CN109959473A - 压力传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种抑制热的影响,并可高精度地检测高温的压力介质的压力的压力传感器。压力传感器包括具有前端筒状部(11)的壳体(10)、被收容在壳体内且包含压电体(32)的压力测量部(30)、具有被固定在前端筒状部的内侧的可挠板状部(21)及介于可挠板状部与压力测量部之间的杆部(22)的隔膜(20),其中包含为了将隔膜(20)与压力介质隔绝而被保持在前端筒状部(11)的内侧的隔热板(70)。据此,可抑制热的影响,并高精度地检测高温的压力介质的压力。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测压力介质的压力的压力传感器,且特别涉及一种检测如发动机的燃烧室内的燃烧气体等般的高温压力介质的压力的压力传感器。
背景技术
作为现有的压力传感器,已知有如下的压力传感器,其包括:筒状的框体、与框体的前端侧接合并对应于所承受的压力而弯曲的隔膜(diaphragm)、配置在框体内的传感器部、将隔膜与传感器部连接的连接部、通过焊接而连接在隔膜的外表面的大致中央部的作为隔热板的受热部(例如,专利文献1)。
在此压力传感器中,若因组装时的预负荷而导致隔膜向外变形成凸状,则在隔膜的外周区域与隔热板之间产生间隙。
隔膜透过此间隙而直接暴露在高温的压力介质中,并非可抑制或防止热的影响的结构。
另外,隔热板通过焊接而固定在隔膜上,因此为了保证焊接强度而需要X射线透过试验或破坏试验等,导致管理工作量及管理成本的增加,另外,隔热板限定于金属材料。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2017-40516号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
本发明是鉴于所述情况而成者,其目的在于提供一种将隔膜与高温的压力介质确实地隔断,抑制热的影响,并可高精度地检测高温压力介质的压力的压力传感器。
[解决问题的技术手段]
本发明的压力传感器呈如下的结构,其包括:壳体,具有前端筒状部;压力测量部,被收容在壳体内且包含压电体;隔膜,具有被固定在前端筒状部的内侧的可挠板状部、及介于可挠板状部与压力测量部之间的杆部;以及隔热板,为了将隔膜与压力介质隔绝而被保持在前端筒状部的内侧。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:前端筒状部具有在其前端划定已缩径的开口的前端环状部,且隔热板由前端环状部保持。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:前端环状部是将前端筒状部的开口边缘区域朝内侧弯折而形成。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:隔热板在不承受压力介质的压力的状态下,以相对于可挠板状部在无负荷下接触或隔开规定的游动间隙而相向的方式得到保持。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:游动间隙被设定成隔热板的板厚以下的范围。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:前端筒状部形成为圆筒状,可挠板状部形成为配置在前端筒状部的内侧的圆板状,且隔热板形成为形成比前端筒状部的内径小的外径的圆板状。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:前端筒状部包括第1筒状部、位于比第1筒状部更前端侧且壁厚比第1筒状部薄的第2筒状部、及形成在第1筒状部与第2筒状部的边界的段差面,可挠板状部被固定在段差面上,第2筒状部具有在其前端划定已缩径的开口的前端环状部,且隔热板由前端环状部保持。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:前端环状部由为了划定第2筒状部而与壳体结合的结合构件形成。
在形成所述结构的压力传感器中,也可以采用如下的结构:压力测量部具有从前端筒状部的前端侧起依次层叠的第1电极、压电体、及第2电极,且隔膜兼任第1电极。
[发明的效果]
根据形成所述结构的压力传感器,可获得抑制热的影响,并可高精度地检测高温的压力介质的压力的压力传感器。
附图说明
图1是表示本发明的压力传感器的一实施方式的剖面图。
图2是表示在图1中所示的压力传感器中,具有前端筒状部的壳体、隔膜、隔热板、压力测量部等的部分放大剖面图。
图3是表示在图1中所示的压力传感器中,前端筒状部、隔膜、及隔热板的相互关系的部分放大剖面图。
图4是表示在图1中所示的压力传感器中,对前端筒状部的开口边缘区域实施弯折加工前的状态及弯折加工后的前端筒状部、隔膜、及隔热板的部分放大剖面图。
图5是表示本发明的压力传感器的另一实施方式的剖面图。
图6是表示在图5中所示的压力传感器中,具有前端筒状部的壳体、隔膜、隔热板、压力测量部等的部分放大剖面图。
图7是表示在图5中所示的压力传感器中,前端筒状部、结合构件、隔膜、及隔热板的相互关系的部分放大剖面图。
图8是表示在图5中所示的压力传感器中,将划定前端筒状部的一部分的结合构件与壳体结合前的状态及结合后的状态下的前端筒状部、隔膜、结合构件、及隔热板的部分放大剖面图。
图9是在本发明的压力传感器与现有的压力传感器中,对传感器输出进行了比较的图表。
符号的说明
10:壳体
11:前端筒状部
11a:第1筒状部
11b:第2筒状部
11c:段差面
11d:前端环状部
11e:开口
20:隔膜
21:可挠板状部
t1:板厚
22:杆部
30:压力测量部
31:第1电极
32:压电体
33:第2电极
70:隔热板
t2:板厚
100:壳体
110:前端筒状部
111:第1筒状部
112:端面(段差面)
120:结合构件
121:第2筒状部
122:前端环状部
124:开口
C:游动间隙
具体实施方式
以下,一面参照附图一面对本发明的实施方式进行说明。
第1实施方式的压力传感器是安装在发动机的汽缸头H上,检测作为压力介质的燃烧室内的燃烧气体的压力者。
如图1及图2所示,此压力传感器包括:壳体10、隔膜20、压力测量部30、按压构件40、导线50、连接器60、隔热板70。
壳体10是使用析出硬化系或铁氧体系的不锈钢等金属材料,形成为划定在轴线S方向上伸长的内部空间A的多段圆筒状。
而且,壳体10包括:前端筒状部11、密封部12、外螺纹部13、开口端部14、内壁面15、内壁面16、内螺纹部17。
前端筒状部11是位于从密封部12至轴线S方向的前端侧的区域,形成为二段壁厚的圆筒状,包括第1筒状部11a、第2筒状部11b、段差面11c、前端环状部11d、由前端环状部11d划定的开口11e。
第1筒状部11a划定圆筒状的内壁面11a1,另外,其外壁面与汽缸头H的安装孔的内周面H1接近或密接来配置,而难以暴露在燃烧气体中。
第2筒状部11b在进行弯折加工前的状态下,划定形成比第1筒状部11a的壁厚薄的壁厚的圆筒状的内壁面11b1。
段差面11c在第1筒状部11a与第2筒状部11b的边界,作为与轴线S垂直的环状平面来形成。
而且,段差面11c作为通过焊接等来固定隔膜20的可挠板状部21的固定面发挥功能。
前端环状部11d是将第2筒状部11b的开口边缘区域朝内侧弯折而形成,在其中央区域划定圆形的开口11e。
开口11e比隔热板70的外径D缩径来形成,即形成为比隔热板70的外径D小的内径。
即,前端环状部11d达成以不使被收容在第2筒状部11b的内侧的隔热板70脱落的方式保持的作用。
密封部12在从前端筒状部11的前端朝轴线S方向后退的规定位置上形成为圆锥面状,达成抵接在汽缸头H的密封面H2上来防止燃烧室CH内的燃烧气体泄漏的作用。
外螺纹部13为了与设置在汽缸头H中的安装孔的内螺纹部H3螺合来固定壳体10,而形成在从密封部12朝轴线S方向后退的扩径区域中。
开口端部14作为安装按压构件40等时的插入口发挥功能,并且以经由隔离物61而固定连接器60的方式形成。
内壁面15作为形成可插入按压构件40的内径尺寸的圆筒状的内周面来形成。
内壁面16作为形成比内壁面15缩径的内径尺寸的圆筒状的内周面来形成,在此区域中收容压力测量部30。
内螺纹部17为了使按压构件40螺合并固定,而形成在内壁面15与内壁面16之间的区域中。
隔膜20是使用具有析出硬化性的不锈钢等金属材料来形成。
而且,隔膜20包括可挠板状部21、与可挠板状部21相连来形成的杆部22。
可挠板状部21形成为板厚t1的圆板状,其外缘区域通过焊接等而固定在前端筒状部11的段差面11c上。
可挠板状部21是经由隔热板70而被传达对应于燃烧气体的压力的负荷,并对应于所述负荷而在轴线S方向上弹性变形的区域。
此处,可挠板状部21的板厚t1为0.2mm~0.6mm左右。
杆部22形成为从可挠板状部21的大致中央区域朝轴线S方向伸长的圆柱状。
而且,杆部22的外周面与壳体10的内壁面11a1、内壁面16隔开规定的间隙来配置,杆部22的端面以抵接在压力测量部30的压电体32上的方式配置。
即,杆部22介于可挠板状部21与压力测量部30的压电体32之间,达成将可挠板状部21所承受的力传达至压电体32中的功能。
压力测量部30是作为压电元件发挥功能者,如图2所示,包括从前端筒状部11的前端侧朝轴线S方向依次层叠的第1电极31、压电体32、第2电极33。
第1电极31由导电性的金属材料形成,在此实施方式中,隔膜20兼任其职责。
而且,第1电极31即隔膜20的杆部22与压电体32密接来配置,并经由壳体10与汽缸头H而与地面(负侧)电性连接。
压电体32是形成为四角柱状,夹在第1电极31即隔膜20的杆部22与第2电极33之间,根据由在轴线S方向上所承受的负荷所引起的应变而输出电信号者,其应用压电元件、氧化锌、水晶等。
第2电极33通过导电性的金属材料而形成为圆柱或圆板状,与压电体32密接来配置,经由导线50而与正侧电性连接。
在所述压力测量部30中,隔膜20兼任第1电极31,因此与设置专用的电极的情况相比,可削减零件数,而可简化结构。
另外,并不限定于所述结构,也可以存在与隔膜20不同的电极作为第1电极31。
如图2所示,按压构件40包含螺钉构件41、绝缘构件42。
螺钉构件41是使用析出硬化系或铁氧体系的不锈钢等金属材料而形成为大致圆柱状,包括与壳体10的内螺纹部17螺合的外螺纹部41a、使导线50穿过的贯穿孔41b、抵接在绝缘构件42上的抵接面41c。
绝缘构件42是使用电绝缘性高的绝缘材料,例如氧化铝等而形成为大致圆柱状,包括抵接在螺钉构件41的抵接面41c上的端面42a、抵接在第2电极33上的端面42b、使导线50穿过的贯穿孔42c。
而且,如图1及图2所示,在已将压力测量部30配置在规定位置上的状态下,嵌入绝缘构件42,并从绝缘构件42的上方拧入螺钉构件41,由此在轴线S方向上对压力测量部30施加预负荷,另外,将压力测量部30定位并保持在壳体10内的规定位置上。
如图1所示,导线50与压力测量部30的第2电极33电性连接,穿过绝缘构件42的贯穿孔42c、螺钉构件41的贯穿孔41b及壳体10的内部空间A而被引导至连接器60中。
连接器60作为插座来形成,经由隔离物61而与壳体10的开口端部14结合,且装卸自如地与外部的连接器(插头)连接。
隔热板70是为了将隔膜20与作为压力介质的燃烧气体隔绝而配置在前端筒状部11的内侧者,使用具备耐热性及低导热性的材料,例如不锈钢板而形成为圆板状。
此处,隔热板70的板厚t2优选0.2mm~0.5mm左右。
作为隔热板70的材料,优选导热性低、耐久性优异、刚性高的材料,除不锈钢以外,可使用实施了镀镍的碳钢、镍合金、铁系合金、钛合金等。
而且,如图4所示,隔热板70在已插入前端筒状部11的第2筒状部11b的内侧后,通过使用弯折加工机M将第2筒状部11b的开口边缘区域朝内侧弯折所形成的前端环状部11d,以不朝外部脱落的方式保持在第2筒状部11b的内侧。
此处,隔热板70在不承受燃烧气体的压力的状态下,以相对于可挠板状部21在无负荷下接触的方式得到保持。
另外,隔热板70的外径D比作为隔膜发挥功能的可挠板状部21的有效直径大且比第2筒状部11b的内径小,以使隔热板70在第2筒状部11b的内侧不会因咬合、粘着等而变得不动。
另外,隔热板70虽然以相对于可挠板状部21在无负荷下接触的方式得到保持,但也能够以在轴线S方向上相对于可挠板状部21隔开规定的游动间隙而相向的方式得到保持。
在此情况下,游动间隙被设定成隔热板70的板厚t2以下的范围,具体为0.1mm~0.2mm左右。
如此,通过设置游动间隙,无需以将隔热板70按压在可挠板状部21上且不带来负荷的方式高精度地管理弯折加工。
继而,对形成所述结构的压力传感器的组装进行说明。
首先,准备壳体10、隔膜20、压电体32、连接有导线50的第2电极33、螺钉构件41、绝缘构件42、连接器60及隔离物61、隔热板70。
其次,将隔膜20组装在壳体10中。即,将可挠板状部21与前端筒状部11的段差面11c接合并通过焊接等来固定。
继而,将压电体32、第2电极33、绝缘构件42、及螺钉构件41以依次重叠的方式从开口端部14插入壳体10内。
另外,也可以将压电体32、第2电极33、及绝缘构件42事先层叠来临时组装。
而且,将螺钉构件41适宜拧入,为了对压力测量部30赋予作为传感器的直线特性而施加规定的预负荷。
继而,将隔离物61固定在壳体10的开口端部14上,并将已被导出的导线50与连接器60连接,且将连接器60与隔离物61连结。
继而,将隔热板70以被保持在壳体10的前端筒状部11的内侧的方式组装。此处,所谓“保持”,并非不动地被固定在前端筒状部11中,而是指以不脱落的方式得到支撑。
即,将隔热板70配置在前端筒状部11的第2筒状部11b的内侧。
继而,使用规定的弯折加工机M,如图4所示,将第2筒状部11b的开口边缘区域朝内侧弯折而形成前端环状部11d。此处,通过前端环状部11d来划定比隔热板70的外径D缩径的开口11e。
通过以上方式,压力传感器的组装完成。
另外,所述组装程序为一例,并不限定于此,也可以采用其他组装程序。
在形成所述结构的压力传感器中,前端筒状部11、隔膜20、及隔热板70变成图3中所示的配置关系。
即,隔热板70在不承受燃烧气体的压力的状态下,以相对于可挠板状部21在无负荷下接触的方式,被保持在前端筒状部11的内侧并被配置在隔膜20的外侧。
因此,若隔热板70经由开口11e而承受燃烧气体的压力,则对应于所述压力的负荷经由隔热板70而立即施加至可挠板状部21中。而且,隔膜20通过隔热板70而与燃烧气体隔绝,并且对应于所承受的负荷而变形。
由此,燃烧气体的热实质上由隔热板70隔断,朝隔膜20侧的传热被抑制或防止。因此,由燃烧气体所产生的热的影响被抑制或防止,隔膜20的可挠板状部21实质上仅承受燃烧气体的压力。
另外,隔热板70由于以相对于可挠板状部21进行接触的方式配置,因此不会产生伴随其移动的冲击力或冲击声等,另外,也不会对隔膜20的特性带来影响。
另外,隔热板70是被保持在前端筒状部11的内侧者,并非通过焊接等来固定者。因此,作为隔热板70的材料,只要是可获得隔热作用的材料,则可使用金属材料以外的材料。
通过以上所述,即便在暴露在高温的压力介质中的测定环境下,也可以抑制隔膜20的由热所引起的变形,而可将隔膜20的杆部22与压力测量部30的压电体32的接触位置维持成所期望的设定状态。
因此,可防止对压力测量部30赋予的预负荷的变动,而防止起因于预负荷的变动的来自压电体32的输出噪声。
因此,可抑制由热变形等所产生的测定误差,而高精度地检测发动机的燃烧室CH内的燃烧气体的压力。
即,作为机制,假如隔膜20因热而变形,则对压力测量部30赋予的预负荷变动,被检测的压力的精度下降,但在本发明中,通过隔热板70来抑制隔膜20的由热所引起的变形,因此通过热隔断→抑制隔膜20的热变形→防止预负荷的变动而可高精度地检测压力。
图5至图8是表示本发明的压力传感器的另一实施方式者,除变更保持所述隔热板70的第2筒状部11b以外,形成与所述实施方式相同的结构。因此,对相同的结构标注相同的符号并省略说明。
此实施方式的压力传感器包括:壳体100、隔膜20、压力测量部30、按压构件40、导线50、连接器60、隔热板70。
壳体100是使用析出硬化系或铁氧体系的不锈钢等金属材料,形成为划定在轴线S方向上伸长的内部空间A的多段圆筒状。
而且,壳体100包括:前端筒状部110、密封部12、外螺纹部13、开口端部14、内壁面15、内壁面16、内螺纹部17、与前端筒状部110结合的结合构件120。
前端筒状部110是位于从密封部12至轴线S方向的前端侧的区域,形成为二段壁厚的圆筒状,包括第1筒状部111、端面112、与端面112结合的结合构件120。
而且,结合构件120包括:以外周壁相连的方式与第1筒状部111结合的第2筒状部121、形成在第2筒状部121的前端侧的前端环状部122、形成在第2筒状部121的后端侧的端面123、由前端环状部122划定的开口124。
第1筒状部111划定圆筒状的内壁面111a,另外,其外壁面与汽缸头H的安装孔的内周面H1接近或密接来配置,而难以暴露在燃烧气体中。
端面112在第1筒状部111与第2筒状部121已结合的状态下,在两者的边界划定形成与轴线S垂直的圆环状平面的段差面。
而且,位于端面112的内缘区域的段差面作为通过焊接等来固定隔膜20的可挠板状部21的固定面发挥功能。
第2筒状部121划定形成比第1筒状部111的壁厚薄的壁厚的圆筒状的内壁面121a。内壁面121a的内径比隔热板70的外径D略大。
前端环状部122在第2筒状部121的前端侧形成为圆环平板状,在其中央区域划定圆形的开口124。
端面123形成为与端面112的外周缘区域接合的圆环状平面。
开口124以变成比隔热板70的外径D小的内径的方式,比作为前端筒状部的第2筒状部121的内径缩径来形成。
即,前端环状部122达成将被收容在第2筒状部121的内侧的隔热板70以可在轴线S方向上移动且不脱落的方式保持的作用。
此处,隔热板70在不承受燃烧气体的压力的状态下,以相对于可挠板状部21隔开规定的游动间隙C而相向的方式得到保持。
此处,游动间隙C被设定成隔热板70的板厚t2以下的范围,具体为0.1mm~0.2mm左右。
另外,隔热板70的外径D比作为隔膜发挥功能的可挠板状部21的有效直径大且比第2筒状部121的内径小,以使隔热板70在第2筒状部121的内侧不会因咬合、粘着等而变得不动,或不会因滑动而导致电阻增加。
另外,隔热板70也能够以相对于可挠板状部21,在不带来负荷的无负荷的状态下接触的方式得到保持。
继而,对形成所述结构的压力传感器的组装进行说明。
首先,准备壳体100、结合构件120、隔膜20、压电体32、连接有导线50的第2电极33、螺钉构件41、绝缘构件42、连接器60及隔离物61、隔热板70。
其次,将隔膜20组装在壳体100中。即,将可挠板状部21与前端筒状部110的端面112接合并通过焊接等来固定。
继而,将压电体32、第2电极33、绝缘构件42、及螺钉构件41以依次重叠的方式从开口端部14插入壳体100内。
另外,也可以将压电体32、第2电极33、及绝缘构件42事先层叠来临时组装。
而且,将螺钉构件41适宜拧入,为了对压力测量部30赋予作为传感器的直线特性而施加规定的预负荷。
继而,将隔离物61固定在壳体100的开口端部14上,并将已被导出的导线50与连接器60连接,且将连接器60与隔离物61连结。
继而,如图8所示,在隔热板70已被收容在结合构件120的内侧的状态下,将结合构件120的端面123与前端筒状部110的端面112接合并通过焊接等来固定。
由此,将隔热板70以被保持在壳体100的前端筒状部110的内侧的方式组装。
此处,所谓“保持”,并非不动地被固定在前端筒状部110中,而是指以可在轴线S方向上移动且不脱落的方式得到支撑。
通过以上方式,压力传感器的组装完成。
另外,所述组装程序为一例,并不限定于此,也可以采用其他组装程序。
在形成所述结构的压力传感器中,前端筒状部110、隔膜20、及隔热板70变成图7中所示的配置关系。
即,隔热板70在不承受燃烧气体的压力的状态下,以相对于可挠板状部21隔开规定的游动间隙C而相向的方式,被保持在前端筒状部110的内侧并被配置在隔膜20的外侧。
因此,若隔热板70经由开口124而承受燃烧气体的压力,则隔热板70立即密接在可挠板状部21上。而且,隔膜20通过隔热板70而与燃烧气体隔绝,并且对应于所承受的压力而变形。
由此,燃烧气体的热实质上由隔热板70隔断,朝隔膜20侧的传热被抑制或防止。因此,由燃烧气体所产生的热的影响被抑制或防止,隔膜20的可挠板状部21实质上仅承受燃烧气体的压力。
另外,隔热板70的游动间隙C被设定成隔热板70的板厚t2以下的范围,因此伴随其移动的冲击力小,因此,不会产生冲击声等,另外,也不会对隔膜20的特性带来影响。
如此,通过设置游动间隙C,第2筒状部121在轴线S方向上的尺寸的管理变得容易,可减少管理成本等。
另外,隔热板70是被保持在前端筒状部110的内侧者,并非通过焊接等来固定者。因此,作为隔热板70的材料,只要是可获得隔热作用的材料,则可使用金属材料以外的材料。
通过以上所述,即便在暴露在高温的压力介质中的测定环境下,也可以抑制隔膜20的由热所引起的变形,而可将隔膜20的杆部22与压力测量部30的压电体32的接触位置维持成所期望的设定状态。
因此,可防止对压力测量部30赋予的预负荷的变动,而防止起因于预负荷的变动的来自压电体32的输出噪声。
因此,可抑制由热变形等所产生的测定误差,而高精度地检测发动机的燃烧室CH内的燃烧气体的压力。
图9是表示在本发明的压力传感器与现有的压力传感器中,对发动机的燃烧室内的燃烧气体的压力进行测定所得的比较试验数据的图表。
■使用发动机:双缸汽油发动机,排气量1000cc
■运转条件:发动机转数5000rpm,满负荷
■基准传感器:精密分析用传感器(AVL公司制造)
■结果数据:虚线→精密分析用传感器(实际的燃烧压力),实线→本发明的压力传感器,点划线→现有的压力传感器
如根据图9中所示的结果而明确般,与现有的压力传感器相比,在包括隔热板70的本发明的压力传感器中,与实际的燃烧压力的偏差量,即测定误差变小。
如此,根据本发明的压力传感器,传感器精度得到改善,可高精度地检测发动机的燃烧室内的燃烧气体等压力介质的压力。
在所述实施方式中,作为隔膜,表示了一体地包括可挠板状部21及杆部22的隔膜20,但并不限定于此,也可以采用可挠板状部21与杆部22个别地形成,可挠板状部21作为隔膜发挥功能,杆部22作为力传达构件发挥功能的结构。
在所述实施方式中,表示了隔膜20兼任压力测量部30的第1电极31的结构,但并不限定于此,也可以采用设置专用的电极作为第1电极31的结构。
如以上所述般,本发明的压力传感器抑制热的影响,并可高精度地检测高温的压力介质的压力,因此尤其可用作检测发动机的燃烧室内的燃烧气体等高温压力介质的压力的压力传感器是理所当然的事情,作为检测燃烧气体以外的高温的压力介质或其他压力介质的压力的压力传感器也有用。
Claims (9)
1.一种压力传感器,其特征在于,包括:
壳体,具有前端筒状部;
压力测量部,被收容在所述壳体内且包含压电体;
隔膜,具有被固定在所述前端筒状部的内侧的可挠板状部、及介于所述可挠板状部与所述压力测量部之间的杆部;以及
隔热板,为了将所述隔膜与压力介质隔绝而被保持在所述前端筒状部的内侧。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,
所述前端筒状部具有在其前端划定已缩径的开口的前端环状部,且
所述隔热板由所述前端环状部保持。
3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,
所述前端环状部是将所述前端筒状部的开口边缘区域朝内侧弯折而形成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的压力传感器,其特征在于,
所述隔热板在不承受压力介质的压力的状态下,以相对于所述可挠板状部在无负荷下接触或隔开规定的游动间隙而相向的方式得到保持。
5.根据权利要求4所述的压力传感器,其特征在于,
所述游动间隙被设定成所述隔热板的板厚以下的范围。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的压力传感器,其特征在于,
所述前端筒状部形成为圆筒状,
所述可挠板状部形成为配置在所述前端筒状部的内侧的圆板状,且
所述隔热板形成为形成比所述前端筒状部的内径小的外径的圆板状。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的压力传感器,其特征在于,
所述前端筒状部包括第1筒状部、位于比所述第1筒状部更前端侧且壁厚比所述第1筒状部薄的第2筒状部、及形成在所述第1筒状部与所述第2筒状部的边界的段差面,
所述可挠板状部被固定在所述段差面上,
所述第2筒状部具有在其前端划定已缩径的开口的前端环状部,且
所述隔热板由所述前端环状部保持。
8.根据权利要求7所述的压力传感器,其特征在于,
所述前端环状部由为了划定所述第2筒状部而与所述壳体结合的结合构件形成。
9.根据权利要求1至3中任一项所述的压力传感器,其特征在于,
所述压力测量部具有从所述前端筒状部的前端侧起依次层叠的第1电极、所述压电体、及第2电极,且
所述隔膜兼任所述第1电极。
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