CN109972114A - 柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空镀膜领域，提供一种柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形，可广泛应用于连续柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜等的生产制造中。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜领域，提供一种柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形。
背景技术
柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜（统称成膜）的应用日益广泛，生产实践中，较多时需要以超薄型柔性基材作为基底，利用磁控溅射镀膜机，以惰性气体为工作气体，采取磁控溅射沉积式的真空镀膜技术，在超薄型柔性基材上分层沉积阴极靶材或阴极靶材氧化物薄膜层制成成膜。
为保持成膜生产的连续性以适应成规模、大批量生产，现有技术中，多采用卷绕式（卷对卷）、柔性、连续的磁控溅射沉积工艺。
但在连续型卷对卷磁控溅射沉积镀膜生产实践中，由于超薄型柔性基材抗拉力强度低，柔性基材衬易变形，给磁控溅射沉积镀膜的产品质量带来负面影响，严重者甚而至于无法完成磁控溅射沉积镀膜。
发明内容
本发明的目的是提供一种柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形。
本发明的目的是通过以下技术方案实现：
柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，它具有一个由隔板分隔而成放卷腔、镀膜腔、收卷腔的腔体，以惰性气体为工作气体，放卷腔内的放卷台连续分别释放柔性超薄基带和柔性辅助基带，镀膜腔内的冷鼓为牵引主动轮驱动由柔性超薄基带和柔性辅助基带贴合而成的复合基带连续移动，收卷腔内的收卷台连续分别对成膜和柔性辅助基带进行收卷；柔性辅助基带与冷鼓紧密贴合，复合基带移动设置在冷鼓和环绕冷鼓设置的磁控溅射装置沉积阴极室之间，放卷腔真空度和收卷腔真空度高于镀膜腔真空度；在隔板上开设有用于使复合基带由放卷腔穿行至镀膜腔、使柔性辅助基带和在柔性辅助基带上贴合有成膜的复合膜带由镀膜腔穿行至收卷腔的穿行窗口；在穿行窗口上设置有高低真空腔真空度隔离装置，在穿行窗口和放卷台之间转动设置有用于排除柔性辅助基带、柔性超薄基带之间尚存气体、使柔性辅助基带、柔性超薄基带紧密贴合为复合基带的基带复合挤压辊，在穿行窗口和收卷台之间转动设置有用于辅助复合膜带分离为柔性辅助基带和成膜的膜材分离辅助辊；它还包括设置在放卷台和穿行窗口之间用于调节放卷速度的放卷调节装置，设置在穿行窗口和收卷台之间用于调节成膜收卷速度的收卷调节装置。
上述应用于磁控溅射镀膜机中的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，以惰性气体为工作气体，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用放卷腔和镀膜腔的高低真空度压力差并借助于基带复合挤压辊的挤压作用将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带紧密贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形。
在牵引超薄基带连续移动过程中，通过放卷调节装置、牵引调节装置和收卷调节装置分别调节放卷速度、冷鼓牵引速度和成膜收卷速度，可使放卷速度、冷鼓牵引速度和成膜收卷速度具有一致性，为均匀、连续沉积镀膜提供保障。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，还包括转动设置在镀膜腔内的复合基带导向辊和复合膜带导向辊，复合基带移动设置在复合基带导向辊上，复合膜带移动设置在复合膜带导向辊上；基带复合挤压辊的中缝、高低真空腔真空度隔离装置的中缝、复合基带导向辊的工作母线共面；复合膜带导向辊的工作母线、高低真空腔真空度隔离装置的中缝、膜材分离辅助辊的中缝共面。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，放卷台包括用于连续释放柔性超薄基带的柔性超薄基带放卷台和用于连续释放柔性辅助基带的柔性辅助基带放卷台；收卷台包括用于连续卷收成膜的成膜收卷台和用于连续卷收柔性辅助基带的柔性辅助基带收卷台；在膜材分离辅助辊上转动设置有用于对膜材分离辅助辊施加驱动力或滞动力的复合膜带辅助牵引辊。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，柔性超薄基带放卷台、柔性辅助基带放卷台、成膜收卷台和柔性辅助基带收卷台皆由力矩电机驱动，力矩电机与设置在腔体上的电控箱强电连接；放卷调节装置包括柔性超薄基带放卷调节装置和柔性辅助基带放卷调节装置，柔性超薄基带放卷调节装置包括设置在放卷腔内、与电控箱弱电连接的柔性超薄基带压力传感器，柔性超薄基带移动设置在柔性超薄基带压力传感器上，柔性辅助基带放卷调节装置包括设置在放卷腔内、与电控箱弱电连接的柔性辅助基带压力传感器，柔性辅助基带移动设置在柔性辅助基带压力传感器上；牵引调节装置包括设置在镀膜腔内、与电控箱弱电连接的复合膜带压力传感器，复合膜带移动设置在复合膜带压力传感器上；收卷调节装置包括设置在收卷腔内、与电控箱弱电连接的成膜压力传感器，成膜移动设置在成膜压力传感器上。
上述的技术方案，利用镀膜腔和收卷腔的高低真空度压力差并借助于膜材分离辅助辊的辅助将复合膜材分离为成膜和柔性辅助基带，并分别卷收，卷收后的柔性辅助基带可重复再利用，节省了材料成本。
基带复合挤压辊和膜材分离辅助辊兼具导向辊作用，用于与转动设置在镀膜腔内的导向辊共同作用使复合基带、复合膜带由高低真空腔真空度隔离装置中缝穿行，可减小复合基带、复合膜带的运行阻力，也利于产品防护。
选用力矩电机驱动柔性超薄基带放卷台、柔性辅助基带放卷台、冷鼓、成膜收卷台和柔性辅助基带收卷台，采用柔性超薄基带压力传感器、柔性辅助基带压力传感器、复合膜带压力传感器和成膜压力传感器分别即时测量柔性超薄基带、柔性辅助基带、复合膜带和成膜的表面张力，即测量柔性超薄基带、柔性辅助基带、复合膜带和成膜的运行过程中的松紧度，转换为电讯号并即时反馈至电控箱用于即时调节力矩电机的转速，即调节柔性超薄基带、柔性辅助基带、复合膜带和成膜的移动速度，防止柔性超薄基带、柔性辅助基带、复合膜带和成膜产生基带变形对镀膜均匀性产生影响。
加设复合膜材辅助牵引辊，在柔性辅助基带收卷台与冷鼓之间起到牵引力辅助调节或柔性辅助基带收卷台拉力隔绝作用，防止柔性辅助基带收卷台卷初至卷末的卷径变化对收卷拉力或基带运行速度产生影响。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，在放卷腔内还设置有用于对柔性超薄基带的预沉积表面进行处理的辉光放电离子表面预处理室；在收卷腔内还设置有用于即时监测镀膜质量的在线监测室。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，磁控溅射镀膜机运行时，放卷腔、表面预处理室、在线监测室、收卷腔的真空度为6X10-7 torr，工作气体流量为0；镀膜腔真空度为4 X10-3 torr，工作气体流量500 sccm。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，工作气体为氩气。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，柔性超薄基带和柔性辅助基带皆为PET。
附图说明
图1是柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明作进一步说明：
参见图1所示为柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置示意图，使用该装置实现柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法的技术方案为，它具有一个由隔板H密闭分隔而成放卷腔G1、镀膜腔G2、收卷腔G3的腔体G；在放卷腔G1内还设置有用于对柔性超薄基带P的预沉积表面进行处理的表面预处理室（图中未示出）；在收卷腔G3内还设置有用于即时监测镀膜质量的在线监测室（图中未示出）。本案中，选取现有技术的辉光放电离子表面预处理技术对柔性超薄基带P的预沉积表面进行处理，用于在线监测室即时监测镀膜质量的在线监测技术亦为现有技术，此不赘述。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，以惰性气体为工作气体，使用设置在真空度为放卷腔真空度的放卷腔G1内的放卷台予以连续分别释放柔性超薄基带P和柔性辅助基带J、使用转动设置在真空度为镀膜腔真空度的镀膜腔内的冷鼓S3为牵引主动轮予以驱动由柔性超薄基带P和柔性辅助基带J贴合而成的复合基带P1连续移动、使用设置在真空度为收卷腔真空度的收卷腔G3内的收卷台予以连续分别对成膜P3和柔性辅助基带J进行收卷；柔性辅助基带J与冷鼓S3紧密贴合，复合基带P1移动设置在冷鼓S3和环绕冷鼓S3设置的磁控溅射装置沉积阴极室Y1、Y2、Y3、Y4之间。
放卷腔真空度和收卷腔真空度远高于镀膜腔真空度。
隔板H上位于镀膜腔G2的表面光滑，在隔板H上开设有用于使复合基带P1由放卷腔G1穿行至镀膜腔G2、使包括柔性辅助基带J和在柔性辅助基带J上贴合有成膜P3的复合膜带P2由镀膜腔G2穿行至收卷腔G3的穿行窗口（图中未示出）。穿行窗口为矩形，与冷鼓的轴线平行，其长度略大于柔性带材的幅宽，选取穿行窗口长度大于柔性带材的幅宽80mm。
在穿行窗口上设置有高低真空腔真空度隔离装置Z，在穿行窗口和放卷台之间转动设置有用于排除柔性辅助基带J、柔性超薄基带P之间尚存气体、使柔性辅助基带J和柔性超薄基带P紧密贴合为复合基带P1的基带复合挤压辊E1，在穿行窗口和收卷台之间转动设置有用于辅助复合膜带P2分离为柔性辅助基带J和成膜P3的膜材分离辅助辊E2。
高低真空腔真空度隔离装置Z用于使复合基带和复合膜带由高低真空腔真空度隔离装置Z的中缝穿行、对于相邻的工作腔室进行物理固联，以保持工作腔室的真空度。
上述应用于磁控溅射镀膜机中的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，还包括设置在放卷台和穿行窗口之间用于调节放卷速度的放卷调节装置，设置在穿行窗口和收卷台之间用于调节成膜收卷速度的收卷调节装置。
上述应用于磁控溅射镀膜机中的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，还包括转动设置在镀膜腔G2内的复合基带导向辊D2和复合膜带导向辊D5，复合基带P1移动设置在复合基带导向辊D2上，复合膜带P2移动设置在复合膜带导向辊D5上。基带复合挤压辊E1的中缝、高低真空腔真空度隔离装置Z的中缝、复合基带导向辊D2的工作母线共面；复合膜带导向辊D5的工作母线、高低真空腔真空度隔离装置Z的中缝、膜材分离辅助辊E2的中缝共面。图示中，复合基带导向辊D2的工作母线为复合基带导向辊D2的上母线，复合膜带导向辊D5的工作母线为复合膜带导向辊D5的上母线。
放卷台包括用于连续释放柔性超薄基带P的柔性超薄基带放卷台S12和用于连续释放柔性辅助基带J的柔性辅助基带放卷台S11；收卷台包括用于连续卷收成膜P3的成膜收卷台S22和用于连续卷收柔性辅助基带J的柔性辅助基带收卷台S21；在膜材分离辅助辊E2上转动设置有用于对膜材分离辅助辊E2施加驱动力或滞动力的复合膜带辅助牵引辊R。
考虑到柔性辅助基带J、柔性超薄基带P、复合基带P1、复合膜带P2和成膜P3卷径因素可能带来的干涉，在镀膜腔内转动设置有导向辊D1，柔性超薄基带P移动设置在导向辊D1上用于改变柔性超薄基带P的移动方向；在收卷腔内转动设置有导向辊D6，成膜P3移动设置在导向辊D6上用于改变成膜P3的移动方向。
在镀膜腔G2内转动设置有导向辊D3，复合基带P1移动设置在导向辊D3上用于引导复合基带P1引入冷鼓S3；在镀膜腔G2内转动设置有导向辊D4，复合膜带P2移动设置在导向辊D4上用于引导复合膜带P2引出冷鼓S3。
柔性超薄基带放卷台S12、柔性辅助基带放卷台S11、成膜收卷台S22和柔性辅助基带收卷台S21皆由力矩电机（图中未示出）驱动，力矩电机与设置在腔体G上的电控箱强电连接。柔性超薄基带放卷台S12、柔性辅助基带放卷台S11、成膜收卷台S22和柔性辅助基带收卷台S21的力矩电机可分别称为柔性超薄基放卷台力矩电机、柔性辅助基带放卷台力矩电机、成膜收卷台力矩电机、柔性辅助基带收卷台力矩电机。驱动冷鼓运转的电机称为冷鼓电机。
放卷调节装置包括柔性超薄基带放卷调节装置和柔性辅助基带放卷调节装置，柔性超薄基带放卷调节装置包括设置在放卷腔G1内、与电控箱弱电连接的柔性超薄基带压力传感器F2，柔性超薄基带P移动设置在柔性超薄基带压力传感器F2上，柔性辅助基带放卷调节装置包括设置在放卷腔G1内、与电控箱弱电连接的柔性辅助基带压力传感器F1，柔性辅助基带J移动设置在柔性辅助基带压力传感器F1上；牵引调节装置包括设置在镀膜腔G2内、与电控箱弱电连接的复合膜带压力传感器F3，复合膜带P2移动设置在复合膜带压力传感器F3上；收卷调节装置包括设置在收卷腔G3内、与电控箱弱电连接的成膜压力传感器F4，成膜P3移动设置在成膜压力传感器F4上。
压力传感器为现有技术，此不赘述。
上述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，磁控溅射镀膜机运行时，放卷腔G1、表面预处理室、在线监测室、收卷腔G3的真空度为6X10-7 torr，工作气体流量为0；镀膜腔G2真空度为4 X10-3 torr，工作气体流量500 sccm。
工作气体为氩气。
柔性超薄基带P和柔性辅助基带J皆为PET。
下面结合磁控溅射镀膜机的司机过程，详细介绍具体的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，按如下步骤进行；柔性超薄基带P材质为PET，幅宽1350mm，长度2500M，厚度0.025mm；柔性辅助基带J材质为PET，幅宽1350mm，长度2500M，厚度0.125mm：
1、镀膜作业前准备
清理磁控溅射镀膜机工作腔室。各工作腔室内气压相等且等于一个标准大气压，此时，高低真空腔真空度隔离装置Z打开，形成可供复合基带P1自由穿行的缝隙。
2、上料
将柔性超薄基带P卷材装夹在柔性超薄基带放卷台S12上，将柔性辅助基带J卷材装夹在柔性辅助基带放卷台S11上，柔性超薄基带P卷材的卷头由柔性超薄基带放卷台S12引出，柔性辅助基带J卷材的卷头由柔性辅助基带放卷台S11引出；
柔性超薄基带P由导向辊D1导向改变方向后与柔性辅助基带J叠合，经基带复合挤压辊E1的中缝、 穿行窗口、高低真空腔真空度隔离装置Z的中缝并在导向辊D2的引导下至镀膜腔G2；
在导向辊D3的引导下，叠合后的柔性超薄基带P和柔性辅助基带J穿过磁控溅射装置沉积阴极室Y1、Y2、Y3、Y4和冷鼓S3间的间隙环绕在冷鼓S3上，经导向辊D4导向引出冷鼓S3，又经导向辊D5导向，经高低真空腔真空度隔离装置Z的中缝、穿行窗口、膜材分离辅助辊E2的中缝至收卷腔G3；
柔性辅助基带J卷头引入柔性辅助基带收卷台S21，完成对于柔性辅助基带J上料；柔性超薄基带P经导向辊D6导向改变方向后，其卷头引入成膜收卷台S22，完成对于柔性超薄基带P上料。
3、镀膜作业
放卷腔G1、镀膜腔G2、收卷腔G3除气、抽真空：
在抽真空过程中，随着放卷腔G1、镀膜腔G2、收卷腔G3真空度的提升，镀膜腔G2与放卷腔G1、收卷腔G3间的真空度差异持续增大，即镀膜腔G2与放卷腔G1、收卷腔G3间的压力差持续增大高低真空腔真空度隔离装置Z闭合，至磁控溅射镀膜机运行时，放卷腔G1、表面预处理室、在线监测室、收卷腔G3的真空度为6X10-7 torr，工作气体流量为0；镀膜腔G2真空度为4 X10-3 torr，工作气体流量500 sccm。
4、调节柔性辅助基带J、柔性超薄基带P、复合基带P1、复合膜带P2和成膜P3的预紧力（表面张力）：
启动各力矩电机与冷鼓电机；
冷鼓电机驱动冷鼓S3牵引复合基带P1连续移动，决定了复合基带P1的运行速度；
柔性超薄基带放卷台S12、柔性辅助基带放卷台S11连续释放柔性辅助基带J、柔性超薄基带P，柔性超薄基带P穿经辉光放电离子表面预处理室对于柔性超薄基带P的预沉积表面进行处理后，由导向辊D1导向后与柔性辅助基带J叠合并经基带复合挤压辊E1挤压、排除柔性辅助基带J、柔性超薄基带P之间尚存气体形成复合基带P1，经穿行窗口、高低真空腔真空度隔离装置Z穿行至镀膜腔G2；柔性辅助基带压力传感器F1即时监测柔性辅助基带J的表面张力形成电讯号反馈至电控箱、调节柔性辅助基带放卷台力矩电机的运行状态，柔性超薄基带压力传感器F2即时监测柔性超薄基带P的表面张力形成电讯号反馈至电控箱、调节柔性超薄基带放卷台力矩电机的运行状态，保持柔性辅助基带J、柔性超薄基带P放卷速度长度相同，柔性辅助基带J、柔性超薄基带P放行速度与复合基带P1运行的速度一致；特别是控制柔性超薄基带放卷台力矩电机的旋转力矩，保证柔性超薄基带P的松紧度恒定，即柔性超薄基带P所受拉力不过度张紧，也不过度松弛；
在放卷腔G1内，由于镀膜腔真空度远低于放卷腔真空度，在气压作用下进一步将复合基带P1两层紧密贴合，在被牵引时增加了复合基带P1被牵引时的受力能力；
复合基带P1经导向辊D2、D3导向，引入冷鼓S3；
镀膜作业，复合膜带压力传感器F3反馈信息辅助控制（主要是柔性辅助基带收卷台力矩电机）对复合膜带P2运行的牵引拉力；
复合膜带P2经导向辊D4、D5导向，引出冷鼓S3；
复合膜带P2经穿行窗口、高低真空腔真空度隔离装置Z穿行至收卷腔G3，在镀膜腔真空度和收卷腔真空度气压差的作用下及在膜材分离辅助辊E2的辅助下，复合膜带P2分离为柔性辅助基带J和成膜P3；复合膜材辅助牵引辊R，在柔性辅助基带收卷台S21与冷鼓S3之间起到牵引力辅助调节或柔性辅助基带收卷台S21拉力隔绝作用；成膜压力传感器F4即时监测成膜P3的表面张力形成电讯号反馈至电控箱、调节成膜收卷台力矩电机的运行状态；
成膜P3经由在线监测室即时监测镀膜质量，由导向辊D6导向、在成膜收卷台S22收卷，柔性辅助基带柔性辅助基带收卷台S21收卷。
本发明的有益效果是：
柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，采用高低真空腔真空度隔离装置Z，利用高低真空度压力差将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形。
Claims (8)
1.柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，它具有一个由隔板分隔而成放卷腔、镀膜腔、收卷腔的腔体，以惰性气体为工作气体，放卷腔内的放卷台连续分别释放柔性超薄基带和柔性辅助基带，镀膜腔内的冷鼓为牵引主动轮驱动由柔性超薄基带和柔性辅助基带贴合而成的复合基带连续移动，收卷腔内的收卷台连续分别对成膜和柔性辅助基带进行收卷；柔性辅助基带与冷鼓紧密贴合，复合基带移动设置在冷鼓和环绕冷鼓设置的磁控溅射装置沉积阴极室之间，其特征是，放卷腔真空度和收卷腔真空度高于镀膜腔真空度；在隔板上开设有用于使复合基带由放卷腔穿行至镀膜腔、使柔性辅助基带和在柔性辅助基带上贴合有成膜的复合膜带由镀膜腔穿行至收卷腔的穿行窗口；在穿行窗口上设置有高低真空腔真空度隔离装置，在穿行窗口和放卷台之间转动设置有用于排除柔性辅助基带、柔性超薄基带之间尚存气体、使柔性辅助基带、柔性超薄基带紧密贴合为复合基带的基带复合挤压辊，在穿行窗口和收卷台之间转动设置有用于辅助复合膜带分离为柔性辅助基带和成膜的膜材分离辅助辊；它还包括设置在放卷台和穿行窗口之间用于调节放卷速度的放卷调节装置，设置在穿行窗口和收卷台之间用于调节成膜收卷速度的收卷调节装置。
2.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，还包括转动设置在镀膜腔内的复合基带导向辊和复合膜带导向辊，复合基带移动设置在复合基带导向辊上，复合膜带移动设置在复合膜带导向辊上；基带复合挤压辊的中缝、高低真空腔真空度隔离装置的中缝、复合基带导向辊的工作母线共面；复合膜带导向辊的工作母线、高低真空腔真空度隔离装置的中缝、膜材分离辅助辊的中缝共面。
3.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，放卷台包括用于连续释放柔性超薄基带的柔性超薄基带放卷台和用于连续释放柔性辅助基带的柔性辅助基带放卷台；收卷台包括用于连续卷收成膜的成膜收卷台和用于连续卷收柔性辅助基带的柔性辅助基带收卷台；在膜材分离辅助辊上转动设置有用于对膜材分离辅助辊施加驱动力或滞动力的复合膜带辅助牵引辊。
4.根据权利要求1或3所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，柔性超薄基带放卷台、柔性辅助基带放卷台、成膜收卷台和柔性辅助基带收卷台皆由力矩电机驱动，力矩电机与设置在腔体上的电控箱强电连接；放卷调节装置包括柔性超薄基带放卷调节装置和柔性辅助基带放卷调节装置，柔性超薄基带放卷调节装置包括设置在放卷腔内、与电控箱弱电连接的柔性超薄基带压力传感器，柔性超薄基带移动设置在柔性超薄基带压力传感器上，柔性辅助基带放卷调节装置包括设置在放卷腔内、与电控箱弱电连接的柔性辅助基带压力传感器，柔性辅助基带移动设置在柔性辅助基带压力传感器上；牵引调节装置包括设置在镀膜腔内、与电控箱弱电连接的复合膜带压力传感器，复合膜带移动设置在复合膜带压力传感器上；收卷调节装置包括设置在收卷腔内、与电控箱弱电连接的成膜压力传感器，成膜移动设置在成膜压力传感器上。
5.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，在放卷腔内还设置有用于对柔性超薄基带的预沉积表面进行处理的辉光放电离子表面预处理室；在收卷腔内还设置有用于即时监测镀膜质量的在线监测室。
6.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，磁控溅射镀膜机运行时，放卷腔、表面预处理室、在线监测室、收卷腔的真空度为6X10-7 torr，工作气体流量为0；镀膜腔真空度为4 X10-3 torr，工作气体流量500 sccm。
7.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，工作气体为氩气。
8.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，其特征是，柔性超薄基带和柔性辅助基带皆为PET。
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