JPS60188892U - 分子ポンプ - Google Patents

分子ポンプ

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Publication number
JPS60188892U
JPS60188892U JP7587984U JP7587984U JPS60188892U JP S60188892 U JPS60188892 U JP S60188892U JP 7587984 U JP7587984 U JP 7587984U JP 7587984 U JP7587984 U JP 7587984U JP S60188892 U JPS60188892 U JP S60188892U
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JP
Japan
Prior art keywords
molecular pump
blades
view
attached
rotor blades
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7587984U
Other languages
English (en)
Inventor
吉村　敬二
Original Assignee
三菱重工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 三菱重工業株式会社 filed Critical 三菱重工業株式会社
Priority to JP7587984U priority Critical patent/JPS60188892U/ja
Publication of JPS60188892U publication Critical patent/JPS60188892U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案に係る分子ポンプの一実施例を示す縦断側
面図、第２図はその一部を拡大して示す縦断側面図、第
３図はその平面図、第４図は動翼の斜孔の他の実施例を
示す平面図、第５図は動翼の他の実施例を示す縦断側面
図、第６図は動翼の斜孔の他の実施例を示す平面図、第
７図は第６図の矢視■−■線に沿う縦断側面図、第８図
は動翼の斜孔のさらに他の実施例を示す平面図である。 １・・・回転軸、２・・・動翼、３・・・静翼、６・・
・ケーシング。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転軸に取付けられた動翼とケーシングに取付けられた
    静翼とが軸方向に交互に配設されている分子ポンプにお
    いて、前記動翼及び静翼が貫通した斜孔を有する円板に
    より構成されていることを特徴とした分子ポンプ。
JP7587984U 1984-05-25 1984-05-25 分子ポンプ Pending JPS60188892U (ja)

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JP7587984U JPS60188892U (ja) 1984-05-25 1984-05-25 分子ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

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JP7587984U JPS60188892U (ja) 1984-05-25 1984-05-25 分子ポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60188892U true JPS60188892U (ja) 1985-12-14

Family

ID=30617509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7587984U Pending JPS60188892U (ja) 1984-05-25 1984-05-25 分子ポンプ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015505012A (ja) * 2012-01-27 2015-02-16 エドワーズ リミテッド 気体輸送式真空ポンプ
JP2016075276A (ja) * 2014-10-02 2016-05-12 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 真空ポンプの為のローターディスク又はステーターディスクの製造方法及び真空ポンプの為のローターディスク又はステーターディスク
WO2018061577A1 (ja) * 2016-09-27 2018-04-05 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる固定円板

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