CN109856916B - 防撞装置、工件台及曝光装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。

Description

防撞装置、工件台及曝光装置

技术领域

本发明涉及半导体光刻设备领域，尤其涉及一种防撞装置、工件台及曝光装置。

背景技术

光刻装置中的曝光台在运行时存在发生碰撞的可能性，光刻机内的各精密部件(如物镜、对准装置、测量部件等)可能被损毁，因此为曝光台设置防撞装置至关重要。现有的防撞装置应用最多的为一维的油压缓冲器、记忆合金防撞条、由多根记忆合金组成的防撞部件等，其中一维的油压缓冲器、记忆合金防撞条存在只能防撞一个方向的碰撞，对斜撞等碰撞无能为力，由多根记忆合金组成的防撞部件虽可对任意方向的碰撞实现防撞，但存在占用空间大、自身重量大的不足。

本发明提出一种防撞装置，占用空间小、重量轻，并可实现对任意方向碰撞的防撞。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防撞装置、工件台及曝光装置，以解决现有技术中防撞装置占用空间大、重量大且防撞能力低等问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种防撞装置，安装在工件台的边缘，所述防撞装置包括滚轮和转轴组件，所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动。

可选的，所述转轴组件包括转轴主体和转轴支撑件，述转轴支撑件设置于所述转轴主体两端，所述滚轮套接在所述转轴主体外；

所述滚轮能够绕所述转轴主体转动；或者，所述转轴支撑件能够在所述工件台内轴向转动。

可选的，所述转轴主体和所述转轴支撑件中一个呈刚性，另一个呈柔性。

可选的，所述转轴支撑件与所述转轴主体之间、所述转轴支撑件与所述工件台之间以及所述转轴主体与所述滚轮之间均可设置阻尼结构。

可选的，所述滚轮包括内轮和套接在所述内轮外的外轮，所述内轮套接在所述转轴主体外，所述外轮与内轮之间的轮辐采用蜂窝状结构或柔性弯曲结构。

可选的，所述滚轮采用缓冲吸能材料制成。

可选的，所述缓冲吸能材料包括吸能记忆合金、复合聚酯弹性体或磁流体。

本发明还提供了一种工件台，所述工件台的边缘设置有至少一个所述防撞装置。

可选的，所述工件台的边缘设置有防撞条。

可选的，所述工件台形状包括方形或圆形。

可选的，当所述工件台是方形时，所述工件台的四角上设置有防撞装置，所述工件台的侧面设置有防撞条。

本发明还提供了一种曝光装置，包括所述工件台。

在本发明提供的一种防撞装置、工件台及曝光装置中，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。

附图说明

图1-图2为实施例提供的防撞装置的示意图；

图3为实施例提供的工件台失控时发生碰撞的示意图；

图4为实施例提供的所述防撞装置应用在双工作台的示意图；

图5为实施例提供的滚轮的一示意图；

图6为实施例提供的滚轮的又一示意图；

图7为实施例提供的在工件台边缘设置防撞条的示意图；

其中，1-工件台，2-防撞装置，21-滚轮，211-外轮，212-内轮，22-转轴主体，23-转轴支撑件，3-防撞条。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

实施例一

参阅图1-图2，其为本实施例提供的防撞装置的示意图，所述防撞装置2安装在工件台1的边缘，所述防撞装置2包括滚轮21和转轴组件，所述滚轮21套接在所述转轴组件外，所述滚轮21能够相对所述工件台1转动。所述防撞装置2安装在工件台1的边缘，可以节省工件台1内部的大量空间；所述滚轮21套接在所述转轴组件外，当工件台1失控时，由于防撞装置2安装在工件台1的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置2，防撞装置2中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置2占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。

所述转轴组件包括转轴主体22和转轴支撑件23，所述转轴支撑件23设置于所述转轴主体22的两端，以将所述转轴主体22与所述工件台1连接，所述滚轮21套接在所述转轴主体22上，当所述防撞装置受到一外力例如是撞击时，所述滚轮21能够绕所述转轴主体22转动；或者，所述转轴支撑件23能够在工件台1内轴向转动。

如图1所示，所述工件台1的边缘可以依据工件台1的形状安装至少1个防撞装置2，也可以安装6个、8个等，所述工件台1的形状可以是圆形、方形或其他的形状，所述防撞装置的数量可以根据工件台1的形状进行调整，例如，所述工件台1呈圆形，所述防撞装置可以是3个；所述工件台1呈方形，所述防撞装置可以是4个，不限于此。本实施例中，所述工件台1为方形，在工件台1的四个角分别安装一个防撞装置2，当然，可以理解的是，所述防撞装置2也可以安装在工件台1边缘的任意位置，例如是工件台1的四条边上。

如图2所示，所述工件台1具有一定的厚度，工件台1每个角的上下表面均设置有安装孔，滚轮21套接在转轴主体22外，转轴支撑件23设置于转轴主体22的两端，并且伸进工件台1上的安装孔中，以将所述转轴主体22与所述工件台1连接。所述转轴主体22和转轴支撑件23中的其中一个呈柔性，一个呈刚性。本实施例中，所述转轴主体22呈刚性，所述转轴支撑件23呈柔性，所述滚轮21套接在所述转轴主体22上，所述转轴支撑件23固定在安装孔中。如图3所示，当所述工件台1失控时，工件台1发生碰撞时，由于工件台1的边缘安装有防撞装置2，防撞装置的滚轮21会绕转轴主体22转动，保证了碰撞能量被滚轮21吸收，避免损伤工件台1内的精密部件，也可以防止工件台1的侧壁被刮伤。并且，在发生碰撞时，由于转轴支撑件23是柔性的，在发生碰撞时可以通过形变来进行缓冲，进一步提高了防撞装置2的缓冲吸能作用，减少碰撞对工件台1的影响。进一步，可以在所述转轴主体22与所述滚轮21之间设置阻尼结构，也可以在所述转轴支撑件23与工件台的安装孔之间设置阻尼结构，或者在所述转轴主体22和所述转轴支撑件23之间设置阻尼结构，例如：所述阻尼结构为轴用弹簧挡圈等，所述轴用弹簧挡圈套接在刚性的转轴主体22上，滚轮21套接在轴用弹簧挡圈上，以避免滚轮21自激振动，对工件台1的运动造成干扰。

所述防撞装置2在多工作台的场景下同样适用，请参阅图4，在双工作台的情况下，在每个工作台的边缘设置防撞装置2，无论哪一个工作台发生失控时，或者两个工作台同时失控时，发生碰撞的部件始终是滚轮21，这就保证了碰撞能量被滚轮21吸收，避免损伤工件台内的精密部件。

接下来，请参阅图5，所述滚轮21包括外轮211和内轮212，所述外轮211套接在所述内轮212外，所述内轮212套接在转轴主体22上，所述外轮211和内轮212之间设置有蜂窝状结构的轮辐，蜂窝状结构的轮辐利用仿生学原理，将六边形结构互相支撑形成蜂窝状，各轮辐彼此联系，构成缓冲吸能结构，进一步提升了防撞装置2的减振防撞能力；当然，所述外轮211和内轮212之间的轮辐还可以采用柔性弯曲结构，具体如图6所示。当工件台1失控发生碰撞时，由于所述滚轮2的轮辐采用了蜂窝状结构或柔性弯曲结构，滚轮2可以发生形变以吸收碰撞能量，以减少碰撞对工件台1的影响。所述滚轮2可以采用缓冲吸能材料制成，例如是吸能记忆合金、复合聚酯弹性体或磁流体等材料，可以理解的是，转轴主体支撑部23也可以由缓冲吸能材料制成。

本实施例提供的工件台1，还可以所述在工件台1的边缘安装防撞条，如图7所示，可以在所述工件台1的边缘设置防撞条，当所述工件台1呈方形时，在所述工件台1的四角均设置了一个防撞装置1，还在所述工件台1的四个侧面设置了防撞条，避免发生碰撞时损伤工件台1的侧壁，当然，所述防撞条也可以采用缓冲吸能材料制成。

本实施例还提供了一种曝光装置，包括以上所述的工件台1，所述工件台1的数量可以是1个或者多个。

实施例二

请参阅图2，与实施例一不同的是，本实施例中所述转轴主体22是柔性的，所述转轴支撑件23是刚性的，所述滚轮21套接在柔性的转轴主体22上并且固定，转轴支撑件23设置于转轴主体22的两端，并且伸进工件台1上的安装孔中，以将所述转轴主体22与所述工件台1连接。

所述滚轮21与所述转轴主体22固定了，所述转轴支撑件23伸进安装孔中，当所述工件台1失控时，工件台1发生碰撞时，由于工件台1的边缘安装有防撞装置2，滚轮21被撞击后会带动转轴支撑件23在安装孔内转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台1内的精密部件，也可以防止工件台1的侧壁被刮伤。并且，在发生碰撞时，由于转轴主体22是柔性的，在发生碰撞时转轴主体22可以发生形变来进行缓冲，进一步提高了防撞装置2的缓冲吸能作用，减少碰撞对工件台1的影响。此外，还可以在所述转轴支撑件23与所述工件台之间设置阻尼结构，或者同时在所述转轴主体22和转轴支撑件23之间设置阻尼结构，或者在所述转轴主体22和滚轮之间设置阻尼结构，例如：所述阻尼结构为轴用弹簧挡圈等，具体的，可以使用所述轴用弹簧挡圈套接在刚性的转轴支撑件23上，再将转轴支撑件23伸进安装孔中，可以避免滚轮21自激振动，对工件台1的运动造成干扰。

综上，在本发明实施例提供的一种防撞装置、工件台及曝光装置中，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种防撞装置，安装在工件台的边缘，其特征在于，所述防撞装置包括滚轮和转轴组件，所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动；

所述转轴组件包括转轴主体和转轴支撑件，所述转轴支撑件设置于所述转轴主体两端，所述滚轮套接在所述转轴主体外；

所述转轴主体和所述转轴支撑件中一个呈刚性，另一个呈柔性，所述滚轮能够绕所述转轴主体转动；或者，所述转轴支撑件能够在所述工件台内轴向转动。

2.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述转轴支撑件与所述转轴主体之间、所述转轴支撑件与所述工件台之间以及所述转轴主体与所述滚轮之间均设置有阻尼结构。

3.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述滚轮包括内轮和套接在所述内轮外的外轮，所述内轮套接在所述转轴主体外，所述外轮与内轮之间的轮辐采用蜂窝状结构或柔性弯曲结构。

4.如权利要求3所述的防撞装置，其特征在于，所述滚轮采用缓冲吸能材料制成。

5.如权利要求4所述的防撞装置，其特征在于，所述缓冲吸能材料包括吸能记忆合金、复合聚酯弹性体或磁流体。

6.一种工件台，其特征在于，所述工件台的边缘设置有至少一个如权利要求1-5中任一项所述的防撞装置。

7.如权利要求6所述的工件台，其特征在于，所述工件台的边缘设置有防撞条。

8.如权利要求7所述的工件台，其特征在于，所述工件台形状包括方形或圆形。

9.如权利要求8所述的工件台，其特征在于，当所述工件台是方形时，所述工件台的四角上设置有防撞装置，所述工件台的侧面设置有防撞条。

10.一种曝光装置，其特征在于，包括如权利要求6-9中任一项所述的工件台。

Images