学信号的压力探测结构未受力时手性金属微纳结构电荷图。
图5是本发明基于光学信号的压力探测结构未受力的手性金属微纳结构光谱图。
图6是本发明基于光学信号的压力探测结构受力时手性金属微纳结构电荷图。
图7是本发明基于光学信号的压力探测结构受力的手性金属微纳结构光谱图。
图中：1、衬底层；2、柔性材料层；3、柔性物质；4、通孔；5、金属微纳结构层；6、手性金属微纳结构。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。
实施例1：
本实施例公开了一种基于光学信号的压力探测结构，如图1所示，由下及上依次设有：衬底层1、柔性材料层2和金属微纳结构层5，金属微纳结构层5上设有不少于一个的通孔4，通孔4内填充有柔性物质3，柔性物质3上固定有一手性金属微纳结构6，柔性物质3的厚度大于金属微纳结构层5的厚度。
通孔4为矩形通孔4。手性金属微纳结构6为Z形手性金属微纳结构6或者由两个完全相同的三角金属结构构成。
具体而言：
如图2所示，手性金属微纳结构6为Z形手性金属微纳结构6。具体的，手性金属微纳结构6由第一棒、第二棒和第三棒依次连接构成，第一棒和第二棒分别垂直连接与第二棒的两端，第一棒与第二棒平行，第一棒与矩形通孔4的任一边平行。
如图3所示，手性金属微纳结构6由两个完全相同的三角金属结构构成。具体的，两个三角金属结构沿矩形通孔4的中心点中心对称分布，两个三角金属结构分别有一条边与矩形通孔4的任一边平行，两个三角金属结构分别位于矩形通孔4的两对角区域。特别的，三角金属结构为等边三角金属结构。
柔性物质3为为聚酰亚胺材料，柔性材料层2为聚酰亚胺材料制成。金属微纳结构层5与手性金属微纳结构6均由贵金属材料制成，具体为金或者银材料。
本发明一种基于光学信号的压力探测结构，由下及上依次设有：衬底层1、柔性材料层2和金属微纳结构层5，金属微纳结构层5上设有不少于一个的通孔4，通孔4内填充有柔性物质3，柔性物质3上固定有一手性金属微纳结构6，柔性物质3的厚度大于金属微纳结构层5的厚度。通过柔性物质3和柔性材料层2的设置，将手性金属微纳结构6设于柔性材料之上，手性金属微纳结构6与通孔4之间具有一定的高度差，耦合主要集中在纵向方向上，而非水平方向上，为平面手性结构的设计提供了一种新的思路。
实施例2：
为进一步公开实施例1的一种基于光学信号的压力探测结构，本实施例公开了当手性金属微纳结构6在受理前后的吸收光谱和圆二色性光谱图。
当手性金属微纳结构6未受力时，如图4和图5所示，其电荷分布图如图4所示，在长波段，本实施例为λ＝1410nm时，当左旋光(LCP)照射时，入射光照射到手性金属微纳结构6上产生负电荷，然后手性金属微纳结构6与金属微纳结构层5之间形成耦合激励在金属微纳结构层5上产生正电荷；当右旋光(RCP)照射时，产生与其相反的电荷分布，手性金属微纳结构6上产生正电荷，金属微纳结构层5上产生负电荷，从而产生强的CD信号，如图5所示，λ＝1410nm时，A-＝0.35991，A+＝0.14757，CD＝0.21234，产生较强的圆二色性。
在短波段，本实施例为λ＝660nm时，电荷分布和耦合激励方式与长波段相同，从而产生强的CD信号，如图5所示，λ＝660nm时，A-＝0.23721，A+＝0.37485，CD＝-0.13764，产生较强的圆二色性。
当手性金属微纳结构6受力时，柔性物质3因受力而压缩，如图6和图7所示，其电荷分布图如图6所示，在长波段，本实施例为λ＝1420nm时，当左旋光(LCP)照射时，入射光照射到手性金属微纳结构6上产生负电荷，然后手性金属微纳结构6与金属微纳结构层5之间形成耦合激励在金属微纳结构层5上产生正电荷；当右旋光(RCP)照射时，产生与其相反的电荷分布，手性金属微纳结构6上产生正电荷，金属微纳结构层5上产生负电荷，从而产生强的CD信号，如图7所示，λ＝1420nm时，A-＝0.30778
，A+＝0.14634，CD＝0.16144，产生较强的圆二色性。
在短波段，本实施例为λ＝670nm时，电荷分布和耦合激励方式与长波段相同，从而产生强的CD信号，如图5所示，λ＝670nm时，A-＝0.15272，A+＝0.39582，CD＝-0.2431，产生较强的圆二色性。
实施例3：
基于实施例1和实施例2公开的一种基于光学信号的压力探测结构，本实施例公开了一种基于光学信号的压力探测结构的使用方法，具体包括如下步骤：
步骤1，将所述一种基于光学信号的压力探测结构置于探测环境中，使得受力点为所述手性金属微纳结构6的上表面，测得该状态下所述压力探测结构的圆二色信号为初始值；
步骤2，当有压力F施加于所述手性金属微纳结构6表面时，所述手性金属微纳结构6与所述通孔4之间的垂直距离发生改变，所述手性金属微纳结构6与所述金属微纳结构层5之间的耦合程度也发生变化，产生不同于所述初始值的圆二色性信号测定值；
步骤3，通过判断所述测定值与所述初始值的差值，确定所述手性金属微纳结构6的所受压力F是否为0；若差值＝0，则无压力产生；若差值≠0，则有压力产生。
具体而言：通过在手性金属微纳结构6上施加一压力F，随着压力F的改变，手性金属结构与所述通孔4之间的垂直距离h也发生改变，在入射光的照射下，手性金属微纳结构6与所述金属微纳结构层5表面的等离激元发生变化，两者之间的耦合程度也发生变化，进而产生不同的圆二色性信号，利用不同状态下的圆二色性信号不同可以判断手性金属微纳结构6是否受力，从而达到压力探测的目的。
而且本实施例一种基于光学信号的压力探测结构的圆二色性调控方法不用重新制备微纳结构，成本低。通过探测圆二色性信号的变化，实现了高灵敏度的力学信号探测，并且探测方法简单。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种基于光学信号的压力探测结构，其特征在于，由下及上依次设有：衬底层、柔性材料层和金属微纳结构层；
所述金属微纳结构层上设有不少于一个的通孔；所述通孔内填充有柔性物质；
所述柔性物质上固定有一手性金属微纳结构；所述柔性物质的厚度大于所述金属微纳结构层的厚度；
其中，所述光学信号为圆二色性信号。
2.根据权利要求 1 所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于， 所述通孔为矩形通孔。
3.根据权利要求 1 所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于， 所述手性金属微纳结构为 Z 形手性金属微纳结构。
4.根据权利要求 3 所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于， 所述手性金属微纳结构由第一棒、第二棒和第三棒依次连接构成；所述第 一棒和第二棒分别垂直连接于所述第三棒的两端；所述第一棒与所述第二 棒平行；所述第一棒与矩形通孔的任一边平行。
5.根据权利要求 4 所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于， 所述手性金属微纳结构由两个完全相同的三角金属结构构成；
所述两个三角金属结构沿所述矩形通孔的中心点中心对称分布； 所述两个三角金属结构分别有一条边与矩形通孔的任一边平行。
6.根据权利要求 5 所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于， 所述两个三角金属结构分别位于所述矩形通孔的两对角区域。
7.根据权利要求 6 所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于， 所述三角金属结构为等边三角金属结构。
8.根据权利要求 1-7 中任一所述的基于光学信号的压力探测结构，其特征在于，所述金属微纳结构层与所述手性金属微纳结构均由贵金属材料制成。
9.根据权利要求 1-7 中任一所述的基于光学信号的压力探测结构的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤 1，将所述一种基于光学信号的压力探测结构置于探测环境中，使得受力点为所述手性金属微纳结构的上表面，测得该状态下所述压力探测结构的圆二色信号为初始值；
步骤 2，当有压力 F 施加于所述手性金属微纳结构表面时，所述手性金属微纳结构与所述通孔之间的垂直距离发生改变，所述手性金属微纳结构与所述金属微纳结构层之间的耦合程度也发生变化，产生不同于所述初始值的圆二色性信号测定值；
步骤 3，通过判断所述测定值与所述初始值的差值，确定所述手性金属微纳结构的所受压力 F 是否为 0；若差值=0，则无压力产生；若差值≠0， 则有压力产生。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910345791.4A CN110031140B (zh) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910345791.4A CN110031140B (zh) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110031140A CN110031140A (zh) | 2019-07-19 |
| CN110031140B true CN110031140B (zh) | 2022-11-18 |
Family
ID=67240499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910345791.4A Active CN110031140B (zh) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110031140B (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110865428B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-08-24 | 陕西师范大学 | 一种制备强诱导cd结构及其制备方法 |
| CN110907057B (zh) * | 2019-12-05 | 2021-08-24 | 杭州翔毅科技有限公司 | 一种吸收圆二色性可调的传感器 |
| CN110907075B (zh) * | 2019-12-06 | 2021-06-29 | 云南师范大学 | 一种基于光纤的剪切力探测装置 |
| CN110926666B (zh) * | 2019-12-10 | 2021-12-03 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种基于表面等离子激元晶格共振的压力传感器件 |
| CN111257613B (zh) * | 2020-03-24 | 2022-01-21 | 陕西师范大学 | 基于手性电磁场的荧光传感器及系统 |
| CN111256892B (zh) * | 2020-03-24 | 2021-05-28 | 陕西师范大学 | 基于荧光的剪切力探测器及系统 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006119021A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Fujitsu Ltd | センサ装置 |
| JP2013137345A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Jasco Corp | 偏光解消板およびこれを用いた円二色性分光装置 |
| JP2014173950A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Nissha Printing Co Ltd | 圧力検出装置 |
| CN206019882U (zh) * | 2016-08-16 | 2017-03-15 | 山西大同大学 | 一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器 |
| WO2018216349A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-11-29 | ソニー株式会社 | 物体検出装置、および物体検出方法、並びにプログラム |
| CN109283610A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-01-29 | 中山科立特光电科技有限公司 | 一种可以产生强圆二色性的微纳结构 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8194302B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-06-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Active chiral photonic metamaterial |
| GB201113610D0 (en) * | 2011-08-08 | 2011-09-21 | Surface Innovations Ltd | Product and method |
| JP6020745B2 (ja) * | 2014-04-07 | 2016-11-02 | 株式会社村田製作所 | タッチセンサ |
-
2019
- 2019-04-26 CN CN201910345791.4A patent/CN110031140B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006119021A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Fujitsu Ltd | センサ装置 |
| JP2013137345A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Jasco Corp | 偏光解消板およびこれを用いた円二色性分光装置 |
| JP2014173950A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | Nissha Printing Co Ltd | 圧力検出装置 |
| CN206019882U (zh) * | 2016-08-16 | 2017-03-15 | 山西大同大学 | 一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器 |
| WO2018216349A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-11-29 | ソニー株式会社 | 物体検出装置、および物体検出方法、並びにプログラム |
| CN109283610A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-01-29 | 中山科立特光电科技有限公司 | 一种可以产生强圆二色性的微纳结构 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| All-fiber liquid crystalline hydrostatic pressure sensor;Tomasz Wolinski;《PROCEEDINGS OF SPIE》;19940310;全文 * |
| Pressure jump method with detection of optical rotation and circular dichroism;Bernd Gruenewald;《Review of Scientific Instruments》;19780227;全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110031140A (zh) | 2019-07-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110031140B (zh) | 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 | |
| CN103196867B (zh) | 局域等离子体谐振折射率传感器及其制造方法 | |
| CN105158213A (zh) | 基于光纤表面等离子体共振的葡萄糖检测装置及方法 | |
| CN108562386B (zh) | 一种温度补偿的光子晶体光纤横向应力传感器 | |
| CN106841108A (zh) | 一种纤芯折射率可调的光纤spr传感器及其制作方法 | |
| CN101476936B (zh) | 一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪 | |
| CN110082385A (zh) | 一种实现圆二色性的微纳金属结构及其应用 | |
| CN105758821A (zh) | 具有超窄线宽光谱响应的高灵敏度超材料纳米传感系统 | |
| CN103439308A (zh) | 一种表面增强拉曼基底及其制备方法 | |
| CN109490278A (zh) | 三角形微棱镜旋转式spr测试光学芯片 | |
| CN110926667A (zh) | 一种基于非对称周期表面等离激元晶格共振的压力传感器件 | |
| CN1304822C (zh) | 一种光纤光栅倾斜角度传感器 | |
| CN108982423A (zh) | 一种新颖的高灵敏度光子晶体光纤传感器 | |
| CN204788786U (zh) | 高精度光纤压力传感器件标定装置 | |
| CN101995292B (zh) | 反射法测量有机聚合物薄膜材料的电光系数的方法及装置 | |
| CN102680453A (zh) | 一种涂覆增益介质的拉曼光谱高电磁增强基底及制备 | |
| CN104792731A (zh) | 一种基于共振光隧穿效应的液体折射率传感器 | |
| CN103926218A (zh) | 一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器 | |
| CN106842077A (zh) | 一种基于镀银倾斜光纤光栅包覆磁流体的磁场传感器 | |
| US20190025204A1 (en) | Optical sensor, manufacturing method thereof, and fluid analysis method using the same | |
| CN103063299B (zh) | 一种微型光谱仪 | |
| CN105572073B (zh) | 一种外加电场条件下测量液体折射率的方法 | |
| CN204405054U (zh) | 基于光纤光栅传感器的多通路静力水准装置 | |
| CN209485979U (zh) | 一种基于超材料结构的新型微纳折射率传感器 | |
| CN105278186A (zh) | 一种表面倏逝场强度可调谐的复合平面光波导 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231206 Address after: 230000 floor 1, building 2, phase I, e-commerce Park, Jinggang Road, Shushan Economic Development Zone, Hefei City, Anhui Province Patentee after: Dragon totem Technology (Hefei) Co.,Ltd. Address before: 528402, Xueyuan Road, 1, Shiqi District, Guangdong, Zhongshan Patentee before: University OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA, ZHONGSHAN INSTITUTE |
|
| TR01 | Transfer of patent right |