CN109752381A - 表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法 - Google Patents

表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法 Download PDF

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CN109752381A
CN109752381A CN201811044729.3A CN201811044729A CN109752381A CN 109752381 A CN109752381 A CN 109752381A CN 201811044729 A CN201811044729 A CN 201811044729A CN 109752381 A CN109752381 A CN 109752381A
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李学骏
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Abstract

本申请涉及表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法，其中该表面检查装置包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。

Description

表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2017年11月8日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0148253号韩国专利申请的优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。
技术领域
本发明构思的示例性实施例涉及一种表面检查装置，以及表面检查方法、制造显示设备的方法。
背景技术
最近已经越来越多的使用了诸如有机发光二极管(OLED)显示器、液晶显示器(LCD)、电泳显示器(EPD)和等离子显示板(PDP)的平板显示设备。这些平板显示设备可以实现为柔性显示设备。
柔性基板可以用于实现柔性显示设备。各种类型的异物可能沉积在这些柔性基板上，并且在制造或处理工艺中可能在这些柔性基板的表面中形成缺陷。
发明内容
本发明构思的示例性实施例提供了一种有效地检查物体(例如弯曲的膜/基板)的表面的表面检查装置。
根据本发明构思的示例性实施例，一种表面检查装置，包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。
根据本发明构思的示例性实施例，一种表面检查装置，包括：具有开口的反射器，以及设置在所述反射器的下方的光源。所述光源在水平方向上辐射光。所述表面检查装置还包括设置在所述光源的一侧的半透半反镜。所述半透半反镜将由所述光源辐射的所述光的一部分反射到垂直方向上，使得所述光的所述一部分通过所述开口入射到设置在所述反射器的上方的待检查物体的表面。所述表面检查装置还包括设置在所述反射器的下方的第一相机。所述第一相机接收从所述待检查物体的表面反射的光。所述待检查物体、所述开口和所述半透半反镜设置在所述第一相机的光轴上。
根据本发明构思的示例性实施例，一种表面检查方法，包括：将具有曲面的待检查物体安装在表面检查装置的反射器的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。所述方法还包括向所述待检查物体的所述曲面上辐射光。所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述待检查物体的所述曲面。所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的第一相机的光轴上。所述方法还包括获得与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息，以及使用所述表面检查装置的所述第一相机拍摄所述待检查物体的所述曲面的图像。
根据本发明构思的示例性实施例，一种制造显示设备的方法，包括：形成包括基板的所述显示设备，以及检查所述基板。检查所述基板包括将所述基板安装在表面检查装置的反射器的上方。所述反射器包括朝向所述基板的反射凹面。检查所述基板还包括向所述基板辐射光。所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述基板。所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的相机的光轴上。检查所述基板还包括获得与所述基板的位置有关的信息，以及使用所述表面检查装置的所述相机拍摄所述基板的图像。
附图说明
通过参考附图详细描述示例性实施例，本发明构思的上述和其他特征将变得显而易见，其中：
图1是根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置的示意图。
图2示出了根据本发明构思的示例性实施例的反射器。
图3A示出了根据本发明构思的示例性实施例的反射器。
图3B是根据本发明构思的示例性实施例的沿图3A的线I-I'截取的剖视图。
图3C是根据本发明构思的示例性实施例的沿图3A的线II-II'截取的剖视图。
图4A示出了根据本发明构思的示例性实施例的反射器。
图4B是根据本发明构思的示例性实施例的沿图4A的线III-III'截取的剖视图。
图5A示出了根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置要检查的物体。
图5B是根据本发明构思的示例性实施例的沿图5A的线I-I'截取的剖视图。
图6是示出了使用根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置检查待检查物体的方法的流程图。
图7和图8示出了使用根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置检查待检查物体的方法。
图9是根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置的示意图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图更详细地描述本发明构思的示例性实施例。贯穿附图，相同的附图标记可以指代相同的元件。
为了便于说明书对图中所示的一个元件或特征与另一(或多个)元件或特征的关系进行描述，本文中可能使用了空间相对术语，诸如“在……之下”、“在……下方”、“下面的”、“在……下面”“在……上方”、“上面的”等。应当理解的是，除了包含图中描述的方向外，这些空间相对术语还意图包含在使用或工作中的设备的不同方向。例如，如果图中的设备翻转，描述为在其它元件或特征“下方”或“之下”或“下面”的元件则确定方向为在其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……之下”和“在……下面”可以包含向上和向下的方向。
应当理解的是，在本文中使用术语“第一”、“第二”、“第三”等，以用于将一个元件与另一元件区分开，并且这些元件不受这些术语的限制。因此，一个示例性实施例中的“第一”元件在另一示例性实施例中可以被描述为“第二”元件。
这里，当两个或更多个元件或值被描述为彼此基本相同或大致相等时，应当理解的是这些元件或值彼此相同、彼此难以区分，或者如本领域的普通技术人员可以理解的那样彼此可区分但在功能上彼此相同。
图1是根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置的示意图。
参考图1，在一个示例性实施例中，表面检查装置包括相机10、透镜20、半透半反镜30、光源40、反射器50、支撑架60、水平驱动部件70和垂直驱动部件80。相机10、透镜20、半透半反镜30、光源40和反射器50可以统称为光学系统LS。水平驱动部件70和垂直驱动部件80可以统称为驱动单元。在一个示例性实施例中，驱动单元是包括使支撑架60移动的电机的机动单元。在一个示例性实施例中，水平驱动部件70是包括使支撑架60在水平方向上移动的第一电机的第一机动单元。垂直驱动部件80是包括使支撑架60在垂直方向上移动的第二电机的第二机动单元。
待检查物体1可以安装在光学系统LS的检查位置上，并且光学系统LS可以检查待检查物体1的表面。例如，在一个示例性实施例中，待检查物体1安装在光学系统LS的反射器50上。因此，在一个示例性实施例中，反射器50是光学系统LS的检查位置。
相机10拍摄已安装的待检查物体1的图像。可以检查所拍摄的图像以检查例如待检查物体1的表面上的异物或缺陷。
在一个示例性实施例中，透镜20、半透半反镜30和反射器50以基本上呈一条直线的形式顺序地设置在相机10的光轴上。例如，在一个示例性实施例中，透镜20、半透半反镜30和反射器50的中心部分沿着相机10的光轴基本上彼此对准。这里，术语“基本上对准”意味着组件是彼此精确对准，或者如本领域的普通技术人员可以理解的那样几乎彼此精确对准。反射器50设置在相机10的上方，并且待检查物体1设置在反射器50的上方。相机10的光轴在文中也可以称为第一光轴或垂直光轴。
光源40的光轴与相机10的光轴(例如，第一光轴)相交。光源40的光轴在文中也可以称为第二光轴或水平光轴。在一个示例性实施例中，如图1所示，半透半反镜30设置在第一光轴和第二光轴之间的相交处。光源40设置在反射器50的下方并且与半透半反镜30相邻，并且在水平方向上辐射光。例如，光源40在朝向半透半反镜30的方向上辐射光，并且半透半反镜30将光导向待检查物体1。例如，设置在光源40的一侧的半透半反镜30可以将光源40发射的光的一部分反射到垂直方向上，使得这部分光入射到待检查物体1。光源40可以是例如能够根据例如待检查物体1的透射率或反射率来调节光的亮度的可变光源。光源40可以包括至少一个透镜。例如，在一个示例性实施例中，包括在光源40中的透镜可以被设置为多个透镜。
在一个示例性实施例中，如图1所示，反射器50具有面向朝向待检查物体1的方向的反射凹面50S。待检查物体1的表面可以为向下凸的曲面。
待检查物体1的表面可以基本上定位在反射器50的曲率中心CC处。在本文中，当待检查物体1被描述为基本上定位在反射器50的曲率中心CC处时，应当理解的是，待检查物体1精确地定位在反射器50的曲率中心CC处，或者如本领域的普通技术人员可以理解的那样在测量误差内几乎精确地定位在反射器50的曲率中心CC处。在一个示例性实施例中，从反射器50的反射凹面50S到待检查物体1的表面的距离与反射器50的曲率半径r大致相等(例如，精确相等，或者如本领域的普通技术人员可以理解的那样在测量误差内大致相等)。入射到待检查物体1的光的至少一部分可以从待检查物体1的表面反射。反射器50使得从待检查物体1的相对于相机10的光轴倾斜的表面反射的光能够入射到相机10。当待检查物体1的表面被基本上定位在反射器50的曲率中心CC处时，从待检查物体1的相对于相机10的光轴倾斜的表面首次反射的光可以从反射器50的反射凹面50S二次反射，重新入射到待检查物体1的表面。重新入射的光可以从待检查物体1的表面三次反射，沿着相机10的光轴入射到相机10，从而形成图像。在不存在反射器50的情况下，从待检查物体1的倾斜的表面首次反射的光不会入射到相机10，因此不会形成图像。在存在反射器50但反射器50并未基本上定位在曲率中心CC处的情况下，从待检查物体1的倾斜的表面首次反射的光不会入射到相机10，因此不会形成图像。
在一个示例性实施例中，反射器50包括设置在相机10的光轴(例如，第一光轴)上的允许光穿过反射器50的开口OP。例如，在一个示例性实施例中，反射器50的开口OP沿着相机10的光轴与半透半反镜30、透镜20和相机10的中心部分基本对准。
在一个示例性实施例中，相机10、透镜20、半透半反镜30、光源40和反射器50附接到支撑架60。例如，支撑架60支撑(例如，结构上支撑)相机10、透镜20、半透半反镜30、光源40和反射器50。
在一个示例性实施例中，水平驱动部件70在水平方向上移动支撑架60，垂直驱动部件80在竖直方向上移动支撑架60。垂直驱动部件80可以调整支撑架60的垂直位置，以将待检查物体1的表面基本上定位在反射器50的曲率中心CC处。水平驱动部件70可以在水平方向上调整支撑架60使得可以拍摄到待检查物体1的表面的图像。在一个示例性实施例中，在将待检查物体1的表面保持在反射器50的曲率中心CC处的同时，表面检查装置控制水平驱动部件70和垂直驱动部件80以拍摄待检查物体1的整个表面的图像。
相机10可以是例如时间延迟积分(TDI)线扫描相机。
根据一个示例性实施例，各种类型的图像拍摄工具(例如，在表面检查装置中使用的面扫描相机)可以用作相机10。
在一个示例性实施例中，表面检查装置包括获得与待检查物体1的表面的位置有关的信息的位置测量单元15。例如，表面检查装置可以使用位置测量单元15获得与待检查物体1的表面的垂直位置有关的信息。位置测量单元15例如可以是相机。根据示例性实施例，位置测量单元15可以附接到支撑架60，或者可以附接到能够独立于支撑架60被驱动的支撑单元。
在一个示例性实施例中，表面检查装置还包括对水平驱动部件70和垂直驱动部件80进行控制的控制器90。在一个示例性实施例中，控制器90控制光源40。在一个示例性实施例中，控制器90包括存储有使水平驱动部件70和垂直驱动部件80移动的指令的存储器，以及执行该指令的处理器。
图2示出了根据本发明构思的示例性实施例的反射器50。
参考图2，在一个示例性实施例中，反射器50具有反射柱面。反射器50包括设置在相机10的光轴(例如，第一光轴)上的开口OP1。
反射器50被开口OP1分成两部分。这两个部分具有大致相同的曲率半径r和大致相同的曲率中心CC。本文中，当这两个部分被描述为具有彼此大致相同的曲率半径r或大致相同的曲率中心CC时，应当理解的是，曲率半径r或曲率中心CC彼此相同、彼此难以区分或者如本领域的普通技术人员可以理解的那样彼此可区分但在功能上彼此相同。
反射器50在第一方向上延伸。在第一方向上延伸的反射器50的长度可以与待检查物体1的一侧的长度大致相同。待检查物体1的该一侧的长度可以指其固定到架FR的一侧的长度(参见图5)。
图3A示出了根据本发明构思的示例性实施例的反射器50a。图3B是根据本发明构思的示例性实施例的沿图3A的线I-I'截取的剖视图。图3C是根据本发明构思的示例性实施例的沿图3A的线II-II'截取的剖视图。
参考图3A至图3C，在一个示例性实施例中，反射器50a包括具有反射柱面的第一区域R1，以及设置在第一区域R1的对端上并具有反射球面的第二区域R2。第一区域R1包括设置在相机10的光轴(例如，第一光轴)上的开口OP2。第一区域R1具有曲率中心CC，第二区域R2具有曲率中心CC'。
第一区域R1的曲率半径r1与第二区域R2的曲率半径r1'大致相同。
第一区域R1在第一方向上延伸。在第一方向上延伸的第一区域R1的长度可以与待检查物体1的一侧的长度大致相同。
图4A示出了根据本发明构思的示例性实施例的反射器50b。图4B是根据本发明构思的示例性实施例的沿图4A的线III-III'截取的剖视图。
参考图4A和图4B，在一个示例性实施例中，反射器50b具有反射球面。反射器50b包括设置在相机10的光轴(例如，第一光轴)上的开口OP3。开口OP3在第一方向上延伸。反射器50b具有曲率半径r2和曲率中心CC。
图5A示出了根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置要检查的物体1。图5B是根据本发明构思的示例性实施例的沿图5A的线I-I'截取的剖视图。
参考图5A和图5B，在一个示例性实施例中，待检查物体1在被固定到架FR的同时被安装在表面检查装置上的检查位置。架FR为四边形形状。待检查物体1可以是例如柔性基板。待检查物体1的四个边中的两个可以通过夹具CL夹紧到架FR。在一个示例性实施例中，待检查物体1向下弯曲。因此，待检查物体1可以具有向下凸的曲面。在一个示例性实施例中，待检查物体1的四个边固定到架FR。
图6是示出了使用根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置检查待检查物体1的方法的流程图。图7和图8示出了使用根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置检查待检查物体1的方法。
参考图6，在一个示例性实施例中，使用根据本文描述的示例性实施例的表面检查装置来检查待检查物体1的表面的方法包括：将待检查物体1安装在表面检查装置的反射器50的上方(S10)，获得与待检查物体1的表面的位置有关的信息(S20)，使用表面检查装置拍摄待检查物体1的表面的图像(S30)，并检查所拍摄的图像以确定待检查物体1的表面上是否存在异物或缺陷(S40)。
图7示出了使用根据本发明构思的示例性实施例的位置测量单元15(例如，相机)获得与待检查物体1的表面的位置有关的信息(S20)。
在一个示例性实施例中，位置测量单元15在待检查物体1的横向表面上沿水平方向移动的同时拍摄待检查物体1的图像。表面检查装置可以分析所拍摄的图像以获得与待检查物体1的表面的垂直位置有关的信息(例如，指示距参考表面的高度的信息)。此外，表面检查装置可以分析所拍摄的图像以获得与待检查物体1的表面的水平长度有关的信息(例如，指示所扫描区域的尺寸的信息)。
图8示出了使用根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置拍摄待检查物体1的表面的图像(S30)。
在一个示例性实施例中，拍摄待检查物体1的表面的图像包括：使用由位置测量单元15获得的与待检查物体1的表面的位置有关的信息来调整反射器50的垂直位置，使得待检查物体1的表面基本上定位在反射器50的曲率中心处。拍摄图像还包括：由光源40通过反射器50的开口OP将光辐射到待检查物体1的表面，并且由相机10接收从待检查物体1的表面首次反射的光、从反射器50的反射表面二次反射的光以及从待检查物体1的表面三次反射的光。拍摄图像还包括使支撑架60水平移动。
如图8所示，待检查物体1可以具有向下凸出的曲面。因此，在从待检查物体1的一侧扫描到其另一侧时，反射器50的垂直位置会降低然后升高。可以通过调整支撑架60的位置来确定反射器50的垂直位置。
表面检查装置可以分析通过之前的表面检查操作获得的待检查物体1的第一图像，当在第一图像上存在暗区域时，表面检查装置可以控制光源40在拍摄待检查物体1的表面的与暗区域相对应的部分的图像时发出更亮的光。例如，如图8所示，在待检查物体1的表面更倾斜的位置(a)或(c)处，待检查物体1的透射率可能更大或者其反射率可能更低。当表面检查装置在待检查物体1的表面更倾斜的位置(a)或(c)处拍摄待检查物体1的表面的图像时，表面检查装置可以控制光源40发出比在位置(b)处拍摄待检查物体1的表面的图像时光源40发出的光更亮的光。当改变光源40的亮度时，表面检查装置可以获得亮度更均匀的检查图像。因此，可以提高对待检查物体1的表面上存在的异物和缺陷的检查的可靠性。
图9是根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置的示意图。
图9中所示的表面检查装置包括：仅在垂直方向上移动反射器50的垂直驱动部件85，其使得待检查物体1的表面可以基本上定位在反射器50的曲率中心CC处。在一个示例性实施例中，垂直驱动部件85附接到支撑架60，并且反射器50附接到垂直驱动部件85。
水平驱动部件70在待检查物体1的表面的水平方向上移动支撑架60，并且控制器90控制垂直驱动部件85和水平驱动部件70。
待检查物体可以是例如用于制造显示设备的基板(例如，柔性基板)。根据本发明构思的一个示例性实施例，制造显示设备的方法包括形成包括基板1的显示设备，并使用本文所描述的根据本发明构思的示例性实施例的表面检查装置和方法来检查基板1。
如上所述，根据本发明构思的示例性实施例，表面检查装置和使用该表面检查装置检查表面的方法有效地检查了具有曲面的待检查物体的表面，从而提高了检查的可靠性。
尽管已经参考本发明的示例性实施例具体示出和描述了本发明构思，但是本领域技术人员将理解的是，在不脱离如所附权利要求所限定的本发明构思的精神和范围的情况下，可以在形式和细节上进行各种改变。

Claims (25)

1.一种表面检查装置，包括：
第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；
半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；
光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交，其中，所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体；以及
反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方，其中，所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。
2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，从所述反射器的所述反射凹面到所述待检查物体的表面的距离与所述反射器的曲率半径大致相同。
3.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述反射器具有反射柱面。
4.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括设置在所述第一光轴上的开口。
5.根据权利要求4所述的表面检查装置，其中，所述反射器被所述开口分为两个部分，并且所述两个部分具有彼此大致相同的曲率半径和彼此大致相同的曲率中心。
6.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括具有反射柱面的第一区域，以及设置在所述第一区域的对端并且具有反射球面的第二区域。
7.根据权利要求6所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括设置在所述第一光轴上的开口。
8.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述反射器设置在所述第一相机的上方，所述待检查物体设置在所述反射器的上方，并且所述待检查物体的表面具有向下凸的曲面。
9.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述光源的亮度可根据所述待检查物体的透射率来调节。
10.根据权利要求1所述的表面检查装置，还包括：
第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的表面的位置有关的信息；
支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；
驱动单元，所述驱动单元移动所述支撑架；以及
控制器，所述控制器控制所述驱动单元。
11.根据权利要求10所述的表面检查装置，其中，所述驱动单元包括：
垂直驱动部件，所述垂直驱动部件调节所述支撑架的垂直位置以将所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及
水平驱动部件，所述水平驱动部件使所述支撑架在水平方向上移动。
12.根据权利要求1所述的表面检查装置，还包括：
第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的表面的位置有关的信息；
支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；
垂直驱动部件，所述垂直驱动部件在垂直方向上移动所述反射器使得所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及
水平驱动部件，所述水平驱动部件使所述支撑架沿所述待检查物体的所述表面在水平方向上移动；以及
控制器，所述控制器控制所述垂直驱动部件和所述水平驱动部件。
13.一种表面检查装置，包括：
具有开口的反射器；
设置在所述反射器的下方的光源，其中所述光源在水平方向上辐射光；
设置在所述光源的一侧的半透半反镜，其中，所述半透半反镜将由所述光源辐射的所述光的一部分反射到垂直方向上，使得所述光的所述一部分通过所述开口入射到设置在所述反射器的上方的待检查物体的表面；以及
设置在所述反射器的下方的第一相机，其中，所述第一相机接收从所述待检查物体的表面反射的光，
其中，所述待检查物体、所述开口和所述半透半反镜设置在所述第一相机的光轴上。
14.根据权利要求13所述的表面检查装置，其中，所述反射器具有朝向所述待检查物体的反射凹面，并且从所述反射器的所述反射凹面到所述待检查物体的表面的距离与所述反射器的曲率半径大致相同。
15.根据权利要求14所述的表面检查装置，其中，所述反射器具有反射柱面。
16.根据权利要求15所述的表面检查装置，其中，所述反射器被所述开口分为两个部分，并且所述两个部分具有彼此大致相同的曲率半径和彼此大致相同的曲率中心。
17.根据权利要求14所述的表面检查装置，其中，所述反射器包括具有反射柱面的第一区域，以及设置在所述第一区域的对端并且具有反射球面的第二区域。
18.根据权利要求13所述的表面检查装置，还包括：
第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的所述表面的位置有关的信息的第二相机；
支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；
驱动单元，所述驱动单元移动所述支撑架；以及
控制器，所述控制器控制所述驱动单元。
19.根据权利要求18所述的表面检查装置，其中，所述驱动单元包括：
垂直驱动部件，所述垂直驱动部件调节所述支撑架的垂直位置以将所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及
水平驱动部件，所述水平驱动部件在水平方向上移动所述支撑架。
20.根据权利要求13所述的表面检查装置，还包括：
第二相机，所述第二相机获得与所述待检查物体的所述表面的位置有关的信息；
支撑架，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器；
垂直驱动部件，所述垂直驱动部件在垂直方向上移动所述反射器使得所述待检查物体的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及
水平驱动部件，所述水平驱动部件使所述支撑架沿着所述待检查物体的所述表面在水平方向上移动；以及
控制器，所述控制器控制所述垂直驱动部件和所述水平驱动部件。
21.一种表面检查方法，包括：
将具有曲面的待检查物体安装在表面检查装置的反射器的上方，其中，所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面；
向所述待检查物体的所述曲面上辐射光，其中，所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述待检查物体的所述曲面，其中，所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的第一相机的光轴上；
获得与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息；以及
使用所述表面检查装置的所述第一相机拍摄所述待检查物体的所述曲面的图像。
22.根据权利要求21所述的表面检查方法，其中，获得与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息包括：
使用所述表面检查装置的第二相机获得指示所述待检查物体的所述曲面的垂直位置的垂直位置信息。
23.根据权利要求21所述的表面检查方法，其中，拍摄所述待检查物体的所述曲面的图像包括：
使用与所述待检查物体的所述曲面的位置有关的信息调整所述反射器的垂直位置，使得所述待检查物体的所述曲面基本上定位在所述反射器的曲率中心，其中，由所述光源辐射的所述光穿过所述反射器的开口，以入射到所述待检查物体的所述曲面上；
由所述第一相机接收从所述待检查物体的所述曲面首次反射的光、从所述反射器的所述反射凹面二次反射的光以及从所述待检查物体的所述曲面三次反射的光；以及
在水平方向上移动所述表面检查装置的支撑架，其中，所述支撑架支撑所述第一相机、所述半透半反镜、所述光源和所述反射器。
24.根据权利要求23所述的表面检查方法，其中，调整所述反射器的所述垂直位置包括调整所述支撑架的垂直位置。
25.一种制造显示设备的方法，包括：
形成所述显示设备，其中，所述显示设备包括基板；以及
检查所述基板，其中，检查所述基板包括：
将所述基板安装在表面检查装置的反射器的上方，其中，所述反射器包括朝向所述基板的反射凹面；
向所述基板辐射光，其中，所述光由所述表面检查装置的光源辐射，并且所述光经所述表面检查装置的半透半反镜被导向所述基板，其中，所述半透半反镜和所述反射器设置在所述表面检查装置的相机的光轴上；
获得与所述基板的位置有关的信息；以及
使用所述表面检查装置的所述相机拍摄所述基板的图像。
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