CN110023261B - 基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法 - Google Patents

基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110023261B
CN110023261B CN201780073981.4A CN201780073981A CN110023261B CN 110023261 B CN110023261 B CN 110023261B CN 201780073981 A CN201780073981 A CN 201780073981A CN 110023261 B CN110023261 B CN 110023261B
Authority
CN
China
Prior art keywords
based article
glass
strengthened glass
ion exchange
edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201780073981.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110023261A (zh
Inventor
J·S·阿博特三世
D·C·埃兰
J·M·达芬
S·L·法根
D·L·韦德曼
D·I·威尔考克斯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Corning Inc
Original Assignee
Corning Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Corning Inc filed Critical Corning Inc
Publication of CN110023261A publication Critical patent/CN110023261A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110023261B publication Critical patent/CN110023261B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
    • C03C21/001—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
    • C03C21/002—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C19/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by mechanical means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2204/00—Glasses, glazes or enamels with special properties

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

公开了强化玻璃基材和减少具有3D和2.5D形状的强化玻璃基材中的翘曲的方法。在一个实施方式中，基于强化玻璃的制品包括第一表面，与第一表面相对的第二表面，以及第一表面与第二表面之间的边缘。边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度处并且平行于第一表面和第二表面。基于强化玻璃的制品具有预期翘曲WE，这至少部分是基于所述基于强化玻璃的制品的不对称边缘的形状。基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA小于基于强化玻璃的制品的预期翘曲度量WE的85％。以凹表面朝上来测量基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA。

Description

基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的 方法
相关申请的交叉引用
本申请要求2016年11月29日提交的题为“Chemically Strengthened GlassArticles and Methods for Reducing Warp in Chemically Strengthened GlassArticles(基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法)”美国专利申请第62/427,311号的优先权，其全文通过引用结合入本文。
背景技术
技术领域
本公开一般地涉及基于强化玻璃的制品，更具体地，涉及基于强化玻璃的制品以及降低强化制品中的翘曲的方法。
技术背景
基于玻璃的制品(例如，用于手持式装置的电子显示屏、电视机显示屏和电脑监视器的覆盖玻璃)可以通过化学强化过程进行化学强化以改善强度和耐划痕性。此外，可能希望基于玻璃的制品具有三维(3D)形状(例如，非平坦的形状，诸如弯曲和其他特征)或者2.5维(2.5D)形状(其中，边缘是斜角或者任意其他形状)。但是，经过化学强化的3D和2.5D的基于玻璃的制品可能由于基于玻璃的制品的不同厚度展现出翘曲，该不同厚度可能导致引起翘曲的应变不平衡。极端翘曲可能是不合乎希望的，并且导致产品失效。
发明内容
在一个实施方式中，基于强化玻璃的制品包括：第一表面，其具有从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体内的第一压缩应力层；第二表面，其具有从与第一表面相对的第二表面延伸并进入基于强化玻璃的制品的块体内的第二压缩应力层；以及第一表面与第二表面之间的边缘。第一压缩应力层和第二压缩应力层分别具有压缩深度，所述压缩深度是以下情况中较小的那个：大于或等于40μm，或者大于或等于基于强化玻璃的制品的厚度的10％。边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，使得边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行。基于强化玻璃的制品具有预期翘曲WE，这至少部分是基于所述基于强化玻璃的制品的不对称边缘的形状。基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA小于基于强化玻璃的制品的预期翘曲度量WE的85％。以凹表面朝上来测量基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA。
在另一个实施方式中，基于强化玻璃的制品的制造方法包括：将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间。基于玻璃的制品具有第一表面，与第一表面相对的第二表面，以及第一表面与第二表面之间的边缘。边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，使得边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行。离子交换浴形成基于强化玻璃的制品。基于强化玻璃的制品包括：第一压缩应力层，其从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中并且具有第一压缩深度；以及第二压缩应力层，其从第二表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中并且具有第二压缩深度。方法还包括：在将基于玻璃的制品放入离子交换浴之后，至少去除一部分的第二压缩应力层，使得在至少去除了一部分的第二压缩应力层之后，基于强化玻璃的制品的翘曲小于在至少去除了一部分的第二压缩应力层之前的基于强化玻璃的制品的翘曲。
在另一个实施方式中，基于强化玻璃的制品的制造方法包括：向基于玻璃的制品的第一部分的至少一部分施加表面处理，所述基于玻璃的制品具有第一表面、与第一表面相对的第二表面以及在第一表面与第二表面之间的边缘。边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，以及边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行。方法还包括将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间。离子交换浴对基于玻璃的制品进行强化以形成基于强化玻璃的制品。基于强化玻璃的制品包括：第一压缩应力层，其从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中从而限定了第一压缩深度；以及第二压缩应力层，其从与第一表面相对的第二表面延伸并进入基于强化玻璃的制品的块体中从而限定了第二压缩深度。表面处理导致第一压缩应力层中的离子扩散系数不同于第二压缩应力层中的离子扩散系数。
在另一个实施方式中，基于强化玻璃的制品的制造方法包括：将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间。基于玻璃的制品具有第一表面，与第一表面相对的第二表面，以及第一表面与第二表面之间的边缘。边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，以及边缘相对于平面是不对称的，所述平面穿过基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行。基于玻璃的制品在离子交换浴中是倾斜的，从而第一表面和第二表面中的一个面朝远离离子交换浴的底部。方法还包括在持续一段时间之后，从离子交换浴取出基于强化玻璃的制品。基于强化玻璃的制品具有：第一压缩应力层，其从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中到达第一层深度；以及第二压缩应力层，其从与第一表面相对的第二表面延伸并进入基于强化玻璃的制品的块体中到达第二层深度。至少部分基于所述基于强化玻璃的制品的不对称边缘的形状，基于强化玻璃的制品具有预期翘曲WE，以及基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA小于基于强化玻璃的制品的预期翘曲度量WE的85％。以凹表面朝上来测量基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA。
在另一个实施方式中，基于强化玻璃的基材的制造方法包括：使基于玻璃的制品预翘曲，从而基于玻璃的制品在第一方向上具有预翘曲WP。基于玻璃的制品具有第一表面、第二表面以及第一表面与第二表面之间的边缘。边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，使得边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行。方法还包括将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间。离子交换浴形成基于强化玻璃的制品，使得：第一压缩应力层从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中到达第一层深度；以及第二压缩应力层从第二表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中到达第二层深度。基于强化玻璃的制品具有预期翘曲WE，这至少部分是基于所述基于强化玻璃的制品的不对称边缘的形状。基于强化玻璃的制品以第二方向翘曲，所述第二方向与预翘曲WP的第一方向相反，从而使得基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA小于基于强化玻璃的制品的预期翘曲WE的85％。以凹表面朝上来测量基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA。
在以下详细描述中给出了本公开实施方式的其他特征和优点，其中部分特征和优点对本领域的技术人员而言，根据所作描述就容易看出，或者通过实施包括以下详细描述、权利要求书以及附图在内的本文所述的实施方式而被认识。
要理解的是，前面的一般性描述和以下的详细描述都描述了各种实施方式且都旨在提供用于理解所要求保护的主题的性质和特性的总体评述或框架。包括的附图提供了对各种实施方式的进一步理解，附图并入本说明书中并构成说明书的一部分。附图例示了本文所描述的各种实施方式，且与描述一起用于解释所要求保护的主题的原理和操作。
附图说明
附图所示的实施方式实际上是示意性和示例性的，并不旨在限制通过权利要求所限定的主题。结合以下附图阅读可以理解如下示意性实施方式的详细描述，其中相同的结构用相同的附图标记表示，其中：
图1示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的基于玻璃的制品；
图2示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的基于玻璃的制品的斜角边缘；
图3示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的基于玻璃的制品的弯曲边缘；
图4示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的离子交换工艺；
图5A示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的具有翘曲的基于强化玻璃的制品的透视图；
图5B示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的布置在平坦表面上的具有翘曲的基于强化玻璃的制品的侧视图；
图6A示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的基于强化玻璃的制品的斜角边缘；
图6B示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的具有不对称边缘的基于玻璃的制品的截面；
图7图示性显示经过多个工艺步骤的基于强化玻璃的制品的翘曲演变；
图8图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式的经过多个工艺步骤的基于强化玻璃的制品的翘曲演变，所述多个工艺步骤包括对基于强化玻璃的制品的表面进行抛光；
图9A图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，在离子交换之后且在任何材料去除之前的玻璃片的翘曲图；
图9B图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，图9A所示的玻璃片在对表面进行蚀刻之后的翘曲图；
图10图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，翘曲量与在基于玻璃的制品的离子交换之后由于蚀刻从上侧或下侧去除的材料之间的关系图；
图11图示性显示的图表显示了根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，在离子交换之后没有经过表面抛光和在离子交换之前有一个表面经过抛光的基于玻璃的制品的离子交换前与离子交换后的翘曲；
图12A图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，在离子交换之前以及玻璃片的B侧经过蚀刻之后的玻璃片的翘曲图；
图12B图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，图12A所示的玻璃片在离子交换之后的玻璃片的翘曲图；
图13图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，强化玻璃片的翘曲与在离子交换之前通过蚀刻去除的材料之间的关系图；
图14A示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，以倾斜布置放置在离子交换浴中的基于玻璃的制品；
图14B示意性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，图14所示的放置在离子交换浴中的基于玻璃的制品的翘曲；
图15A图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，在离子交换之前的玻璃片的翘曲图；
图15B图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，由于倾斜装载在离子交换浴中的图15A的玻璃片的翘曲图；
图16A图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，在离子交换之前的玻璃片的翘曲图；以及
图16B图示性显示根据本文所述和所示的一个或多个实施方式，由于倾斜装载在离子交换浴中的图16A的玻璃片的翘曲图。
具体实施方式
总体参见附图，本公开的实施方式总体涉及降低经过离子交换的基于强化玻璃的制品(例如，用于诸如智能手机和电视机显示屏之类的电子装置中的覆盖玻璃的基于强化玻璃的制品)中的翘曲的方法。
如本文所用，术语“基于玻璃的制品”包括玻璃和玻璃陶瓷材料。
电子装置采用的覆盖玻璃可以不是二维而是三维或者2.5维的。如本文所用，三维(3D)的基于玻璃的制品具有至少一个非平坦且含有诸如弯曲表面之类的特征的部分。如本文所用，2.5维的基于玻璃的制品是大致平坦的，但是边缘与基于玻璃的制品的第一和第二表面是非正交的(例如，完全边缘、斜角边缘和斜面边缘等)。如本文所用，基于玻璃的制品是由标称对称制造工艺制造的基于玻璃的制品。如本文所用，短语“标称对称”指的是在玻璃制品的形成过程中，基于玻璃的材料的两侧上的环境是基本相同的。标称对称制造工艺的例子包括但不限于熔合拉制工艺和辊制工艺。浮法工艺是非标称对称制造工艺的例子，因为玻璃材料的一侧暴露于大气，而玻璃材料的另一侧暴露于熔融金属(例如，锡)。因此，浮法玻璃制造工艺中的环境是不对称的。
图1示意性显示可用于手持式装置(例如智能手机)的示例性的基于玻璃的制品100。基于玻璃的制品100具有第一表面112、第二表面114以及布置在第一表面112与第二表面114之间的边缘116。第一表面112和第二表面115是平坦的，并且相互平行。图2示意性显示图1的基于玻璃的制品100，其具有斜角边缘116，其中，斜角边缘116的过渡部分117与第一表面112和第二表面114是非正交的。因此，图2所示的基于玻璃的制品100是2.5D的。过渡部分117以非正交的方式从第一表面上的过渡点TP延伸到位于端点EP，所述端点EP位于基于玻璃的制品沿着x正轴或x负轴的最远点。与第一表面112和第二表面114正交的边缘表面118将过渡部分117连接到第二表面114。要注意的是，过渡部分117可以一直延伸到第二表面114，使得过渡部分117的端点EP位于第二表面。在此类实施方式中，可以几乎没有或者没有与第一表面112和第二表面114正交的边缘表面118。在其他实施方式中，(未示出的)第二过渡部分可以从边缘表面118过渡到第二表面114。
图3示意性显示另一个示例性2.5D的基于玻璃的制品100A，其具有包含过渡部分117A的弯曲表面116，所述过渡部分117A是弯曲的并且与第一表面112A和第二表面114A是非正交的。弯曲过渡部分117A开始于过渡点TP(在那里弯曲边缘116开始弯曲)且终止于终点EP(在那里弯曲过渡部分117A到达边缘表面118，其与第一表面112A和第二表面114B是正交的)。
应理解的是，其他边缘形状也是可以的。2.5D的基于玻璃的制品的边缘形状可以具有如下任意形状：提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，以及相对于平面是不对称的，所述平面是位于基于强化玻璃的制品的平均深度处并且是与第一表面112和第二表面114平行的这两种情况。再次参见图2，质心平面P位于基于玻璃的制品100的块体内的平均深度d处。平面P还平行于第一表面112和第二表面114。如图2所示，边缘116相对于质心平面P是不对称的，因为边缘116的上部分包括非正交过渡部分117而边缘116的底部分不包括非正交过渡部分117。
要注意的是，在2.5D的基于玻璃的制品中，第一表面112通常是面朝消费者的表面。由于2.5D的基于玻璃的制品的边缘形状，由于过渡部分使得第一表面的表面积可能小于第二表面的表面积。
基于玻璃的制品(例如，用于手持式装置和电视机显示屏的那些)可以通过化学强化过程强化以增加强度和耐划痕性。参见图4，可以根据离子交换工艺，将基于未强化玻璃的制品100放在离子交换浴120中，持续一段时间。离子交换浴120中的较大离子与玻璃材料的较小离子发生交换。例如，离子交换浴120可以包含钾盐浴，从而较大的钾离子与玻璃材料的钠离子发生交换，但不限于此。简要参见图6A，从基于玻璃的制品的表面到层深度(DOL)发生离子交换。离子交换导致压缩深度(DOC)，在那里应力从压缩应力变化为拉伸应力。将经过离子交换的区域称作压缩应力层。因此，在第一表面112处存在第一压缩应力层113A以及在第二表面处存在第二压缩应力层113B。第一和第二压缩应力层113A、113B具有压缩应力，其被第一压缩应力层113A与第二压缩应力层113B之间的中心张力区域119内的拉伸应力所平衡。
如本文所用，术语“层深度”和“DOL”指的是采用市售可得仪器(例如，日本东京折原实业有限公司(Orihara Industrial Co.,Ltd.)销售的FSM-6000)，通过表面应力计(FSM)测量确定的离子渗透深度。
如本文所用，术语“压缩深度”和“DOC”指的是玻璃内的应力从压缩变化为拉伸应力的深度。在DOC处，应力从负(压缩)应力转变为正(拉伸)应力，因而具有零值。采用散射光偏光器(SCALP)测量本文所述的DOC值，例如但不限于爱沙尼亚塔林的玻璃应力有限公司(Glasstress Ltd)销售的SCALP，型号SCALP-04。
如图4示意性所示，具有3D或2.5D形状的基于强化玻璃的制品100'可能展现出翘曲，这意味着所得到的基于强化玻璃的制品在离子交换过程之后不再是平坦的。具体来说，对于示例性的2.5D斜角的基于玻璃的制品(其在离子交换过程之前的开始时没有翘曲)，该基于玻璃的制品会在离子交换过程期间发生翘曲，形状主要是朝向基于玻璃的制品的斜角侧(例如，图1-3中所示的第一表面112)是凹的。图5A示意性显示具有翘曲形状的基于强化玻璃的制品100'的透视图。图5B示意性显示置于平坦表面上的具有翘曲形状的基于强化玻璃的制品100'。
显示离子交换诱发的翘曲可能导致基于强化玻璃的制品展现出超过所希望的阈值(DOC大于或等于40μm)的翘曲。具体来说，对于基于薄玻璃的制品(例如厚度小于或等于0.4mm的基于薄玻璃的制品，由于不对称边缘其还倾向于翘曲)，当DOC大于或等于基于强化玻璃的制品的厚度的10％时，可能发生翘曲。因此，当基于玻璃的制品的DOC是以下情况中较小的那个：大于或等于40μm，或者大于或等于基于强化玻璃的制品的厚度的10％时，翘曲可能导致基于玻璃的制品落在规格外。
不受限于理论，翘曲可能是由于斜角区域中的压缩应力层的不平衡的力矩的结果。离子交换强化主要受到近表面区域中的应变(膨胀)驱动，在那里，较大的离子替换了较小的离子。当以不对称的方式施加应变时(例如，基于斜角玻璃的制品的不对称几何形貌)，这种同样的应变也可能驱动了翘曲。
简单滴说，引起这种翘曲的机制可以通过考虑靠近斜角边缘处的几何形貌来进行解释。参见图6A，示意性显示贯穿x-y平面的基于强化玻璃的制品100的斜角边缘116的横截面图。可以将基于强化的玻璃制品100认为以第三维度z投射进入和离开页面。
在如图6A所示的斜角边缘116(或者限定了2.5D的基于玻璃的制品的其他非正交不对称边缘)的情况下，相对于边缘116靠近第一表面112的过渡部分117的斜角区域120A，边缘116靠近第二表面114的非斜角区域120B的近表面玻璃更为远离穿过基于玻璃的制品的平均厚度的质心平面P。参见图6A中的箭头A，由于斜角边缘116的过渡部分117，使得玻璃材料相比于箭头B表示的对应区域而言逐渐变得更薄。
如上文所述，在离子交换过程中，较大的离子扩散进入玻璃中，与较小的离子发生交换。作为结果，玻璃网络必定发生膨胀。参见图6A并且对比弹性能下降，当它们发生膨胀时(斜角区域120A对比非斜角区域120B)，对于非斜角区域120B而言，距离质心平面P的距离更大，所以其通过部件弯曲(以这样一种方式：使得端部沿着±z“卷曲”至第一表面112是凹的或者第一表面114是凸的形状)从而具有更大的杠杆或者得到更多的面积增加。因此，靠近斜角边缘116的第二压缩应力层113B中的应变提供的“弯曲力矩”大于相反的第一压缩应力层113A的应变，这驱使了以箭头K所示的方向朝向非斜角侧凸翘曲。观察到DOL越深(例如，最高至100μm)，导致的翘曲越大。
超过如图6A所示的简单斜角的更为复杂的边缘形状可能进一步增加翘曲。类似地，对于大尺寸片材(具体来说，计算机显示器和TV的尺寸)，小的形状变化非常容易导致平面外形状，这使得表面第一标称中间平面(或者质心平面)并且实现了上文所述的作用力不平衡。
只要离子交换性质(例如，扩散系数)是对称的，那么这种翘曲在离子交换过程之后的2D(平坦)的基于玻璃的制品中就是不常见的，而是作为替代，是基于玻璃的制品的2.5D或3D形状与部件上由于离子交换所导致的作用力之间的相互作用的结果。但是，由于穿过基于玻璃的材料的厚度尺度上的不对称的物理性质所导致的应变不平衡，可能在较大的基于玻璃的制品(例如，用于诸如计算机监视器和电视机显示屏之类的较大电子显示屏的基于玻璃的制品)和基于薄玻璃的制品(例如，厚度小于或等于400μm的基于玻璃的制品)中发生翘曲。导致基于玻璃的材料的第一表面与第二表面之间的应变不平衡的基于玻璃的材料的任何物理性质都可能导致翘曲。除了2.5D和3D形状之外可能影响翘曲的两个物理性质包括但不限于：离子交换过程期间第一表面与第二表面之间的离子扩散系数的不对称性(即，在离子交换过程中，进入每个表面的离子到达了多远的地方和有多少离子进入每个表面)，以及基于玻璃的材料的表面化学性的不对称性(这同时影响了在每个表面处有多少离子进入以及在每个表面处发生交换的离子浓度的大小)。如何对这两个翘曲来源进行表征的度量参见美国专利申请序列第14/170,023号所述，其全文通过引用结合入本文。应理解的是，除了基于玻璃的制品的2.5D或3D形状之外的因素也可能被考虑用于减少翘曲。
由于2.5D或3D形状导致的过度翘曲可能不符合最终产品规格。作为非限制性例子，手机尺寸部件上的翘曲演变表明在离子交换过程中，平均翘曲增加50μm至超过100μm(对于一些边缘设计而言)可能是不合乎希望的。
图5A和5B具体描述了对于理论平坦片材在强化之后引起的翘曲，所述理论平坦片材具有绕着顶边缘的斜角但是对于翘曲总体而言是启发式(heuristic)的。可以在离子交换过程之前和之后和/或在本文所述的翘曲减轻过程之前和之后对实际片材进行翘曲测量。大致来说，翘曲的确定如下：(1)采用例如下文所述的示例性测量仪器来测量第二表面114、第一表面112或者片材的质心P的形状；(2)使用多元线性回归来得到最小二乘法最佳拟合“平均平面”，其定义了一个完全平坦的数学平面，该平面平均而言穿过测量数据点并定义了部件在空间中的取向；(3)从表征了(1)中测得形状的数据点集合减去该最佳拟合平面；以及(4)使用经过减去的数据点来计算测得的任意数据点沿着垂直于平均平面的尺度相对于平均平面的最大(正)偏差和最小(负)偏差。最终翘曲w也被称作总指示跳动(totalindicated runout)或TIR，其是这两个偏差的大小之和。这个过程鉴定了在使得部件水平取向之后，投射到垂直于部件的方向上的部件上的最高点与最低点之间的差异。
对于小的片材和小于约150μm的小的翘曲值，纽约州菲尔波特的特普测量仪器公司(Tropel Metrology Instruments of Fairport,NY)销售的Flatmater 200干涉仪适合测量翘曲。对于较大的片材和较大的翘曲(例如，对于电视机显示屏或计算机监视器而言)，尺寸和TIR对于Flatmater 200而言太大了。在此类情况下，可以采用美国专利第7,509,218号和第9,031,813号所述的所谓的“钉子床”技术来进行翘曲测量，它们全文通过引用结合入本文。要注意的是，除非另有说明，否则本文所述的翘曲w值是采用Flatmaster 200测得的。图9A-B、12A-B、15A-B、16A-B显示采用钉子床技术进行测量的较大片材。
要注意的是，尽管具有技术上先进的测量，例如“钉子床”或者Flatmaster200，但是一些规范通过“触碰计量(Feeler Gage)”来测量翘曲。触碰计量方法虽然是劳动密集型的，但是基本不需要资产。触碰剂量测量如下：将制品放在平坦表面上，测量者尝试在制品与平坦表面之间的间隙内滑动已知厚度的薄垫片。测量者以不同薄垫片厚度不断进行实验，直到确定了位置的翘曲值。测量者会在绕着制品周界的位置处重复该过程。可以建立用于测量的规则，例如：平坦表面的要求，垫片待插入的距离，围绕制品周界进行测量的位置数量，以及是否要测量物品的两侧等。
可以计算由于边缘几何形貌所导致的估算翘曲量。如上文所述，在其他地方平坦的基于玻璃的制品的边缘处的非对称几何形貌导致翘曲力矩升高，这使得部件在离子交换过程中发生翘曲。此类边缘形状可以被称作斜角、斜面、弯曲、花键或者具有形状等。由于边缘形状的不对称性驱动了翘曲，可以使用定量度量，以可适用于任意边缘形状的等式形式来将“低不对称性”与“高不对称性”区分开来。
在第一表面112B与第二表面114B之间具有不对称边缘116B的示例性的基于玻璃的制品100B如图6B所示。这不是限制性例子；本文所述的预期翘曲WE度量适用于根据如下规定的任意边缘形状。截取矩形的近似平坦的基于玻璃制品100B的最长轴的截面形状。线116B'表示不对称形状的边缘。要注意的是，虽然本实例涉及的是矩形的基于玻璃的制品，但是实施方式不限于此。例如，可以对正方形、圆形、椭圆形和任意具有形状的基于玻璃的制品的翘曲进行评估和减轻。
出于预期翘曲WE度量的目的，假定基于玻璃的制品100B从左到右是镜像对称的，如图6B所示。如果在截面图中看到的边缘是不对称的，则形成左边形状与右边形状的镜像图像的平均值，并且两个边缘形状都被该平均值替代从而赋予左/右镜像对称性。
建立坐标x、y和z，其中，x沿着大致平行六面体的具有形状的基于玻璃的制品的第二长的长度从左到右，y是厚度方向，以及z沿着最长尺度进入附图平面，如图6B所示。坐标原点位于如图6所示的截面的中心线的底部。
接着，通过测量沿着部件的最长尺度上的每单位长度的离子交换诱发的长度变化，来定义应变规格。如果将沿着z方向的起始尺度称作Lz，并且将离子交换诱发的长度变化称作δLz，则应变规格是δLz/Lz。对于不同玻璃和不用离子交换过程，这个值会是不同的。值的典型范围是200x10-6至2000x10-6。
截面的面积A如下：
A＝∫∫dydx (1)
式中，在从底部到顶部的每个高度y，x的积分限值从左边缘到右边缘。在给定部件的横截面积的数学表示的情况下可以通过数学方式完成这个积分，或者可以借助于图像分析软件。质心位于中心线上的某处，x＝0线上是对称。在y值处的质心如下：
Figure BDA0002077047900000121
要注意的是，可以通过数学方式或者通过图像分析软件的方式完成等式(2)的积分。等式(2)的值还是每单位面积的第一y力矩。每单位长度的第二y力矩如下：
Figure BDA0002077047900000122
在这里称作K的曲率如下：
Figure BDA0002077047900000123
此处，uy是作为长度(z)方向的厚度(y)方向上的离子交换诱发的偏折的函数，
Figure BDA0002077047900000124
是如上文定义的应变规格；Ly是厚度；分数的分子是沿着限定了截面的外侧边缘的线的线积分
Figure BDA0002077047900000125
A是如上文定义的横截面积；以及分母中的其他项如上文所定义。
预期翘曲WE度量如下：
Figure BDA0002077047900000126
当预期翘曲WE度量是正的时候，翘曲形状向上凹(即，正y方向)或者端部比中心高。当预期翘曲WE度量是负的时候，翘曲反过来(即，负y方向)。
如上文所述，翘曲可能导致基于玻璃的制品落在规格之外。因此，必须丢弃落在翘曲规定外的玻璃制品，提供了较低的产率。当设计具有已知的边缘几何形貌和强化特性的基于玻璃的制品时，必须计算预期翘曲WE度量来评估部件由于不对称边缘形状会翘曲到何种程度。当通过等式(5)计算得到的WE的大小与基于强化玻璃的制品的最长长度之比是0.0006时，则边缘几何形貌与离子交换过程一起在部件中产生了过度翘曲，以及可以使用下文所述的翘曲减轻工艺中的一种或多种来减少翘曲的大小。
注意到的是，应变规格
Figure BDA0002077047900000131
是预期翘曲WE度量的线性规格。这种线性应变规格通过如下方式最容易进行测量：测量离子交换之前的部件长度Lz，然后在完成了所有离子交换步骤之后再次测量长度。应变规格如下：
Figure BDA0002077047900000132
在典型生产离子交换加工中，追踪这个长度变化并进行考虑来实现最终部件尺度。如果离子交换过程交换了较多的离子，则应变规格会增加；如果应变规格翻倍，则预期翘曲WE也翻倍。
要注意的是，预期翘曲WE没有考虑重力的影响，所述重力会影响基于玻璃的制品的实际翘曲测量。基于所述基于玻璃的制品的测量是凸表面朝下或者是凹表面朝下，重力对于翘曲测量的影响会是不同的。显示在测量过程中，当凹表面面朝上时(即，碗形状)，重力使得实际翘曲测量减少了约7％；而在测量过程中，当凹表面面朝下时(即，穹顶形状)，重力使得实际翘曲测量减少了约13％。因此，当将测量得到的翘曲与预期翘曲WE进行比较时，应该考虑重力的影响。
图7图示性显示在手机尺寸的基于玻璃的制品的测试中，基于玻璃的制品的各个加工步骤对于翘曲的影响。采用Flatmaster 200得到图7所示的翘曲测量。从碱性铝硅酸盐组合物制造基于玻璃的制品。应理解的是，虽然本文的实施方式以减小铝硅酸盐玻璃(例如，纽约州康宁市康宁有限公司(Corning,Incorporated of Corning,New York)销售的
Figure BDA0002077047900000133
玻璃)进行描述，但是实施方式不限于此。本文所述概念可适用于任何可离子交换玻璃组合物。
在图7中，“S&B”指的是“划痕和破裂”，其中，通过机械划线和破裂过程从玻璃母片分离多个基于玻璃的制品。第一“精整”步骤F1是薄化步骤，其中，基于玻璃的制品从1.1mm变薄至0.8mm。第二“精整”步骤F2是形成如图6A所示的斜角边缘116的过程。“IOX1”表示第一离子交换过程，在该过程中，离子被深入交换进入到基于玻璃的制品的DOL中。在第一离子交换过程IOX1的过程中，实现了150μm的DOL和226MPa的压缩应力(CS)。“IOX2”表示第二离子交换过程，其产生了大浓度的较大离子作为基于玻璃的制品的表面。在第二离子交换过程IOX2之后，实现了约100μm的DOL和约835MPa的CS。
如图7所示，第一离子交换过程IOX1显著地增加了基于玻璃的制品样品中看到的翘曲量(例如，大于100μm翘曲)。第二离子交换过程IOX2没有对翘曲量做出明显贡献。因此，在第一离子交换过程IOX1之后的翘曲大幅增加看上去是斜角边缘与和离子交换相关作用力之间的相互作用的结果。当不存在2.5D斜角时，不存在这种翘曲增加。
本公开的实施方式涉及基于强化玻璃的制品，以及用于降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法。本文所述实施方式降低了上述所述的2.5D或3D部件形状与离子交换过程之间的相互作用所导致的翘曲增加。本文所述工艺提供的基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA可以是：小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的85％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的75％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的65％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的55％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的45％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的35％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的25％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的15％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的10％，小于或等于基于强化玻璃的制品的实际翘曲WE的5％，或者基本没有翘曲。
如下文更详细所述，可以在一次或多次离子交换工艺之前或之后对基于强化玻璃的制品的一个或多个表面进行处理，以减少翘曲量。可以在一次或多次离子交换之后进行以下技术(单独或组合形式)，以减少基于强化玻璃的制品中的翘曲：
1)在离子交换之后对基于玻璃的制品的一侧进行抛光。在多次离子交换步骤的情况下，可以在任意抛光步骤之后进行抛光。如本文所用，术语“抛光”应该宽泛地解读为包括机械或化学-机械研磨、精研和可以改变玻璃靠近经加工表面处的化学性和/或粗糙度同时去除材料的抛光工艺。
2)在离子交换之后对基于玻璃的制品的一侧进行蚀刻。
3)在离子交换之后对基于玻璃的制品的一侧进行抛光，或者相比于其他侧对一侧进行不同抛光(例如，抛光砂砾尺寸不同)。
4)在离子交换之后对基于玻璃的制品的一侧进行蚀刻，包括：横向均匀蚀刻(例如，等离子体蚀刻或液体蚀刻)和非均匀蚀刻(例如用于产生防眩光表面)这两种情况；其他化学处理，例如高碱性清洗，这改变了玻璃靠近表面处的化学性或粗糙度，并因而还改变了可以使用的IOX。
5)在离子交换之前对玻璃片或部件制品进行预翘曲，以补偿离子交换中观察到的翘曲。这种预翘曲过程可以包括玻璃成形工艺(熔合、辊制等)或者成形后的形状变化工艺(例如，弯曲、模制工艺或弯垂)。子方法是(5a)在切割成部件之前对片材进行预翘曲；和(5b)对单个部件进行预翘曲。
6)将基于玻璃的制品倾斜装载到离子交换浴中。
除了工艺(5a)之外，上述所述工艺都可适用于单个的基于玻璃的制品，例如手机覆盖玻璃。在允许精整工艺的情况下，本文所述的一些工艺还可适用于从其分离了单个的基于玻璃的制品的较大的玻璃片材。例如，应该预期对较大玻璃片材的一侧进行抛光或蚀刻，以及之前从该较大片材切割部件并精整；在离子交换之前的竞争工艺之后是否仍然有减轻翘曲的表面改性部分决定了这种方法的功效。类似地，然后可以在一侧对经过离子交换的大片玻璃进行抛光，并且之后从其切割的部件可以具有所需的表面改性。
下面详细描述了用于减少具有3D或2.5D形状的基于强化玻璃的制品中存在的翘曲的方法的各个实施方式。
离子交换后抛光
在这个工艺中，在一次或多次离子交换过程之后，从基于强化玻璃的制品100'的凸表面(即，图5A所示的第二表面114)去除第一压缩应力层113A的薄层。对第二表面114进行抛光导致第二层深度可以小于与第一表面112相关的第一层深度。
对基于强化玻璃的制品100的背侧凸表面进行抛光降低了翘曲的影响，并且可以使得翘曲量在所希望的容差内。不需要从背侧凸表面(即，第二表面114)去除显著量的材料以降低翘曲。例如，可以去除小于1μm的材料，可以去除小于0.9μm的材料，可以去除小于0.8μm的材料，可以去除小于0.7μm的材料，可以去除小于0.6μm的材料，可以去除小于0.5μm的材料，可以去除小于0.4μm的材料，可以去除小于0.3μm的材料，可以去除小于0.2μm的材料。要注意的是，去除过多的玻璃材料可能使得基于强化玻璃的制品的翘曲恶化。
通过划线和破裂工艺从碱性铝硅酸盐玻璃片分离12个手机尺寸的基于玻璃的制品。在第一精整步骤F1之后，基于玻璃的制品薄化和抛光至约0.8mm的厚度，以及在第二精整步骤F2中形成如图2所示的斜角边缘，如上文所述。然后，单个的基于玻璃的制品经受第一离子交换过程IOX1和第二离子交换过程IOX2。在IOX1之后，样品的非斜角侧和斜角侧的平均CS和DOL是相似的，值分别是230MPa和143μm，从而压实了约106μm的压缩深度(DOC)。采用FSM-6000测量CS和DOL。采用Flatmaster 200测量基于玻璃的制品的翘曲w。
结果如图8中图示性所示。从图8可以看出，显示了每个工艺步骤之后的整组12个基于玻璃的制品的翘曲值分布，在第一离子交换过程IOX1之后，翘曲急剧增加(大于100μm)。第二离子交换过程IOX2没有显示出可感知的额外翘曲，相比于第一离子交换过程IOX1，在所述第二离子交换过程IOX2中发生交换的离子数量要少得多。注意到的是，第二离子交换过程IOX2导致约142μm的DOL和约840MPa的CS。在第二离子交换过程IOX2之后的DOC比106μm略深了数微米。
在第二离子交换过程IOX2之后，在两个分开的抛光步骤P1和P2中，对每个基于强化玻璃的制品的“背侧”(即，凸表面)进行触摸抛光。通过伊利诺伊州芒特普罗斯佩克特(MtProspect,IL)的LapMaster Wolters公司销售的LapMaster 24进行触摸抛光。这两次离子交换过程之前的进行的基于玻璃的制品的薄化和抛光采用的也是LapMaster 24。
触摸抛光工艺提供了约0.17μm±0.01μm去除/分钟的去除率。在每次单个触摸抛光步骤P1和P2中，基于强化玻璃的制品触摸抛光2分钟，在第一次触摸抛光P1之后导致去除了0.34μm的材料，以及在第二次触摸抛光P2之后导致去除了0.68μm的材料。在每个抛光步骤之后测量翘曲。注意到的是，通过触摸抛光之前和触摸抛光之后的基于强化玻璃的制品的重量以及它们的厚度这两者来监测背侧触摸抛光过程中的玻璃去除。采用纽约州菲尔波特的特普测量仪器公司销售的Tropel MSP150干涉仪来测量基于强化玻璃的制品的厚度。
如图8所示，在总计从基于强化玻璃的制品的背侧去除了约0.6μm的材料之后，后续抛光步骤明显降低了翘曲量，平均超过50％。所得到的每个基于玻璃的制品的翘曲w结果小于80μm。要注意的是，虽然图8未示出，但是随着触摸抛光过程开始对部件进行过度校正，去除甚至更多材料的进一步的触摸抛光步骤导致翘曲量增加。
离子交换后蚀刻
在这个过程中，采用蚀刻工艺而不是上文所述的触摸抛光工艺从凸的背侧(即，第二表面114)去除玻璃材料。去除一部分的第二压缩层导致翘曲减少，如上文所述。例如，可以去除小于1μm的材料，可以去除小于0.9μm的材料，可以去除小于0.8μm的材料，可以去除小于0.7μm的材料，可以去除小于0.6μm的材料，可以去除小于0.5μm的材料，可以去除小于0.4μm的材料，可以去除小于0.3μm的材料，可以去除小于0.2μm的材料。
可以采用能够去除所需量的玻璃材料的任意蚀刻溶液。在一个非限制性例子中，使用包含HF+HCl/H2SO4的蚀刻溶液。
在离子交换之后对基于玻璃的制品的背侧凸表面进行蚀刻以类似于上文所述的离子交换后的基于玻璃的制品的抛光的方式降低了翘曲量。在背侧凸表面上去除一部分的压缩应力层可以减少基于玻璃的制品上的弯曲力矩，并因而降低了翘曲量，如上文所述。
为了阐述通过蚀刻去除的材料的影响，对常用于电子显示器的大片玻璃进行评估。玻璃片的对角线是685.8mm，1mm厚，并且是2D的(无斜角)。通过第一离子交换过程IOX1对玻璃片进行强化。在约25℃至约30℃的温度，将1.5M HF+0.9M H2SO4蚀刻溶液施加到一侧或另一侧以去除玻璃材料。向不进行蚀刻的那侧施加抗酸聚合物膜。
图9A是在离子交换之后且在任意材料去除之前的特定玻璃片的翘曲图。图9B是图9A所示的玻璃片在采用蚀刻溶液从下侧去除1.5μm材料之后的翘曲图。玻璃片显示出凹向蚀刻侧的明显翘曲。图10显示对于所有评估的玻璃片，翘曲量与通过蚀刻从上侧或下侧去除的材料的关系。可以看出是线性关系，例如，近似为y＝2.6246x+0.0006的线性关系，R2值是0.9357。
在蚀刻之后的基于玻璃的制品的翘曲是由于未平衡的压缩应力，因为基于玻璃的制品的凹的前侧上的DOL比经过蚀刻的基于玻璃的制品的凸的背侧上的DOL更厚。因此，当基于玻璃的制品是2.5D并且在离子交换过程之后翘曲时，可以对基于玻璃的制品的背侧凸表面进行蚀刻以减少翘曲量。
离子交换前抛光
可以在离子交换之前对基于玻璃的制品进行表面处理，以改变离子交换过程期间，所希望的表面中的离子扩散系数。表面处理可以是例如机械抛光或蚀刻。
在一个工艺中，在后续离子交换过程之前，对基于强化玻璃的制品的背侧(即，如图6A所示的第二表面114)进行抛光。因此，可以在离子交换之前对基于玻璃的制品进行抛光，以预先补偿作为离子交换过程所发生的翘曲。
采用2D(即，没有不对称边缘的平坦)手机尺寸的碱性铝硅酸盐玻璃制品对这个概念进行测试。通过采用LapMaster 24进行一侧精研和抛光，3个玻璃制品从约1.0mm薄化到0.9mm厚度，第二侧是刚制造时的熔合表面。出于对比，从相同的玻璃制造另外3个玻璃制品，但是没有薄化，所以两侧都是刚制造时的熔合表面。两组部件都进行离子交换过程。对于未薄化样品，一侧上的CS/DOL是250.4MPa/143.1μm，另一侧是251.4MPa/143.3μm。对于经过抛光的样品，抛光表面上的CS/DO是235.6MPa/142.6μm，而刚制造时的熔合表面是246.3MPa/142.2μm。
图11图示性显示通过FlatMaster 200测量得到的翘曲。从图11可以看出，未薄化的部件显示出较小的翘曲变化(约15μm)，而经过薄化的部件显示出极大的翘曲变化(>100μm)。因此，离子交换前抛光可以被用于对离子交换之后的预期翘曲进行预补偿。换言之，可以在离子交换过程之前对2.5D玻璃制品的背侧(即，如图6A所示的第二表面)进行抛光，这个量是预期离子交换过程会产生的翘曲量。因此，背侧薄膜的预抛光会抵消2.5D玻璃制品由于离子交换过程所导致的翘曲。
要注意的是，翘曲可能取决于表面精整过程。单侧离子交换前抛光机制可以从所证实的非薄化/薄化表面差异推广到其他类型的表面处理工艺差异。由于离子交换(应变)的不对称性驱动了翘曲，在离子交换过程之前产生故意的不对称性可以引入符号相反的翘曲驱动，并降低离子交换的网络。这种总结可以实现更有效地“调节”翘曲量。
基于玻璃的制品的两个表面可以都经过抛光以导致不对称离子扩散系数。例如，基于玻璃的制品100的第一表面112可以经过抛光从而导致在离子交换过程中的第一离子扩散系数，而基于玻璃的制品100的第二表面114可以经过抛光从而导致在离子交换过程中的第二离子扩散系数。以这种方式，可以对这两个表面之间的离子扩散系数进行调节以导致较低的翘曲。作为举例而非限制，抛光中的差异可以是材料去除量和/或用于对这两个表面进行抛光的砂砾尺寸。
离子交换前蚀刻
显示在离子交换之前对基于玻璃的制品的表面进行蚀刻也影响了离子交换之后的翘曲量。但是，在离子交换之前对表面进行蚀刻相比于在离子交换之前对表面进行抛光具有相反作用。当在离子交换之前抛光时，翘曲导致抛光侧变凹。但是，当在离子交换之前蚀刻表面时，翘曲导致蚀刻侧变凸。
采用常用于电子显示器的碱性铝硅酸盐玻璃大片来对这个概念进行测试。玻璃片的对角线是685.8mm，1mm厚，并且是2D的(无斜角)。在这个实验中，首先在约25℃至约30℃的温度，采用1.5M HF+0.9M H2SO4蚀刻溶液对玻璃片进行酸蚀刻，从一侧或另一侧去除少量玻璃。对两种不同蚀刻工艺条件进行测试，一个是蚀刻溶液从玻璃表面去除了约0.4μm，而另一个是从玻璃表面去除了约1.5μm。在预测试中确定了这些去除量的工艺条件，并在测试部件的厚度测量中得以证实。当需要的时候，使用耐酸聚合物掩蔽防止样品一侧上的蚀刻，并且不同样品的蚀刻是不同的：一些仅在它们的“A”侧蚀刻，一些仅在它们的“B”侧蚀刻，而一些是两侧蚀刻。在蚀刻之后且在离子交换之前去除掩蔽材料。采用上文所述的“钉子床”(BON)“无重力”测量系统来测量蚀刻过程之前和之后的翘曲量。显示这种IOX前的蚀刻过程使得翘曲相比于其蚀刻前的初始值没有变化。
在测量了玻璃片的翘曲之后，然后将玻璃片在370℃的KNO3盐浴中离子交换105-110分钟，以实现约820MPa的CS和约40μm的DOL。在离子交换之后，再次测量翘曲。图12A是特定玻璃片在离子交换之前且在玻璃片的一个表面经过蚀刻以去除约0.4μm玻璃材料之后的翘曲图。图12B显示在离子交换之后的图12A的玻璃片。玻璃片显示出凹向未蚀刻侧且凸向蚀刻侧的明显翘曲。
图13显示这个实验中测试的所有玻璃片的数据，其中将由于蚀刻所导致的翘曲量变化显示为侧之间的蚀刻去除差异的函数。要注意的是，影响看上去是饱和的，蚀刻超过约0.4μm看上去没有改变翘曲量。相信材料去除＝0处的非零翘曲值是在离子交换过程中倾斜装载玻璃片的结果(如下文所述)，并且对于实验中的所有数据产生约+0.2mm翘曲的偏移。
要注意的是，基于玻璃的制品的两个表面可以都经过蚀刻以导致可变的离子扩散系数。例如，基于玻璃的制品100的第一表面112可以经过蚀刻从而导致在离子交换过程中的第一离子扩散系数，而基于玻璃的制品100的第二表面114可以经过蚀刻从而导致在离子交换过程中的第二离子扩散系数。以这种方式，可以对这两个表面之间的离子扩散系数进行调节以导致较低的翘曲。作为举例而非限制，抛光中的差异可以是材料去除量和/或用于对这两个表面进行抛光的砂砾尺寸。
离子交换之前的基于玻璃的制品的预翘曲
在一些实施方式中，可以通过在基于玻璃的制品中以与离子交换后翘曲相反的方向或取向形成一定量的翘曲，来对由于离子交换过程所导致的基于玻璃的制品中的翘曲量进行补偿。观察到在基于玻璃的制品中看到的翘曲量是初始形状与离子交换诱发的形状变化的线性加成。如果在离子交换之前在基于玻璃的制品的一个位置存在高水平的翘曲或变形，则由于离子交换所导致的翘曲量会加和到该位置的高水平的翘曲或变形。如果通过理论或测量已知了由于离子交换诱发的形状变化，则这个形状可以在部件形成过程中从初始形状减去。然后，形状发生预先变化的部件在将其初始形状与其离子交换诱发的形状变化加和之后会是较为平坦的。
有限元建模显示得到了实际部件翘曲的半定量预测。具有各种幅度的初始翘曲的部件模型显示：为了进行良好近似，由于2.5D形状加上离子交换翘曲影响的翘曲变化独立于离子交换前的初始部件翘曲。因此，如果基于玻璃的制品形状发生预先变化的量可以近似等于离子交换过程中的形状变化并且相反，那么所得到的形状可以是接近平坦的。
作为非限制性例子，模型2.5D的基于玻璃的制品具有简单圆柱形形状和类似的幅度翘曲(部件上55μm，但是沿着部件的长轴的符号与主要的离子交换相反)，其在模拟中显示出最终部件翘曲从61μm显著地减少到24μm，如下表1所示。
表1
IOX前翘曲W<sub>P</sub> 第一次IOX翘曲 第二次IOX翘曲
0(平坦) 50μm 61μm
-55μm 22μm 24μm
因此，制造的基于玻璃的制品可以具有预先存在的翘曲，其与离子交换引起的翘曲是氟方向，从而抵消了整体所得到的翘曲。
在实施方式中，对于具有具体应力分布和具体不对称边缘几何形貌的具体的基于玻璃的制品，可以计算预期翘曲WE度量。在离子交换过程之前，基于玻璃的制品可以预翘曲至预翘曲WP以具有初始翘曲，其与预期翘曲WE度量近似是相同量，但是符号相反。因此，可以参考预期翘曲WE度量来明智地决定基于玻璃的制品的预翘曲程度。可以在将基于玻璃的片材切割成基于玻璃的制品之前或者在将基于玻璃的片材切割成基于玻璃的制品之后(即，对单个部件进行预翘曲)，对基于玻璃的制品进行预翘曲。
可以使用任意工艺来对基于玻璃的制品进行预翘曲。可以在基于玻璃的制品的拉制过程中引入预翘曲，或者可以在拉制过程之后引入(例如，通过辊制工艺)。
基于玻璃的制品在离子交换浴中的倾斜装载
现参见图14A，将基于玻璃的制品200放在离子交换浴120中，所处的角度导致翘曲的方向是朝向离子交换浴120的底部。对于较大的玻璃片(例如，用于电视机显示屏或计算机监视器的那些)尤其是这样。图14A示意性显示未翘曲的基于玻璃的制品200以约5°的角度倾斜在离子交换浴中的实验。对于这个实验，铝硅酸盐玻璃片的对角线是685.8mm，1mm厚，并且是2D的(无斜角)。图14B示意性显示在离子交换过程终点时的玻璃片200'，部件全都朝向离子交换浴120的“正面”翘曲。在实验中，左边是离子交换浴120的“正面”，以及右边是离子交换浴120的“后面”，所以，所有的部件都是朝后倾斜的，部件顶部朝向离子交换浴120的后面。
图15A图示性显示离子交换之前的685.8mm对角线玻璃片的翘曲图。图15B图示性显示离子交换之后的图15A的685.8mm对角线玻璃片的翘曲图。玻璃片在370℃的KNO3盐浴中离子交换105-110分钟，以实现约820MPa的CS和约41μm的DOL。如图15A和15B所示，玻璃片的底面朝向离子交换浴的后面倾斜。
出于对比，图16A显示离子交换之前的685.8mm对角线玻璃片的翘曲图，以及图16B显示离子交换之后的玻璃片的翘曲，其中，如图16A和16B所示，玻璃片的顶部朝向离子交换浴的后面倾斜。
在这个实验中，总计对12个玻璃片进行测试。每个玻璃片都一致地凸朝向离子交换浴的后面。显示这个方案在较大部件(例如，上文所述实验中使用的685.8mm对角线玻璃片)中产生明显翘曲。玻璃制品可以以具有优先的方式放在离子交换浴中，以抵消由于离子交换过程诱发的翘曲。
因此，本文所述的实施方式提供的基于化学强化的玻璃制品(特别是具有2.5D或3D形状的基于强化玻璃的制品或者较大的基于强化玻璃的制品)的由于离子交换过程所导致的翘曲减少。
现在应理解的是，本文所述的实施方式涉及减轻2.5D和3D的基于玻璃的制品中的翘曲的方法。本文所述的方法可以结合使用以实现所需的翘曲减小。
本领域的技术人员显而易见的是，可以在不偏离要求专利权的主题的精神和范围的情况下，对本文所述的实施方式进行各种修改和变动。因此，本说明书旨在涵盖本文所述的各种实施方式的修改和变化形式，且这些修改和变化形式落入所附权利要求及其等同内容的范围之内。

Claims (25)

1.一种制造基于强化玻璃的制品的方法，所述方法包括：
将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间，其中：
基于玻璃的制品包括第一表面，与第一表面相对的第二表面，以及第一表面与第二表面之间的边缘；
边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，使得边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行；以及
离子交换浴形成了基于强化玻璃的制品，所述基于强化玻璃的制品包括：
第一压缩应力层，其从所述第一表面延伸到基于强化玻璃的制品的块体中并具有第一压缩深度；以及
第二压缩应力层，其从所述第二表面延伸到基于强化玻璃的制品的块体中并具有第二压缩深度；
在将基于玻璃的制品放入离子交换浴之后，至少去除一部分的第二压缩应力层，使得在至少去除了一部分的第二压缩应力层之后，基于强化玻璃的制品的翘曲小于在至少去除了一部分的第二压缩应力层之前的基于强化玻璃的制品的翘曲。
2.如权利要求1所述的方法，其中，在至少去除了一部分的第二压缩应力层之后的翘曲小于或等于在至少去除了一部分的第二压缩应力层之前的翘曲的85％。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中，至少去除了一部分的第二压缩应力层包括对基于强化玻璃的制品的第一表面进行机械抛光。
4.如权利要求1或2所述的方法，其中，至少去除了一部分的第二压缩应力层包括向第一表面施加蚀刻溶液。
5.如权利要求1或2所述的方法，其中，第二压缩应力层去除掉的部分的厚度大于或等于0.25μm。
6.如权利要求1或2所述的方法，其中，边缘包括从第一表面到第二表面的锥度。
7.如权利要求1或2所述的方法，其中，边缘是斜面。
8.如权利要求1或2所述的方法，其中，边缘是弯曲的。
9.一种制造基于强化玻璃的制品的方法，所述方法包括：
至少向基于玻璃的制品的第一表面的一部分施加表面处理，所述基于玻璃的制品包括第一表面、与第一表面相对的第二表面以及第一表面与第二表面之间的边缘，其中，边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，以及边缘相对于平面是不对称的，所述平面位于基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行；
将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间，其中：
离子交换浴对基于玻璃的制品进行强化以形成基于强化玻璃的制品；
基于强化玻璃的制品包括：第一压缩应力层，其从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中从而限定了第一压缩深度；以及第二压缩应力层，其从与第一表面相对的第二表面延伸并进入基于强化玻璃的制品的块体中从而限定了第二压缩深度；以及
表面处理导致第一压缩应力层中的离子扩散系数不同于第二压缩应力层中的离子扩散系数。
10.如权利要求9所述的方法，其中：
基于强化玻璃的制品具有预期翘曲WE，这至少部分是基于所述基于强化玻璃的制品的边缘形状；以及
基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA小于基于强化玻璃的制品的预期翘曲WE的85％；以及
以凹表面朝上来测量基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA。
11.如权利要求9或10所述的方法，其中，第一压缩应力层和第二压缩应力层分别具有压缩深度，所述压缩深度是以下情况中较小的那个：大于或等于40μm，或者大于或等于基于强化玻璃的制品的厚度的10％。
12.如权利要求9或10所述的方法，其还包括向第二表面施加第二表面处理，其中，对第二表面的第二表面处理不同于对第一表面的表面处理。
13.如权利要求9或10所述的方法，其中，施加表面处理包括去除一部分的第一压缩应力层。
14.如权利要求13所述的方法，其中，第一压缩应力层去除掉的部分的厚度是0.1μm至5μm。
15.如权利要求13所述的方法，其中，表面处理包括对第一表面和第二表面中的至少一个进行抛光。
16.如权利要求13所述的方法，其中，表面处理包括对第一表面和第二表面中的至少一个进行蚀刻。
17.如权利要求9或10所述的方法，其中，边缘包括从第一表面到第二表面的锥度。
18.如权利要求9或10所述的方法，其中，边缘是斜面。
19.如权利要求9或10所述的方法，其中，边缘是弯曲的。
20.一种制造基于强化玻璃的制品的方法，所述方法包括：
将基于玻璃的制品放入离子交换浴中持续一段时间，其中：
基于玻璃的制品包括第一表面、与第一表面相对的第二表面以及第一表面与第二表面之间的边缘，其中，边缘提供了第一表面与第二表面之间的非正交过渡，以及边缘相对于平面是不对称的，所述平面穿过基于强化玻璃的制品的平均深度并且与第一表面和第二表面平行；
基于玻璃的制品在离子交换浴中是倾斜的，从而第一表面和第二表面中的一个面朝远离离子交换浴的底部；以及
在持续一段时间之后，从离子交换浴取出基于强化玻璃的制品，其中：
基于强化玻璃的制品包括：第一压缩应力层，其从第一表面延伸进入基于强化玻璃的制品的块体中到达第一层深度；以及第二压缩应力层，其从与第一表面相对的第二表面延伸并进入基于强化玻璃的制品的块体中到达第二层深度；以及
基于强化玻璃的制品具有预期翘曲WE，这至少部分是基于所述基于强化玻璃的制品的边缘形状；
基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA小于基于强化玻璃的制品的预期翘曲WE的85％；以及
以凹表面朝上来测量基于强化玻璃的制品的实际翘曲WA。
21.如权利要求20所述的方法，其中，第一压缩应力层和第二压缩应力层分别具有压缩深度，所述压缩深度是以下情况中较小的那个：大于或等于40μm，或者大于或等于基于强化玻璃的制品的厚度的10％。
22.如权利要求20或21所述的方法，其中，边缘包括从第一表面到第二表面的锥度。
23.如权利要求20或21所述的方法，其中，边缘是斜面。
24.如权利要求20或21所述的方法，其中，边缘是弯曲的。
25.一种基于强化玻璃的制品，其是通过权利要求1-24中任一项所述的方法制造得到的。
CN201780073981.4A 2016-11-29 2017-11-29 基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法 Active CN110023261B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201662427311P 2016-11-29 2016-11-29
US62/427,311 2016-11-29
PCT/US2017/063574 WO2018102332A1 (en) 2016-11-29 2017-11-29 Strengthened glass-based articles and methods for reducing warp in strengthened glass-based articles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110023261A CN110023261A (zh) 2019-07-16
CN110023261B true CN110023261B (zh) 2022-10-28

Family

ID=60813977

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780073981.4A Active CN110023261B (zh) 2016-11-29 2017-11-29 基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20190276356A1 (zh)
EP (1) EP3548445A1 (zh)
JP (1) JP2019535637A (zh)
KR (1) KR20190086019A (zh)
CN (1) CN110023261B (zh)
TW (1) TW201819327A (zh)
WO (1) WO2018102332A1 (zh)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11984553B2 (en) 2014-12-02 2024-05-14 Polyplus Battery Company Lithium ion conducting sulfide glass fabrication
US11597672B2 (en) 2016-03-09 2023-03-07 Corning Incorporated Cold forming of complexly curved glass articles
TWI655160B (zh) 2016-05-19 2019-04-01 美商蘋果公司 非對稱化學強化
US10899660B2 (en) 2016-05-19 2021-01-26 Apple Inc. Asymmetric chemical strengthening
EP3475237A1 (en) 2016-06-28 2019-05-01 Corning Incorporated Laminating thin strengthened glass to curved molded plastic surface for decorative and display cover application
WO2018009504A1 (en) 2016-07-05 2018-01-11 Corning Incorporated Cold-formed glass article and assembly process thereof
JP7066704B2 (ja) 2016-10-25 2022-05-13 コーニング インコーポレイテッド ディスプレイ用冷間成形ガラスラミネーション
US11016590B2 (en) 2017-01-03 2021-05-25 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a curved cover glass and display or touch panel and methods for forming the same
KR20230165359A (ko) 2017-01-03 2023-12-05 코닝 인코포레이티드 만곡된 커버 유리 및 디스플레이 또는 터치 패널을 갖는 차량 인테리어 시스템 및 이를 형성시키는 방법
JP7357546B2 (ja) 2017-05-15 2023-10-06 コーニング インコーポレイテッド 輪郭形成済みガラス物品及びその作製方法
JP2020533217A (ja) 2017-07-18 2020-11-19 コーニング インコーポレイテッド 複雑に湾曲したガラス物品の冷間成形
JP7124065B2 (ja) 2017-09-12 2022-08-23 コーニング インコーポレイテッド デッドフロントガラスのための触覚エレメントおよびその製造方法
US11065960B2 (en) 2017-09-13 2021-07-20 Corning Incorporated Curved vehicle displays
TWI806897B (zh) 2017-09-13 2023-07-01 美商康寧公司 用於顯示器的基於光導器的無電面板、相關的方法及載具內部系統
TW201918462A (zh) 2017-10-10 2019-05-16 美商康寧公司 具有改善可靠性的彎曲的覆蓋玻璃的車輛內部系統及其形成方法
WO2019103469A1 (en) 2017-11-21 2019-05-31 Corning Precision Materials Co., Ltd. Aspheric mirror for head-up display system and methods for forming the same
US11767250B2 (en) 2017-11-30 2023-09-26 Corning Incorporated Systems and methods for vacuum-forming aspheric mirrors
EP3717415B1 (en) 2017-11-30 2023-03-01 1/4 Corning Incorporated Vacuum mold apparatus and methods for forming curved mirrors
CN109987858B (zh) * 2017-12-29 2022-09-09 深圳市欢太科技有限公司 制备强化玻璃的方法、强化玻璃、电子设备
EP3765425B1 (en) 2018-03-13 2023-11-08 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a crack resistant curved cover glass and methods for forming the same
EP3802450A1 (en) * 2018-06-01 2021-04-14 Corning Incorporated Low-warp, strengthened articles and asymmetric ion-exchange methods of making the same
EP3818022A1 (en) * 2018-07-05 2021-05-12 Corning Incorporated Asymmetric ion-exchange methods of making strengthened articles with asymmetric surfaces
US11639307B2 (en) 2018-07-13 2023-05-02 Apple Inc. Patterned asymmetric chemical strengthening
EP3823825A1 (en) 2018-07-16 2021-05-26 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a cold-bent glass substrate and methods for forming the same
US11130705B2 (en) * 2018-09-11 2021-09-28 Corning Incorporated Glass-based articles with improved fracture resistance
US11447416B2 (en) * 2018-12-20 2022-09-20 Apple Inc. Strengthened covers for electronic devices
CN111348837A (zh) * 2018-12-20 2020-06-30 康宁股份有限公司 强化制品、强化玻璃制品以及制造强化制品的方法
WO2020176327A1 (en) * 2019-02-28 2020-09-03 Corning Incorporated Compensated molds for manufacturing glass-based articles having non-uniform thicknesses
CN111995260B (zh) * 2019-05-27 2022-10-11 维达力实业(深圳)有限公司 玻璃盖板及其制备方法
EP3771695A1 (en) 2019-07-31 2021-02-03 Corning Incorporated Method and system for cold-forming glass
JP7331628B2 (ja) * 2019-10-29 2023-08-23 Ａｇｃ株式会社 カバーガラスの製造方法及びカバーガラス
US11772361B2 (en) 2020-04-02 2023-10-03 Corning Incorporated Curved glass constructions and methods for forming same
KR20210130293A (ko) * 2020-04-21 2021-11-01 삼성디스플레이 주식회사 유리 제품 및 그 제조 방법
US20220045353A1 (en) * 2020-08-04 2022-02-10 Polyplus Battery Company Surface treatment of a sulfide glass solid electrolyte layer
JP2022143262A (ja) * 2021-03-17 2022-10-03 日本電気硝子株式会社 強化ガラス板および強化ガラス板の製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011066246A1 (en) * 2009-11-30 2011-06-03 Corning Incorporated Glass sheet article with double-tapered asymmetric edge
CN104829139A (zh) * 2015-04-22 2015-08-12 四川旭虹光电科技有限公司 用于提高玻璃表面强度的抛光液及抛光方法
CN105473525A (zh) * 2013-06-14 2016-04-06 旭硝子株式会社 减小由化学强化处理导致的玻璃基板的翘曲的方法、化学强化玻璃及其制造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7509218B2 (en) 2006-11-21 2009-03-24 Corning Incorporated Pin height adjustment in bed of nails shape measurement
US9031813B2 (en) 2010-08-27 2015-05-12 Corning Incorporated Methods and apparatus for estimating gravity-free shapes
CN102730983B (zh) * 2011-04-04 2016-08-31 Hoya株式会社 便携式设备用覆盖玻璃的制造方法
US20150274585A1 (en) * 2014-03-26 2015-10-01 Apple Inc. Asymmetric chemical strengthening
CN105645785B (zh) * 2016-03-04 2018-11-23 四川旭虹光电科技有限公司 一种高强度保护玻璃的强化方法
US11453612B2 (en) * 2016-04-20 2022-09-27 Corning Incorporated Glass-based articles including a metal oxide concentration gradient
TWI655160B (zh) * 2016-05-19 2019-04-01 美商蘋果公司 非對稱化學強化

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011066246A1 (en) * 2009-11-30 2011-06-03 Corning Incorporated Glass sheet article with double-tapered asymmetric edge
CN105473525A (zh) * 2013-06-14 2016-04-06 旭硝子株式会社 减小由化学强化处理导致的玻璃基板的翘曲的方法、化学强化玻璃及其制造方法
CN104829139A (zh) * 2015-04-22 2015-08-12 四川旭虹光电科技有限公司 用于提高玻璃表面强度的抛光液及抛光方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3548445A1 (en) 2019-10-09
WO2018102332A1 (en) 2018-06-07
TW201819327A (zh) 2018-06-01
JP2019535637A (ja) 2019-12-12
CN110023261A (zh) 2019-07-16
US20190276356A1 (en) 2019-09-12
KR20190086019A (ko) 2019-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110023261B (zh) 基于强化玻璃的制品和降低基于强化玻璃的制品中的翘曲的方法
KR102566951B1 (ko) 낮은 휨 및 높은 내손상성 유리 물품을 위한 비대칭 응력 프로파일
EP2959264B1 (en) Methods for measuring the asymmetry of a glass-sheet manufacturing process
JP6313391B2 (ja) ガラス基板、電子機器用カバーガラス、及びガラス基板の製造方法
US20230303435A1 (en) Glass article and method for producing the same
JP7006534B2 (ja) 化学強化ガラス板、携帯情報端末および化学強化ガラス板の製造方法
US20180059454A1 (en) Cover window, display device including a cover window, and method of manufacturing a cover window
CN111777325A (zh) 化学强化玻璃板及其制造方法、以及携带信息终端
US10766810B2 (en) Targeted chemical strengthening of glass articles
US11389919B2 (en) Methods for strengthening edges of laminated glass articles and laminated glass articles formed therefrom
WO2017217388A1 (ja) 強化ガラス板および強化ガラス板の製造方法
JP2015093822A (ja) 強化ガラスと強化ガラスの面取り面の形成方法。
TW202012331A (zh) 用於微電子製造的載具
KR20200063214A (ko) 상이한 두께의 섹션을 갖는 유리계 제품
KR102565702B1 (ko) 강화 유리의 제조 방법 및 강화 유리
US11655178B2 (en) Methods and apparatus for manufacturing a glass-based article
JP2013126930A (ja) 強化ガラス板及びその製造方法
CN116460667B (zh) 氟化钙光学零件的加工方法
KR20180130065A (ko) 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 연마 장치
CN113490650A (zh) 用于制造具有非均匀厚度的玻璃基制品的补偿模具
JP2018048064A (ja) 屈曲ガラス物品の製造方法及び屈曲ガラス物品

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant