CN109930112A - 一种蒸镀腔体结构 - Google Patents
一种蒸镀腔体结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109930112A CN109930112A CN201910300387.5A CN201910300387A CN109930112A CN 109930112 A CN109930112 A CN 109930112A CN 201910300387 A CN201910300387 A CN 201910300387A CN 109930112 A CN109930112 A CN 109930112A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- evaporation source
- vibration
- cavity
- crystal
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本发明涉及OLED蒸镀设备技术领域，特别是一种蒸镀腔体结构，包括若干蒸发源，所述蒸发源设置在分隔的蒸发源腔体内；还包括晶振片安装柱，所述蒸发源腔体环绕晶振片安装柱形成带有缺口的环状；所述晶振片安装柱上连接有晶振片安置炮筒，所述晶振片安置炮筒对准蒸发源腔体内的蒸发源。采用上述结构后，本发明具有以下优点：在蒸镀前，加热材料时，将材料挡板会翻转盖住所在的腔体，挡板会几乎完全盖住蒸发源，这将会挡住开始蒸镀前几乎所有蒸发出来的材料。所有的膜厚检测装置全部安装在腔体中间的圆柱上，圆柱是可旋转的机构，在更换晶振片时，可以将挡板拆除，然后旋转圆柱，将炮筒旋转到没有蒸发源的位置进行更换。
Description
技术领域
本发明涉及OLED蒸镀设备技术领域，特别是一种蒸镀腔体结构。
背景技术
显示面板，如有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称：OLED)因其在固态照明和平板显示的方向拥有巨大的发展潜力而得到了学术界和产业界的极大关注。有机发光二极管(OLED)平板可以做的更轻更薄，因而柔性显示技术将是未来的发展趋势。
目前有机发光二极管(OLED)制程，多采用蒸镀设备执行。其制备方法为，将玻璃基板与曝光掩膜(Mask)紧贴，靠Mask与冷板的夹持力跟随Mask与冷板进行同步旋转镀膜。而目前Mask与冷板的间距是预先设定的一个固定值，其值为玻璃基板的厚度。但玻璃基板有一定的厚度偏差，例如：当前0 .5mm的玻璃基板的偏差为±0 .05mm。因此，当Mask与冷板间距 设置为固定的玻璃基板厚度时，厚度较厚的基板将会受到较大的夹持力，若基板存在前制 程造成的微型裂纹，则很容易导致压合破片；厚度较薄的基板，将会受到较小的夹持力，造 成玻璃基板制程时出现偏移，对制程造成影响。
中国发明专利CN 109321886 A公开了一种蒸镀腔体，包括基板夹持装置、基板对位装置、磁铁、冷板、曝光掩膜、蒸镀坩埚加热装置、转动装置以及压力传感器；所述压力传感器均匀对称的排布在冷板的下表面，通过预设压力传感器的数值来控制基板的压合，通过各个压力传感器的差值来判断基板的压合 状态。
发明内容
本发明需要解决的技术问题是提供一种便于更换检测膜厚的晶振片的蒸镀腔体结构。
为解决上述技术问题，本发明的一种蒸镀腔体结构，包括若干蒸发源，所述蒸发源设置在分隔的蒸发源腔体内；还包括晶振片安装柱，所述蒸发源腔体环绕晶振片安装柱形成带有缺口的环状；所述晶振片安装柱上连接有晶振片安置炮筒，所述晶振片安置炮筒对准蒸发源腔体内的蒸发源。
优选的，蒸镀腔体整体呈六边形结构，所述六边形结构的蒸镀腔体其中五条边向中心设置等腰梯形状的蒸发源腔体；所述晶振片安装柱设置在六边形结构的蒸镀腔体中心。
优选的，所述蒸镀腔体上端转动连接有与蒸发源腔体形状相适应的材料挡板。
优选的，所述蒸发源腔体内壁上固定有防着板。
采用上述结构后，本发明具有以下优点：
1、在蒸镀前，加热材料时，将材料挡板翻转盖住所在的腔体，挡板会几
乎完全盖住蒸发源，这将会挡住开始蒸镀前几乎所有蒸发出来的材料。
2、所有的膜厚检测装置全部安装在腔体中间的圆柱上，圆柱是可旋转的机
构，在更换晶振片时，可以将挡板拆除，然后旋转圆柱，将炮筒旋转到没有蒸发源的位置进行更换。
3、材料挡板由机构与腔体相连，在打开挡板时，挡板会向上90°翻开，五块挡板之间不会互相阻碍，且能有效抵挡材料蒸发。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明一种蒸镀腔体结构的结构示意图。
图2为本发明材料挡板的结构示意图。
图3为本发明晶振片安装示意图。
图4为本发明晶振片与蒸发源对应的结构示意图。
图5为本发明蒸发源腔体的结构示意图。
图中：1为材料挡板，2为蒸发源腔体，3为晶振片安装柱，4为晶振片安置炮筒，5为蒸发源，6为防着板。
具体实施方式
如图1所示，本发明的一种蒸镀腔体结构，包括蒸发源5，所述蒸发源5设置在分隔的蒸发源腔体2内；还包括晶振片安装柱3，所述蒸发源腔体2环绕晶振片安装柱3形成带有缺口的环状。所述晶振片安装柱3上连接有晶振片安置炮筒4，所述晶振片安置炮筒4对准蒸发源腔体2内的蒸发源5，所述蒸发源腔体2内壁上固定有防着板6。
如图1和图5，本发明的蒸镀腔体整体呈六边形结构，所述六边形结构的蒸镀腔体其中五条边向中心设置等腰梯形状的蒸发源腔体2，蒸发源腔体2共计5个，依次连接成带有缺口的环状，蒸发源5安装在每个蒸发源腔体2中。所述晶振片安装柱3设置在六边形结构的蒸镀腔体中心，如图3和图4所示，晶振片安装柱3上连接的晶振片安置炮筒4共计5个，炮口分别对准5个蒸发源。这样，将所有用来检测膜厚的晶振片全部安装在蒸镀腔体中间的晶振片安装柱3上，晶振片安装柱3是可旋转的，在更换晶振片时，可以旋转晶振片安装柱3，将晶振片安置炮筒4旋转到没有蒸发源的位置（蒸发源腔体形成环状的缺口处）进行更换。
如图2所示，所蒸镀腔体上端转动连接有与蒸发源腔体形状相适应的材料挡板1。在蒸镀前，加热材料时，将材料挡板1翻转盖住所在的蒸发源腔体2，材料挡板会几乎完全盖住蒸发源，这将会挡住开始蒸镀前几乎所有蒸发出来的材料。另外，材料挡板由机构与腔体相连，在打开挡板时，挡板会向上90°翻开，五块挡板之间不会互相阻碍，且能有效抵挡材料蒸发。在蒸镀过程中，暂时不需要蒸镀的材料会由挡板几乎全部挡下，材料之间的干扰几乎为0；且更换膜厚检测晶振片装置更换便捷。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域熟练技术人员应当理解，这些仅是举例说明，可以对本实施方式作出多种变更或修改，而不背离本发明的原理和实质，本发明的保护范围仅由所附权利要求书限定。
Claims (4)
1.一种蒸镀腔体结构，包括若干蒸发源，其特征在于：所述蒸发源设置在分隔的蒸发源腔体内；还包括晶振片安装柱，所述蒸发源腔体环绕晶振片安装柱形成带有缺口的环状；所述晶振片安装柱上连接有晶振片安置炮筒，所述晶振片安置炮筒对准蒸发源腔体内的蒸发源。
2.按照权利要求1所述的一种蒸镀腔体结构，其特征在于：蒸镀腔体整体呈六边形结构，所述六边形结构的蒸镀腔体其中五条边向中心设置等腰梯形状的蒸发源腔体；所述晶振片安装柱设置在六边形结构的蒸镀腔体中心。
3.按照权利要求2所述的一种蒸镀腔体结构，其特征在于：所述蒸镀腔体上端转动连接有与蒸发源腔体形状相适应的材料挡板。
4.按照权利要求1-3中任一项所述的一种蒸镀腔体结构，其特征在于：所述蒸发源腔体内壁上固定有防着板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910300387.5A CN109930112A (zh) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 一种蒸镀腔体结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910300387.5A CN109930112A (zh) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 一种蒸镀腔体结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109930112A true CN109930112A (zh) | 2019-06-25 |
Family
ID=66990101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910300387.5A Pending CN109930112A (zh) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 一种蒸镀腔体结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109930112A (zh) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016069694A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | キヤノントッキ株式会社 | 真空蒸着装置 |
| CN109023253A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-12-18 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀设备 |
-
2019
- 2019-04-15 CN CN201910300387.5A patent/CN109930112A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016069694A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | キヤノントッキ株式会社 | 真空蒸着装置 |
| CN109023253A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-12-18 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20070037056A (ko) | 증발원 및 이를 이용한 진공증착기 | |
| KR102002849B1 (ko) | 증착 장치 | |
| CN107779822A (zh) | 蒸镀装置与蒸镀方法 | |
| TW201531574A (zh) | 附框架蒸鍍遮罩之製造方法、拉張裝置、有機半導體元件之製造裝置及有機半導體元件之製造方法 | |
| CN109930112A (zh) | 一种蒸镀腔体结构 | |
| TW202104626A (zh) | 成膜裝置及成膜方法 | |
| KR102210379B1 (ko) | 증착막 균일도 개선을 위한 박막 증착장치 | |
| CN110819962A (zh) | 成膜速率监视装置及成膜装置 | |
| CN110257777B (zh) | 蒸镀罩以及蒸镀设备 | |
| KR100974041B1 (ko) | 막 증착 장치와 막 두께 측정 방법 | |
| CN105154831B (zh) | 一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备 | |
| WO2020015205A1 (zh) | 蒸镀设备 | |
| JP6357669B2 (ja) | 蒸着装置及び蒸着装置用光学基板保持部材 | |
| KR100624767B1 (ko) | 유기물의 연속증착장치 | |
| KR102022449B1 (ko) | 증착률측정장치 및 이를 구비한 증착장치 | |
| CN216303977U (zh) | 蒸镀锅和蒸镀设备 | |
| CN211522306U (zh) | 一种蒸镀坩埚及装置 | |
| KR100658731B1 (ko) | 증발원 및 이를 구비하는 유기물 증착장치 | |
| KR100684739B1 (ko) | 유기물 증착장치 | |
| KR20220000620A (ko) | 증착두께 측정장치 | |
| KR20060087691A (ko) | 유기물질 증착 장치 및 방법 | |
| KR20070028183A (ko) | 가열용기와 이를 이용한 증착장치 | |
| KR100611667B1 (ko) | 박막 증착 측정 장치 | |
| CN215404497U (zh) | 一种可变光及低成本视窗 | |
| KR20200114889A (ko) | 증발원 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190625 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |