CN109817542B - 一种晶片湿法处理设备送风结构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种晶片湿法处理设备送风结构，包括进风口、上箱体和下箱体，所述进风口设置于下箱体一端，所述上箱体扣置于所述下箱体上，在所述上箱体下侧设有上箱体斜底板，且所述上箱体斜底板与所述下箱体一起形成一个闭合的楔形通风空间，所述下箱体下侧设有过滤纸板，空气由所述进风口进入，并经过所述楔形通风空间后由所述过滤纸板吹出。本发明采用上箱体和下箱体结构，且上箱体斜底板和下箱体一起围合成一个可调的楔形通风空间，保证过滤纸板均匀出风。

Description

一种晶片湿法处理设备送风结构
技术领域
本发明涉及半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种晶片湿法处理设备送风结构。
背景技术
半导体行业中，晶片湿法处理设备都需要保证自身的洁净度，即不可以增加待加工晶圆表面的微颗粒的数量，所以FFU(风机过滤机组)是必须要使用的部件。然而如图5所示，现有的FFU结构都是将风机安装于FFU箱体上部，再将FFU箱体压在过滤纸板上，轴流风机通过将空气吹入箱体再经过滤纸对空气进行净化，此种结构空间高度占用太多，使用不便。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶片湿法处理设备送风结构，采用上箱体和下箱体结构，且上箱体斜底板和下箱体一起围合成一个可调的楔形通风空间，保证过滤纸板均匀出风。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种晶片湿法处理设备送风结构，包括进风口、上箱体和下箱体，所述进风口设置于下箱体一端，所述上箱体扣置于所述下箱体上，在所述上箱体下侧设有上箱体斜底板，且所述上箱体斜底板与所述下箱体一起形成一个闭合的楔形通风空间，所述下箱体下侧设有过滤纸板，空气由所述进风口进入，并经过所述楔形通风空间后由所述过滤纸板吹出。
所述下箱体包括侧支板、后支板和过滤纸板，且所述侧支板、后支板、过滤纸板和所述上箱体斜底板一起围合成所述楔形通风空间。
所示上箱体包括上箱体盖板、上箱体侧板、上箱体后板和上箱体斜底板，所述上箱体侧板呈三角形，且两个上箱体侧板分设于上箱体盖板和上箱体斜底板之间两侧，上箱体后板设置于后端。
所述上箱体盖板前端形成一个伸出的支板，且当上箱体扣置于下箱体上时，所述支板扣置于所述进风口上。
所述进风口内设有角度可调的进风挡板。
所述进风口内沿着进风方向设有多个平行的导流板。
所述楔形通风空间体积通过设置不同长度的上箱体和下箱体改变调整。
本发明的优点与积极效果为：
1、本发明采用上箱体和下箱体结构，且上箱体斜底板和下箱体一起围合成一个楔形通风空间，所述楔形通风空间可通过设置不同长度的上箱体和下箱体改变调整，保证过滤纸板均匀出风。
2、本发明在进风口内设有进风挡板，所述进风挡板可通过调整角度来调整风量大小。
3、本发明在进风口内沿着进风方向设有多个平行的导流板以减少所述楔形通风空间内的湍流，改善气流平稳性。
附图说明
图1为本发明的结构示意图，
图2为图1中本发明的剖视图，
图3为图2中本发明的左视图，
图4为图1中上箱体的结构示意图，
图5为现有技术中FFU结构示意图。
其中，1为上箱体，2为侧支板，3为过滤纸板，4为进风口，5为进风挡板，6为导流板，7为后支板，8为风机，9为箱体，10为滤纸板，11为上箱体侧板，12为上箱体斜底板，13为上箱体盖板，14为上箱体后板。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1～4所示，本发明包括进风口4、上箱体1和下箱体，所述进风口4设置于下箱体一端，所述上箱体1扣置于所述下箱体上，在所述上箱体1下侧设有上箱体斜底板12，且所述上箱体斜底板12与所述下箱体一起形成一个闭合的楔形通风空间，所述下箱体下侧设有过滤纸板3，空气由所述进风口4进入，并经过所述楔形通风空间后由所述过滤纸板3吹出。所述上箱体1和下箱体固连在一起，所述楔形通风空间可通过设置不同长度的上箱体1和下箱体改变调整，目的要保证过滤纸板3均匀出风。
如图1～2所示，所述下箱体包括侧支板2、后支板7和过滤纸板3，所述后支板7设置于所述过滤纸板3上表面远离所述进风口4一端，所述侧支板2设置于所述过滤纸板3上表面两侧，所述侧支板2、后支板7、过滤纸板3和所述上箱体斜底板12一起围合成所述楔形通风空间。
如图4所示，所示上箱体1包括上箱体盖板13、上箱体侧板11、上箱体后板14和上箱体斜底板12，所述上箱体侧板11呈三角形，且两个上箱体侧板11分设于上箱体盖板13和上箱体斜底板12之间两侧，上箱体后板14设置于后端，所述上箱体盖板13前端形成一个伸出的支板，且当上箱体1扣置于下箱体上时，所述支板扣置于所述进风口4上。
如图1～3所示，所述进风口4内设有进风挡板5，所述进风挡板5可通过调整角度来调整风量大小，本实施例中，所述进风挡板5为一个蝶阀。
如图1～3所示，所述进风口4内沿着进风方向设有多个平行的导流板6以减少所述楔形通风空间内的湍流，改善气流平稳性。
本发明的工作原理为：
如图5所示，现有的FFU结构都是将风机8安装于FFU的箱体9上部，再将FFU的箱体9压在滤纸板10上。本发明采用上箱体1和下箱体结构，其中上箱体1扣置于下箱体上，且上箱体斜底板12和下箱体的侧支板2、后支板7和过滤纸板3一起围合成一个楔形通风空间，且所述楔形通风空间可通过设置不同长度的上箱体1和下箱体改变调整，保证过滤纸板3均匀出风，另外所述进风口4内设有进风挡板5调整风量大小，所述进风口4内还设有多个平行的导流板6以减少所述楔形通风空间内的湍流，改善气流平稳性。

Claims (2)

1.一种晶片湿法处理设备送风结构，其特征在于：包括进风口(4)、上箱体(1)和下箱体，所述进风口(4)设置于下箱体一端，所述上箱体(1)扣置于所述下箱体上，在所述上箱体(1)下侧设有上箱体斜底板(12)，且所述上箱体斜底板(12)与所述下箱体一起形成一个闭合的楔形通风空间，所述下箱体下侧设有过滤纸板(3)，空气由所述进风口(4)进入，并经过所述楔形通风空间后由所述过滤纸板(3)吹出；
所述下箱体包括侧支板(2)、后支板(7)和过滤纸板(3)，且所述侧支板(2)、后支板(7)、过滤纸板(3)和所述上箱体斜底板(12)一起围合成所述楔形通风空间；
所述进风口(4)内沿着进风方向设有多个平行的导流板(6)；
所述楔形通风空间体积通过设置不同长度的上箱体(1)和下箱体改变调整；
所述上箱体(1)包括上箱体盖板(13)、上箱体侧板(11)、上箱体后板(14)和上箱体斜底板(12)，所述上箱体侧板(11)呈三角形，且两个上箱体侧板(11)分设于上箱体盖板(13)和上箱体斜底板(12)之间两侧，上箱体后板(14)设置于后端；
所述上箱体盖板(13)前端形成一个伸出的支板，且当上箱体(1)扣置于下箱体上时，所述支板扣置于所述进风口(4)上。
2.根据权利要求1所述的晶片湿法处理设备送风结构，其特征在于：所述进风口(4)内设有角度可调的进风挡板(5)。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201700122U (zh) * 2010-02-03 2011-01-05 郏松筠 一种带导风罩的散热装置
CN201741682U (zh) * 2010-08-11 2011-02-09 阿滨仪器(天津)有限公司 散热导风装置
CN102347259A (zh) * 2011-10-10 2012-02-08 北京七星华创电子股份有限公司 超洁净微环境装置
CN105321839A (zh) * 2014-07-08 2016-02-10 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种半导体设备用滤风整流装置
CN205429112U (zh) * 2016-03-01 2016-08-03 上海航盛实业有限公司 一种混合动力汽车中锂电池的装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6613864B2 (ja) * 2015-12-14 2019-12-04 Ｔｄｋ株式会社 ミニエンバイロメント装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201700122U (zh) * 2010-02-03 2011-01-05 郏松筠 一种带导风罩的散热装置
CN201741682U (zh) * 2010-08-11 2011-02-09 阿滨仪器(天津)有限公司 散热导风装置
CN102347259A (zh) * 2011-10-10 2012-02-08 北京七星华创电子股份有限公司 超洁净微环境装置
CN105321839A (zh) * 2014-07-08 2016-02-10 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种半导体设备用滤风整流装置
CN205429112U (zh) * 2016-03-01 2016-08-03 上海航盛实业有限公司 一种混合动力汽车中锂电池的装置

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