CN109690089B - 真空泵以及真空泵所具备的固定圆板 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于缓和真空泵的螺旋状板局部成为高压的现象。在本发明的实施方式的真空泵中，在固定圆板上形成孔部，进而局部地增大固定圆板的末端（外周侧/外周部）的孔部的比率。更详细而言，（1）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排配设，使配设于最外侧的列的孔部的数量多于内侧的列。（2）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排配设，将配设于最外侧的列的孔部中的几个整合成为一个孔部。（3）在固定圆板上配设T字型的孔部。（4）在固定圆板上配设L字型的孔部。通过这些结构，在螺旋状板的末端附近难以产生成为高压的部分，因此能够减少由液化或固化的气体引起的反应生成物堆积的情况。

Description

真空泵以及真空泵所具备的固定圆板

技术领域

本发明涉及真空泵以及真空泵所具备的固定圆板。

详细而言，涉及真空泵以及真空泵所具备的固定圆板，其中，具备螺旋状板的真空泵的螺旋状板使局部成为高压这一现象得到缓和。

背景技术

在用于进行所配设的真空室内的真空排气处理的真空泵中，收纳有气体移送机构，该气体移送机构由旋转部和固定部构成并且是发挥排气功能的构造物。在该气体移送机构中，具有通过配设在旋转部的螺旋状板与配设在固定部的固定圆板的相互作用来压缩气体的结构。

专利文献1 日本特表2015-505012号。

在专利文献1中记载了如下技术：在真空泵的旋转圆筒的侧面设置有螺旋状板（螺旋翼30等），在该螺旋状板处至少设置一个的槽40（在本申请的说明中称为狭缝的结构）内配设有固定圆板（有孔交叉元件14等），该固定圆板处设有阵列状的孔部（穿孔38等）。

图9是用于说明作为配设在上述那样的以往的真空泵中的固定圆板的一例的固定圆板1010的图。如图9所示，在以往的真空泵中，通过螺旋状板与孔部1020以交错配置而设的固定圆板1010的相互作用（A）以及螺旋状板与壳体的相互作用（B），产生排气作用。

孔部1020的比率（固定圆板中的孔部所占的比例）越大，被压缩的气体越容易穿过气体移送机构，但另一方面，排气作用变小。因此，孔部1020的比率根据排出的气体的压力（例如，从内周侧朝向外周侧逐渐增大地设计孔的大小等）设定。

但是，在这种结构的真空泵中，在上述相互作用（A）和（B）两者同时产生的螺旋状板的末端（外周侧）附近，特别是压缩气体的作用变得非常强。

其结果，在螺旋状板的末端附近产生局部成为高压的部分（固定圆板的狭缝的上部等）。

因此，气体超过蒸汽压而液化或固化而生成的反应生成物有可能堆积在真空泵内。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空泵以及真空泵所具备的固定圆板，该真空泵缓和具备螺旋状板的真空泵的螺旋状板局部地成为高压这一情况。

在技术方案1记载的本发明中，提供一种真空泵，具备：形成有吸气口和排气口的外装体；旋转轴，内包于所述外装体中，旋转自如地被支承；螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面上螺旋状地配设，设有至少一个狭缝；固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内，与该狭缝设有既定的间隔地配置，具有贯通的孔部；固定所述固定圆板的间隔部；真空排气机构，通过所述螺旋状板与所述固定圆板的相互作用将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送，其特征在于，所述孔部至少配设在所述固定圆板的外周侧的区域和内周侧的区域，所述外周侧的区域的开口率比所述内周侧的区域的开口率高。

在技术方案2记载的本发明中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，所述孔部是具有大致同径形状的圆孔，在所述固定圆板处，与内周侧的既定区域相比，在外周侧的既定区域，更多的该圆孔以所述固定圆板的假想中心为中心并排配设，由此，所述固定圆板的外周侧的开口率比内周侧高。

在技术方案3记载的本发明中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，所述孔部是具有大致同径形状的圆孔以及细长形状的长孔，在所述固定圆板中，在内周侧的既定的区域，该圆孔沿半径方向并排配设，且在外周侧的既定的区域，该长孔沿半径方向并排配设，使得所述固定圆板的外周侧的开口率比内周侧高。

在技术方案4记载的本发明中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，所述孔部是在所述固定圆板的外周侧沿着圆周方向延伸的细长形状的外周侧长孔和在比所述外周侧长孔靠内周侧沿半径方向延伸的细长形状的内周侧长孔以像大致T字的方式连结而形成的T字孔，在所述固定圆板中，该T字孔在圆周方向上并排配设，使得所述固定圆板的外周侧的开口率比内周侧高。

在技术方案5记载的本发明中，提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，所述孔部是在所述固定圆板的外周侧沿着圆周方向延伸的细长形状的外周侧长孔和在比所述外周侧长孔靠内周侧沿半径方向延伸的细长形状的内周侧长孔以像大致L字的方式连结而形成的L字孔，

在所述固定圆板中，该L字孔在圆周方向上并排配设，使得所述固定圆板的外周侧的开口率比内周侧高。

在技术方案6记载的本发明中，提供技术方案5所述的真空泵，其特征在于，所述内周侧长孔与所述固定圆板的半径方向相比具有既定的倾斜角。

在技术方案7记载的本发明中，提供技术方案6所述的真空泵，其特征在于，所述倾斜角是由以下方式确定的角度，即，使得相邻的所述内周侧长孔所包围的内周壁部的中心与相邻的所述外周侧长孔所包围的外周壁部的中心不隔着所述孔部地在所述固定圆板的半径方向的假想直线上排列。

在技术方案8记载的本发明中，提供技术方案1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述固定圆板在配置于内周侧的所述孔部的至少一个孔部被分割的位置沿直径方向被分割，在该被分割的内周侧的孔部的分割部分形成有间隙。

在技术方案9记载的本发明中，提供技术方案1至8中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述固定圆板在不包含所述孔部的该固定圆板上形成有至少1处从内周侧朝向外周侧的最短路径的热通道。

在技术方案10记载的本发明中，提供一种固定圆板，所述固定圆板是技术方案1至9中至少一项所述的真空泵所具备的固定圆板。

发明效果

根据本发明，能够缓和在配设于真空泵的螺旋状板的末端附近产生局部成为高压的部分这一情况。因此，能够减少由于高压而液化或固化的气体的反应生成物堆积的情况，因此能够延长真空泵的维护周期。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的真空泵的概略结构例的图。

图2是用于说明本发明的实施方式（实施例1）的固定圆板的图。

图3是用于说明本发明的实施方式（实施例2）的固定圆板的图。

图4是用于说明本发明的实施方式（实施例3）的固定圆板的图。

图5是用于说明本发明的实施方式（实施例4）的固定圆板的图。

图6是用于说明本发明的实施方式（实施例5）的固定圆板的图。

图7是用于说明本发明的实施方式（实施例6）的固定圆板的图。

图8是表示本发明的实施方式（实施例7）的复合型真空泵的概略结构例的图。

图9是用于说明现有技术的图。

具体实施方式

（i）实施方式的概要

在本发明的实施方式的真空泵中，在固定圆板处形成多个孔部，并且局部地增大（提高）固定圆板的末端（外周侧/外周部）的孔的比率。即，增大外周侧的开口率。

更详细而言，具备以下（1）至（4）中的任一结构。

（1）将相同大小的孔部（大致圆孔）从固定圆板的内周侧朝向外周侧以波纹状配设，且配设于最外侧的列的孔部的数量多于内侧的列。

（2）将相同大小的孔部从固定圆板的内周侧朝向外周侧配设为波纹状，并且，将配设于最外侧的列的孔部中的几个整合成为一个孔部（长孔）。

（3）在固定圆板上配设T字型的孔部。

（4）在固定圆板上配设L字型的孔部。

根据上述结构，在螺旋状板的末端附近难以产生成为高压的部分，因此能够减少由液化或固化的气体引起的反应生成物堆积在真空泵内的情况。

（ii）实施方式的详细情况

以下，参照图1至图8对本发明的优选实施方式进行详细说明。

（真空泵1的结构）

图1是表示本发明的实施方式的真空泵1的概略结构例的图，表示了真空泵1的轴线方向的截面图。

另外，在本发明的实施方式中，为方便起见，将旋转翼的直径方向作为“径向（直径·半径方向）”，将与旋转翼的直径方向垂直的方向作为“轴线方向（或者轴向）”进行说明。

形成真空泵1的外装体的壳体（外筒）2呈大致圆筒状的形状，与设于壳体2的下部（排气口6侧）的基座3一起构成真空泵1的框体。而且，在该框体的内部收纳有气体移送机构，该气体移送机构是使真空泵1发挥排气功能的构造物。

在本实施方式中，大致划分的话，该气体移送机构由被旋转自如地支承的旋转部（转子部）和相对于框体固定的固定部（定子部）构成。

另外，虽然未图示，但在真空泵1的外装体的外部经由专用线连接有控制真空泵1的动作的控制装置。

在壳体2的端部形成有用于向该真空泵1导入气体的吸气口4。另外，在壳体2的吸气口4侧的端面形成有向外周侧突出的凸缘部5。

另外，在基座3处形成有用于从该真空泵1排出气体的排气口6。

气体移送机构的旋转部具备作为旋转轴的轴7、配设在该轴7的转子8、设于转子8的多片螺旋状板9。

各螺旋状板9由相对于轴7的轴线呈放射状地延伸且以形成螺旋流路的方式延伸的螺旋状的圆板部件构成。

在轴7的轴线方向中段设有用于使轴7高速旋转的马达部20，并被内包于定子柱80中。

而且，在定子柱80内，相对于轴7的马达部20在吸气口4侧和排气口6侧设置有用于沿径向（径向）以非接触方式支承轴7的径向磁轴承装置30、31。另外，在轴7的下端设置有用于沿轴线方向（轴向）以非接触方式支承轴7的轴向磁轴承装置40。

气体移送机构的固定部形成于框体（壳体2）的内周侧。

在该固定部配设有由呈圆筒形状的间隔件70相互隔开而固定的固定圆板10。

固定圆板10是呈相对于轴7的轴线垂直地以放射状延伸的圆板形状的板状部件。在本实施方式中，通过接合半圆形（不完全的圆形）的部件而形成为圆形形状，在壳体2的内周侧，与螺旋状板9交错地沿轴线方向配设多层。

其中，关于层数，构成为设有满足真空泵1所要求的排出性能（排气性能）所需的任意数量的固定圆板10及（或）螺旋状板9即可。

在本实施方式中，在固定圆板10上设置有孔部（孔穴部）。另外，在本实施方式的以下的说明中，将贯通的孔穴称为孔部，后述孔部的详细情况。

间隔件70是呈圆筒形状的固定部件，各层的固定圆板10由该间隔件70相互隔开而固定。

通过这样的结构，真空泵1进行配设于真空泵1的真空室（未图示）内的真空排气处理。

（实施例1）

使用图2对配设于上述真空泵1的固定圆板10进行说明。

图2是用于说明本实施方式的实施例1的固定圆板10的图。

在此，在以下说明的实施方式的实施例1中，将固定圆板10的壁部200的外周侧的圆周面设为区域A，且将内周侧的圆周面设为区域B。另外，关于后续实施例2至实施例6也同样设定。

另外，在本实施方式（实施例1至实施例6）中，区域A:区域B在半径方向截面比为1:2，但不限于此。在区域A比区域B小的范围内，能够适当地进行比率的设定。

如图2所示，固定圆板10具有大致相同大小且呈大致圆形形状的孔部100。另外，将未形成孔部100的固定圆板10的实部称为壁部200。

形成在固定圆板10上的孔部100由配设在最外侧（外周侧）的区域A的外周侧孔部101和配设在内侧（内周侧）的区域B的内周侧孔部102a及内周侧孔部102b构成。另外，在不特别区别内周侧孔部102a和内周侧孔部102b的情况下，称为内周侧孔部102进行说明。

更详细而言，多个孔部100从固定圆板10的内周侧朝向外周侧，以固定圆板10的假想中心为中心并排配置，且在区域A内配置得比区域B内更多。即，孔部100的配列不是交错配置。

通过该结构，在固定圆板10的半径方向外侧（区域A），能够使孔部100相对于壁部200的比率急剧（局部地）增大。即，能够使外周侧的开口率比内周侧高。换言之，能够仅增大固定圆板10的外周侧的开口率。

另外，在本实施例1中，将内周侧的开口率和外周侧的开口率设为1:3，但并不限定于此。作为开口率的比率，优选为1:2到1:9左右。

根据上述实施例1的结构，能够使固定圆板10的外周侧的开口率大于内周侧，因此，能够使配设了固定圆板10的真空泵1运转时的、在螺旋状板9的外径侧的末端附近局部成为高压的现象难以发生。

另外，通过使孔部100沿半径方向并排，能够使壁部200处的热通道为最短距离，因此能够在固定圆板10中保持强度，并且使积存于固定圆板10的热容易通过间隔件70向外部散热。

（实施例2）

使用图3对作为配设于上述真空泵1的固定圆板10的变形例的实施例2进行说明。

图3是用于说明本实施方式的实施例2的固定圆板11的图。

如图3所示，固定圆板11具有孔部110，该孔部110由与实施例1的孔部100相当的呈大致圆形形状的圆孔部和使圆孔部中的几个整合成为一个孔部的细长形状的长孔部构成。

更详细而言，在固定圆板11上，在最外周侧的区域A形成有外周侧孔部111，该外周侧孔部111是具有长径和短径的长孔或呈椭圆形状的孔。并且，在比区域A靠内周侧的区域B中形成有大致相同大小呈大致圆形形状的内周侧孔部112a以及内周侧孔部112b。另外，在不特别区别内周侧孔部112a和内周侧孔部112b的情况下，称为内周侧孔部112进行说明。

另外，孔部110在固定圆板11中以固定圆板11的假想中心为中心从内周侧朝向外周侧，以内周侧孔部112、外周侧孔部111的顺序，以波纹状并排地配设多个。

通过具有该外周侧孔部111的结构，在固定圆板11的半径方向外侧（区域A），能够局部地增大孔部110相对于壁部200的比率。即，能够使外周侧的开口率比内周侧急剧地增加。

根据上述实施例2的结构，能够局部地增大固定圆板11的外周侧的开口率，因此能够使配设了固定圆板11的真空泵1运转时的、在螺旋状板9的外径侧的末端附近局部成为高压的现象难以发生。

另外，通过使孔部110从固定圆板11的内周侧以内周侧孔部112、外周侧孔部111的顺序沿半径方向并排配置，能够使壁部200在半径方向上连续，使壁部200中的热通道为最短距离，因此能够在固定圆板11中保持强度，并且能够使积存于固定圆板11的热容易通过间隔件70向外部散热。

（实施例3）

使用图4对作为配设于上述真空泵1的固定圆板11的变形例的实施例3进行说明。

图4是用于说明本实施方式的实施例3的固定圆板12的图。

如图4所示，固定圆板12具有T字孔部120，该T字孔部120由与实施例2的外周侧孔部111相当的长孔部和使实施例2的内周侧孔部112（a、b）沿半径方向连结（结合）等而形成的长孔部以像T字的方式组合而成（连结而成）。

更详细而言，在固定圆板12上形成有外周侧孔部121，该外周侧孔部121是具有在外周侧沿外周方向延伸的长径和沿半径方向延伸的短径的长孔或呈椭圆形状的孔。并且，在比外周侧孔部121更靠内周侧形成有内周侧孔部122，该内周侧孔部122是具有沿半径方向延伸的长径的长孔或呈椭圆形状的孔。而且，外周侧孔部121和内周侧孔部122通过在外周侧孔部121的长径方向的大致中心部相连的结构，形成为T字孔部120。

另外，T字孔部120在固定圆板12处以固定圆板12的假想中心为中心从内周侧朝向外周侧，以内周侧孔部122、外周侧孔部121的顺序配设。另外，优选多个T字孔部120沿圆周方向并排配设。

通过具有该T字孔部120的结构，固定圆板12能够使半径方向外侧中孔部相对于壁部200的比率急剧增大。

根据上述实施例3的结构，能够局部增大固定圆板12的外周侧的开口率，因此能够使配设了固定圆板12的真空泵1运转时的、在螺旋状板9的外径侧的末端附近局部成为高压的现象难以发生。

另外，通过使T字孔部120从固定圆板12的内周侧以内周侧孔部122、外周侧孔部121的顺序沿半径方向配置，能够使壁部200沿半径方向连续，能够使壁部200中的热通道为最短距离，在固定圆板12中保持强度，并且能够使积存于固定圆板12的热容易通过间隔件70向外部散热。

（实施例4）

使用图5对配设于上述真空泵1的固定圆板12的变形例（实施例4）进行说明。

图5是用于说明本实施方式的实施例4的固定圆板13的图。

如图5所示，固定圆板13具有L字孔部130，该L字孔部130是具有与实施例3的外周侧孔部121以及内周侧孔部122相当的长径和短径的长孔或呈椭圆形状的孔的两个长孔部以像L字的方式组合而成的。

更详细而言，在固定圆板13中，在外周侧形成有外周侧孔部131，该外周侧孔131是具有沿外周方向延伸的长径和沿半径方向延伸的短径的长孔或呈椭圆形状的孔。并且，在比外周侧孔部131更靠内周侧形成有内周侧孔部132，该内周侧孔部132是具有沿半径方向延伸的长径的长孔或呈椭圆形状的孔。而且，外周侧孔部131和内周侧孔部132通过由外周侧孔部131的长径方向端部的任意一方相连的结构，在固定圆板13上形成L字孔部130。

进而，在本实施例4中，优选将内周侧孔部132相对于固定圆板13的半径方向倾斜地配置。即，以使内周侧孔部132的长边方向与半径方向具有既定的倾斜角度（不足90度）的方式构成L字孔部130。

另外，L字孔部130在固定圆板13处以固定圆板13的假想中心为中心从内周侧朝向外周侧，以内周侧孔部132、外周侧孔部131的顺序配设。另外，优选多个L字孔部130沿圆周方向并排配设。

通过具有该L字孔部130的结构，固定圆板13能够使半径方向外侧的孔部相对于壁部200的比率急剧增大。

根据上述实施例4的结构，能够局部增大固定圆板13的外周侧的开口率，因此能够使配设了固定圆板13的真空泵1运转时的、在螺旋状板9的外径侧的末端附近局部成为高压的现象难以发生。

另外，通过使L字孔部130从固定圆板13的内周侧以内周侧孔部132、外周侧孔部131的顺序沿半径方向配置，能够使壁部200在半径方向上连续，能够使壁部200中的热通道为最短距离，因此能够在固定圆板13处保持强度，并且使积存于固定圆板13的热容易通过间隔件70向外部散热。

并且，由于将L字孔部130处的内周侧孔部132相对于固定圆板13的半径方向倾斜地配置，因此能够使螺旋状板9通过L字孔部130的时刻在内周侧和外周侧错开（使其不一致的结构）。其结果是缓和压力变动的可能性提高。

（实施例5）

接着，使用图6对作为上述固定圆板13（实施例4）的变形例的实施例5进行说明。

图6是用于说明本实施方式的实施例5的固定圆板14的图。

如图6所示，在固定圆板14上形成有基本结构与实施例4的L字孔部130的结构相同的L字孔部140。即，L字孔部140具有这样的结构，即，在外周侧具有外周侧孔部141，并且在比外周侧孔部141靠内周侧的位置具有内周侧孔部142，这两者在外周侧孔部141的长径方向的端部的任意一方相连。

在此，在实施例5中，将固定圆板14的壁部200的被相邻的L字孔部140的内周侧孔部142彼此包围的部分称为内周侧实部146。另外，将固定圆板14的壁部200的被相邻的L字孔部140的外周侧孔部141彼此包围的部分称为保持部145。

并且，在固定圆板14中，对于L字孔部140而言，内周侧孔部142的长边方向与固定圆板14的半径方向的倾斜角度（倾斜角θ）被设定为，使得内周侧实部146的中心O2和保持部145的中心O1排列在固定圆板14的半径方向的假想直线上。更详细而言，根据配设于固定圆板14的L字孔部140的数量、保持部145的圆周方向的宽度、以及内周侧实部146的半径方向的长度等来确定倾斜角θ。

通过上述的结构，在实施例5的固定圆板14中，除了实施例4所述的效果以外，在因气体负荷的变动等而对固定圆板14施加载荷时，也能够减少固定圆板14以扭曲方式变形的情况。

其结果是能够减轻螺旋状板9与固定圆板14接触的风险。

（实施例6）

使用图7对作为上述固定圆板（10、11、12、13、14）的变形例的实施例6进行说明。另外，在图7中，作为一例，使用形成有相当于实施例3的T字孔部120的T字孔部150（外周侧孔部151、内周侧孔部152）的固定圆板15进行说明。

图7是用于说明本实施方式的实施例6的固定圆板15的图。

如图7所示，在实施例6中，构成为将固定圆板15分割（切断）为2个。另外，在本实施例6中为分割成两个，但分割次数（或切断面的数量）不限于此。

而且，构成为分割固定圆板15，使得固定圆板15的分割面C-C’与形成有T字孔部150的部分一致。即，不构成为仅将固定圆板15中的壁部200分割而形成分割面C-C’。

此外，形成有固定圆板15的分割面C-C’的任意的T字孔部150构成为具有分割内周侧孔部152a，该分割内周侧孔部152a形成有作为间隙（隙间）的槽153。

另外，槽153的间隔优选为1mm左右。

通过上述实施例6的结构，能够容易地进行将固定圆板15配设于真空泵1时的组装作业。

而且，在固定圆板15中，由于在所形成的分割面C-C’的内周侧（分割的部分被对接的部分）设有间隙（槽153），因此能够构成为分割的固定圆板15彼此不重叠。因此，能够减少因分割面彼此的重叠、碰撞而导致固定圆板15缺损等不良情况，能够延长维护周期。

（实施例7）

图8是表示本实施方式的实施例7的复合型的真空泵1000的概略结构例的图。

在本实施例7的复合型的真空泵1000中，在吸气口4侧配设有涡轮分子泵部T，并且在排气口6侧配设有螺纹槽泵部S，并且在其间配设有具备上述实施例1至实施例6中说明的某个固定圆板（10、11、12、13、14、15）的机构。

更详细而言，涡轮分子泵部T在转子8的吸气口4侧具备多片呈叶片形状的旋转翼90及固定翼91。固定翼91由从与轴7的轴线垂直的平面倾斜既定的角度并从壳体2的内周面朝向轴7延伸的叶片构成，与旋转翼90交错地沿轴线方向配设有多层。

另外，螺纹槽泵部S具备转子圆筒部（裙部）8a及螺纹槽排气元件71。转子圆筒部8a是与转子8的旋转轴线同心的圆筒形状的圆筒部件。螺纹槽排气元件71在与转子圆筒部8a相对的面上形成有螺纹槽（螺旋槽）。

螺纹槽排气元件71的与转子圆筒部8a的相对面侧（即，与真空泵1000的轴线平行的内周面）隔着既定的间隙与转子圆筒部8a的外周面相对，若转子圆筒部8a高速旋转，则由复合型真空泵1000压缩的气体随着转子圆筒部8a的旋转被螺纹槽引导着向排气口6侧送出。即，螺纹槽成为输送气体的流路。

这样，螺纹槽排气元件71的与转子圆筒部8a相对的面和转子圆筒部8a隔开既定的间隙而相对，由此构成利用形成于螺纹槽排气元件71的轴线方向侧内周面的螺纹槽来输送气体的气体移送机构。

另外，为了降低气体向吸气口4侧逆流的力，该间隙越小越好。

另外，在螺纹槽内沿转子8的旋转方向输送气体的情况下，形成于螺纹槽排气元件71的螺纹槽的方向是朝向排气口6的方向。

另外，螺纹槽的深度随着靠近排气口6而变浅，在螺纹槽内输送的气体随着靠近排气口6而被压缩。

通过上述结构，复合型的真空泵1000能够进行配设于该真空泵1000的真空室（未图示）内的真空排气处理。

通过该复合型的真空泵1000的结构，由涡轮分子泵部T压缩后的气体接着在具备本实施方式的某个固定圆板（10、11、12、13、14、15）的部分被压缩，进而被螺纹槽泵部S压缩，因此能够进一步提高真空化性能。

通过上述结构，在本实施方式中，在真空泵1（1000）中，能够缓和在配设的螺旋状板9的末端（外径侧）附近产生局部成为高压的部分这一现象。因此，能够减少由于高压而液化或固化的气体的反应生成物堆积的情况，因此能够延长真空泵1（1000）的维护周期。

另外，本发明的实施方式以及各变形例也可以构成为根据需要进行组合。

另外，本发明只要不脱离本发明的精神，可以进行各种改变，而且，本发明当然也及于该改变后的内容。

附图标记说明

1 真空泵

2 壳体（外筒）

3 基座

4 吸气口

5 凸缘部

6 排气口

7 轴

8 转子

8a转子圆筒部

9 螺旋状板

10固定圆板（实施例1）

11固定圆板（实施例2）

12固定圆板（实施例3）

13固定圆板（实施例4）

14固定圆板（实施例5）

15 固定圆板（实施例6）

20 马达部

30 径向磁轴承装置

31 径向磁轴承装置

40 轴向磁轴承装置

70 间隔件

71 螺纹槽排气元件

80 定子柱

90 旋转翼

91 固定翼

100 孔部

101 外周侧孔部

102a 内周侧孔部

102b 内周侧孔部

110 孔部

111 外周侧孔部

112a 内周侧孔部

112b 内周侧孔部

120 T字孔部

121 外周侧孔部

122 内周侧孔部

130 L字孔部

131 外周侧孔部

132 内周侧孔部

140 L字孔部

141 外周侧孔部

142 内周侧孔部

145 保持部

146 内周侧实部

150 T字孔部

151 外周侧孔部

152 内周侧孔部

152a 分割内周侧孔部

153 槽

200 壁部

1000 真空泵（复合型）

1010 以往的固定圆板

1020 以往的孔部。

Claims (10)

1.一种真空泵，具备：

形成有吸气口和排气口的外装体，

旋转轴，内包于所述外装体中，被旋转自如地支承，

螺旋状板，在所述旋转轴或配设于所述旋转轴的旋转圆筒体的外周面上螺旋状地配设，设有至少一个狭缝，

固定圆板，在所述螺旋状板的所述狭缝内，与该狭缝设有既定的间隔地配置，具有贯通的孔部，

固定所述固定圆板的间隔部，

真空排气机构，通过所述螺旋状板与所述固定圆板的相互作用将从所述吸气口侧吸入的气体向所述排气口侧移送，

其特征在于，

所述孔部至少配设在所述固定圆板的外周侧的区域和内周侧的区域，所述外周侧的区域的外周侧开口率比所述内周侧的区域的内周侧开口率高，

所述外周侧的区域为所述固定圆板的三分之一的范围，

所述外周侧开口率与所述内周侧开口率成式1的关系，

2≤所述外周侧开口率/所述内周侧开口率≤9……式1。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部是具有大致同径形状的圆孔，

在所述固定圆板处，外周侧的既定区域比内周侧的既定区域有更多的该圆孔以所述固定圆板的假想中心为中心并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部是具有大致同径形状的圆孔以及细长形状的长孔，

在所述固定圆板中，在内周侧的既定的区域，该圆孔沿半径方向并排配设，且在外周侧的既定的区域，该长孔沿半径方向并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部为，在所述固定圆板的外周侧沿着圆周方向延伸的细长形状的外周侧长孔和在比所述外周侧长孔靠内周侧的位置沿半径方向延伸的细长形状的内周侧长孔以大致T字的方式连结而形成的T字孔，

在所述固定圆板处，该T字孔在圆周方向上并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述孔部为，在所述固定圆板的外周侧沿着圆周方向延伸的细长形状的外周侧长孔和在比所述外周侧长孔靠内周侧的位置沿半径方向延伸的细长形状的内周侧长孔以大致L字的方式连结而形成的L字孔，

在所述固定圆板处，该L字孔在圆周方向上并排配设，使得所述固定圆板的所述外周侧开口率比所述内周侧开口率高。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

所述内周侧长孔与所述固定圆板的半径方向具有既定的倾斜角。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

所述倾斜角是由以下方式确定的角度，即，使得相邻的所述内周侧长孔所包围的内周壁部的中心与相邻的所述外周侧长孔所包围的外周壁部的中心不隔着所述孔部地在所述固定圆板的半径方向的假想直线上排列。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述固定圆板在配置于内周侧的所述孔部中的至少一个孔部被分割的位置沿直径方向被分割，在该被分割的内周侧的孔部的分割部分形成有间隙。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述固定圆板在不包含所述孔部的该固定圆板上形成有至少一处从内周侧朝向外周侧的最短路径的热通道。

10.一种固定圆板，所述固定圆板是权利要求1至9中任一项所述的真空泵所具备的固定圆板。

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