CN109755183B - 晶圆容器及固持晶圆的方法 - Google Patents

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Abstract

一种晶圆容器，包括框架及至少一对支架。所述框架具有相对的侧壁。所述至少一对支架分别设置在所述框架的所述侧壁上，其中所述至少一对支架被配置成提供至少三个支撑点来支撑至少一个晶圆。还提供一种固持至少一个晶圆的方法。

Description

晶圆容器及固持晶圆的方法
技术领域
本发明实施例涉及一种晶圆容器及固持晶圆的方法。
背景技术
机器人技术(robotics)常使用在半导体制造工业中，以在整个制作区域中传输半导体晶圆(也称为衬底)。传统晶圆盒(wafer cassette)通常用于保持常被统称为批(lot)的一组晶圆。在整个制造工艺中各别半导体晶圆必须被多次装载到晶圆盒中或从晶圆盒中卸载。半导体集成电路制作设施(“晶圆厂(fabs)”)是自动化的。半导体晶圆在各种加工工具之间的移动是通过自动材料处理系统(automated material handling system，AMHS)来实现。
发明内容
本发明实施例提供一种晶圆容器，包括框架及至少一对支架。所述框架具有相对的侧壁。所述至少一对支架分别设置在所述框架的所述侧壁上，其中所述至少一对支架被配置成提供至少三个支撑点来支撑至少一个晶圆。
本发明实施例提供一种晶圆容器，包括框架、第一支架以及第二支架。第一支架配置在所述框架的一个侧壁上。第二支架配置在所述框架的另一侧壁上且在第一方向上与所述第一支架隔开一距离。所述第一支架及所述第二支架能够固持至少一个晶圆。所述第一支架与所述晶圆之间的接触区域和所述第二支架与所述晶圆之间的接触区域在第二方向上不连续。
本发明实施例提供一种固持至少一个晶圆的方法，其步骤如下。提供晶圆容器。所述晶圆容器包括框架及至少一对支架。所述框架具有相对的侧壁。所述至少一对支架分别设置在所述框架的所述侧壁上。将所述晶圆插入所述晶圆容器中，使得所述一对支架被配置成提供至少三个支撑点来支撑所述晶圆。
附图说明
结合附图阅读以下详细说明，会最好地理解本发明的各个方面。应注意，根据本行业中的标准惯例，各种特征并非按比例绘制。事实上，为论述清晰起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。
图1是根据本发明一些实施例的晶圆容器的示意图。
图2是图1所示晶圆容器的一对支架的俯视图。
图3A至图3C是根据本发明各种实施例的一对支架的示意图。
图4A至图4D是根据本发明各种实施例的支架的一部分的示意图。
图5A至图5B是根据本发明一些其他实施例的支架的一部分的示意图。
具体实施方式
以下揭露内容提供用于实施所提供的目标的不同特征的许多不同实施例或实例。以下所描述的构件及配置的具体实例是为了以简化的方式传达本揭露为目的。当然，这些仅仅为实例而非用以限制。举例来说，在以下描述中，在第二特征上方或在第二特征上形成第一特征可包括第一特征与第二特征形成为直接接触的实施例，且也可包括第一特征与第二特征之间可形成有额外特征，使得第一特征与第二特征可不直接接触的实施例。此外，本揭露在各种实例中可重复使用参考编号及/或字母。参考编号的重复使用是为了简单及清楚起见，且并不表示所欲讨论的各个实施例及/或配置本身之间的关系。
此外，为易于说明，本文中可能使用例如“在...下方(beneath)”、“在...下面(below)”、“下部的(lower)”、“上方(above)”、“上部的(upper)”等空间相对术语来阐述图中所示的一个元件或特征与另一(些)元件或特征的关系。所述空间相对术语意欲涵盖组件在使用或操作时的不同定向。设备可被另外定向(旋转90度或在其他定向)，而本文所用的空间相对术语相应地作出解释。
图1是根据本发明一些实施例的晶圆容器的示意图。图2是图1所示晶圆容器的一对支架的俯视图。
参照图1，根据本发明的一些实施例，晶圆容器10被装配到盒400中。盒400可用于运输至少一个晶圆300。在盒400中可存在用于固定晶圆容器10或移动晶圆容器10的一些特征(图中未示出)，例如滑动件(slide)。在本发明的一些实施例中，由于盒400的门410在门410闭合时在门410的边缘处留有空气间隙，因此，盒400可能并不完全密封。如此一来，在一些实施例中，内部空间IS可与外部空间OS进行流体连通。
如图1中所示，晶圆容器10包括至少一对支架100及框架200。在本发明的一些实施例中，所述一对支架100及框架200是由例如塑料、障壁材料(barrier material)、碳填充聚碳酸酯(Carbon-filled PC)或其组合所制成。在一个或多个实施例中，所述一对支架100及框架200可由相同材料或不同材料制成。在本发明的一些实施例中，所述一对支架100能够固持晶圆300。框架200承载所述一对支架100且能够使所述一对支架100进出。尽管图1中所示晶圆容器10是前开式统一标准盒(front opening unified pod，FOUP)，然而其不应限制本发明的各种实施例。在本发明的一些替代实施例中，晶圆容器10可包括前开式运输盒(front opening shipping box，FOSB)、晶圆标准化机械界面(wafer standardizedmechanical interface，SMIF)盒、分选机(sorter)或其组合。在本发明的一些其他实施例中，晶圆容器10可为晶圆盒(wafer cassette)。
如图1中所示，在本发明的一些实施例中，框架200具有彼此相对的至少一对侧壁210a与210b，且所述一对支架100分别设置在框架200的侧壁210a及210b上。即，所述一对支架100分别固定于框架200的侧壁210a及210b。所述一对支架100可实质上水平地对齐，使得晶圆300实质上水平。在本发明的一些实施例中，在框架200的侧壁210a与210b上可分别存在多对支架100。所述多对支架100分别固定于框架200的侧壁210a及210b且垂直地间隔开以界定用于容纳晶圆300的至少一个槽。即，在本发明的一些实施例中，Z方向上的两个邻近的支架100之间的间隙102大于晶圆300的厚度300T，使得晶圆300可轻易地被容纳到晶圆容器10中。通过配置所述多对支架100，支架100支撑晶圆300的边缘，且晶圆300可临时存储在晶圆容器10中。在本发明的一些实施例中，所述一对支架100在Z方向上交替地排列。
如图1及图2中所示，在本发明的一些实施例中，所述一对支架100包括彼此相对的第一支架110与第二支架120。如图2中所示，第一支架110与第二支架120在X方向(例如，第一方向)上隔开距离D。距离D可小于晶圆300的直径300d。在本发明的一些实施例中，距离D可介于180毫米(mm)至300mm范围内。第一支架110与第二支架120可实质上水平地对齐，使得晶圆300实质上水平。
详细来说，第一支架110包括第一连接部分112及多个第一梳状部分114。所述多个第一梳状部分114连接到第一连接部分112以形成第一梳状结构。第一连接部分112沿Y方向(例如，第二方向)延伸且固定在侧壁210a上。在一些实施例中，第一连接部分112在Y方向上的长度L大于晶圆300的直径300d。在本发明的一些实施例中，第一连接部分112在Y方向上的长度L可介于300mm至355mm范围内。所述多个第一梳状部分114沿Y方向排列。在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分114中的一个第一梳状部分114可以是在与侧壁210a垂直的X方向上延伸的连续结构。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114中的所有第一梳状部分114可以是在与侧壁210a垂直的X方向上延伸的连续结构。如图2中所示，所述多个第一梳状部分114中的一个第一梳状部分114具有长度114L及宽度114W。在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分114中的一个第一梳状部分114的长度114L可介于63mm至123mm范围内；所述多个第一梳状部分114中的一个第一梳状部分114的宽度114W可介于1mm至150mm范围内。在本发明的一些实施例中，X方向、Y方向以及Z方向彼此实质上垂直。在本发明的一些实施例中，第一梳状部分114中的一个第一梳状部分114的长度114L与第一梳状部分114中的另一个第一梳状部分114的长度114L彼此相同或彼此不同；第一梳状部分114中的一个第一梳状部分114的宽度114W与第一梳状部分114中的另一个第一梳状部分114的宽度114W彼此相同或彼此不同。
在本发明的一些实施例中，第二支架120包括第二连接部分122及多个第二梳状部分124。所述多个第二梳状部分124连接到第二连接部分122以形成第二梳状结构。第二连接部分122沿Y方向延伸且固定在侧壁210b上。所述多个第二梳状部分124沿Y方向排列。在本发明的一些实施例中，所述多个第二梳状部分124中的一个可以是在与侧壁210b垂直的X方向上延伸的连续结构。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第二梳状部分124中的所有第二梳状部分124可以是在与侧壁210b垂直的X方向上延伸的连续结构。如图2中所示，所述多个第二梳状部分124中的一个第二梳状部分124具有长度124L及宽度124W。在本发明的一些实施例中，第二梳状部分124中的一个第二梳状部分124的长度124L与第二梳状部分124中的另一个第二梳状部分124的长度124L彼此相同或彼此不同；第二梳状部分124中的一个第二梳状部分124的宽度124W与第二梳状部分124中的另一个第二梳状部分124的宽度124W彼此相同或彼此不同。在本发明的一些实施例中，第二梳状部分124中的一个第二梳状部分124的长度124L与第一梳状部分114中的另一个第一梳状部分114的长度114L彼此相同或彼此不同；第二梳状部分124中的一个第二梳状部分124的宽度124W与第一梳状部分114中的另一个第一梳状部分114的宽度114W相同。
尽管图2中所示所述多个第一梳状部分114与所述多个第二梳状部分124的总和为五个梳状部分，然而其不应限制本发明的各种实施例。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114与所述多个第二梳状部分124的总和可以是至少三个梳状部分，所述至少三个梳状部分可形成三角形以固持晶圆300。如图2中所示，所述一对支架100被配置成提供至少三个支撑点SP1、SP2及SP3来支撑晶圆300。即，晶圆300在所述三个支撑点SP1、SP2及SP3处接触支架100(即，第一支架110及第二支架120)。由所述三个支撑点SP1、SP2及SP3所形成的三角形的形心(centroid)C与晶圆300的中心300C交叠。因此，晶圆300可通过所述三个支撑点SP1、SP2及SP3来进行平衡。尽管图2中所示支撑点SP1、SP2及SP3的数目为三个，然而其不应限制本发明的各种实施例。在本发明的一些替代实施例中，支撑点(晶圆300直接接触支架100之处)的数目大于三个，例如为4个点、5个点、6个点或更多个点。
在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分及所述多个第二梳状部分以完全交错、部分交错、完全对齐或部分对齐的配置进行排列。以下段落中将详细阐述所述配置。
应注意，在本发明的一些实施例中，晶圆300与支架100(即，第一支架110及第二支架120)之间的接触区域可显著减小。因此，颗粒及/或湿气难以附着到支架100。另一方面，具有所述多个第一梳状部分114及所述多个第二梳状部分124的支架100可通过使用气体(例如，氮气(N2))吹扫而可轻易地清洁。如此一来，在晶圆边缘处所形成的缺陷可显著减少。因此可提升在晶圆之上所形成的半导体装置的可靠性。
图3A至图3C是根据本发明各种实施例的一对支架的示意图。
参照图3A，所述一对支架100a包括彼此相对的第一支架110a与第二支架120a。第一支架110a包括第一连接部分112a及连接到第一连接部分112a的多个第一梳状部分114a。第二支架120a包括第二连接部分122a及连接到第二连接部分122a的多个第二梳状部分124a。如图3A中所示，所述多个第一梳状部分114a以相等的间距沿Y方向排列。在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分114a之间的间距S介于1mm至240mm范围内。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114a以不相等的间距沿Y方向排列。如图3A中所示，在本发明的一些替代实施例中，所述多个第二梳状部分124a以相等的间距沿Y方向排列。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第二梳状部分124a以不相等的间距沿Y方向排列。
在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分114a中的至少一者被排列成对应于所述多个第二梳状部分124a中的至少一者。即，所述多个第一梳状部分114a中的一个第一梳状部分114a在YZ平面上的投影可与所述多个第二梳状部分124a中的一个第二梳状部分124a在YZ平面上的另一投影交叠。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114a中的所有第一梳状部分114a在YZ平面上的投影可与所述多个第二梳状部分124a中的所有第二梳状部分124a在YZ平面上的另一投影交叠。在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分114a的数目与所述多个第二梳状部分124a的数目可相同。
应注意，如图3A中所示，晶圆300直接接触及/或实体接触所述多个第一梳状部分114a以形成第一接触区118a、118b及118c。在本发明的一些实施例中，第一接触区118a、118b及118c在Y方向(例如，第二方向)上不连续。即，第一接触区118a、118b及118c彼此间隔开距离S且不彼此连接。相似地，晶圆300直接接触及/或实体接触所述多个第二梳状部分124a以形成第二接触区128a、128b及128c。在本发明的一些实施例中，晶圆300与所述多个第二梳状部分124a之间的第二接触区128a、128b及128c在Y方向上不连续。换句话说，第一接触区118a、118b及118c及/或第二接触区128a、128b及128c的区域小于所述条形区域及/或连续区域。因此，晶圆300与支架100a之间的接触区域可显著减小。
参照图3B，所述一对支架100b包括彼此相对的第一支架110b与第二支架120b。第一支架110b包括第一连接部分112b及连接到第一连接部分112b的多个第一梳状部分114b。第二支架120b包括第二连接部分122b及连接到第二连接部分122b的多个第二梳状部分124b。如图3B中所示，所述多个第一梳状部分114b与所述多个第二梳状部分124b交错排列。具体来说，所述多个第一梳状部分114b中的一个第一梳状部分114b在YZ平面上的投影可与邻近的两个第二梳状部分124b之间的一个空间在YZ平面上的另一投影交叠。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114b中的所有第一梳状部分114b在YZ平面上的投影可与所述多个第二梳状部分124b之间的所有空间在YZ平面上的另一投影交叠。如图3B中所示，尽管所述多个第一梳状部分114b与所述多个第二梳状部分124b以完全交错配置进行排列，然而其不应限制本发明的各种实施例。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114b及所述多个第二梳状部分124b可以部分交错配置或部分交叠配置进行排列。
在本发明的一些实施例中，所述多个第一梳状部分114b的数目与所述多个第二梳状部分124b的数目可彼此不同。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114b的数目与所述多个第二梳状部分124b的数目可相同，而所述多个第一梳状部分114b被配置成与所述多个第二梳状部分124b交错。
参照图3C，所述一对支架100c包括彼此相对的第一支架110c与第二支架120c。第一支架110c包括第一连接部分112c、多个第一梳状部分114c及第一壳体116。详细来说，所述多个第一梳状部分114c的第一侧113连接到第一连接部分112c，而所述多个第一梳状部分114c的第二侧115连接到第一壳体116。第一壳体116自第一连接部分112c的第一端E1延伸并连接到第一连接部分112c的第二端E2且环绕所述多个第一梳状部分114c，以增强第一支架110c的机械强度。因此，第一支架110c不会在固持晶圆300的操作期间或在通过使用气体(例如，N2)吹扫进行的清洁期间轻易地受到损坏或崩塌。如图3C中所示，在本发明的一些实施例中，两个邻近的第一梳状部分114c之间存在间隙G，使得所述多个第一梳状部分114c不接触间隙G处的晶圆300。
相似地，第二支架120c包括第二连接部分122c、多个第二梳状部分124c及第二壳体126。所述多个第二梳状部分124c连接到第二连接部分122c。第二壳体126连接到第二连接部分122c的相对两侧且环绕所述多个第二梳状部分124c，以增强第二支架120c的机械强度。尽管图3C中所示所述多个第一梳状部分114c被排列成对应于所述多个第二梳状部分124c，然而其不应限制本发明的各种实施例。在本发明的一些替代实施例中，所述多个第一梳状部分114c可与所述多个第二梳状部分124c交错排列。在本发明的一些实施例中，第一连接部分112c的材料、所述多个第一梳状部分114c的材料及第一壳体116的材料可相同。在本发明的一些替代实施例中，第一连接部分112c的材料、所述多个第一梳状部分114c的材料及第一壳体116的材料可彼此不同。
图4A至图4D是根据本发明各种实施例的支架的一部分的示意图。
重新参照图1，所述多个梳状部分中的一个梳状部分可以是连续结构，其在垂直于框架200的所述一对侧壁210a与210b的X方向上延伸。在本发明的一些实施例中，所述连续结构可以是柱结构，例如矩形柱结构214a(如图4A中所示)、三角形柱结构214b(如图4B中所示)、多边形柱结构314a(如图4C中所示)、圆形柱结构314b(如图4D中所示)或其组合。具体来说，如图4A中所示，矩形柱结构214a通过平面(或顶表面)214T接触晶圆300(如图1中所示)。如图4B中所示，三角形柱结构214b通过线214L接触晶圆300(如图1中所示)。如图4C中所示，多边形柱结构314a通过平面(或顶表面)314T接触晶圆300(如图1中所示)。如图4D中所示，圆形柱结构314b通过线314L接触晶圆300(如图1中所示)。
图5A至图5B是根据本发明其他实施例的支架的一部分的示意图。
尽管图1中所示所述多个梳状部分为连续结构，然而其不应限制本发明的各种实施例。本文中，用语“连续结构”是指晶圆与梳状部分中的一个梳状部分之间的接触区(contact region)或接触区域(contact area)是连续的。举例来说，如图3A中所示，晶圆300与第一梳状部分114a中的一个第一梳状部分114a之间的第一接触区118a在X方向上是连续的。在本发明的一些替代实施例中，如图5A及图5B中所示，所述多个梳状部分中的一个梳状部分可以是不连续结构。详细来说，参照图5A，梳状部分514包括主体部514a及设置在主体部514a之上的多个岛状结构514b。所述多个岛状结构514b彼此隔开且沿X方向交替地设置。在本发明的一些实施例中，所述多个岛状结构514b中的一个岛状结构514b可以是立方体结构(cuboid structure)。在本发明的一些替代实施例中，所述多个岛状结构514b中的一个岛状结构514b的轮廓与所述多个岛状结构514b中的另一个岛状结构514b的轮廓可彼此相同或彼此不同。所述多个岛状结构514b的至少一部分(例如，图5A中的平面或顶表面514T)接触晶圆300(如图1中所示)。与连续结构相比，晶圆与岛状结构514b之间的接触区域进一步减小。在本发明的一些实施例中，所述多个岛状结构514b的数目并不仅限于此。
参照图5B，梳状部分614包括主体部614a及设置在主体部614a之上的多个岛状结构614b。所述多个岛状结构614b彼此隔开且沿X方向交替地设置。在本发明的一些实施例中，所述多个岛状结构614b中的一个岛状结构614b可为金字塔结构。金字塔结构具有自所述金字塔结构的底表面向所述金字塔结构的顶点渐缩的侧壁。在本发明的一些替代实施例中，所述多个岛状结构614b中的一个岛状结构614b的轮廓与所述多个岛状结构614b中的另一个岛状结构614b的轮廓可彼此相同或彼此不同。所述多个岛状结构614b的至少一部分(例如，图5B中的点614P)接触晶圆300(如图1中所示)。与连续结构相比，晶圆与岛状结构614b之间的接触区域进一步减小。在本发明的一些实施例中，所述多个岛状结构614b的数目并不仅限于此。
参照图1，在本发明的一些实施例中，本文中示出固持晶圆300的方法，其中图1所示晶圆容器10可固持具有有限数量的缺陷的晶圆300。应注意，除了以下所述步骤以外，所述方法中还可包括其他步骤。
首先将晶圆300插入承载所述多个支架100的框架200中。通常，为防止形成在晶圆300的顶表面上的特征(例如，金属层或保护层)被刮伤，可将晶圆300设置在支架100上，使得晶圆300(形成所述特征于其中)的顶表面面朝上，且晶圆300的底表面可面朝下并接触支架100的顶部。如图2中所示，支架100被配置成提供至少三个支撑点SP1、SP2及SP3来支撑晶圆300，且由所述三个支撑点SP1、SP2及SP3所形成的三角形的形心C与晶圆300的中心300C交叠，由此使晶圆300平衡以防止倾斜(tipping)。
根据本发明的一些实施例，一种晶圆容器包括框架及至少一对支架。所述框架具有相对的侧壁。所述至少一对支架分别设置在所述框架的所述侧壁上，且所述至少一对支架被配置成提供至少三个支撑点来支撑至少一个晶圆。
根据本发明的替代实施例，一种晶圆容器包括框架、第一支架及第二支架。所述第一支架配置在所述框架的一个侧壁上。所述第二支架配置在所述框架的另一侧壁上且在第一方向上与所述第一支架隔开一距离。所述第一支架及所述第二支架能够固持至少一个晶圆，其中所述第一支架与所述晶圆之间的接触区域和所述第二支架与所述晶圆之间的接触区域在第二方向上不连续。
根据本发明的又一些替代实施例，一种固持至少一个晶圆的方法包括以下步骤。提供晶圆容器，所述晶圆容器包括框架及至少一对支架，所述框架具有相对的侧壁，所述至少一对支架分别设置在所述框架的所述侧壁上。将所述晶圆插入所述晶圆容器中，使得所述至少一对支架被配置成提供至少三个支撑点来支撑所述晶圆。
以上概述了若干实施例的特征，以使所属领域中的技术人员可更好地理解本发明的各个方面。所属领域中的技术人员应知，其可容易地使用本发明作为设计或修改其他工艺及结构的基础来施行与本文中所介绍的实施例相同的目的及/或实现与本文中所介绍的实施例相同的优点。所属领域中的技术人员还应认识到，这些等效构造并不背离本发明的精神及范围，而且他们可在不背离本发明的精神及范围的条件下对其作出各种改变、代替及变更。

Claims (19)

1.一种晶圆容器，其特征在于，包括：
框架，具有沿着YZ平面延伸的第一侧壁与第二侧壁，其中所述第一侧壁平行于所述第二侧壁；以及
至少一对支架，分别设置在所述框架的所述第一侧壁与所述第二侧壁上，其中所述至少一对支架被配置成提供至少三个支撑点以在XY平面上来支撑至少一个晶圆，
其中所述至少一对支架包括彼此相对的第一支架与第二支架，
所述第一支架包括第一梳状结构，其中所述第一梳状结构包括沿着Y方向延伸的第一连接部分及连接到所述第一连接部分的多个第一梳状部分，所述多个第一梳状部分沿着X方向延伸且沿着所述Y方向交替排列，且
所述第二支架包括第二梳状结构，其中所述第二梳状结构包括沿着所述Y方向延伸的第二连接部分及连接到所述第二连接部分的多个第二梳状部分，所述多个第二梳状部分沿着所述X方向延伸且沿着所述Y方向交替排列。
2.根据权利要求1所述的晶圆容器，其特征在于，连接同一个第一连接部分的所述多个第一梳状部分与连接同一个第二连接部分的所述多个第二梳状部分被配置成支撑同一个晶圆。
3.根据权利要求2所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分与所述多个第二梳状部分对应排列。
4.根据权利要求2所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分与所述多个第二梳状部分交错排列。
5.根据权利要求2所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分及所述多个第二梳状部分中的一者包括柱结构，其在垂直于所述第一侧壁与所述第二侧壁的方向上延伸。
6.根据权利要求5所述的晶圆容器，其特征在于，所述柱结构包括多边形柱结构、圆形柱结构或其组合。
7.根据权利要求2所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分及所述多个第二梳状部分中的一者包括主体部及设置在所述主体部之上的多个岛状结构，且所述多个岛状结构彼此隔开。
8.根据权利要求1所述的晶圆容器，其特征在于，由所述三个支撑点所形成的三角形的形心与所述晶圆的中心交叠。
9.一种晶圆容器，其特征在于，包括：
框架；
第一支架，配置在所述框架的一个侧壁上；以及
第二支架，配置在所述框架的另一侧壁上且在第一方向上与所述第一支架隔开一距离，所述第一支架及所述第二支架能够固持至少一个晶圆，其中所述第一支架与所述至少一个晶圆之间的接触区域和所述第二支架与所述至少一个晶圆之间的接触区域在第二方向上不连续，其中
所述第一支架包括第一梳状结构，其中所述第一梳状结构包括沿着所述第二方向延伸的第一连接部分及连接到所述第一连接部分的多个第一梳状部分，所述多个第一梳状部分沿着所述第一方向延伸且沿着所述第二方向交替排列以支撑所述至少一个晶圆，
所述第二支架包括第二梳状结构，其中所述第二梳状结构包括沿着所述第二方向延伸的第二连接部分及连接到所述第二连接部分的多个第二梳状部分，所述多个第二梳状部分沿着所述第一方向延伸且沿着所述第二方向交替排列以支撑所述至少一个晶圆，且
所述多个第一梳状部分与所述多个第二梳状部分彼此平行具有相同长度。
10.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向实质上彼此垂直。
11.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述第一支架与所述第二支架实质上水平地对齐。
12.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分与所述多个第二梳状部分对应排列。
13.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分与所述多个第二梳状部分交错排列。
14.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分及所述多个第二梳状部分中的一者包括柱结构，其在垂直于所述第一方向上延伸。
15.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述多个第一梳状部分及所述多个第二梳状部分中的一者包括主体部及设置在所述主体部之上的多个岛状结构，且所述多个岛状结构彼此隔开。
16.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于，所述晶圆容器包括前开式统一标准盒、前开式运输盒、晶圆标准化机械界面盒、分选机或其组合。
17.一种固持至少一个晶圆的方法，其特征在于，包括：
提供晶圆容器，所述晶圆容器包括框架及至少一对支架，所述框架具有沿着YZ平面延伸的第一侧壁与第二侧壁，所述至少一对支架分别设置在所述框架的所述第一侧壁与所述第二侧壁上，其中所述第一侧壁平行于所述第二侧壁，
其中所述至少一对支架包括彼此相对的第一支架与第二支架，
所述第一支架包括第一梳状结构，其中所述第一梳状结构包括沿着Y方向延伸的第一连接部分及连接到所述第一连接部分的多个第一梳状部分，所述多个第一梳状部分沿着X方向延伸且沿着所述Y方向交替排列，且
所述第二支架包括第二梳状结构，其中所述第二梳状结构包括沿着所述Y方向延伸的第二连接部分及连接到所述第二连接部分的多个第二梳状部分，所述多个第二梳状部分沿着所述X方向延伸且沿着所述Y方向交替排列；以及
将所述晶圆插入所述晶圆容器中，使得所述至少一对支架被配置成提供至少三个支撑点以在XY平面上来支撑所述晶圆。
18.根据权利要求17所述的固持至少一个晶圆的方法，其特征在于，所述至少一对支架实质上水平地对齐，使得所述晶圆为实质上水平的。
19.根据权利要求17所述的固持至少一个晶圆的方法，其特征在于，所述三个支撑点所形成的三角形的形心与所述晶圆的中心交叠，从而使所述晶圆平衡。
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