CN110023025B - 调芯方法 - Google Patents

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Abstract

在激光振荡器与光纤的入射端面之间，配置对激光束(300)进行聚光的聚光透镜。将激光束(300)分支为多个光束(303、304)。在各个情况下对聚光透镜的位置进行调整，以使得对激光束(304)的功率进行测定，该值为最大，此外，对激光束(303)的FFP进行测定，得到的BPP为最小。将调整后的位置分别存储为第1以及第2透镜位置。使聚光透镜在这些位置之间移动并测定激光束(303)的FFP，调整聚光透镜的位置以使得所得到的BPP为规定值以下。

Description

调芯方法
技术领域
本发明涉及激光加工装置等中的光纤与激光振荡器之间的调芯方法。
背景技术
以往，已知通过光纤来对来自气体激光器、固体激光器等激光振荡器的激光束进行导波，从而进行工件的焊接、加工的激光加工装置。
为了提高激光振荡器与光纤的耦合效率，确保加工中使用的激光束的功率，通常在激光振荡器与光纤之间进行调芯。
以往，提出了如下技术：通过功率表等来对激光束的功率进行测定，所述激光束是使来自激光振荡器的激光束经由聚光透镜等的光学部件而入射到光纤的一个端面并从另一个端面出射的激光束，调整聚光透镜的位置等以使得该功率为最大，从而进行调芯(例如，参照专利文献1)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开平08-167754号公报
发明内容
近年来，针对加工精度的要求变得严格，向工件照射的激光束的形状控制变得重要。
但是，激光束的功率为最大的聚光透镜的位置与代表激光束形状的光束质量为最佳的聚光透镜的位置未必一致。因此，若在前者的位置固定聚光透镜并结束调芯，则有可能不能得到所希望的光束质量。此外，其结果，可能产生调芯作业的重做等，作业效率可能降低。
本发明鉴于该情况而作出，其目的在于，提供一种同时监视激光束的功率和光束质量并且进行调芯的方法。
为了实现上述目的，在该发明的一方式中，对经由光纤而从激光振荡器出射的激光束进行分支，能够同时测定激光束的功率以及质量，并且基于这些测定结果来进行激光振荡器与光纤的调芯。
具体而言，本发明的一方式所涉及的调芯方法在激光振荡器与连接于该激光振荡器的光纤之间进行调芯，在所述激光振荡器的光出射部与所述光纤的入射端之间，配置对从所述激光振荡器出射的激光束进行聚光的聚光透镜以及对该聚光透镜的位置进行调整的透镜调整机构，所述调芯方法具备：测定步骤，将从所述光纤的出射端出射的激光束分支为至少包含第1以及第2激光束的多个激光束，分别对该被分支的第1激光束的功率以及第2激光束的远场图(FFP：Far Field Pattern)进行测定；第1调整步骤，调整所述聚光透镜的位置以使得所被测定的所述第1激光束的功率为最大，将此时的位置存储为第1透镜位置；第2调整步骤，根据所测定的所述第2激光束的FFP来求取光束参数乘积(BPP：BeamParameter Products)，调整所述聚光透镜的位置以使得该BPP为最小，将此时的位置存储为第2透镜位置；第3调整步骤，对使所述聚光透镜在所述第1透镜位置与所述第2透镜位置之间移动时的所述第2激光束的FFP进行测定；和第4调整步骤，根据所述第3调整步骤中测定的所述第2激光束的FFP来求取BPP，调整所述聚光透镜的位置以使得该BPP为规定值以下。
通过该方法，能够进行激光振荡器与光纤之间的调芯，以使得同时监视功率和光束质量，并且能够在确保了一定以上的光束质量的状态下使功率为最大限。
也可以在第4调整步骤中，在第2激光束的BPP为规定值以上的情况下，在BPP刚刚成为规定值以上之前的位置固定聚光透镜，结束激光振荡器与光纤之间的调芯，在BPP小于规定值的情况下，在第1透镜位置固定聚光透镜，结束激光振荡器与光纤之间的调芯。
通过该方法，能够确保加工所需的激光束的功率，并且能够将激光束缩小为所希望的形状。
进一步优选，透镜调整机构具有：对聚光透镜的位置进行检测的位移传感器、和用于使聚光透镜移动的致动器，所述透镜调整机构具有：对所述聚光透镜的位置进行检测的位移传感器、和用于使所述聚光透镜移动的致动器，在所述第1调整步骤中，使致动器工作并使聚光透镜移动，以使得由位移传感器检测出的所述聚光透镜的位置为第1透镜位置，在第2调整步骤中，使致动器工作并使聚光透镜移动，以使得由位移传感器检测的聚光透镜的位置为第2透镜位置，在第4调整步骤中，使致动器工作并使聚光透镜移动，以使得由位移传感器检测的聚光透镜的位置成为BPP为规定值以下的位置。
通过该方法，不需要在激光振荡器附近在激光振荡中进行手工作业，调芯作业时的安全性提高。
通过本发明的一方式，能够将激光束的形状缩小为所希望的形状，并且能够使激光束的功率最大化。通过这样被调芯的激光加工装置，能够进行良好的激光加工。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1所涉及的激光加工装置的结构的图。
图2是表示激光束评价装置的概要的图。
图3A是表示从与激光束的光轴正交的方向观察的、激光振荡器与光纤的耦合部附近的构造的概略图。
图3B是表示从激光束的光轴方向观察的、激光振荡器与光纤的耦合部附近的构造的概略图。
图4是表示激光加工装置的功能模块的结构的图。
图5是实施方式1所涉及的、激光振荡器与光纤之间的调芯作业流程图。
图6是表示图5的流程图的接续的调芯作业流程图。
图7A是表示激光功率的调整顺序的一个例子的图。
图7B是表示激光功率的调整顺序的另一个例子的图。
图8是表示本发明的实施方式2所涉及的激光加工装置的功能模块的结构的图。
具体实施方式
以下，基于附图来对本发明的实施方式详细进行说明。以下优选的实施方式的说明本质上仅仅是示例，并不意图显示本发明、其应用物或者其用途。
(实施方式1)
(激光加工装置的结构)
图1表示本发明的实施方式1所涉及的激光加工装置10的结构。激光加工装置10具备：出射激光束的激光振荡器400、对来自激光振荡器400的激光束进行导波的光纤500。此外，激光加工装置10具备：与光纤500的出射端(未图示)连接，用于使光纤500中被导波的激光束300向工件600照射的激光出射头420；和操作激光出射头420，用于使其相对于工件600移动的机械手410。
激光振荡器400和机械手410连接于控制器430。控制器430具有多个运算处理部、控制部、存储部、显示部等(参照图4)，构成为进行激光振荡器400的激光振荡控制、机械手410的动作控制。
在由于维护等而进行激光振荡器400与光纤500的调芯作业的情况下，通过机械手410，激光出射头420向连接于控制器430的激光束评价装置100移动。激光束评价装置100对激光束300的特性进行评价。
此外，控制器430构成为接受来自激光束评价装置100的信号，对这些进行存储，加工为所希望的形式并显示于显示部(参照图4)。
图2表示激光束评价装置100的概要。激光束评价装置100具备：激光束300的入射部110、对入射的激光束300的一部分进行反射并将剩余透射的部分反射镜150、对被部分反射镜150反射的激光束301进行吸收的衰减部120。
此外，激光束评价装置100具备：对透射部分反射镜150的激光束302的一部分进行反射并将剩余透射的部分反射镜151、对被部分反射镜151反射的激光束303的强度分布进行测定的FFP(Far Field Pattern)测定部130。进一步地，激光束评价装置100具备对透射部分反射镜151的激光束304的功率进行测定的功率测定部140。
在激光束评价装置100中，从激光振荡器400出射的激光束通过光纤500，被激光出射头420聚光，并入射到入射部110。
入射到激光束评价装置100的激光束300通过部分反射镜150、151，向功率测定部140、FFP测定部130、衰减部120被分支。
在功率测定部140中，对入射的激光束304(第1激光束)的功率进行测定，在FFP测定部130中，对激光束303(第2激光束)的远场图案即FFP进行测定。该FFP对应于激光束形状，可得到激光束的照射面处的空间强度分布。
针对激光束300、302的部分反射镜150、151的反射率被预先决定，分别构成为将测定所需要的量的激光束向功率测定部140和FFP测定部130分支。
例如，部分反射镜150被设定反射率以及透射率以使得将入射的激光束300的99.9％向衰减部120反射并透射剩余的0.1％。此外，例如，部分反射镜151被设定反射率以及透射率，以使得将入射的激光束302的0.1％向FFP测定部130反射并透射剩余的99.9％。
另外，激光束评价装置100内的功率测定部140和FFP测定部130以及衰减部120的配置并不限定于图2所示的配置，例如，也可以更换功率测定部140和衰减部120的配置。在该情况下，部分反射镜150、151的反射率以及透射率的设定被适当地变更。
另外，激光束301被衰减部120吸收，被消耗为热量。
图3A以及图3B表示激光振荡器400与光纤500的耦合部附近的构造。光纤耦合部200被配置于激光振荡器400与光纤500之间。此外，光纤耦合部200具有光圈260、聚光透镜210、透镜调整机构220～240。光圈260是与使激光束通过的光轴垂直的平面上的光圈。聚光透镜210能够在X、Y、Z轴的共计3个轴的各轴方向移动调整。这里，光轴设为Z轴。将在垂直于该光轴的平面设为XY平面时的XY平面内的正交的2个轴设为X、Y轴。透镜调整机构220～240对这些各轴的聚光透镜210的位置进行调整。在该实施方式中，透镜调整机构220～240被手动操作。进一步地，光纤耦合部200具有固定光纤500的端部的连接器250以使得光纤500的入射端面501为相对于激光束的光轴垂直的平面。
(激光加工装置的功能模块结构)
图4表示本实施方式所涉及的、激光加工装置的功能模块的结构。激光振荡器400具有激光振荡部401、图3A以及图3B所示的光纤耦合部200。
机械手410具有：用于使机械手410的各关节旋转动作的伺服马达411、和与伺服马达411连接的编码器412。
另外，为了使图示简单化，图4中将伺服马达411以及编码器412各表示一个。
控制器430具有：激光控制部431、马达控制部432、存储部434、电源部435、显示部436、输入部437、运算部438。
激光控制部431构成为按照从输入部437输入的控制程序，向电源部435发送控制信号，对激光振荡部401的输出进行控制。
马达控制部432构成为按照从输入部437输入的控制程序以及来自编码器412的反馈信号，对设置于机械手410的伺服马达411的旋转速度以及旋转量进行控制。
存储部434构成为从激光束评价装置100的功率测定部140接受并存储激光束的功率信息，从激光束评价装置100的FFP测定部130接受并存储与激光束的强度分布有关的信息。
电源部435构成为按照来自激光控制部431的控制信号以及来自激光振荡器400的输出监视器(未图示)的控制信号，向激光振荡部401提供电力。
显示部436构成为显示激光振荡器400的输出、由激光束评价装置100测定出的激光束的功率、FFP、或者由运算部438计算出的激光束的BPP(Beam Parameter Products：光束参数乘积)等。
输入部437构成为能够输入用于决定激光振荡器400的输出、机械手410的移动速度以及移动量的控制程序以及数值。
运算部438构成为使用从输入部437等输入并存储于存储部434的信息，进行激光控制部431、马达控制部432的控制所需的运算处理。例如，构成为从存储部434取出与激光束的强度分布有关的信息，对激光束的BPP进行计算。此外，运算部438构成为对各种信息进行加工并能够将适当形式的图表等显示于显示部436。
另外，在图4中，仅表示进行调芯作业所需的功能模块，省略其他功能的说明。例如，安全停止功能模块、控制程序的保存部等省略图示。
此外，信号或者命令向激光控制部431、马达控制部432、运算部438的输入是直接从输入部437进行、还是使用被获取到存储部434的信号或者命令来进行等是根据激光加工装置10、控制器430的规格而被适当地决定的，并不限定于本实施方式。关于控制器430内的信号的流动也同样地，并不限定于本实施方式。
(调芯作业的详细)
图5以及图6表示本实施方式所涉及的、对激光振荡器400与光纤500之间进行调芯的调芯方法的流程图。
首先，通过透镜调整机构220～240，将聚光透镜210针对X、Y、Z轴，向设计上的中心位置移动，由此将激光出射头420和激光束评价装置100设置于规定的配置。操作控制器430，以接近于实际使用条件的输出使激光振荡器400振荡(步骤S1)。
接下来，对由激光束评价装置100内的功率测定部140评价出的激光束的功率进行监视(步骤S2)。
基于该监视结果，使用光纤耦合部200的透镜调整机构220～240来使聚光透镜210移动，进行调芯(步骤S3)。
一边使聚光透镜210移动，一边监视并判断激光束的功率是否为最大(步骤S4)，若能够确认功率为最大的透镜位置P1，则将透镜位置P1记录于记录用纸，或者存储于控制器430的存储部434(参照图4)(步骤S5)。
这里，使用图7A以及图7B，对上述的步骤S3的详细进行说明。
另外，如图3A以及图3B所示，透镜调整机构220～240构成为：关于各轴，若从该轴方向的一方观察顺时针方向旋转则聚光透镜210向该轴的正向移动，若逆时针方向旋转则聚光透镜210向该轴的负向移动。
观察显示于控制器430的显示部436的激光束的功率显示，例如，通过透镜调整机构220，使处于设计上的中心位置的聚光透镜210向X轴的负向移动。
如图7A所示，若使聚光透镜210向X轴的负向移动，由功率测定部140测定出的功率增加，则使聚光透镜210向X轴的负向移动直到功率转为减少(路径a)。
使聚光透镜210向X轴的负向移动，在功率转为减少的时刻，使聚光透镜210向X轴的正向移动，在功率为最大的位置停止(路径b)。
另一方面，如图7B所示，使聚光透镜210向X轴的负向移动，若由功率测定部140测定出的功率减少，则使聚光透镜210向X轴的正向移动(路径c的终端)。
确认通过向该X轴的正向的移动导致功率增加，保持这样直到功率转为减少，使聚光透镜210向X轴的正向移动(路径d)。在功率转为减少的时刻，使聚光透镜210向X轴的负向移动，在功率为最大的位置停止(路径e)。
这样，进行调整以使得聚光透镜210来到X轴方向上的功率为最大的位置。另外，该操作也可以反复多次。
使用透镜调整机构230、240，针对Y轴、Z轴也进行相同的操作，进行调整以使得聚光透镜210来到功率为最大值的位置。
将最终调整结束的时刻的、X、Y、Z轴各自的功率为最大的聚光透镜210的位置P1记录于记录用纸，或者存储于控制器430的存储部434。
再次返回到图5以及图6所示的流程图并进行说明，步骤S5的接下来，通过FFP测定部130来测定激光束的FFP(步骤S6)。基于得到的FFP，求取激光束的BPP(步骤S7)，基于其结果，使用光纤耦合部200的透镜调整机构220～240来使聚光透镜210移动并进行调芯(步骤S8)。
一边使聚光透镜210移动，一边监视并判断激光束的BPP是否为最小(步骤S9)，若能够确认BPP为最小的透镜位置P2，则将透镜位置P2记录于记录用纸，或者存储于控制器430的存储部434(步骤S10)。
另外，BPP通常是表示由式(1)所示的激光束的质量的指标。
BPP＝r×θ＝M2×λ/π(mm·mrad)…(1)
这里，
r：激光束的光束腰半径
θ：激光束的扩散角的一半
M2：与激光束的光圈极限有关的特性指标
λ：激光束的振荡波长。
此外，在步骤S7中，为了从FFP导出BPP，按照以下的顺序进行。
首先，根据由FFP测定部130得到的FFP来求取光强度为峰值的位置坐标和光强度为峰值的1/e2的位置坐标。这2点的距离相当于激光束的光束半径D。
针对激光束的行进方向，每隔一定的间隔通过FFP测定部130来测定FFP，导出光束半径D。相对于激光束的行进方向标绘得到的光束半径D。另外，在本实施方式中，激光束的行进方向是Z轴方向。
通过双曲线来对该标绘进行拟合，能够求取激光束的光束腰半径r。
此外，通过FFP测定部130，若在对激光束进行聚光时，使用fθ透镜(未图示)，则能够将激光束的扩散角分布转换为受光面上的位置分布，因此能够容易求取激光束的扩散角θ。
将如上述那样求出的光束腰半径r和扩散角θ代入到上述的式(1)，得到BPP。
另外，步骤S10中的调整除了寻找BPP为最小的聚光透镜210的位置这方面以外，与步骤S3中进行的顺序相同(参照图7A以及图7B)。
另外，该操作也可以反复多次。
返回到图5以及图6所示的流程图，再次向激光束评价装置100入射激光束300，接下来关注功率和光束质量这两者。
首先，使用透镜调整机构220～240，使聚光透镜210以规定的间隔在三维坐标的向量上移动，该三维坐标从BPP为最小的聚光透镜210的位置P2(Xb，Yb，Zb)朝向功率为最大的聚光透镜210的位置P1(Xp，Yp，Zp)(步骤S11)。
这里，规定的间隔在X、Y、Z轴不同，分别为零点几μm～几μm的范围。其中，并不特别局限于该值，可根据加工条件、所希望的激光束的形状等而适当地变更。
通过激光束评价装置100，对激光束304的功率进行测定(步骤S12)，对激光束303的FFP进行测定，求取BPP(步骤S13)。
观察聚光透镜210是否达到位置P1(步骤S14)，若聚光透镜210未到达位置P1，则使聚光透镜210移动规定的间隔，再次进行步骤S12、S13。若到达位置P1，则进入到步骤S15。
另外，也能够省略步骤S12。
对激光束303的BPP是否为规定值以上进行监视并判断(步骤S15)，若BPP为规定值以上，则求取BPP刚成为规定值之前的位置，将该位置固定为聚光透镜210的最终位置(步骤S16)。由此，能够将BPP小于规定值的位置并且最接近于位置P1的位置固定为最终位置。
即使使聚光透镜从位置P2移动到位置P1，若BPP小于规定值，则将位置P1固定为聚光透镜210的最终位置(步骤S17)。
此外，在步骤S16、S17中，聚光透镜210的最终位置也可以被存储于控制器430的存储部434。在进行下次的调芯作业时能够利用该值。
另外，在本实施方式中，设为激光振荡器400是固体YAG激光器，根据BPP是否为0.373(mm·mrad)以上，判断是进入到步骤S16还是进入到步骤S17。其中，该值仅仅是一个例子。例如，在激光振荡器400是波长不同的多个半导体激光器被耦合的多波长激光器的情况下，根据BPP是否为2(mm·mrad)～10(mm·mrad)的范围的任意规定值以上来进行上述的判断。成为上述的判断基准的BPP的值可根据激光的振荡波长、求取的加工条件等来适当地变更。
如以上说明那样，通过本实施方式，将从激光振荡器400经由光纤500而出射的激光束300分支为激光束304、303、301。激光束304被导入到功率测定部140，激光束303被导入到FFP测定部130。由此，能够同时监视激光束300的功率和激光束形状所对应的空间强度分布。由此，能够进行激光振荡器400与光纤500之间的调芯，以使得同时监视功率和光束质量，并且能够在确保一定以上的光束质量的状态下使功率为最大限。
此外，一般地，若提高激光束的输出则强度分布也变化的情况较多。通过本实施方式，由于使测定中未使用的激光束301吸收到衰减部120，因此在实际的加工中使用的高输出条件下能够进行激光束的测定。例如，能够以kW等级的输出进行激光束评价，基于其结果来进行调芯。
(实施方式2)
图8表示本发明的实施方式2所涉及的激光加工装置的功能模块。本实施方式与实施方式1的较大不同在于，透镜调整机构220～240具有致动器270和位移传感器280。
致动器270分别被设置于X、Y、Z轴，构成为基于来自控制器430的致动器控制部433的控制信号，使聚光透镜210移动。
位移传感器280构成为对以设计上的中心位置为原点的三维坐标上的聚光透镜210的位置进行检测。检测出的位置信息作为电信号而被送到控制器430的存储部434，进一步地被反馈到致动器控制部433。
另外，位移传感器280也可以分别被设置于X、Y、Z轴。此外，为了使图示简单化，图8中将致动器270以及位移传感器280各表示一个。另外，在图8所示的光纤耦合部200，光圈260、聚光透镜210、连接器250省略图示。
此外，图8所示的控制器430相比于图4所示的控制器430，在具有致动器控制部433这方面不同。
致动器控制部433构成为生成用于调整聚光透镜210的位置的控制信号，将该控制信号发送给致动器270。控制信号基于存储于存储部434的与激光束的功率以及强度分布有关的信息和从位移传感器280送来的聚光透镜210的位置信息而生成。此外，致动器控制部433获得图4所示的运算部438的功能。致动器控制部433例如构成为从存储部434取出与激光束的强度分布有关的信息，计算激光束的BPP。
另外，与实施方式1同样地，控制器430也可以独立具有运算部438。此外，在图8中，与图4同样地，仅图示了进行调芯作业所必须的功能模块。
在使用上述的结构来进行调芯的情况下，通过例如从输入部437输入控制程序并执行，能够自动地进行图5以及图6所示的调芯作业。例如，在图5以及图6所示的流程图的步骤S3、S8以及S11中，聚光透镜210通过被设置于透镜调整机构220～240的致动器270来移动。此外，在步骤S4、S9、S14以及S15中，在致动器控制部433或者运算部438中进行各种判断。进一步地，在步骤S5、S10、S16以及S17中，在存储部434中存储各个情况下的聚光透镜210的位置。
通过本实施方式，能够使用激光加工装置10的控制器430来自动地执行调芯时的聚光透镜210的调整，进行调芯的作业者不在出射激光束的附近进行作业也可以。
特别地，在以接近于实际使用条件的数kW等级的输出进行调芯的情况下，需要充分确保进行调芯的作业者的安全。通过本实施方式，能够避免调芯时会产生的问题。
另外，信号或者命令向各控制部431～433的输入是直接从输入部437进行、还是使用被获得于存储部434的信号或者命令来进行等，是根据激光加工装置10、控制器430的规格来适当地决定的，并不限定于本实施方式。此外，针对控制器430内的信号的流动也是同样地，并不限定于本实施方式。
另外，在实施方式1、2中，优选功率测定部140是光电二极管等的光电传感器。由于光电传感器的针对入射的激光束的传感器输出的时间响应良好，因此能够缩短用于调芯作业的时间。其中，虽然输出的时间响应变慢，但也能够使用通常的功率表等的热检测传感器。
此外，作为FFP测定部130，优选使用搭载有CCD、CMOS图像传感器等二维光传感器阵列的照相机。通过二维光传感器阵列的针对入射的激光束的传感器输出的时间响应良好，并且适当地选择阵列乃至像素尺寸，从而能够得到精密的强度分布。
另外，在功率测定部140以及FFP测定部130都使用光电转换设备的情况下，为了防止设备的破坏、劣化，需要充分缩小入射的激光束的功率，需要认真地设定部分反射镜150、151的反射率、透射率。
例如，在使用CCD照相机的情况下，入射到FFP测定部130的激光束的功率最好缩小为几μW～几百μW的范围。在使用光电二极管的情况下，入射到功率测定部140的激光束的功率最好缩小到几mW～几百mW的范围。
此外，在实施方式1、2中，通过激光束评价装置100来测定从激光出射头420出射的激光束，进行激光振荡器400与光纤500之间的调芯。但是，并不局限于此，也可以直接通过激光束评价装置100来测定从光纤500的出射端出射的激光束，从而进行调芯。
产业上的可利用性
本发明的一方式所涉及的调芯方法能够将激光束的形状缩小为所希望的形状，并且能够确保加工所需的激光束的功率，在产业上有用。
-符号说明-
100 激光束评价装置
120 衰减部
130 FFP(光束质量)测定部
140 功率测定部
150 部分反射镜
151 部分反射镜
200 光纤耦合部
210 聚光透镜
220～240 透镜调整机构(X、Y、Z轴)
270 致动器
280 位移传感器
400 激光振荡器
410 机械手
420 激光出射头
500 光纤

Claims (2)

1.一种调芯方法，在激光振荡器与连接于该激光振荡器的光纤之间进行调芯，
在所述激光振荡器的光出射部与所述光纤的入射端之间，配置对从所述激光振荡器出射的激光束进行聚光的聚光透镜以及对该聚光透镜的位置进行调整的透镜调整机构，
所述调芯方法具备：
测定步骤，将从所述光纤的出射端出射的激光束分支为至少包含第1激光束以及第2激光束的多个激光束，分别测定该被分支的第1激光束的功率以及第2激光束的远场图FFP；
第1调整步骤，调整所述聚光透镜的位置以使得所测定的所述第1激光束的功率为最大，将此时的位置存储为第1透镜位置；
第2调整步骤，根据所测定的所述第2激光束的FFP来求取光束参数乘积BPP，并调整所述聚光透镜的位置以使得该BPP为最小，将此时的位置存储为第2透镜位置；
第3调整步骤，测定使所述聚光透镜在所述第1透镜位置与所述第2透镜位置之间移动时的所述第2激光束的FFP；和
第4调整步骤，根据所述第3调整步骤中测定出的所述第2激光束的FFP来求取BPP，调整所述聚光透镜的位置以使得该BPP为规定值以下，
在所述第4调整步骤中，在所述BPP为规定值以上的情况下，将所述BPP刚成为规定值之前的位置固定为所述聚光透镜的最终位置，另一方面，即使在所述第3调整步骤中使所述聚光透镜从所述第2透镜位置移动到所述第1透镜位置，在所述BPP小于规定值的情况下，将所述第1透镜位置固定为所述聚光透镜的最终位置。
2.根据权利要求1所述的调芯方法，其中，
所述透镜调整机构具有：对所述聚光透镜的位置进行检测的位移传感器、和用于使所述聚光透镜移动的致动器，
在所述第1调整步骤中，使所述致动器工作从而使所述聚光透镜移动，以使得由所述位移传感器检测出的所述聚光透镜的位置成为所述第1透镜位置，
在所述第2调整步骤中，使所述致动器工作从而使所述聚光透镜移动，以使得由所述位移传感器检测出的所述聚光透镜的位置成为所述第2透镜位置，
在所述第4调整步骤中，使所述致动器工作从而使所述聚光透镜移动，以使得由所述位移传感器检测出的所述聚光透镜的位置成为所述BPP为规定值以下的位置。
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