CN109916312A - 光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器 - Google Patents

光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN109916312A
CN109916312A CN201910334027.7A CN201910334027A CN109916312A CN 109916312 A CN109916312 A CN 109916312A CN 201910334027 A CN201910334027 A CN 201910334027A CN 109916312 A CN109916312 A CN 109916312A
Authority
CN
China
Prior art keywords
grating
scale
reading
reading sensor
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910334027.7A
Other languages
English (en)
Inventor
王子忠
王晗
张平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangdong University of Technology
Original Assignee
Guangdong University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangdong University of Technology filed Critical Guangdong University of Technology
Priority to CN201910334027.7A priority Critical patent/CN109916312A/zh
Publication of CN109916312A publication Critical patent/CN109916312A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

本发明实施例公开了一种光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器。其中,光栅尺读数头包括微处理器、分别与微处理器相连、且沿光栅尺移动方向设置的第一读数传感器和第二读数传感器。微处理器当根据第一读数传感器、第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿,根据第一读数传感器、第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和光栅尺移动方向计算光栅尺的实际移动位移值,应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体、且各标尺光栅相接处的缺口的长度值大于光栅刻线间距的两倍的光栅尺位移传感器中,提高了光栅尺位移传感器位移测量的精度,有利于实现通过增长标尺光栅长度以增大光栅尺位移传感器的测量范围。

Description

光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器
技术领域
本发明实施例涉及位置测量技术领域,特别是涉及一种光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器。
背景技术
随着光学技术的快速发展,光学测量技术也得到了相应的发展,光栅尺位移传感器,简称光栅尺,广泛应用于数控机床的闭环伺服系统的机械角位移或直线位移的测量中。
光栅尺位移传感器为利用光栅光学原理工作的精密测量反馈装置,包括标尺光栅和光栅读数头,通常标尺光栅固定在机床活动部件上,光栅读数头装在机床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。目前,公知的用来精密测量物体的移动位移的工具的光栅尺主要包括增量式和绝对式两种。由于绝对式光栅尺不需要寻找参考原点,在断电后,任何重新给电时皆可对位置进行测量,无需进行归零;且测量精度高、抗干扰能力强、稳定性高、绝对编码范围大,可测量较大量程的线性位移,还可以进行非线性修正,所以绝对式光栅尺作为位置测量工具在工业中的应用越来越广。
光栅尺位移传感器读数的基本原理为:光源出射光线经会聚透镜照射到由标尺光栅构成的光栅尺主体上,标尺光栅相对指示光栅的位移通过光敏元件转换成数字信息号进行后处理,标尺光栅外各部件组合在一起构成一个整体,称为光栅尺读数头。光栅读数头利用光栅原理把输入的位移量转换成相应的电信号。指示光栅比标尺光栅短得多,标尺光栅的长度决定了测量范围。在工作时,光栅尺的标尺光栅和读数头分别被固定在两个相对运动的机械部件上,机械部件运动时带动标尺光栅和读数头做相对直线运动,两条光栅由于光照的干涉和衍射产生莫尔条纹,莫尔条纹通过光敏元件转化成正弦变化的电信号。经过数据电路处理后得到相对位置信息。
由于光栅尺位移传感器的制作工艺复杂且生产成本较高,一般传统的光栅尺位移传感器中的标尺光栅为一条整条光栅,但是,实际生产中技术的制约使得刻划的标尺光栅长度不理想。由于标尺光栅的长度决定了测量范围,所以增长标尺光栅的长度可以直接扩大光栅尺的测量范围。在多根标尺光栅拼接为长尺,相邻标尺光栅并不能实现无缝对接,而相关技术在测量移动位移值时忽略相邻标尺光栅缺口处的长度信息,导致测量得到的位移值误差较大,难以满足位移测量的高精度需求。
发明内容
本公开实施例提供了一种光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器,提高了光栅尺位移传感器位移测量的精度,有利于实现通过增长标尺光栅长度以增大光栅尺位移传感器的测量范围。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供以下技术方案:
本发明实施例一方面提供了一种光栅尺读数头,应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体的光栅尺位移传感器,且各标尺光栅相接处的缺口的长度值大于光栅刻线间距的两倍;包括微处理器、分别与所述微处理器相连的第一读数传感器和第二读数传感器;所述第一读数传感器和所述第二读数传感器沿所述光栅尺移动方向设置;
其中,所述微处理器用于当根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿,根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和所述光栅尺移动方向计算所述光栅尺的实际移动位移值。
可选的,所述微处理器用于当根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿包括:
获取所述第一读数传感器读取的第一光栅尺移动位移值,及所述第二读数传感器读取的第二光栅尺移动位移值;
计算所述第一光栅尺移动位移值和第二光栅尺移动位移值的差值;
若所述差值不大于预设误差阈值,则判定所述光栅尺移动位移值不需要进行缺口补偿;
若所述差值大于所述误差阈值,则判定所述光栅尺移动位移值需要进行缺口补偿。
可选的,所述微处理器用于根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和所述光栅尺移动方向计算所述光栅尺的实际移动位移值包括:
所述光栅尺移动方向为所述第一标尺光栅指向所述第二标尺光栅的方向,所述第一读数传感器指向所述第二读数传感器的方向与所述光栅尺移动方向相同;
计算所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值差值的绝对值;
将所述绝对值和所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值的和作为所述光栅尺的实际移动位移值进行输出。
可选的,所述微处理器用于根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和所述光栅尺移动方向计算所述光栅尺的实际移动位移值包括:
所述光栅尺移动方向为所述第二标尺光栅指向所述第一标尺光栅的方向,所述第一读数传感器指向所述第二读数传感器的方向与所述光栅尺移动方向相反;
计算所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值差值的绝对值;
将所述绝对值和所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值的差值作为所述光栅尺的实际移动位移值进行输出。
可选的,所述微处理器还用于当根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值不需要进行缺口补偿,将所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值取平均值,以作为所述光栅尺的实际移动位移值进行输出。
可选的,所述第一读数传感器与所述第二读数传感器沿所述光栅尺移动方向的间距为所述缺口长度的2倍。
可选的,所述光栅尺读数头包括一个与所述微处理器相连的数据处理电路,所述第一读数传感器与所述第二读数传感器均与所述数据处理电路相连。
本发明实施例另一方面提供了一种光栅尺接头,应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体的光栅尺位移传感器,且设置在各标尺光栅相接处的缺口位置处,所述缺口长度值大于光栅刻线间距的两倍;包括光源模块、指示光栅和光栅尺读数头;沿与光栅尺移动方向相垂直的方向从下到上依次设置所述光源模块、所述指示光栅和如上任意一项所述光栅尺读数头。
本发明实施例最后还提供了一种光栅尺位移传感器,包括第一标尺光栅、第二标尺光栅、光源模块、指示光栅和如上任意一项所述光栅尺读数头;
其中,所述光源模块、所述指示光栅和所述光栅尺读数头位于所述第一标尺光栅和所述第二标尺光栅相接的缺口处,且在沿与光栅尺移动方向相垂直的方向上从下到上依次设置,以使所述光源模块出射光线经所述指示光栅后被所述光栅尺读数头采集;所述缺口长度值大于所述第一标尺光栅的光栅刻线间距的两倍。
可选的,还包括与所述光栅尺读数头相连的显示设备,所述显示设备用于实时显示所述光栅尺的移动位移值。
本申请提供的技术方案的优点在于,利用在沿光栅尺移动方向设置的第一读数传感器和第二读数传感器实时读取光栅尺移动过程中的位移值,然后根据二者位移值区别判定是否经过标尺光栅的相接的缺口位置,对经过缺口位置的光栅尺位移值进行缺口补偿,得到精度高的位移输出值,有效的提高了光栅尺位移传感器位移测量的精度,实现了在保证光栅尺位移测量精度的基础上,利用标尺光栅拼接增加光栅尺位移测量长度范围。
此外,本发明实施例还光栅尺接头及光栅尺位移传感器,进一步使得所述光栅尺读数头更具有实用性,所述栅尺接头及光栅尺位移传感器具有相应的优点。
应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的,并不能限制本公开。
附图说明
为了更清楚的说明本发明实施例或相关技术的技术方案,下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的光栅尺读数头的一种实施方式下的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的光栅尺接头的一种实施方式下的结构示意图;
图3为本发明实施例提供的光栅尺位移传感器的一种实施方式下的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等是用于区别不同的对象,而不是用于描述特定的顺序。此外术语“包括”和“具有”以及他们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元,而是可包括没有列出的步骤或单元。
在介绍了本发明实施例的技术方案后,下面详细的说明本申请的各种非限制性实施方式。
首先参见图1,图1为本发明实施例提供的光栅尺读数头在一种具体实施方式下的结构示意图,应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体的光栅尺位移传感器,且各标尺光栅相接处的缺口的长度值大于光栅刻线间距的两倍,本发明实施例可包括以下内容:
光栅尺读数头1包括微处理器11、第一读数传感器12和第二读数传感器13。
其中,第一读数传感器12和第二读数传感器13均与微处理器11相连,且二者设置在沿着光栅尺移动方向上。光栅尺位移传感器的相邻标尺光栅的缺口的长度d预先设定不小于标尺光栅上两条相邻光栅刻线间距的2倍,第一读数传感器12和第二读数传感器13在沿光栅尺移动方向的间距可设置为1.5d-2.5d。兼顾光栅尺读数头1的体积、读数传感器的体积和测量准确度,第一读数传感器12与第二读数传感器13沿光栅尺移动方向的间距为缺口长度的2倍。
可以理解的是,第一读数传感器12和第二读数传感器13可为结构、功能参数完全相同的读数传感器,用于实时读取光栅尺在移动过程中的位移值。可选的,第一读数传感器12和第二读数传感器13中的一个可作为判断光栅尺缺口的传感器,另一个可作为记录光栅尺移动位置值的传感器,当然,此处所说的判断光栅尺缺口是需要结合两个读数传感器读取值的差别来判断。
在本实施例中,微处理器11用于当根据第一读数传感器12、第二读数传感器13读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿,根据第一读数传感器、第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和光栅尺移动方向计算光栅尺的实际移动位移值。在实际应用过程,微处理器11的功能实现方法可如下所述:
微处理器11在判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿的过程可包括:
获取第一读数传感器12读取的第一光栅尺移动位移值,及第二读数传感器13读取的第二光栅尺移动位移值,并计算第一光栅尺移动位移值和第二光栅尺移动位移值的差值。
理论上,若没有经过两根标尺光栅对接的缺口位置,第一光栅尺移动位移值和第二光栅尺移动位移值应该相同,但是由于设备精度、应用场景以及外界干扰,通常情况下二者是不同的,存在微小的误差,但是,第一光栅尺移动位移值和第二光栅尺移动位移值的差值不会超过误差阈值,误差阈值可经过多次试验获取或者是本领域技术人员人员的经验所得,本申请对此不做任何限定。也就是说,若差值不大于预设误差阈值,则判定光栅尺移动位移值不需要进行缺口补偿;若差值大于误差阈值,则判定光栅尺移动位移值需要进行缺口补偿。
一种实施方式中,在需要进行缺口补偿时,缺口补偿值的计算与光栅尺的移动方向相关,若光栅尺移动方向为第一标尺光栅指向第二标尺光栅的方向,且第一读数传感器12指向第二读数传感器13的方向与光栅尺移动方向相同,则光栅尺移动位移值的实际输出值的计算过程为:
计算第一读数传感器12、第二读数传感器13读取的光栅尺移动位移值差值的绝对值;将绝对值和第二读数传感器13读取的光栅尺移动位移值的和作为光栅尺的实际移动位移值进行输出。
另一种实施方式中,若光栅尺移动方向为第二标尺光栅指向第一标尺光栅的方向,且第一读数传感器12指向第二读数传感器13的方向与光栅尺移动方向相反,则光栅尺移动位移值的实际输出值的计算过程为:
计算第一读数传感器12、第二读数传感器13读取的光栅尺移动位移值差值的绝对值;将绝对值和第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值13的差值作为光栅尺的实际移动位移值进行输出。
当不需要进行缺口补偿时,可直接将第二读数传感器13读出的位移值作为光栅尺移动位移值,或者也可直接将第一读数传感器12读出的位移值作为光栅尺移动位移值,在另外一种实施方式中,也可将第一读数传感器12、第二读数传感器13读取的光栅尺移动位移值取平均值,以作为光栅尺的实际移动位移值进行输出。具体选择哪种读数方式,可根据实际应用场景、第一读数传感器12及第二读数传感器13的硬件参数以及用户需求进行确定,本申请对此不做任何限定。
可选的,为了方便数据处理,节约生产成本,光栅尺读数头1中可包括一个数据处理电路,该数据处理电路与微处理器11相连的数据处理电路,且第一读数传感器12与所述第二读数传感器13均与该数据处理电路相连。
在本发明实施例提供的技术方案中,利用在沿光栅尺移动方向设置的第一读数传感器和第二读数传感器实时读取光栅尺移动过程中的位移值,然后根据二者位移值区别判定是否经过标尺光栅的相接的缺口位置,对经过缺口位置的光栅尺位移值进行缺口补偿,得到精度高的位移输出值,有效的提高了光栅尺位移传感器位移测量的精度,实现了在保证光栅尺位移测量精度的基础上,利用标尺光栅拼接增加光栅尺位移测量长度范围。
本申请还提供了一种光栅尺接头,请参阅图2,图2为本发明实施例提供的光栅尺接头在一种具体实施方式下的结构示意图,本发明实施例可包括以下内容:
首先,光栅尺接头0应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体的光栅尺位移传感器,且其设置在各标尺光栅相接处的缺口位置处。在光栅尺位移传感器,每两根标尺光栅的缺口长度值大于标尺光栅的光栅刻线间距的两倍。
在本实施例中,光栅尺接头0可包括光源模块21、指示光栅22和光栅尺读数头1;且沿与光栅尺移动方向相垂直的方向从下到上依次设置光源模块21、指示光栅22和光栅尺读数头1,从而可使光源模块21出射光线经指示光栅22后被光栅尺读数头1采集。
可以理解的是,光源模块21可包含发光源和会聚透镜,可将发光源发出的光线经透镜出射至目标上。
其中,光栅尺读数头1包括微处理器11、沿光栅尺移动方向设置的第一读数传感器12和第二读数传感器13。微处理器11用于当根据第一读数传感器、第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿,根据第一读数传感器、第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和光栅尺移动方向计算光栅尺的实际移动位移值。本实施例中的光栅尺读数头1的各个功能模块的实现过程以及包含的结构可参阅上述实施例的描述,此处,便不再赘述。
由上可知,本发明实施例提高了光栅尺位移传感器位移测量的精度,有利于实现通过增长标尺光栅长度以增大光栅尺位移传感器的测量范围。
最后,本申请还提供了一种光栅尺位移传感器,请参见图3,图3为本发明实施例提供的光栅尺位移传感器在一种具体实施方式下的结构示意图,本发明实施例可包括以下内容:
一种光栅尺位移传感器可包括第一标尺光栅31、第二标尺光栅32、光源模块21、指示光栅22和光栅尺读数头1。第一标尺光栅31、第二标尺光栅32相拼接为光栅尺主体,可以理解的是,两根标尺光栅并不能实现无缝对接,因此两根标尺光栅对接时候会存在一个对接缺口,且缺口长度值预设设定大于第一标尺光栅的光栅刻线间距的两倍。
其中,光源模块21、指示光栅22和光栅尺读数头1位于第一标尺光栅和第二标尺光栅相接的缺口处,且在沿与光栅尺移动方向相垂直的方向上从下到上依次设置,以使光源模块21出射光线经指示光栅22后被光栅尺读数头1采集。
光栅尺读数头1可包括微处理器11、沿光栅尺移动方向设置的第一读数传感器12和第二读数传感器13。微处理器11用于当根据第一读数传感器12、第二读数传感器13读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿,根据第一读数传感器、第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和光栅尺移动方向计算光栅尺的实际移动位移值。
以图3所示结构,以一个具体的实例阐述光栅尺位移传感器的读数方法:1、光栅尺读数头1的两个读数的传感器的信号线都连接的同一个数据处理电路;2、假定光栅尺的标尺光栅自左向右为正运动方向;3、光栅尺的标尺光栅自左向右移动的时候,光栅尺读数头1的两个读数的传感器同时读取光栅尺的信息,并同时从零开始记录数据;4、由于设计时设定两根标尺光栅对接的缺口丢失的长度信息比标尺光栅理论刻线距离长度信息的刻线间距的两倍要大,因此可以对比光栅尺读数头的两个读数的传感器长度信息之差以判断接口的位置,以达到补偿光栅尺接口处的读数;5、两个读数的传感器中一个(左边传感器)为判断光栅尺的接口位置,另一个(右边传感器)为记录光栅尺移动的长度;6、当接口经过两个读数的传感器时,左边传感器的长度信息减去右边传感器的长度信息的差的绝对值为接口丢失的长度信息;此时将差的绝对值数据加到右边传感器的长度信息原有的累计的长度信息上(假如光栅尺自右向左移动时,则将右边传感器的长度信息原有的累计的长度信息减去差的绝对值数据,结果为目标数据),新的长度信息为光栅尺所走过的实际移动长度;7、读数头的右边传感器新的长度信息传输到数据处理电路,输出光栅尺的实际移动长度。
可选的,还可包括与光栅尺读数头1相连的显示设备,可将计算得到的光栅尺位移值发送至显示设备,从而可实时显示光栅尺的移动位移值。当然,还可计算得到的光栅尺位移值发送至被测量机械的控制设备中,实现精确控制直线导轨的移动位置与速度或者是转轴转动角度与角速度。
本发明实施例中各功能模块的功能可根据上述实施例中的具体实现,其具体实现过程可以参照上述实施例的相关描述,此处不再赘述。
由上可知,本发明实施例提高了光栅尺位移传感器位移测量的精度,有利于实现通过增长标尺光栅长度以增大光栅尺位移传感器的测量范围。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处,各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言,由于其与实施例公开的方法相对应,所以描述的比较简单,相关之处参见方法部分说明即可。
专业人员还可以进一步意识到,结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤,能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现,为了清楚地说明硬件和软件的可互换性,在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行,取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能,但是这种实现不应认为超出本发明的范围。
结合本文中所公开的实施例描述的方法或算法的步骤可以直接用硬件、处理器执行的软件模块,或者二者的结合来实施。软件模块可以置于随机存储器(RAM)、内存、只读存储器(ROM)、电可编程ROM、电可擦除可编程ROM、寄存器、硬盘、可移动磁盘、CD-ROM、或技术领域内所公知的任意其它形式的存储介质中。
以上对本发明所提供的一种光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以对本发明进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种光栅尺读数头,其特征在于,应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体的光栅尺位移传感器,且各标尺光栅相接处的缺口的长度值大于光栅刻线间距的两倍;包括微处理器、分别与所述微处理器相连的第一读数传感器和第二读数传感器;所述第一读数传感器和所述第二读数传感器沿所述光栅尺移动方向设置;
其中,所述微处理器用于当根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿,根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和所述光栅尺移动方向计算所述光栅尺的实际移动位移值。
2.根据权利要求1所述的光栅尺读数头,其特征在于,所述微处理器用于当根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值需要进行缺口补偿包括:
获取所述第一读数传感器读取的第一光栅尺移动位移值,及所述第二读数传感器读取的第二光栅尺移动位移值;
计算所述第一光栅尺移动位移值和第二光栅尺移动位移值的差值;
若所述差值不大于预设误差阈值,则判定所述光栅尺移动位移值不需要进行缺口补偿;
若所述差值大于所述误差阈值,则判定所述光栅尺移动位移值需要进行缺口补偿。
3.根据权利要求1所述的光栅尺读数头,其特征在于,所述微处理器用于根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和所述光栅尺移动方向计算所述光栅尺的实际移动位移值包括:
所述光栅尺移动方向为所述第一标尺光栅指向所述第二标尺光栅的方向,所述第一读数传感器指向所述第二读数传感器的方向与所述光栅尺移动方向相同;
计算所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值差值的绝对值;
将所述绝对值和所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值的和作为所述光栅尺的实际移动位移值进行输出。
4.根据权利要求1所述的光栅尺读数头,其特征在于,所述微处理器用于根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值和所述光栅尺移动方向计算所述光栅尺的实际移动位移值包括:
所述光栅尺移动方向为所述第二标尺光栅指向所述第一标尺光栅的方向,所述第一读数传感器指向所述第二读数传感器的方向与所述光栅尺移动方向相反;
计算所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值差值的绝对值;
将所述绝对值和所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值的差值作为所述光栅尺的实际移动位移值进行输出。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的光栅尺读数头,其特征在于,所述微处理器还用于当根据所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值判定当前光栅尺位移值不需要进行缺口补偿,将所述第一读数传感器、所述第二读数传感器读取的光栅尺移动位移值取平均值,以作为所述光栅尺的实际移动位移值进行输出。
6.根据权利要求5所述的光栅尺读数头,其特征在于,所述第一读数传感器与所述第二读数传感器沿所述光栅尺移动方向的间距为所述缺口长度的2倍。
7.根据权利要求6所述的光栅尺读数头,其特征在于,所述光栅尺读数头包括一个与所述微处理器相连的数据处理电路,所述第一读数传感器与所述第二读数传感器均与所述数据处理电路相连。
8.一种光栅尺接头,其特征在于,应用于多个标尺光栅拼接为光栅尺主体的光栅尺位移传感器,且设置在各标尺光栅相接处的缺口位置处,所述缺口长度值大于光栅刻线间距的两倍;包括光源模块、指示光栅和光栅尺读数头;沿与光栅尺移动方向相垂直的方向从下到上依次设置所述光源模块、所述指示光栅和如权利要求1-7任意一项所述光栅尺读数头。
9.一种光栅尺位移传感器,其特征在于,包括第一标尺光栅、第二标尺光栅、光源模块、指示光栅和如权利要求1-7任意一项所述光栅尺读数头;
其中,所述光源模块、所述指示光栅和所述光栅尺读数头位于所述第一标尺光栅和所述第二标尺光栅相接的缺口处,且在沿与光栅尺移动方向相垂直的方向上从下到上依次设置,以使所述光源模块出射光线经所述指示光栅后被所述光栅尺读数头采集;所述缺口长度值大于所述第一标尺光栅的光栅刻线间距的两倍。
10.根据权利要求9所述的光栅尺位移传感器,其特征在于,还包括与所述光栅尺读数头相连的显示设备,所述显示设备用于实时显示所述光栅尺的移动位移值。
CN201910334027.7A 2019-04-24 2019-04-24 光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器 Pending CN109916312A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910334027.7A CN109916312A (zh) 2019-04-24 2019-04-24 光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910334027.7A CN109916312A (zh) 2019-04-24 2019-04-24 光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109916312A true CN109916312A (zh) 2019-06-21

Family

ID=66978335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910334027.7A Pending CN109916312A (zh) 2019-04-24 2019-04-24 光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109916312A (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110968122A (zh) * 2019-11-28 2020-04-07 歌尔股份有限公司 一种线性传送系统的位置获取方法及线性传送系统
CN112284300A (zh) * 2020-10-12 2021-01-29 长春汇通光电技术有限公司 角位移测量方法、装置、系统及计算机可读存储介质
CN112461126A (zh) * 2020-11-05 2021-03-09 广东工业大学 双读数头绝对式光栅尺的测量系统、方法及相关设备
CN112762836A (zh) * 2020-12-23 2021-05-07 长春汇通光电技术有限公司 光栅尺、光栅尺读数方法、装置和计算机存储介质
CN113029001A (zh) * 2021-03-18 2021-06-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种直线位移测量装置和方法
CN113029002A (zh) * 2021-03-18 2021-06-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种直线位移测量装置及方法
CN113124761A (zh) * 2021-03-02 2021-07-16 中铁七局集团第三工程有限公司 一种光栅式地铁隧道管片错台测量尺
CN114279624A (zh) * 2021-12-28 2022-04-05 广东电网有限责任公司 一种指针转换数字远程传输信号的表盘装置
CN115615336A (zh) * 2022-09-27 2023-01-17 河南乐佳电子科技有限公司 一种光栅式自定位测距装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0203010A1 (fr) * 1985-05-24 1986-11-26 Centre Technique Du Bois Et De L'ameublement Dispositif automatique de mesure sans contact des dimensions d'une pièce parallélépipédique
GB8704737D0 (en) * 1987-02-28 1987-04-01 Business & Ind Technical Servi Scanner
JP2001341372A (ja) * 2000-06-06 2001-12-11 Mimaki Engineering Co Ltd インクジェットプロッタ及びその使用方法
CN102607415A (zh) * 2012-03-23 2012-07-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于改善光栅读数头照明系统的聚光元件的设计方法
CN102620658A (zh) * 2012-03-30 2012-08-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 移位测量装置
CN103056726A (zh) * 2012-12-26 2013-04-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双读数头读取具有标识码道的绝对式光栅尺的读数方法
CN103056721A (zh) * 2012-12-26 2013-04-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法
CN103512500A (zh) * 2013-07-26 2014-01-15 广东工业大学 一种高速绝对光栅尺的图像采集电路
CN108627097A (zh) * 2018-05-09 2018-10-09 广东工业大学 一种绝对式光栅尺

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0203010A1 (fr) * 1985-05-24 1986-11-26 Centre Technique Du Bois Et De L'ameublement Dispositif automatique de mesure sans contact des dimensions d'une pièce parallélépipédique
GB8704737D0 (en) * 1987-02-28 1987-04-01 Business & Ind Technical Servi Scanner
JP2001341372A (ja) * 2000-06-06 2001-12-11 Mimaki Engineering Co Ltd インクジェットプロッタ及びその使用方法
CN102607415A (zh) * 2012-03-23 2012-07-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于改善光栅读数头照明系统的聚光元件的设计方法
CN102620658A (zh) * 2012-03-30 2012-08-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 移位测量装置
CN103056726A (zh) * 2012-12-26 2013-04-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双读数头读取具有标识码道的绝对式光栅尺的读数方法
CN103056721A (zh) * 2012-12-26 2013-04-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法
CN103512500A (zh) * 2013-07-26 2014-01-15 广东工业大学 一种高速绝对光栅尺的图像采集电路
CN108627097A (zh) * 2018-05-09 2018-10-09 广东工业大学 一种绝对式光栅尺

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
EHSAN DEHGHAN等: "Brachytherapy seed reconstruction with joint-encoded C-arm single-axis rotation and motion compensation", 《MEDICAL IMAGE ANALYSIS》 *
胡新宇: "长光栅拼接技术的研究", 《重庆工业管理学院学报》 *
胡超迪: "直线光栅测量系统双读数头自校准方法及仿真", 《机电一体化》 *

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110968122A (zh) * 2019-11-28 2020-04-07 歌尔股份有限公司 一种线性传送系统的位置获取方法及线性传送系统
CN110968122B (zh) * 2019-11-28 2023-05-02 歌尔股份有限公司 一种线性传送系统的位置获取方法及线性传送系统
CN112284300A (zh) * 2020-10-12 2021-01-29 长春汇通光电技术有限公司 角位移测量方法、装置、系统及计算机可读存储介质
CN112461126A (zh) * 2020-11-05 2021-03-09 广东工业大学 双读数头绝对式光栅尺的测量系统、方法及相关设备
CN112762836A (zh) * 2020-12-23 2021-05-07 长春汇通光电技术有限公司 光栅尺、光栅尺读数方法、装置和计算机存储介质
CN112762836B (zh) * 2020-12-23 2023-02-28 长春汇通光电技术有限公司 光栅尺、光栅尺读数方法、装置和计算机存储介质
CN113124761A (zh) * 2021-03-02 2021-07-16 中铁七局集团第三工程有限公司 一种光栅式地铁隧道管片错台测量尺
CN113124761B (zh) * 2021-03-02 2022-11-22 中铁七局集团第三工程有限公司 一种光栅式地铁隧道管片错台测量尺
CN113029002B (zh) * 2021-03-18 2021-12-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种直线位移测量装置及方法
CN113029001B (zh) * 2021-03-18 2022-02-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种直线位移测量装置和方法
CN113029002A (zh) * 2021-03-18 2021-06-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种直线位移测量装置及方法
CN113029001A (zh) * 2021-03-18 2021-06-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种直线位移测量装置和方法
CN114279624A (zh) * 2021-12-28 2022-04-05 广东电网有限责任公司 一种指针转换数字远程传输信号的表盘装置
CN115615336A (zh) * 2022-09-27 2023-01-17 河南乐佳电子科技有限公司 一种光栅式自定位测距装置
CN115615336B (zh) * 2022-09-27 2023-11-03 河南乐佳电子科技有限公司 一种光栅式自定位测距装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109916312A (zh) 光栅尺读数头、光栅尺接头及光栅尺位移传感器
CN107339954B (zh) 基于周期不同步正弦条纹加相位编码条纹的三维测量方法
JP4246071B2 (ja) 座標測定機械における案内誤差を求めかつ補正する方法
US20130057650A1 (en) Optical gage and three-dimensional surface profile measurement method
CN102494637B (zh) 三个编码周期的三基色梯形相移三维信息获取方法
CN108827187B (zh) 一种三维轮廓测量系统
KR960015052B1 (ko) 3차원측정기의 오차보정방법
CN101901502B (zh) 光学三维测量中多视点云数据的全局优化配准方法
JP2648181B2 (ja) リニアエンコーダ
CN110260900A (zh) 混合编码器的位置确定方法、装置、设备及可读存储介质
CN107687809A (zh) 基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法及装置
CN106052631A (zh) 一种基于自准直原理测量三维小角度的方法
Li et al. Camera-mirror binocular vision-based method for evaluating the performance of industrial robots
CN102581704A (zh) 用激光干涉仪测量数控机床圆轨迹的装置
CN108375352A (zh) 基于平行度的两平面位置的调整方法、装置及系统
CN108286946A (zh) 传感器位置标定和数据拼接的方法及系统
US5456020A (en) Method and sensor for the determination of the position of a position-control element relative to a reference body
CN106403810B (zh) 一种激光跟踪数字化柔性装配测量系统现场校准方法
CN109916311A (zh) 标尺光栅及光栅尺位移传感器
US20180252520A1 (en) Method for correcting coordinate measurement machine errors
JP4125074B2 (ja) 三次元形状測定方法
CN102494638A (zh) 三个编码周期的三基色三角形相移三维信息获取方法
DeFisher et al. Comparison of contact and non-contact asphere surface metrology devices
JPH04203917A (ja) 三次元測定機の校正方法
JP2006064385A (ja) 形状計測装置および形状計測方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190621

RJ01 Rejection of invention patent application after publication