CN109882427A - 分子泵摆阀组件安装装置 - Google Patents

Abstract

一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于滑动平台上的分子泵和摆阀，滑动平台底部设有滑动轮，分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，导向部件设于导向平台的上表面，当滑动轮在导向平台的上表面滑动时，导向部件用于限制滑动轮的滑动方向。分子泵摆阀和滑动平台的搬运在机台的维护空间进行，因此不存在空间限制，大大提高了分子泵摆阀组件搬运和移动过程中的可实施性和安全性；导向部件可限制分子泵摆阀组件的运动轨迹，避免其在滑动过程中跑偏，保证分子泵摆阀组件能够准确到达安装位置以及从安装位置移出，提高了安装的简便性和效率，还能够保护机台后端管路。

Description

分子泵摆阀组件安装装置

技术领域

本发明涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种分子泵摆阀组件安装装置。

背景技术

分子泵和摆阀是真空系统设备不可或缺的两个关键部件，分子泵用于机台抽真空使用，摆阀用于工艺时控制腔室内设定压力，因此分子泵和摆阀的性能对机台的性能起到至关重要的作用。

我国相应设备与技术发展较晚，大部分设备的研发与生产仍处于相对落后的状态，此外，由于开发人员对机台部件的使用安装与后期维护没有深入的实践了解，随着国内半导体产业的快速发展，机台数量不断提升，设备的故障和后期维护问题频繁出现，其中分子泵与摆阀作为设备发生故障的热点之一，由于体积大、重量大，维护起来十分困难。

目前分子泵和摆阀的安装方式较为简单，且由于市场需求，真空系统设备在不断地向小型化方向发展，给分子泵和摆阀留出的安装与维护空间越来越小，最终导致分子泵和摆阀后期维护时拆卸与安装更为困难。由于设计人员对分子泵和摆阀缺少后期维护意识，前期设计时忽略分子泵与摆阀的频繁拆装问题，目前国内PSS设备已基本达到维护周期，客户端分子泵和摆阀均需要拆装维护。因此，如何实现分子泵和摆阀的快速精准安装与拆卸是十分关键的问题。

图1-3显示现有的分子泵摆阀的安装示意图。如图1所示，安装时，先将摆阀安装法兰101固定在摆阀102上，然后将安装有摆阀安装法兰101的摆阀102安装在分子泵103上，最后将这些组件整体安装在分子泵滑动平台104上。

分子泵103与摆阀102安装完成后，需将整体结构通过人工抬至设备平台上，如图2所示。由于整体结构较重且设备后腔室结构限制，必须先将分子泵滑动平台104的前轮201放在分子泵支撑板203上，然后抬住分子泵103和摆阀102的后端将分子泵滑动平台104的后轮202抬至分子泵支撑板203上。当分子泵滑动平台104的4个轮子都落在分子泵支撑板203上时，将分子泵摆阀整体结构推至腔室底部对应位置，由于重量和空间限制，整个操作过程十分困难且具有一定危险性。

当分子泵摆阀整体结构推至腔室302底部对应位置后，使用螺钉301穿过摆阀安装法兰101，如图3所示。由于腔室底部螺纹孔深度的限制，螺钉301的长度会有相应限制，一般不超过15mm。此外，由于搬运、推动分子泵摆阀整体结构时摆阀安装法兰101上部需要留有一定空间以防碰撞和方便操作，一般上部空间高度不小于10mm。分子泵摆阀整体结构靠旋转螺钉301实现整体的提升与固定，由于以上两个尺寸的限制，使得最初旋入腔室底部的螺钉301的旋入长度一般不超过5mm，便开始承受分子泵摆阀全部重量约148公斤，这种操作极易造成螺纹脱扣，且在固定的整个过程中螺钉301始终承受全部重量，很难保证所有螺钉受力均匀，最终固定密封时也存在密封不严的风险。

总之，现有的分子泵与摆阀的安装方法具有以下缺陷：

1、分子泵、摆阀及其它附属件总计重量约148KG，在分子泵支撑板上滑行时，由于质量较大，因此滑行方向很难控制，一旦方向失控极易造成部件撞击，损害机台零部件，又因推行动作由人工完成，因此严重时会造成人身伤害，具有一定危险性；

2、目前分子泵摆阀整体结构固定过程为通过逐步拧紧固定螺钉将其升起固定，由于分子泵摆阀整体结构安装完成后体积和重量较大，滑动过程中需保证摆阀安装法兰上表面距腔室下表面一定距离，防止撞击，且由于腔室结构限制，相应安装孔深度不能超过一定距离(约为法兰上表面与腔室下表面之间的距离)，因此最初吊装分子泵摆阀时，相应的安装螺钉仅有很短的长度在螺纹孔内，又由于整体重量较大，很容易造成滑扣现象，使分子泵摆阀整体掉落；

3、拆卸分子泵时，将分子泵摆阀整体结构移至分子泵支撑板末端后，将分子泵滑动平台前轮抬出，后轮留在分子泵滑动平台上，因此需要操作人员承受一部分重量，整个结构处于悬空状态，最后搬出时由于结构限制没有充足下手位置，一般2至3个人在狭小空间内完成拆卸，过程困难且危险。

因此，期待开发一种安全且易于操作的分子泵摆阀安装设备。

发明内容

本发明的目的是提供一种分子泵摆阀组件安装装置，以克服现有安装方法安装不便、危险性高的缺陷。

为了实现上述目的，本发明一方面提出了一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将所述分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，其中，所述分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于所述滑动平台上的分子泵和摆阀，且所述滑动平台底部设有滑动轮，其特征在于，所述分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，所述导向部件设于所述导向平台的上表面，当所述滑动轮在所述导向平台的上表面滑动时，所述导向部件用于限制所述滑动轮的滑动方向。

优选地，所述导向部件包括平行设置的两个导向部件主体，每个所述导向部件主体的上表面设有导向凹槽。

优选地，所述导向凹槽的横向剖面呈V字型。

优选地，所述导向部件主体为长方体。

优选地，所述腔室底壁下方设置有分子泵支撑板，所述分子泵支撑板用于在安装过程中支撑所述分子泵摆阀，所述导向平台能够通过可拆卸连接件连接至所述分子泵支撑板，当所述导向平台连接至所述分子泵支撑板时，所述导向平台的上表面与所述分子泵支撑板的上表面齐平。

优选地，所述可拆卸连接件为螺钉。

优选地，所述导向部件的一端延伸至所述分子泵支撑板的上表面。

优选地，所述导向平台的底部设有支撑柱。

优选地，所述分子泵摆阀组件还包括设于所述摆阀上端的摆阀安装法兰，所述摆阀安装法兰用于通过固定连接件连接至所述腔室底壁。

优选地，所述滑动轮通过可调固定块连接至所述滑动平台底部，所述滑动平台上设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有调节螺钉，所述调节螺钉的端部与所述可调固定块的上端面相接触从而能够调节所述可调固定块与所述滑动平台之间的距离。

本发明的有益效果在于：

1.分子泵摆阀和滑动平台的搬运在机台的维护空间进行，因此不存在空间限制，大大提高了分子泵摆阀组件搬运和移动过程中的可实施性和安全性；

2.导向部件可限制分子泵摆阀组件的运动轨迹，避免其在滑动过程中跑偏，保证分子泵摆阀组件能够准确到达安装位置以及从安装位置移出，提高了安装的简便性和效率，还能够保护机台后端管路；

3.滑动平台高度可调，可以实现分子泵和摆阀的精确固定，获得最佳密封效果，且可以避免分子泵和摆阀的整体脱落风险。

附图说明

通过结合附图对本发明示例性实施方式进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显。

图1显示现有的分子泵摆阀在分子泵滑动平台上的安装示意图；

图2显示现有的分子泵摆阀在分子泵支撑板上的初始位置示意图；

图3显示现有的分子泵摆阀在分子泵支撑板上的安装示意图；

图4显示根据示例性实施例的分子泵摆阀组件安装装置的结构示意图；

图5显示根据示例性实施例的分子泵摆阀组件安装装置的导向部件的结构示意图；

图6显示根据示例性实施例的滑动平台的局部示意图；

图7显示根据示例性实施例的滑动平台的局部剖视图；

图8显示根据示例性实施例的滑动平台的安装状态图。

附图标记说明：

101-摆阀安装法兰，102-摆阀，103-分子泵，104-分子泵滑动平台，201-前轮，202-后轮，203-分子泵支撑板，301-螺钉，302-腔室；

401-分子泵摆阀组件，402-滑动平台，403-导向凹槽，404-导向平台，405-导向部件，406-分子泵支撑板，407-滑动轮，408-调节螺钉，409-可调固定块，410-连接块，411-摆阀安装法兰，412-螺钉，413-腔室。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本发明。虽然附图中显示了本发明的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本发明更加透彻和完整，并且能够将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员。

本发明的示例性实施例提供一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将分子泵摆阀组件安装至腔室底壁。如在现有技术中所述，分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于滑动平台上的分子泵和摆阀，滑动平台底部设有滑动轮。通过分子泵摆阀组件安装装置能够方便地将分子泵摆阀组件移动至待安装腔室内的分子泵支撑板上，并最终固定安装于腔室内。

根据示例性实施例的分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，导向部件设于导向平台的上表面，当滑动轮在导向平台的上表面滑动时，导向部件用于限制滑动轮的滑动方向。

使用时，可将导向平台紧贴分子泵支撑板，将设于滑动平台上的分子泵摆阀组件移动至导向平台上，然后沿着导向平台上的导向部件推动滑动平台，带动滑动平台上的分子泵摆阀滑动，直到滑动平台及其上的分子泵摆阀位于分子泵支撑板上。分子泵摆阀组件安装完毕后，可将导向平台收起，待下次使用时再取出安装。

导向平台的设置使得分子泵摆阀组件的搬运在机台的维护空间进行，因此不存在空间限制，大大提高了分子泵摆阀组件搬运和移动过程中的可实施性和安全性。此外，设置导向部件可限制分子泵摆阀组件的运动轨迹，避免其在滑动过程中跑偏，保证分子泵摆阀组件能够准确到达安装位置以及从安装位置移出，提高了安装的简便性和效率，还能够保护机台后端管路。

在一个示例中，导向部件可以包括平行设置的两个导向部件主体，每个导向部件主体的上表面设有导向凹槽。在一个示例中，导向部件主体可以为长方体，即其横向剖面为长方形；或者，导向部件主体的横向剖面可以为梯形等适宜的形状。

由于分子泵摆阀组件的整体重量较大，因此优选地采用上表面设有导向凹槽的一对长方体作为导向部件，一对长方体平行设置，从而两个导向凹槽形成平行轨道。滑动平台底部的两侧各设有两个滑动轮，滑动轮可在导向凹槽内沿着导向凹槽的延伸方向滑动，从而可保证分子泵摆阀组件沿着固定的运动轨迹滑动至分子泵支撑板。

在一个示例中，导向凹槽的横向剖面呈V字型，以更好地与滑动轮配合，避免分子泵摆阀组件在滑动过程中跑偏。

在一个示例中，导向部件可以是平行设置的两个导向凹槽，导向凹槽沿着导向平台的上表面延伸。优选地，导向凹槽的横向剖面呈V字型，以更好地与滑动轮配合，避免分子泵摆阀组件在滑动过程中跑偏。

在一个示例中，腔室底壁下方设置有分子泵支撑板，分子泵支撑板用于在安装过程中支撑分子泵摆阀，导向平台能够通过可拆卸连接件连接至分子泵支撑板，当导向平台连接至分子泵支撑板时，导向平台的上表面与分子泵支撑板的上表面齐平。

为了保证分子泵摆阀组件安装过程中的设备稳定性，通过可拆卸连接件将导向平台连接至分子泵支撑板，并使得导向平台的上表面与分子泵支撑板的上表面齐平，这样分子泵摆阀组件就可以平稳的滑动至分子泵支撑板上。可拆卸连接件例如是螺钉。在安装完毕后，拆卸可拆卸连接件，将导向平台卸下备用。

在一个示例中，导向平台的底部设有支撑柱，起到支撑作用。

在一个示例中，导向部件的一端至分子泵支撑板的上表面。当分子泵摆阀组件滑动到分子泵支撑板上时，可以继续沿着导向部件滑动，从而可以提高安装过程的安全性。

在一个示例中，分子泵摆阀组件还包括设于摆阀上端的摆阀安装法兰，摆阀安装法兰通过固定连接件连接至腔室底壁。具体地，固定连接件可以是螺钉。

在一个示例中，滑动轮通过可调固定块连接至滑动平台底部，滑动平台上设有螺纹孔，螺纹孔内设有调节螺钉，调节螺钉的端部与可调固定块的上端面相接触从而能够调节可调固定块与滑动平台之间的距离。

当分子泵摆阀组件移动到分子泵支撑板的指定位置时，旋转调节螺钉使得可调固定块与滑动平台底部之间的距离增大，从而升高滑动平台的高度，实现分子泵摆阀组件的整体位置升高。此时，摆阀与腔室底部之间的距离缩短，安装螺钉旋入过程中不受分子泵和摆阀的整体重量的影响，可以实现分子泵和摆阀的精确固定，获得最佳密封效果。在该过程中，可以避免分子泵摆阀组件的整体脱落风险。

实施例

图4显示根据示例性实施例的分子泵摆阀组件安装装置的结构示意图，图5显示根据示例性实施例的分子泵摆阀组件安装装置的导向部件的结构示意图。如图4所示，分子泵摆阀组件401包括滑动平台402和固定设置于滑动平台402上的分子泵和摆阀，滑动平台402底部设有滑动轮407。分子泵摆阀组件安装装置用于将分子泵摆阀组件401移动至分子泵支撑板406上，并最终固定安装于腔室内。

分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台404和导向部件405，导向部件405设于导向平台404的上表面，当滑动轮在导向平台404的上表面滑动时，导向部件405用于限制滑动轮的滑动方向。

如图4和5所示，导向部件405包括平行设置的两个导向部件主体，导向部件主体是长方体，每个长方体的上表面设有导向凹槽403，导向凹槽403的横向剖面呈V字型，滑动轮407可在导向凹槽403内滑动，从而可保证分子泵摆阀组件沿着固定的运动轨迹滑动至分子泵支撑板406。

如图4所示，导向平台404通过可拆卸连接件(未显示)连接至分子泵支撑板406，当导向平台404连接至分子泵支撑板406时，导向平台404的上表面与分子泵支撑板406的上表面平齐。此外，导向部件405的一端延伸出导向平台404的上表面，一直延伸到分子泵支撑板406的上表面。

图6和图7分别显示根据示例性实施例的滑动平台的局部示意图和局部剖视图，图8显示根据示例性实施例的滑动平台的安装状态图。如图6-8所示，滑动轮407通过可调固定块409和连接块410连接至滑动平台402的底部，其中，连接块410固定至滑动平台402，可调固定块409通过连接块410连接至滑动平台402。滑动平台402上设有螺纹孔，连接块410也设有对应的螺纹孔，螺纹孔内设有调节螺钉408。调节螺钉408的端部与可调固定块409的上端面相接触，当旋转调节螺钉408时，可调固定块409和连接块410分离，从而可以通过调节可调固定块409与滑动平台402之间的距离，调节滑动平台402的高度。

安装分子泵摆阀组件401时，首先将导向平台404连接至分子泵支撑板406；然后，将导向部件405连接至分子泵支撑板406的上表面；接下来，将分子泵摆阀组件401置于导向平台404上；然后，推动滑动平台404，使其沿导向部件405的导向凹槽403滑动，直到其位于分子泵支撑板406上。

当分子泵摆阀组件401移动到分子泵支撑板406的指定位置时，旋转螺钉408使得可调固定块409与滑动平台402底部之间的距离A增大，从而升高滑动平台的高度，实现分子泵摆阀组件401的整体位置升高。此时，摆阀顶部的摆阀安装法兰411与腔室413底部之间的距离B因距离A的增大而缩短，因此螺钉412旋入过程中基本不受分子泵和摆阀的整体重量的影响，可以实现分子泵和摆阀的精确固定，获得最佳密封效果。在该过程中，可以避免分子泵和摆阀的整体脱落风险，提高了安装性。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (10)

1.一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将所述分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，其中，所述分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于所述滑动平台上的分子泵和摆阀，且所述滑动平台底部设有滑动轮，其特征在于，所述分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，所述导向部件设于所述导向平台的上表面，当所述滑动轮在所述导向平台的上表面滑动时，所述导向部件用于限制所述滑动轮的滑动方向。

2.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向部件包括平行设置的两个导向部件主体，每个所述导向部件主体的上表面设有导向凹槽。

3.根据权利要求2所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向凹槽的横向剖面呈V字型。

4.根据权利要求2所述的分子泵摆阀安装装置，其特征在于，所述导向部件主体为长方体。

5.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述腔室底壁下方设置有分子泵支撑板，所述分子泵支撑板用于在安装过程中支撑所述分子泵摆阀，所述导向平台能够通过可拆卸连接件连接至所述分子泵支撑板，当所述导向平台连接至所述分子泵支撑板时，所述导向平台的上表面与所述分子泵支撑板的上表面齐平。

6.根据权利要求5所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述可拆卸连接件为螺钉。

7.根据权利要求5所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向部件的一端延伸至所述分子泵支撑板的上表面。

8.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向平台的底部设有支撑柱。

9.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述分子泵摆阀组件还包括设于所述摆阀上端的摆阀安装法兰，所述摆阀安装法兰用于通过固定连接件连接至所述腔室底壁。

10.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述滑动轮通过可调固定块连接至所述滑动平台底部，所述滑动平台上设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有调节螺钉，所述调节螺钉的端部与所述可调固定块的上端面相接触从而能够调节所述可调固定块与所述滑动平台之间的距离。