CN110001207A - 液体喷射头及其制造方法、以及液体喷射记录装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够稳定地进行喷射动作的液体喷射头。该液体喷射头具备：液体喷射头芯片，其喷射液体；流路部件，其具有将液体向该液体喷射头芯片引导的流路；粘接层，其将这些流路部件和液体喷射头芯片粘接；以及弹性体，其设在流路部件和液体喷射头芯片之间，且比粘接层软。

Description

液体喷射头及其制造方法、以及液体喷射记录装置

技术领域

本公开涉及液体喷射头及其制造方法、以及液体喷射记录装置。

背景技术

作为液体喷射记录装置的一种，提供有将油墨(液体)喷出(喷射)到记录纸等被记录介质来进行图像和文字等的记录的喷墨方式的记录装置。在这种方式的液体喷射记录装置中，通过从油墨储罐向喷墨头(液体喷射头)供应油墨，并从该喷墨头的喷嘴将油墨相对于被记录介质喷出，从而进行图像和文字等的记录。另外，在这种喷墨头中，使用用于密封油墨的粘接剂(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-1008号公报。

发明内容

发明要解决的问题

在这种液体喷射头中，希望从喷嘴被喷射的油墨的、被记录介质上的着地点(着落位置)的偏差小。即，希望提供具备能够稳定地进行喷射动作的液体喷射头及其制造方法、以及具备这种液体喷射头的液体喷射记录装置。

用于解决问题的方案

本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头具备：液体喷射头芯片，其喷射液体；流路部件，其具有将液体向该液体喷射头芯片引导的流路；粘接层，其将这些流路部件和液体喷射头芯片粘接；以及弹性体，其设在流路部件和液体喷射头芯片之间，且比粘接层软。

本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置具备上述本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头、和供该液体喷射头安装的滑架。

本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法包括：准备具有流路的流路部件和液体喷射头芯片；在流路部件和液体喷射头芯片之间配置弹性体以及粘接剂；以及通过使粘接剂固化，从而形成将流路部件和液体喷射头芯片粘接的粘接层；使弹性体由比固化后的粘接层软的材料形成。

发明效果

根据本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头以及液体喷射记录装置，将弹性体设在流路部件和液体喷射头芯片之间，该弹性体比将流路部件和液体喷射头芯片粘接的粘接层软。因此，能够抑制例如在液体喷射头芯片内的某个位置处产生的喷射时的压力波的影响向其附近波及。因此，能够稳定地进行喷射动作。另外，根据本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法，能够制造这种可稳定地进行喷射动作的液体喷射头。

附图说明

图1是表示本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置的概要结构例的示意立体图；

图2是表示图1中所示的循环机构等的详细结构例的示意图；

图3是表示图1中所示的液体喷射头的详细结构例的示意侧视图；

图4A是表示图1中所示的液体喷射头中的流路板的俯视图；

图4B是表示图1中所示的液体喷射头中的其他流路板的俯视图；

图5A是表示在图1中所示的液体喷射头中的流路部件和液体喷射头芯片的界面附近的示意剖视图；

图5B是表示在图5A中所示的流路部件和液体喷射头芯片的界面附近的示意俯视图；

图6是表示图3中所示的液体喷射头芯片的示意俯视图；

图7是图3中所示的液体喷射头芯片的示意分解立体图；

图8是图3中所示的液体喷射头芯片的示意俯视图；

图9是图3中所示的液体喷射头芯片的、沿着图8的IX-IX线的示意剖视图；

图10A是表示图1中所示的液体喷射头的制造方法的一个工序的示意剖视图；

图10B是表示接在图10A之后的一个工序的示意剖视图；

图11是表示作为变形例一的液体喷射头中的流路部件和液体喷射头芯片的界面附近的示意俯视图；

图12是表示作为变形例二的液体喷射头中的流路部件和液体喷射头芯片的界面附近的示意俯视图；

图13是表示作为变形例三的液体喷射头中的流路部件和液体喷射头芯片的界面附近的示意剖视图；

图14是表示作为变形例四的液体喷射头中的流路部件和液体喷射头芯片的界面附近的示意剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细地说明。此外，说明按照以下顺序进行。

1.实施方式(多个弹性体排列在流路部件和头芯片之间的例子。)

2.变形例

变形例一(弹性体以在流路部件的多个流路彼此之间的区域中沿着流路延伸的方式配置的例子。)

变形例二(在与流路对应的位置具有狭缝的片状弹性体配置在流路部件和头芯片之间的例子。)

变形例三(弹性体以与流路部件以及头芯片双方抵接的方式配置的例子。)

变形例四(将流路部件和头芯片在它们的端面处固定的例子。)

3.其他变形例。

<1.实施方式>

[打印机1的整体结构]

图1是将作为本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置的打印机1的概要结构例示意性地利用立体图表示的图。该打印机1是利用油墨9(参照后文出现的图3)对作为被记录介质的记录纸P进行图像和文字等的记录(打印)的喷墨打印机。

如图1所示，打印机1具备一对运送机构2a、2b、油墨储罐3、喷墨头4、油墨循环机构5和扫描机构6。这些各部件容纳在具有规定形状的框体10内。此外，在本说明书的说明中使用的各附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。另外，在本说明书中，将图1中所示的Z轴方向作为铅垂方向进行说明。详细地，将+Z方向作为铅垂方向上方，并将-Z方向作为铅垂方向下方进行说明。

此处，打印机1与本公开中的“液体喷射记录装置”的一个具体例对应，喷墨头4(后述的喷墨头4Y、4M、4C、4B)与本公开中的“液体喷射头”的一个具体例对应。

如图1所示，运送机构2a、2b是各自将记录纸P沿着运送方向d(X轴方向)运送的机构。这些运送机构2a、2b各自具有栅格辊21、夹送辊22以及驱动机构(未图示)。栅格辊21以及夹送辊22各自沿着Y轴方向(记录纸P的宽度方向)延伸设置。驱动机构是使栅格辊21围绕轴旋转(在ZX面内旋转)的机构，例如由马达等构成。

(油墨储罐3)

油墨储罐3是将油墨9容纳于内部的储罐。作为该油墨储罐3，在本例中如图1所示，设有单独地容纳黄(Y)、洋红(M)、青(C)、黑(B)这四色的油墨9的4种储罐。即，设有容纳黄色的油墨9的油墨储罐3Y、容纳洋红色的油墨9的油墨储罐3M、容纳青色的油墨9的油墨储罐3C、容纳黑色的油墨9的油墨储罐3B。这些油墨储罐3Y、3M、3C、3B在框体10内沿着X轴方向排列配置。

此外，油墨储罐3Y、3M、3C、3B各自除了所容纳的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为油墨储罐3进行说明。

(喷墨头4)

喷墨头4是从后述的多个喷嘴H1、H2对记录纸P喷射(喷出)液滴状的油墨来进行图像和文字等的记录的头。作为该喷墨头4，在本例中如图1所示，设有单独地喷射分别容纳于上述的油墨储罐3Y、3M、3C、3B这四色的油墨9的4种头。即，设有喷射黄色的油墨9的喷墨头4Y、喷射洋红色的油墨9的喷墨头4M、喷射青色的油墨9的喷墨头4C、喷射黑色的油墨9的喷墨头4B。这些喷墨头4Y、4M、4C、4B在框体10内沿着Y轴方向排列配置。

此外，喷墨头4Y、4M、4C、4B各自除了所利用的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为喷墨头4进行说明。另外，关于该喷墨头4的详细结构，在后文描述。

(油墨循环机构5)

图2是表示油墨循环机构5的概要结构例的示意图。油墨循环机构5是使油墨9在油墨储罐3和喷墨头4之间循环的机构。油墨循环机构5具备由油墨供应管50a以及油墨排出管50b构成的油墨循环流路50、设于油墨供应管50a的加压泵51a、设于油墨排出管50b的吸引泵51b。油墨供应管50a以及油墨排出管50b例如由具有能够跟随与支撑喷墨头4的扫描机构6的动作的程度的可挠性的柔性软管构成。

加压泵51a对油墨供应管50a内加压，通过油墨供应管50a将油墨9送出到喷墨头4。通过加压泵51a的功能，加压泵51a和喷墨头4之间的油墨供应管50a内相对于喷墨头4为正压。

吸引泵51b对油墨排出管50b内减压，通过油墨排出管50b内从喷墨头4吸引油墨9。通过吸引泵51b的功能，吸引泵51b和喷墨头4之间的油墨排出管50b内相对于喷墨头4为负压。油墨9能够通过加压泵51a以及吸引泵51b的驱动而通过循环流路50在喷墨头4与油墨储罐3之间循环。

(扫描机构6)

扫描机构6是沿着记录纸P的宽度方向(Y轴方向)使喷墨头4扫描的机构。如图1所示，扫描机构6具有沿着Y轴方向延伸设置的一对导轨61a、61b、被这些导轨61a、61b以能够移动的方式支承的滑架62、使该滑架62沿着Y轴方向移动的驱动机构63。另外，驱动机构63具有配置在一对导轨61a、61b之间的一对滑轮631a、631b、卷绕在这些滑轮631a、631b之间的无接头带632、使滑轮631a旋转驱动的驱动马达633。

滑轮631a、631b分别沿着Y轴方向配置在与各导轨61a、61b的两端附近对应的区域。滑架62与无接头带632连结。该滑架62具有载置前述的4种喷墨头4Y、4M、4C、4B的平板状的基台62a和从该基台62a垂直(Z轴方向)地立起的壁部62b。在基台62a上，喷墨头4Y、4M、4C、4B沿着Y轴方向排列地载置。

此外，通过这样的扫描机构6和前述的运送机构2a、2b，构成使喷墨头4和记录纸P相对移动的移动机构。

[喷墨头4的详细结构]

接下来，参照图1和图3，对喷墨头4的详细结构例进行说明。图3是将喷墨头4的详细结构例示意性地利用侧视图(ZX侧视图)表示的图。

本实施方式的喷墨头4是从后述的头芯片41的多个通道(多个通道C1以及多个通道C2)的延伸方向的中央部喷出油墨9的、所谓侧射类型的喷墨头。另外，该喷墨头4是通过使用前述的油墨循环机构5(油墨循环流路50)从而使油墨9在油墨储罐3和喷墨头4之间循环并利用的循环式的喷墨头。

如图3所示，喷墨头4具备头芯片41、支撑部件42、控制机构43、盖44以及流路部件45。此外，在图3中，省略为了保护头芯片41而设于头芯片41的周围的基底板和喷嘴防护件等部件的记载。

支撑部件42是设在头芯片41上，并支撑后述的控制机构43的电路基板430的部件。

头芯片41是沿着Z轴方向喷射油墨9的部件。此外，关于头芯片41的详细结构，在后文描述。

(控制机构43)

控制机构43具有电路基板430。

电路基板430是搭载用于驱动头芯片41的驱动电路(电路)的基板。电路基板430被上述的支撑部件42支撑(固定)，并沿着铅垂方向(在该例中为Z轴方向)竖立设置。

(盖44)

如图3所示，盖44是在头芯片41上以覆盖电路基板430的周围的方式配置，并用于防止油墨9向电路基板430的附着的部件。

(流路部件45)

如图3所示，流路部件45是流路板46和流路板盖47在头芯片41的上表面依次层叠配置的流路部件。图4A以及图4B分别是表示流路板盖47以及流路板46的XY平面的俯视图。此外，在流路板盖47和流路板46之间，设有具有可挠性的膜(未图示)。如图4A所示，流路板盖47具有四个流入孔471、四个流出孔472、各自沿X轴方向延伸并且沿Y轴方向排列的多个狭缝473。在流路板盖47的上表面，各自连接有油墨循环机构5的油墨供应管50a以及油墨排出管50b。从油墨供应管50a被供应的油墨9流入到各四个流入孔471，从四个流出孔472流出的油墨9向油墨排出管50b流入。如图4B所示，流路板46具有沿X轴方向各自延伸的流路461(461A~461D)以及流路462(462A~462D)。此外，流路461的一端设在Z轴方向上与流入孔471对应的位置，流路462的一端设在Z轴方向上与流出孔472的对应的位置。通过这种结构，从油墨供应管50a流入到流路461的油墨9经由头芯片41从流路462向油墨排出管50b流出。

(粘接层48以及弹性体49)

图5A是将流路部件45和头芯片41的界面附近扩大而表示的示意剖视图。另外，图5B是表示从头芯片41观察流路部件45(流路板46)和弹性体49(后文出现)的位置关系的示意俯视图。

如图5A所示，流路部件45中的流路板46和头芯片41经由粘接层48相互粘接。进一步地，在流路板46和头芯片41之间，设有多个比固化后的粘接层48软的弹性体49。此处，弹性体49比固化后的粘接层48软是指，例如通过柱塞测试机测定的、表面露出的弹性体49的硬度的指标的数值比固化后的粘接层48的硬度的指标的数值小。此外，作为硬度的指标，例如能够举出杨氏模量。即，在本实施方式中，弹性体49的杨氏模量比粘接层48的杨氏模量小。粘接层48优选使用例如环氧树脂等热固型树脂和硅基吸湿固化型树脂、或通过两种液体而固化的氟基树脂等。作为这些构成粘接层48的材料，优选固化后的硬度高且对油墨9高耐性的材料、即难以通过与油墨9接触而产生溶解和溶胀等变质的材料。另一方面，作为弹性体49的构成材料，可举出例如硅、环氧树脂或橡胶等。另外，弹性体49的构成材料也可以是固化后的硬度(例如杨氏模量)比构成粘接层48的材料的固化后的硬度(杨氏模量)低的粘接剂。

另外，如图5B所示，多个弹性体49可以例如以与头芯片41的上表面抵接的方式设置，且与头芯片41的上表面抵接的部分以外的部分被粘接层48覆盖。即，多个弹性体49可以配置为至少通过粘接层48而与油墨9隔离。另外，粘接层48以及弹性体49设在流路板46中的流路461、462所占的区域以外的周边区域所对应的位置。另外，多个弹性体49可以沿着流路461、462的延伸方向(X轴方向)离散地设置。

(头芯片41)

图6是表示从流路部件45的方向观察头芯片41的状况的示意俯视图(XY俯视图)。另外，图7是示意性地利用分解立体图表示头芯片41的详细结构例的图。图8是示意性地利用仰视图(XY仰视图)表示将图7中所示的喷嘴板71(喷射孔板)卸下的状态下的头芯片41的结构例的图。图9是示意性地表示沿着图8中所示的IX-IX线的剖面结构例(ZX剖面结构例)的图。但是，在图7以及图8中，将头芯片41中的Y轴方向的一半、即形成有油墨室731A、732A、731B、732B的区域的一部分放大并表示。关于头芯片41中的、形成有油墨室731C、732C、731D、732D的区域也实质上具有图7以及图8中所示的构造，因此在以下省略其说明。

如图7所示，头芯片41是沿Z轴方向喷射油墨9的部件，使用各种板构成。具体如图7所示，头芯片41主要具备喷嘴板71、促动器板72以及盖板73。这些喷嘴板71、促动器板72以及盖板73与上述的流路部件45各自例如使用粘接剂等相互贴合，并沿着Z轴方向按该顺序层叠。此外，在以下，沿着Z轴方向将流路部件45侧(盖板73侧)称为上方，并且将喷嘴板71侧称为下方进行说明。

<喷嘴板71>

喷嘴板71例如由具有50μｍ左右的厚度的聚酰亚胺等膜材料构成，如图7以及图9所示，粘接在促动器板72的下表面。但是，喷嘴板71的构成材料不限定于聚酰亚胺等树脂材料，也可以是例如不锈钢等金属材料。另外，如图6中利用虚线所示，在喷嘴板71上实际上设有沿着X轴方向各自延伸的四列喷嘴列(喷嘴列711~714)，但在图7以及图8中，仅示出其中的喷嘴列711、712。这些喷嘴列711~714彼此沿着Y轴方向隔开规定的间隔而配置(图6)。

喷嘴列711具有沿着X轴方向隔开规定的间隔地在一条直线上排列地形成的、多个喷嘴H1。这些喷嘴H1各自将喷嘴板71沿着其厚度方向(Z轴方向)贯通，例如如图9所示，与促动器板72的喷出通道C1e内连通。具体如图8所示，各喷嘴H1以位于喷出通道C1e上沿着Y轴方向的中央部附近的方式形成。另外，喷嘴H1的沿着X轴方向的形成间距与喷出通道C1e的沿着X轴方向的形成间距相同(相同间距)。从喷出通道C1e内被供应的油墨从这样的喷嘴列711内的喷嘴H1被喷出(喷射)。

喷嘴列712也同样地具有沿着X轴方向隔开规定的间隔地在一条直线上排列地形成的、多个喷嘴H2。这些喷嘴H2也各自将喷嘴板71沿着其厚度方向贯通，与促动器板72的喷出通道C2e内连通。具体如图8所示，各喷嘴H2以位于喷出通道C2e上沿着Y轴方向的中央部附近的方式形成。另外，喷嘴H2的沿着X轴方向的形成间距与喷出通道C2e的沿着X轴方向的形成间距相同。详细在后文描述，从喷出通道C2e内被供应的油墨从这样的喷嘴列712内的喷嘴H2被喷出。此外，这些喷嘴H1、H2各自为随着去往下方而逐渐缩小直径的锥状的贯通孔。

<促动器板72>

促动器板72是由例如PZT(钛酸锆酸铅)等压电材料构成的板。如图9所示，促动器板72例如将极化方向相互不同的两个压电基板沿厚度方向(Z轴方向)层叠而构成(所谓的人字纹(chevron)类型)。但是，作为促动器板72的结构，不限定于该人字纹类型。即，例如，也可以由极化方向沿着厚度方向(Z轴方向)设定为单向的一个(单一)压电基板来构成促动器板72(所谓的悬臂类型)。另外，在促动器板72上，实际上，以与四个喷嘴列711~714对应的方式，以在Y轴方向上相邻的方式设有沿着X轴方向各自延伸的四列通道列。但是，在图7以及图8中，示出了其中的两列通道列721、722。这些通道列721、722彼此沿着Y轴方向隔开规定的间隔而配置。

如图8所示，在这样的促动器板72中，在沿着X轴方向的中央部(通道列721、722的形成区域)，设有油墨9的喷出区域(喷射区域)A1。另一方面，在促动器板72中，在沿着X轴方向的两端部(通道列721、722的非形成区域)，设有油墨9的非喷出区域(非喷射区域)A2。该非喷出区域A2相对于喷出区域A1位于沿着X轴方向的外侧。此外，促动器板72的沿着Y轴方向的两端部各自构成尾部720。

如图7以及图8所示，上述的通道列721具有沿着Y轴方向延伸的多个通道C1。这些通道C1以沿着X轴方向隔开规定的间隔相互平行的方式排列配置。各通道C1通过由压电体(促动器板72)构成的驱动壁Wd各自划界而成，在剖视时为凹状的槽部(参照图9)。

通道列722也同样，具有沿着Y轴方向延伸的多个通道C2。这些通道C2以沿着X轴方向隔开规定的间隔相互平行的方式排列配置。各通道C2也通过上述的驱动壁Wd各自划界而成，在剖视时为凹状的槽部(参照图9)。

此处，如图7以及图8所示，在通道C1中，存在用于使油墨9喷出的喷出通道C1e和不使油墨9喷出的虚拟通道C1d。在通道列721中，这些喷出通道C1e和虚拟通道C1d沿着X轴方向交替地配置。各喷出通道C1e与喷嘴板71的喷嘴H1连通，另一方面，各虚拟通道C1d与喷嘴H1不连通，被喷嘴板71的上表面从下方覆盖。

同样地，在通道C2中，存在用于使油墨喷出的喷出通道C2e和不使油墨喷出的虚拟通道C2d。在通道列722中，这些喷出通道C2e和虚拟通道C2d沿着X轴方向交替地配置。各喷出通道C2e与喷嘴板71的喷嘴H2连通，另一方面，各虚拟通道C2d与喷嘴H2不连通，被喷嘴板71的上表面从下方覆盖。

另外，如图8所示，通道C1的喷出通道C1e以及虚拟通道C1d相对于通道C2的喷出通道C2e以及虚拟通道C2d以相互交错的方式配置。因此，在本实施方式的喷墨头4中，通道C1的喷出通道C1e和通道C2的喷出通道C2e配置为交错状。此外，如图7所示，在促动器板72中，在与虚拟通道C1d、C2d对应的部分，形成有与虚拟通道C1d、C2d的沿着Y轴方向的外侧端部连通的浅槽部Dd。

如图7以及图8所示，在上述的驱动壁Wd的对置的内侧面，各自设有沿着Y轴方向延伸的驱动电极Ed。在驱动电极Ed中存在设于面向喷出通道C1e、C2e的内侧面的公用电极Edc和设于面向虚拟通道C1d、C2d的内侧面的有源电极Eda。此外，如图9所示，驱动电极Ed(公用电极Edc以及有源电极Eda)在驱动壁Wd的内侧面上，遍及深度方向(Z轴方向)的整体而形成。

在相同的喷出通道C1e(或喷出通道C2e)内对置的一对公用电极Edc彼此在公用端子(未图示)处相互电连接。另外，在相同的虚拟通道C1d(或虚拟通道C2d)内对置的一对有源电极Eda彼此相互电隔离。另一方面，经由喷出通道C1e(或喷出通道C2e)对置的一对有源电极Eda彼此在有源端子(未图示)处相互电连接。

此处，如图7所示，在前述的尾部720中，安装有将驱动电极Ed和电路基板430(图3)之间电连接的柔性印刷基板74。在该柔性印刷基板74上形成的布线图案(未图示)相对于上述的公用端子以及有源端子电连接。由此，经由柔性印刷基板74从电路基板430对各驱动电极Ed施加驱动电压。

<盖板73>

如图7所示，盖板73以闭塞促动器板72的各通道C1、C2(各通道列721、722)的方式配置。具体地，该盖板73是粘接在促动器板72的上表面的板状部件。

如图6所示，盖板73具有沿X轴方向各自延伸的油墨室731A~731D以及油墨室732A~731D。此外，油墨室731A~731D设置在Z轴方向上与流路461A~461D分别对应的位置，油墨室732A~731D设置在Z轴方向上与流路462A~462D分别对应的位置。但是，在图7中，仅示出了油墨室731A~731D、732A~732D中的一对油墨室731A、732A以及一对油墨室731B、732B。一对油墨室731A、732A形成在与促动器板72的通道列721(多个通道C1)对应的区域。另外，一对油墨室731B、732B形成在与促动器板72的通道列722(多个通道C2)对应的区域。

油墨室731A形成在各通道C1的沿着Y轴方向的内侧的端部附近，为凹状的槽部。在油墨室731A中，在与各喷出通道C1e对应的区域，形成有将盖板73沿着其厚度方向(Z轴方向)贯通的供应狭缝Sa。同样地，油墨室731B形成在各通道C2的沿着Y轴方向的内侧的端部附近，为凹状的槽部。在该油墨室731B中，在与各喷出通道C2e对应的区域，也形成有上述的供应狭缝Sa。

如图7所示，油墨室732A形成在各通道C1的沿着Y轴方向的外侧的端部附近，为凹状的槽部。在该油墨室732A中，在与各喷出通道C1e对应的区域，形成有将盖板73沿着其厚度方向贯通的排出狭缝Sb。同样地，油墨室732B形成在各通道C2的沿着Y轴方向的外侧的端部附近，为凹状的槽部。在该油墨室732B中，在与各喷出通道C2e对应的区域，也形成有上述的排出狭缝Sb。

这样，油墨室731A以及油墨室732A分别经由供应狭缝Sa以及排出狭缝Sb与各喷出通道C1e连通，另一方面，与各虚拟通道C1d不连通。即，各虚拟通道C1d被这些油墨室731A以及油墨室732A的底部闭塞。

同样地，油墨室731B以及油墨室732B分别经由供应狭缝Sa以及排出狭缝Sb与各喷出通道C2e连通，另一方面，与各虚拟通道C2d不连通。即，各虚拟通道C2d被这些油墨室731B以及油墨室732B的底部闭塞。

[喷墨头4的制造方法]

接下来，对喷墨头4的制造方法进行说明。本实施方式的喷墨头4的制造方法包括：制作头芯片41的头芯片制作工序、制作流路部件45的流路部件制作工序、将头芯片41和流路部件45接合的板接合工序。这些工序中的板接合工序以外的工序能够使用已知的方法。因此，在以下的说明中，对板接合工序进行说明。

<板接合工序>

图10A是表示板接合工序中的第一工序的示意剖视图。此处，在首先准备头芯片41以后，如图10A所示在盖板73的上表面，将沿X轴方向排列的多个弹性体49以点图案状形成。此时，例如如图5B所示，在流路板46的流路461A和流路462A之间、流路461B和流路462B之间、流路461C和流路462C之间以及流路461D和流路462D之间这四个区域中各自形成多个弹性体49的列。弹性体49例如通过将液状、膏状或凝胶状的原料使用分配器等以一定量喷出到盖板73的上表面上并使其粘附而形成。作为弹性体49的原料，使用比在完成阶段固化后的粘接层48软的材料。

图10B是表示板接合工序中的第二工序的示意剖视图。在形成弹性体49之后，如图10B所示，以覆盖头芯片41的上表面(盖板73的上表面73S)以及弹性体49的方式涂布作为粘接层48的原料的粘接剂48Z。此外，如图10B所示，在流路板46的下表面(与盖板73对置的面)也可以涂布粘接剂48Z。或者，也可以在盖板73的上表面以及流路板46的下表面中的仅一方涂布粘接剂48Z。无论如何，粘接剂48Z以不闭塞流路461A~461D、462A~462D的方式，以选择性地覆盖形成有流路461A~461D、462A~462D的区域以外的区域的方式涂布。

其后，以形成有弹性体49的盖板73的上表面和流路板46的下表面对置的方式使盖板73和流路板46经由粘接剂48Z紧贴。通过在该状态下加热或者干燥而使粘接剂48Z固化，从而形成粘接层48。通过以上，完成板接合工序，在将弹性体49夹在流路部件45和头芯片41之间的同时，使流路部件45和头芯片41成为通过粘接层48粘接的状态(图5A)。

[动作]

(A.打印机1的基本动作)

在该打印机1中，如以下这样，进行对记录纸P的图像和文字等的记录动作(打印动作)。此外，作为初始状态，在图1所示的四种油墨储罐3(3Y、3M、3C、3B)中各自充分地封入有对应的颜色(四色)的油墨。另外，油墨储罐3内的墨水9为经由油墨循环机构5填充到喷墨头4内的状态。

当在这样的初始状态下使打印机1工作时，通过使运送机构2a、2b的栅格辊21各自旋转，从而在栅格辊21和夹送辊22之间沿着运送方向d(X轴方向)运送记录纸P。另外，与这样的运送动作同时，驱动机构63的驱动马达633通过使滑轮631a、631b各自旋转，从而使无接头带632动作。由此，滑架62一边被导轨61a、61b引导，一边沿着记录纸P的宽度方向(Y轴方向)往复移动。然后此时，通过各喷墨头4(4Y、4M、4C、4B)使四色油墨9适当喷出到记录纸P，从而进行对该记录纸P的图像和文字等的记录动作。

(B．喷墨头4的详细动作)

接下来，参照图1、图2、图7~图9等，对喷墨头4的详细动作(油墨9的喷射动作)进行说明。即，在本实施方式的喷墨头4(侧射类型、循环式的喷墨头)中，如以下这样，进行使用剪切(切断)模式的油墨9的喷射动作。

首先，当上述的滑架62(参照图1)的往复移动开始时，控制机构43经由柔性印刷基板74对喷墨头4内的驱动电极Ed(公用电极Edc以及有源电极Eda)施加驱动电压。具体地，控制机构43对各驱动电极Ed施加驱动电压，该各驱动电极Ed配置于将喷出通道C1e、C2e划界而成的一对驱动壁Wd。由此，这些一对驱动壁Wd各自以向与该喷出通道C1e、C2e邻接的虚拟通道C1d、C2d侧突出的方式变形(参照图9)。

此处，如前所述，在驱动器板72中，极化方向沿着厚度方向不同(层叠有前述的两个压电基板)，并且驱动电极Ed遍及驱动壁Wd的内侧面上的深度方向的整体而形成。因此，通过由驱动电路施加驱动电压，从而使驱动壁Wd以驱动壁Wd的深度方向的中间位置为中心弯曲变形为V字状。而且，通过这样的驱动壁Wd的弯曲变形，喷出通道C1e、C2e以类似膨胀的方式变形。在促动器板72的结构不是这种人字纹类型，而是前述的悬臂类型的情况下，像以下这样，驱动壁Wd弯曲变形为V字状。即，在该悬臂类型的情况下，驱动电极Ed通过倾斜蒸镀而安装到深度方向的上半部分为止，因此通过使驱动力仅到达形成该驱动电极Ed的部分，从而使驱动壁Wd(在驱动电极Ed的深度方向端部)弯曲变形。其结果，在该情况下，驱动壁Wd也弯曲变形为V字状，因此喷出通道C1e、C2e以类似膨胀的方式变形。

这样，通过在一对驱动壁Wd处的因压电厚度滑移效果引起的弯曲变形，使喷出通道C1e、C2e的容积增大。而且，通过使喷出通道C1e、C2e的容积增大，在油墨室731A、731B内储存的油墨9向喷出通道C1e、C2e内被诱导。

接下来，这样向喷出通道C1e、C2e内被诱导的油墨9成为压力波并向喷出通道C1e、C2e的内部传播。而且，在该压力波到达喷嘴板71的喷嘴H1、H2的时间点下，施加于驱动电极Ed的驱动电压为0(零)V。由此，驱动壁Wd从上述的弯曲变形的状态复原，其结果，临时增大的喷出通道C1e、C2e的容积再次回到原样(参照图9)。

这样，当喷出通道C1e、C2e的容积回到原样时，喷出通道C1e、C2e内部的压力增加，喷出通道C1e、C2e内的油墨9被加压。其结果，液滴状的油墨9通过喷嘴H1、H2向外部(朝向记录纸P)喷出(参照图9)。这样，进行喷墨头4中的油墨9的喷射动作(喷出动作)，其结果，进行对记录纸P的图像和文字等的记录动作。

特别是，如前所述，本实施方式的喷嘴H1、H2各自为随着朝向下方而逐渐缩小直径的锥状(参照图9)，因此能够以高速将油墨9笔直地(直线前进性良好地)喷出。由此，能够进行高画质地记录。

[作用·效果]

接下来，对本实施方式的喷墨头4以及打印机1的作用以及效果进行详细地说明。

在本实施方式的喷墨头4中，在头芯片41和流路部件45之间，具备比将这些头芯片41和流路部件45粘接的粘接层48更软的弹性体49。因此，与没有具备弹性体49的情况相比，在某个喷出通道C1e进行喷出动作时在头芯片41内产生的压力波被弹性体49吸收，抑制压力波向该喷出通道C1e的附近的其他喷出通道C1e的不必要的传递。因此，避免对其他喷出通道C1e的喷出动作的不良影响，能够稳定地进行喷射动作。另外，根据本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法，能够制造这种可稳定地进行喷射动作的液体喷射头。

另外，在本实施方式的喷墨头4中，弹性体49以与头芯片41抵接的方式设置。通过这种结构，在头芯片41中产生的压力波容易向弹性体49传播，朝向与进行喷射动作的喷出通道C1e邻接的其他喷出通道C1e的压力波更容易衰减。

另外，在本实施方式的喷墨头4中，弹性体49配置为至少通过粘接层48而与油墨9隔离。这样，弹性体49与油墨9不直接接触，因此即使是不具有耐油墨性的材料，也能够形成弹性体49。因此，提高在选择构成弹性体49的材料时的设计自由度。

另外，在本实施方式的喷墨头4中，粘接层48以及弹性体49设在流路板46中的流路461、462所占的区域以外的周边区域所对应的位置，因此不阻碍油墨9的流动地进行良好的油墨9的喷射。

另外，在本实施方式的喷墨头4中，多个弹性体49沿着流路461、462的延伸方向(X轴方向)离散地设置。因此，与沿着流路461、462的延伸方向以直线状设置弹性体的情况相比，容易增加粘接层48的粘接面积，容易提高粘接强度。

另外，在本实施方式的喷墨头4中，在由粘接剂构成弹性体49的情况下，能够更加提高头芯片41和流路部件45的粘接力。

另外，在本实施方式的喷墨头4的制造方法中，在将弹性体49形成在头芯片41(盖板73)上以后，将粘接剂48Z涂布到头芯片41(盖板73)以及流路部件45(流路板46)的至少一方。通过设为这样，弹性体49与头芯片41(盖板73)可靠地抵接。其结果，在头芯片41中产生的压力波容易向弹性体49传播，朝向与进行喷射动作的喷出通道C1e邻接的其他喷出通道C1e的压力波更容易衰减。

<2.变形例>

接下来，对上述实施方式的变形例(变形例1~4)进行说明。此外，对与实施方式同样的构成要素附以相同的符号，并适当省略说明。

[变形例一]

图11是表示变形例一所涉及的喷墨头4A中的流路部件45和头芯片41的界面附近的示意俯视图。在上述实施方式的喷墨头4中，多个弹性体49沿着流路461、462的延伸方向(X轴方向)离散地设置。与此相对，在图11中所示的变形例一所涉及的喷墨头4A中，设置沿着流路461、462的延伸方向(X轴方向)延伸的直线状的弹性体49A。此处，头芯片41具有沿X轴方向排列并且各自沿Y轴方向延伸的多个喷出通道C1e，因此直线状的弹性体49A以横穿多个喷出通道C1e的方式设置。即，弹性体49A沿着喷出通道C1e的排列方向、进而流路461、462的延伸方向延伸。因此，充分地抑制该压力波从成为压力波的产生源的某个喷出通道C1e向与其相邻的其他喷出通道C1e的传递。另外，与上述实施方式的喷墨头4相比，首先能够增大弹性体49A的总体积，因此能够增大压力波的衰减量。因此，能够实现可靠性更进一层优秀的液体喷射动作。

[变形例二]

图12是表示变形例二所涉及的喷墨头4B中的流路部件45和头芯片41的界面附近的示意俯视图。在喷墨头4中，多个弹性体49沿着流路461、462的延伸方向(X轴方向)离散地设置。与此相对，在图12中所示的变形例二所涉及的喷墨头4B中，作为片状部件设置弹性体49B，该弹性体49B在与流路461、462对应的位置具有狭缝。在该变形例二中，弹性体49B是一体形成的片状部件，因此对于压力波能够发挥高的衰减效果(衰减效率优秀)。另外，通过管理作为片状部件的弹性体49B的厚度，还能够进行头芯片41和流路部件45的间隙管理。进一步地，与如上述实施方式这样通过分配器等来形成点状的多个弹性体49的情况相比，能够容易且在短时间内形成弹性体49B。

[变形例三]

图13是表示变形例三所涉及的喷墨头4C中的流路部件45和头芯片41的界面附近的示意剖视图。在上述实施方式的喷墨头4中，多个弹性体49与头芯片41(盖板73)的上表面抵接，另一方面，在多个弹性体49和流路部件45(流路板46)的下表面之间间置有粘接层48的一部分。与此相对，图13中所示的变形例三所涉及的喷墨头4C具有以与流路部件45(流路板46)的下表面和头芯片41(盖板73)的上表面双方抵接的方式配置的弹性体49C。在该变形例三中，存在没有间置比弹性体49更硬的粘接层48的部位，因此朝向附近的其他喷出通道C1e的压力波更容易衰减。此外，如参照图10A以及图10B说明的这样，变形例三所涉及的喷墨头4C能够通过以下来制造：在头芯片41的盖板73的下表面形成弹性体49以后，涂布粘接剂48Z并且载置流路板46。或者，喷墨头4C也能够通过以下来制造：在流路板46的上表面形成弹性体49以后，涂布粘接剂48Z并且载置头芯片41的盖板73。

[变形例四]

图14是表示变形例四所涉及的喷墨头4D中的流路部件45和头芯片41的界面附近的示意剖视图。喷墨头4D在上述变形例二所涉及的喷墨头4B的结构的基础上，进一步设置将流路部件45(流路板46)的端面和头芯片41(盖板73)的端面粘接的粘接层48D。在该变形例四中，通过在变形例二的喷墨头4B的结构上进一步设置粘接层48D，除了与变形例二同样的效果以外，还能够充分地防止油墨9的泄漏。即，即使在油墨9从弹性体49B和流路板46的间隙、或弹性体49B和头芯片41的间隙漏出的情况下，也能够通过粘接层48D拦住该油墨9从而防止向外部的泄漏。

<3.其他变形例>

以上，举了几个实施方式以及变形例对本公开进行了说明，但本公开不限定于这些实施方式等，能够进行各种变形。

例如，在上述实施方式等中，具体地举了打印机、喷墨头以及头芯片的各部件的结构例(形状、配置、个数等)进行了说明，但在上述实施方式等中说明的并不限定于此，也可以是其他形状和配置、个数等。

具体地，在上述实施方式中，例如示例了点状、直线状以及片状的弹性体，但本公开的弹性体能够采用上述以外的形状。另外，关于弹性体的配置位置，也不限定于在上述实施方式等中所列举的。

进一步地，在上述实施方式等中，作为本公开的“液体喷射记录装置”的一个具体例，举了打印机1(喷墨打印机)进行了说明，但不限定于该例子，也可以将本公开适用于喷墨打印机以外的其他装置。换言之，也可以将本公开的“液体喷射头”(喷墨头4)适用于喷墨打印机以外的其他装置。具体地，例如也可以将本公开的“液体喷射头”适用于传真机和按需打印机等装置。

另外，在上述实施方式等中，在流路部件45(流路板46)和头芯片41(盖板73)之间设置粘接层48，但本公开不限定于此。例如，也可以是，在图14中所示的变形例四所涉及的喷墨头4D中，在流路部件45(流路板46)和头芯片41(盖板73)之间不设置粘接层48，而仅设置将流路部件45(流路板46)的端面和头芯片41(盖板73)的端面粘接的粘接层48D。通过这样，防止伴随喷出通道C1e的喷射动作的振动经由粘接层48向其他喷出通道C1e传递，能够通过弹性体49使该振动更进一层衰减。但是，在该情况下，在流路板46中设置使入口侧的流路461A~461D和出口侧的流路462A~462D不连通的分隔构造。

另外，在上述实施方式等中，示例了所谓侧射类型的喷墨头进行了说明，但本公开不限定于此。在本公开中，也能够采用沿着头芯片的多个通道的延伸方向喷出油墨的、所谓边射类型的喷墨头。

此外，本说明书中记载的效果仅为示例，并非用于限定，也可以具有其他效果。

另外，本公开也能够采用以下这样的结构。

(1)

一种液体喷射头，具备：

液体喷射头芯片，其喷射液体；

流路部件，其具有将前述液体向前述液体喷射头芯片引导的流路；

粘接层，其将前述流路部件和前述液体喷射头芯片粘接；以及

弹性体，其设在前述流路部件和前述液体喷射头芯片之间，且比前述粘接层软。

(2)

根据上述(1)记载的液体喷射头，前述弹性体以与前述液体喷射头芯片抵接的方式设置。

(3)

根据上述(1)或(2)记载的液体喷射头，前述弹性体配置为至少通过前述粘接层而与前述液体隔离。

(4)

根据上述(1)~(3)中的任一项记载的液体喷射头，前述粘接层以及前述弹性体设在前述流路部件中的前述流路所占的区域以外的周边区域所对应的位置。

(5)

根据上述(1)~(4)中的任一项记载的液体喷射头，

前述液体喷射头芯片具有沿前述流路的延伸方向排列并且各自沿与前述流路的延伸方向交叉的方向延伸的多个喷出通道，

前述弹性体以沿着前述流路的延伸方向并横穿前述多个喷出通道的方式设置。

(6)

根据上述(1)~(4)中的任一项记载的液体喷射头，多个前述弹性体沿着前述流路的延伸方向离散地设置。

(7)

根据上述(1)~(4)中的任一项记载的液体喷射头，前述弹性体是在与前述流路对应的位置具有狭缝的片状部件。

(8)

根据上述(1)~(7)中的任一项记载的液体喷射头，前述弹性体是粘接剂。

(9)

根据上述(1)~(8)中的任一项记载的液体喷射头，前述弹性体的杨氏模量比前述粘接层的杨氏模量小。

(10)

一种液体喷射记录装置，具备：上述(1)~(9)中的任一项记载的液体喷射头和供前述液体喷射头安装的滑架。

(11)

一种液体喷射头的制造方法，包括：

准备具有流路的流路部件和液体喷射头芯片；

在前述流路部件和前述液体喷射头芯片之间配置弹性体；以及

通过使粘接剂固化，从而形成将前述流路部件和前述液体喷射头芯片粘接的粘接层；

使前述弹性体由比固化后的前述粘接层软的材料形成。

(12)

根据上述(11)记载的液体喷射头，在前述液体喷射头芯片上形成前述弹性体以后，将前述粘接剂涂布到前述液体喷射头芯片以及前述流路部件的至少一方。

符号说明

1 打印机

10 框体

2a、2b 运送机构

21 栅格辊

22 夹送辊

3(3Y、3M、3C、3B) 油墨储罐

4(4Y、4M、4C、4B) 喷墨头

41 头芯片

71 喷嘴板(喷射孔板)

72 促动器板

73 盖板

711~714 喷嘴列

721、722 通道列

731A~731D、732A~732D 油墨室

42 支撑部件

43 控制机构

430 电路基板

44 盖

45 流路部件

46 流路板

47 流路板盖

48 粘接层

49 弹性体

5 油墨循环机构

50 油墨循环流路

50a 油墨供应管

50b 油墨排出管

51a 加压泵

51b 吸引泵

6 扫描机构

61a、61b 导轨

62 滑架

62a 基台

62b 壁部

63 驱动机构

631a、631b 滑轮

632 无接头带

P 记录纸

d 运送方向。

Claims (12)

1.一种液体喷射头，具备：

液体喷射头芯片，其喷射液体；

流路部件，其具有将所述液体向所述液体喷射头芯片引导的流路；

粘接层，其将所述流路部件和所述液体喷射头芯片粘接；以及

弹性体，其设在所述流路部件和所述液体喷射头芯片之间，且比所述粘接层软。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述弹性体以与所述液体喷射头芯片抵接的方式设置。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述弹性体配置为至少通过所述粘接层而与所述液体隔离。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述粘接层以及所述弹性体设在所述流路部件中的所述流路所占的区域以外的周边区域所对应的位置。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，

所述液体喷射头芯片具有沿所述流路的延伸方向排列并且各自沿与所述流路的延伸方向交叉的方向延伸的多个喷出通道，

所述弹性体以沿着所述流路的延伸方向并横穿所述多个喷出通道的方式设置。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，多个所述弹性体沿着所述流路的延伸方向离散地设置。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述弹性体是在与所述流路对应的位置具有狭缝的片状部件。

8.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述弹性体是粘接剂。

9.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述弹性体的杨氏模量比所述粘接层的杨氏模量小。

10. 一种液体喷射记录装置，具备：

权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头；以及

供所述液体喷射头安装的滑架。

11.一种液体喷射头的制造方法，包括：

准备具有流路的流路部件和液体喷射头芯片；

在所述流路部件和所述液体喷射头芯片之间配置弹性体；以及

通过使粘接剂固化，从而形成将所述流路部件和所述液体喷射头芯片粘接的粘接层；

使所述弹性体由比固化后的所述粘接层软的材料形成。

12.根据权利要求11所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，在所述液体喷射头芯片上形成所述弹性体以后，将所述粘接剂涂布到所述液体喷射头芯片以及所述流路部件的至少一方。