CN109975349B - 一种测量半导体热阻的方法 - Google Patents

一种测量半导体热阻的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109975349B
CN109975349B CN201910251031.7A CN201910251031A CN109975349B CN 109975349 B CN109975349 B CN 109975349B CN 201910251031 A CN201910251031 A CN 201910251031A CN 109975349 B CN109975349 B CN 109975349B
Authority
CN
China
Prior art keywords
embedded system
thermal resistance
cpu
records
recorder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910251031.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109975349A (zh
Inventor
郭宇程
邓海东
方永新
孙顺清
黄珂明
廖泽雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amlogic Shanghai Co Ltd
Original Assignee
Amlogic Shanghai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amlogic Shanghai Co Ltd filed Critical Amlogic Shanghai Co Ltd
Priority to CN201910251031.7A priority Critical patent/CN109975349B/zh
Publication of CN109975349A publication Critical patent/CN109975349A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109975349B publication Critical patent/CN109975349B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/20Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本发明涉及集成电路技术领域,尤其涉及一种测量半导体热阻的方法,其中包括,步骤S1、提供数据收集系统,数据收集系统包括记录仪,记录仪预先记录嵌入式系统的环境温度;步骤S2、关闭嵌入式系统的温度控制,使得嵌入式系统运行于预设工作频率下测试嵌入式系统的CPU的温度差;步骤S3、记录仪记录与嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压以及对应电源电压的电流,并将电源电压以及对应电源电压的电流与温度差记录至热阻参数表格;步骤S4、对照热阻参数表格以比较不同散热材质之间的热阻大小。有益效果:通过多点测量,测量精度高,节省人力,对整机功耗及各个分支功耗数据进行记录,计算方便,能够寻找到最好的散热材质,降低芯片制造成本。

Description

一种测量半导体热阻的方法
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域,尤其涉及一种测量半导体热阻的方法。
背景技术
随着国产集成电路发挥的作用越来越大,对其可靠性的要求也越来越高,而准确快捷的测量其结到壳的热阻及其主要热传导路径上的热学参数是保证其可靠性的关键步骤。
通过测量芯片工作时的壳温和芯片周围空气环境的温度,就可获得芯片功耗大小的测量方法,但是设备较贵,算法复杂,成本较高,因此,不予推广,使用范围受到限制。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题,现提供一种测量半导体热阻的方法。
具体技术方案如下:
一种测量半导体热阻的方法,适用于一嵌入式系统的集成电路板,其中包括:
步骤S1、提供一数据收集系统,所述数据收集系统包括一记录仪,所述记录仪预先记录所述嵌入式系统的环境温度;
步骤S2、关闭所述嵌入式系统的温度控制,使得所述嵌入式系统运行于一预设工作频率下测试所述嵌入式系统的CPU(中央处理器,Central Processing Unit)的温度差;
步骤S3、所述记录仪记录与所述嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压以及对应所述电源电压的电流,并将所述电源电压以及对应所述电源电压的电流与所述温度差记录至一热阻参数表格;
步骤S4、对照所述热阻参数表格,以比较不同散热材质之间的热阻大小。
优选的,于所述步骤S1中,所述记录仪预先记录所述嵌入式系统的环境温度之前,将所述嵌入式系统的集成电路板浮空设置。
优选的,于所述步骤S2中,所述预设工作频率至少设置为100MHZ;
或二分之一的所述CPU的最大运行频率;
或所述CPU的最大运行频率。
优选的,于所述步骤S3中,与所述嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压包括1.8V的电源输出电压;和/或
CPU的电源电压;和/或
存储芯片输出缓冲供电电压。
优选的,所述步骤S2中,于测试所述嵌入式系统的CPU的温度差的过程中,使用红外或热耦或热传感器记录所述温度差。
优选的,于所述步骤S2中,所述预设工作频率至少分为由大致小的依次排列的四个台阶频率,至少四个所述台阶频率分别进行预处理循环过程。
优选的,所述预处理循环过程为先升高所述台阶频率,接着降低所述台阶频率,以此循环进行。
优选的,于进行预处理循环过程中,在每个所述台阶频率处至少稳定一预设时间。
优选的,所述预设时间至少设置为15分钟。
本发明的技术方案有益效果在于:提供一种测量半导体热阻的方法,能够精确测得嵌入式系统的集成电路板的整机功耗及各个分支功耗,通过多点测量,测量精度高,节省人力,并且通过记录仪采用专用功耗表格对整机功耗及各个分支功耗数据进行记录,以对照得到不同散热材质之间的热阻大小,这种方式简单,计算方便,计算结果可靠,易于操作,易于推广,并且通过对热阻的测试,能够寻找到最好的散热材质,进一步降低芯片制造成本。
附图说明
参考所附附图,以更加充分的描述本发明的实施例。然而,所附附图仅用于说明和阐述,并不构成对本发明范围的限制。
图1为本发明的实施例的测量半导体热阻的方法的步骤流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,但不作为本发明的限定。
本发明包括一种测量半导体热阻的方法,适用于一嵌入式系统的集成电路板,其中包括:
步骤S1、提供一数据收集系统,数据收集系统包括一记录仪,记录仪预先记录嵌入式系统的环境温度;
步骤S2、关闭嵌入式系统的温度控制,使得嵌入式系统运行于一预设工作频率下测试嵌入式系统的CPU的温度差;
步骤S3、记录仪记录与嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压以及对应电源电压的电流,并将电源电压以及对应电源电压的电流与温度差记录至一热阻参数表格;
步骤S4、对照热阻参数表格,以比较不同散热材质之间的热阻大小。
通过上述测量半导体热阻的方法的技术方案,如图1所示,适用于嵌入式系统的集成电路板中,首先提供数据收集系统,数据收集系统包括记录仪,在记录仪预先记录嵌入式系统的环境温度之前,将嵌入式系统的集成电路板浮空设置,记录仪预先记录嵌入式系统的环境温度。
进一步地,关闭嵌入式系统的温度控制,运行嵌入式系统的CPU,使得嵌入式系统运行于预设工作频率下测试嵌入式系统的CPU的温度差,其中,预设工作频率至少设置为100MHZ或二分之一的CPU的最大运行频率或CPU的最大运行频率。
进一步地,于测试嵌入式系统的CPU的温度差的过程中,使用红外或热耦或热传感器记录温度差,温度差指测量温度与环境温度之差,即ΔT=Tsensor-Troom,ΔT用于表示温度差,Tsensor用于表示嵌入式系统运行于预设工作频率下测试嵌入式系统的CPU的测量温度,Troom用于表示记录仪预先记录嵌入式系统的环境温度,此时,除CPU的电源电压的电流变化之外,其他电流基本不变,所有增加的功耗都是来自于嵌入式系统的集成芯片的发热功耗,此时也不需要考虑如何分割存储芯片输出缓冲供电电压、1.8V的电源输出电压及3.3V的电源输出电压,其中在嵌入式系统的集成芯片的电源电路上增加30mΩ的电阻位,通过计算得到嵌入式系统的集成芯片的每路电源的电流值。
进一步地,记录仪记录与嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压以及对应电源电压的电流,并将电源电压以及对应电源电压的电流与温度差记录至一热阻参数表格,其中,记录仪采用型号L8401-21的记录仪,能够精确测得嵌入式系统的集成电路板的整机功耗及各个分支功耗,通过多点测量,测量精度高,节省人力。
进一步地,与嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压包括1.8V的电源输出电压;和/或CPU的电源电压;和/或存储芯片输出缓冲供电电压,并且通过记录仪采用专用功耗表格对整机功耗及各个分支功耗数据进行记录,如表一所示,表附一、表附二、表附三、表附四、表附五、表附六用于表示各个分支功耗数据。
表一
表附一
Figure BDA0002012416490000051
表附二
Figure BDA0002012416490000052
表附三
Figure BDA0002012416490000053
表附四
Figure BDA0002012416490000054
表附五
Figure BDA0002012416490000061
表附六
Figure BDA0002012416490000062
进一步地,对照热阻参数表格,以比较不同散热材质之间的热阻大小,能够精确测得嵌入式系统的集成电路板的整机功耗及各个分支功耗,通过多点测量,测量精度高,节省人力,并且通过记录仪采用专用功耗表格对整机功耗及各个分支功耗数据进行记录,以对照得到不同散热材质之间的热阻大小,这种方式简单,计算方便,计算结果可靠,易于操作,易于推广,并且通过对热阻的测试,能够寻找到最好的散热材质,进一步降低芯片制造成本。
在一种较优的实施例中,预设工作频率至少分为由大致小的依次排列的四个台阶频率,至少四个台阶频率分别进行预处理循环过程,例如表一中嵌入式系统的集成芯片的预设功率分为1074MHZ,1000MHZ,500MHZ,100MHZ由大致小的依次排列的四个台阶频率;预处理循环过程为先升高台阶频率,接着降低台阶频率,以此循环进行,于进行预处理循环过程中,在每个台阶频率处至少稳定一预设时间,其中,预设时间至少设置为15分钟,即首先进行100MHZ依次升高台阶频率,即从100MHZ进行至1074MHZ,其中在每个台阶频率处稳定15分钟,例如在100MHZ处稳定15分钟,在500MHZ处稳定15分钟,在1000MHZ处稳定15分钟,在1074MHZ处稳定15分钟,然后再从1074MHZ依次降低台阶频率,即从1074MHZ进行至100MHZ,其中在每个台阶频率处至少稳定15分钟,例如,在1074MHZ处稳定15分钟,在1000MHZ处稳定15分钟,在500MHZ处稳定15分钟,在100MHZ处稳定15分钟。进一步地,能够精确测得嵌入式系统的集成电路板的整机功耗及各个分支功耗,通过多点测量,测量精度高,节省人力。
进一步地,通过记录仪采用专用功耗表格对整机功耗及各个分支功耗数据进行记录,以对照得到不同散热材质之间的热阻大小,这种方式简单,计算方便,计算结果可靠,易于操作,易于推广,并且通过对热阻的测试,能够寻找到最好的散热材质,进一步降低芯片制造成本。
以上所述仅为本发明较佳的实施例,并非因此限制本发明的实施方式及保护范围,对于本领域技术人员而言,应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案,均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (6)

1.一种测量半导体热阻的方法,适用于一嵌入式系统的集成电路板,其特征在于,包括:
步骤S1、提供一数据收集系统,所述数据收集系统包括一记录仪,所述记录仪预先记录所述嵌入式系统的环境温度;
步骤S2、关闭所述嵌入式系统的温度控制,使得所述嵌入式系统运行于一预设工作频率下测试所述嵌入式系统的CPU的温度差;
步骤S3、所述记录仪记录与所述嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压以及对应所述电源电压的电流,并将所述电源电压以及对应所述电源电压的电流与所述温度差记录至一热阻参数表格;
步骤S4、对照所述热阻参数表格,以比较不同散热材质之间的热阻大小;
于所述步骤S2中,所述预设工作频率至少分为由大至小的依次排列的四个台阶频率,至少四个所述台阶频率分别进行预处理循环过程;
所述预处理循环过程为先升高所述台阶频率,接着降低所述台阶频率,以此循环进行;
于进行预处理循环过程中,在每个所述台阶频率处至少稳定一预设时间。
2.根据权利要求1所述的测量半导体热阻的方法,其特征在于,于所述步骤S1中,所述记录仪预先记录所述嵌入式系统的环境温度之前,将所述嵌入式系统的集成电路板浮空设置。
3.根据权利要求1所述的测量半导体热阻的方法,其特征在于,于所述步骤S2中,所述预设工作频率至少设置为100MHZ;
或二分之一的所述CPU的最大运行频率;
或所述CPU的最大运行频率。
4.根据权利要求1所述的测量半导体热阻的方法,其特征在于,于所述步骤S3中,与所述嵌入式系统的集成芯片相关的电源电压包括1.8V的电源输出电压;和/或
CPU的电源电压;和/或
存储芯片输出缓冲供电电压。
5.根据权利要求1所述的测量半导体热阻的方法,其特征在于,所述步骤S2中,于测试所述嵌入式系统的CPU的温度差的过程中,使用红外或热耦或热传感器记录所述温度差。
6.根据权利要求1所述的测量半导体热阻的方法,其特征在于,所述预设时间至少设置为15分钟。
CN201910251031.7A 2019-03-29 2019-03-29 一种测量半导体热阻的方法 Active CN109975349B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910251031.7A CN109975349B (zh) 2019-03-29 2019-03-29 一种测量半导体热阻的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910251031.7A CN109975349B (zh) 2019-03-29 2019-03-29 一种测量半导体热阻的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109975349A CN109975349A (zh) 2019-07-05
CN109975349B true CN109975349B (zh) 2022-01-21

Family

ID=67081828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910251031.7A Active CN109975349B (zh) 2019-03-29 2019-03-29 一种测量半导体热阻的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109975349B (zh)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10227828A (ja) * 1997-02-13 1998-08-25 Advantest Corp Ic試験装置
JP5413349B2 (ja) * 2010-09-30 2014-02-12 富士電機株式会社 半導体試験装置および半導体試験回路の接続装置
CN102103184B (zh) * 2011-01-23 2012-11-07 杭州电子科技大学 一种提取晶体管非线性热阻的方法
CN103048606B (zh) * 2012-12-30 2015-03-18 杭州士兰微电子股份有限公司 半导体功率器件热阻测试装置及方法
CN103792476B (zh) * 2014-01-17 2016-08-17 中国空间技术研究院 用于半导体器件的热阻测试方法
CN104251965B (zh) * 2014-09-24 2017-07-04 河北工业大学 一种igbt动态性能测试装置及其运行方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109975349A (zh) 2019-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105445569B (zh) 一种适用于高速集成电路的片上纳秒级电源噪声瞬态波形测量系统及其测量方法
CN1926439B (zh) 用于减少老化期间的温度差异的系统和方法
US8286120B2 (en) Non-invasive leakage power device characterization of integrated circuits using device grouping and compressive sensing
CN111722086B (zh) 一种高功率处理器芯片老化测试的方法
US20220334170A1 (en) Method and system for characterizing igbt module aging based on miner theory
CN104374495A (zh) 温度传感器的r-t特性测试方法
CN112649719B (zh) 一种芯片中线性稳压器的测试方法、装置以及设备
JP2007024523A (ja) 故障解析装置及び故障解析方法
CN104459366A (zh) 电子装置、效能分类系统与方法、电压自动校正系统
CN108716963A (zh) 压力传感器的性能测试方法
CN113741576B (zh) 电路板温度检测位置选取、检测方法、装置、设备及介质
CN1938598A (zh) 适于老化测试的系统和方法
CN109975349B (zh) 一种测量半导体热阻的方法
CN103134990A (zh) 一种电阻测试方法
CN115015723A (zh) GaN功率器件的状态监测方法、装置、计算机设备和介质
CN107632778A (zh) 一种Nand Flash扫描检测方法和系统
US20090048801A1 (en) Method and apparatus for generating thermal test vectors
US20080141189A1 (en) Method for robust statistical semiconductor device modeling
CN112834911A (zh) 一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质
CN113866536B (zh) 温升检测方法、装置和温升检测系统
CN109189136A (zh) 用于eeprom存储器的基准电流生成电路及生成方法
TW201831903A (zh) 記憶體元件
CN109299576B (zh) 一种应用于部件散热仿真评估方法及其测试装置
CN113868840A (zh) 一种实时芯片功耗预测的校核方法
CN112433138A (zh) 一种由功率循环生热的igbt模块温度和应力测试装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant