CN109681652A - 门阀组件及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降；导向机构用于在阀体升降时为阀体导向、并用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。

Description

门阀组件及真空镀膜设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备通常包括多个不同功能的腔室。在真空腔室进行镀膜工艺时，通过阀体使相邻两个腔室之间有效隔离。

现有的门阀结构如图1所示，阀体1的两端分别通过固定螺钉5’固定在门框体上，以使门阀1’处于开启常态。门阀1’闭合时，先通过2个气缸2’推动气缸2’顶部的浮动接头3’竖直升起，以使各个浮动接头3’同时顶在门阀1’的底部，然后松开门阀1’与门框连接的固定螺钉5’，则此时门阀1’的整个重量都压在浮动接头3’上，接着控制气缸2’下降，以使得门阀1’最终降落在固定支架4’上。

现有门阀的开启需要人为协助，以防止气缸2’升降过程中浮动接头3’由于摆动会顶不到门阀1’的正确位置，避免门阀1’在升降时出现摆动或移位产生故障。同时，气缸2’升降速度只能通过调整节流阀控制，气流大小不易控制，且断气情况下存在损伤门阀1’和伤害操作者的风险。气缸2’本身不能承受较大横向力，上述应用在设备内的门阀1’通常自身重量高达100多公斤，在气缸2’的下降过程中如果受到横向力影响，就会对气缸2’的寿命造成不良影响，甚至导致气缸2’遭受到破坏。

发明内容

(一)发明目的

本发明的目的是提供了一种门阀组件及真空镀膜设备，以使阀体在开闭时，避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长该结构的使用寿命。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种门阀组件。该门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构。所述阀体通过升降实现开闭，该门阀组件的阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长该结构的使用寿命。

所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间。所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降，从而利用驱动机构控制阀体的开启和关闭。

所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向，以提高阀体升降的精确度。且由于驱动机构驱动阀体升降时，驱动机构一旦受到横向冲击将会影响阀体升降的稳定，为了提高阀体升降过程的稳定性，所述导向机构还被用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。

优选的，每个所述导向机构均包括导杆和套筒柱。所述导杆与所述套筒柱相匹配。即是说每个套筒柱分别配设有对应的导杆，导杆与套筒柱的位置上下相对设置，从而使每个导杆和与其相对应的套筒柱共同构成一组导套结构。

在每组导套结构中，所述导杆的自由端套设在所述套筒柱内，在所述阀体升降时，所述导杆在套筒柱内随所述阀体的升降而伸缩，从而利用导杆沿套筒柱轴向的伸缩移动限定阀体的移动方向。

两个所述套筒柱分别固定在所述底座的两端，两个所述导杆的顶部分别固定在所述阀体的两端，以使所述驱动机构被保护在两组所述导向机构之间，从而使阀体和驱动机构免受横向冲击。

优选的，所述驱动机构包括至少两个升降器和同步驱动组件。所述至少两个升降器安装在所述底座和阀体之间，以利用并列的多个所述升降器同步升降，从而提高阀体升降过程的稳定性和结构强度。

所述升降器用于带动所述阀体的升降。

所述至少两个升降器通过所述同步驱动组件连接。所述同步驱动组件用于带动所述至少两个升降器同步升降。所述同步驱动组件的设置有利于多个所述升降器在升降时具有一致性，从而保证阀体在启闭时更加平稳可靠，避免阀体在移动时发生侧向倾覆。

优选的，所述升降器包括立柱、驱动器、伸缩杆和升降法兰。所述立柱竖向固定在所述底座上。并且优选每个立柱的轴线依次沿阀体下表面的中线排列，从而保证升降器在伸缩时的推力方向与阀体的重力相互平行。阀体在升降器的推动下可以稳定升降，避免阀体受力不均而造成倾覆侧翻。

所述伸缩杆的一端可伸缩的插装在所述立柱内，所述伸缩杆的另一端安装有升降法兰。所述升降法兰用于与所述阀体固定，以保证阀体在升降时与驱动机构之间可靠连接。利用升降法兰可以保证升降器与阀体之间准确连接，连接位置能够精确预计，并且升降法兰还能更好的避免因浮动接头自身摆动而与阀体的连接不准确的问题。

所述驱动器与所述伸缩杆连接，所述驱动器用于限定所述伸缩杆的升降。

进一步的，所述驱动器为升降手轮或驱动电机。

所述驱动器为升降手轮时能够利用手轮手动调控伸缩杆的升降行程，从而使得阀体的升降更易于控制。并且升降手轮不存在断气时阀体失去支撑力而伤害底座的问题，也不存在人员伤亡的风险。

所述驱动器为驱动电机时能够利用电机精确控制伸缩杆的升降行程，从而提高阀体升降的控制精度。

更进一步的，当所述驱动器为升降手轮时，该升降手轮包括完全自锁结构。该完全自锁结构能够保证驱动机构在升降过程中的安全性。在利用升降手轮驱动伸缩杆伸缩时，可以将伸缩杆锁定在任一位置，从而将阀体完全锁定在任一高度，以保证人员操作安全。

优选的，所述同步驱动组件包括同步带和带轮。每个所述升降器上分别安装有所述带轮，各个所述带轮通过所述同步带连接。同步带在移动时同步带动各个升降机上的带轮转动，从而只需要驱动任一升降器即可带动所有升降器同步升降，进一步提高阀体升降的平稳性和安全性。

优选的，所述门阀组件还包括至少两个支撑柱。利用至少两个支撑柱保证在支撑阀体时能够保证阀体的平衡，避免阀体晃动或滑落造成阀体损伤或人员伤亡事故发生。

所述至少两个支撑柱一端与所述底座连接,另一端与所述阀体连接，所述支撑柱为定位锁紧结构，所述支撑柱用于对升降至特定位置的所述阀体进行支撑。阀体升起至特定位置时，能够利用支撑柱的定位锁紧结构将阀体固定在该特定位置处，以利用支撑柱对处于特定位置的阀体进行可靠支撑，从而使得阀体处于部分开启或常开状态，有效提高阀体开启后的结构安全性和可靠度，防止开启的阀体掉落造成损伤，也能防止对处于阀体下方的产品或人员造成损伤。

进一步的，本发明提供了一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括真空腔体和将所述真空腔体密封的门阀组件，所述门阀组件如上所述。安装有该门阀组件的真空镀膜设备的真空腔体具有更高的结构可靠性、密闭性和安全性。该门阀组件使得阀体在开闭时，避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长真空镀膜设备的使用寿命。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有以下有益效果：该门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降；导向机构用于在阀体升降时为阀体导向、并用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。

附图说明

图1为现有门阀结构的结构示意图；

图2为本发明实施例的门阀组件的主视图；

图中：

1’、门阀；2’、气缸；3’、浮动接头；4’、支架；5’、紧固螺钉；

1、阀体、2、升降器；3、同步带；4、导杆；5、带轮；6、套筒柱；7、升降法兰；8、支撑柱。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本申请的范围。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

如图2所示，本实施例提出了一种门阀组件。该门阀组件包括底座、阀体1、驱动机构和导向机构。该阀体1通过升降实现开闭。驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体1之间。导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降，从而利用驱动机构控制阀体的开启和关闭。导向机构用于在阀体升降时为阀体导向，以提高阀体升降的精确度。且由于驱动机构驱动阀体升降时，驱动机构一旦受到横向冲击将会影响阀体升降的稳定，为了提高阀体升降过程的稳定性，导向机构还被用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。该门阀组件利用导向机构对阀体1的升降进行精确导向，并利用导向机构保护驱动机构，使得阀体1在开闭时能够有效避免因受到横向力影响而造成阀体1和驱动机构受到冲击引起损坏。有效延长该阀体控制结构的使用寿命。

在一个实施例中，每个导向机构均包括导杆4和套筒柱6。其中，导杆4与套筒柱6相匹配。即是说每个套筒柱6分别配设有对应的导杆4，导杆4与套筒柱6的位置上下相对设置，从而使每个导杆4和与其相对应的套筒柱6共同构成一组导套结构。

在一个具体实施例中，两个套筒柱6的底部分别固定在所述底座上表面的两端，以保证套筒柱6与底座之间的可靠固定，并为套筒柱6的轴向进行定位。

在一个具体实施例中，在每组导套结构中，导杆4的自由端套设在套筒柱6内。则在阀体1升降时，导杆4在套筒柱6内由阀体1的升降带动下而产生轴向伸缩，从而利用导杆4沿套筒柱6轴向的伸缩移动限定阀体1的移动方向。

在一个具体实施例中，两个导杆4分别可伸缩的插装在两个套筒柱6内。在阀体1升降时，两个导杆4分别在两个套筒柱6内随阀体1的升降而同步伸缩，从而利用两组导套结构中的导杆4沿套筒柱6轴向的伸缩移动共同限定阀体1的移动方向为竖直上下运动。

在一个实施例中，两个套筒柱6分别固定在底座的两端，两个导杆4的顶部分别固定在阀体1的两端，以使驱动机构被保护在两组导向机构之间，从而使阀体1和驱动机构免受横向冲击。

在一个具体实施例中，两个导杆4的顶部分别固定在所述阀体下表面的两端，以使所述驱动机构被保护在两组所述导向机构之间，使驱动机构在驱动阀体1升降时免受横向冲击。

在一个具体实施例中，套筒柱6的轴向垂直于底座上，并且位于阀体1重心所在的平面内，从而确保导杆4在套筒柱6内的伸缩产生的推力与阀体1的重力处于同一平面内。

在一个实施例中，驱动机构包括至少两个升降器2和同步驱动组件，以保证升降器的驱动力输出平衡。应说明的是，升降器2的具体数量可以为一个、两个、或两个以上，即升降器2的数量可以根据阀体1的尺寸参数确定。

在一个实施例中，至少两个升降器2通过同步驱动组件连接。同步驱动组件用于带动各个升降器2同步升降。同步驱动组件的设置有利于多个升降器2在升降时具有一致性，从而保证阀体1在启闭时更加平稳可靠，避免阀体1在移动时发生侧向倾覆。

在一个具体实施例中，有一个升降器2安装在底座和阀体1之间。该升降器2竖直的固定在阀体1底部中心。利用该升降器2驱动阀体1的升降。升降器2的轴线与阀体1重心共线，并辅以导向机构的导向作用，以使阀体1的升降平稳，提高阀体1启闭的安全性。

在一个具体实施例中，有至少两个升降器2安装在底座和阀体1之间，以利用并列的多个升降器2同步升降，从而提高阀体1升降过程的稳定性和结构强度。

在一个具体实施例中，升降器2用于带动阀体1的升降。利用各个升降器2同步上升并固定在阀体1底部，以使阀体1可靠支撑在升降器2顶部。在阀体1固定在升降器2上以后，再利用各个升降器2同步驱动阀体1升降，从而更好的控制阀体1的启闭，提高阀体1启闭过程的稳定性和可靠性。

在一个实施例中，升降器2包括立柱、驱动器、伸缩杆和升降法兰7。

在一个实施例中，立柱竖向固定在底座的上。

在一个具体实施例中，多个立柱分别竖直的固定在底座的上表面。每个立柱的轴线依次沿阀体1下表面的中线排列，从而保证升降器2在伸缩时的推力方向与阀体1的重力相互平行。阀体1在升降器2的推动下可以稳定升降，避免阀体1受力不均而造成倾覆侧翻。

在一个实施例中，伸缩杆的一端可伸缩的插装在立柱内。伸缩杆沿立柱内伸缩，从而向上推动或向下拉动阀体1，以带动阀体1升降。

在一个实施例中，伸缩杆的另一端安装有升降法兰7。升降法兰7用于与阀体1固定，以保证阀体1在升降时与驱动机构之间可靠连接。利用升降法兰7可以保证升降器2与阀体1之间准确连接，连接位置能够精确预计，并且升降法兰7还能更好的避免因浮动接头3自身摆动而与阀体1的连接不准确的问题。

在一个实施例中，驱动器与伸缩杆连接，驱动器用于限定伸缩杆的升降，以实现伸缩杆的升降控制。

在一个具体实施例中，以阀体1的重心所在的竖直线为阀体1轴线，沿阀体1轴线两侧分别竖直设置升降器2。利用升降器2本身承受阀体1重量，从而可代替原有的支架4结构。

在一个具体实施例中，沿阀体1轴线两侧分别竖立导向机构，并将导向机构安装在升降器2的外侧。利用导向机构保护升降器2和阀体1免受横向冲击。

在一个具体实施例中，升降法兰7可通过四个通孔固定在阀体1底部。通过螺栓旋紧在四个通孔内，从而解决现有结构中因浮动接头3连接不牢固而导致气缸2与阀体1之间连接位置不可靠不准确的问题。

在一个具体实施例中，驱动器为升降手轮或驱动电机。

在一个具体实施例中，驱动器为升降手轮时能够利用手轮手动调控伸缩杆的升降行程，从而使得阀体1的升降更易于控制。并且升降手轮不存在断气时阀体1失去支撑力而下落伤害底座的问题，也不存在人员伤亡的风险。

在一个具体实施例中，升降手轮安装有完全自锁结构。该完全自锁结构能够保证驱动机构在升降过程中的安全性。在利用升降手轮驱动伸缩杆伸缩时，可以将伸缩杆锁定在任一位置，从而将阀体1完全锁定在任一高度，以保证人员操作安全。

在一个具体实施例中，通过限定升降手轮的旋转圈数与伸缩杆升降的关系，实现利用升降器2精确控制阀体1升降速度的目的。

在一个具体实施例中，升降器2的升降手轮每正转一圈，则伸缩杆上升0.25mm～0.30mm。

在一个具体实施例中，升降器2的升降手轮每反转一圈，则伸缩杆下降0.25mm～0.30mm。

在一个具体实施例中，该完全自锁结构包括涡轮蜗杆组件。

在一个具体实施例中，该完全自锁结构利用蜗杆的螺旋升角小于涡轮蜗杆啮合齿的当量摩擦角，实现完全锁定伸缩杆的升降位置。

在一个具体实施例中，驱动器为驱动电机时能够利用电机精确控制伸缩杆的升降行程，从而提高阀体1升降的控制精度。

在一个实施例中，同步驱动组件包括同步带3和带轮5。利用带轮5传动结构实现各个升降器2之间的同步驱动。

在一个具体实施例中，每个升降器2上分别安装有带轮5，各个带轮5通过同步带3连接。同步带3在移动时同步6带动各个升降机上的带轮5转动，从而只需要驱动任一升降器2即可带动所有升降器2同步升降，进一步提高阀体1升降的平稳性和安全性。

当然，上述图2所示出的门阀组件也仅仅为本申请中的一种具体实现方式。本申请具体实施例中，同步驱动组件的结构可以采用其他任意形式，例如选用链式驱动结构亦可。故而上述的同步驱动组件的结构并不能仅局限为本申请实施例所示。

在一个实施例中，门阀组件还包括至少两个支撑柱8。利用至少两个支撑柱8保证在支撑阀体时能够保证阀体的平衡，避免阀体晃动或滑落造成阀体损伤或人员伤亡事故发生。

在一个具体实施例中，至少两个支撑柱8一端与底座连接,另一端与阀体连接。支撑柱8为定位锁紧结构。支撑柱8用于对升降至特定位置的阀体进行支撑。阀体升起至特定位置时，能够利用支撑柱8的定位锁紧结构将阀体固定在该特定位置处，以利用支撑柱8对处于特定位置的阀体进行可靠支撑，从而使得阀体处于部分开启或常开状态，有效提高阀体开启后的结构安全性和可靠度，防止开启的阀体掉落造成损伤，也能防止对处于阀体下方的产品或人员造成损伤。

在一个具体实施例中，支撑柱8包括多个锁紧位置，所述的锁紧位置是指支撑柱8随着阀体1在升降时根据特定压力和/或速度条件下运动至锁紧位置即被锁紧。该定位锁紧结构在对支撑柱8进行定位锁紧时可以通过液压控制、气动控制或机械结构实现。本申请对支撑柱8的具体结构不进行限定。

在一个更具体实施例中，支撑柱8包括三个锁紧位置。当支撑柱8位于第一锁紧位置固定支撑阀体1时，由该阀体1密封的真空镀膜设备的腔室完全开启。当支撑柱8位于第二锁紧位置固定支撑阀体1时，由该阀体1密封的真空镀膜设备的腔室完全密封。当支撑柱8位于第三个锁紧位置固定支撑阀体1时，由该支撑阀体密封的真空镀膜设备的腔室开启X％(X为大于1小于100的自然数)。

在一个实施例中，基于上述的门阀组件提供了一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括真空腔体和将真空腔体密封的门阀组件，该门阀组件如上所述。安装有该门阀组件的真空镀膜设备的真空腔体具有更高的结构可靠性、密闭性和安全性。该门阀组件使得阀体1在开闭时，避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长真空镀膜设备的使用寿命。

在一个实施例中，基于上述的门阀组件及真空镀膜设备，本发明实施例提供了一种阀体控制方法。通过该阀体控制方法能够有效提高阀体1开闭时的安全性和稳定性，有效延长阀体1的使用寿命。

在一个具体实施例中，该门阀组件在使用时，包括以下使用步骤：

S1、控制空载的驱动机构升起，以使驱动机构的顶部支撑并固定在阀体1的底部；

S2、通过驱动机构推动阀体1升起，以使阀体1与支撑柱8分离；

S3、通过驱动机构继续带动阀体1升起或降落，以实现阀体1的开启或关闭；

其中，在阀体1在升起或降落时，通过导向机构对阀体1的升降进行导向并为阀体1承担横向冲击。

在一个具体实施例中，阀体控制方法的具体流程包括门阀组件的组装步骤和使用步骤。

在一个具体实施例中，门阀组件的组装步骤包括：将升降器2直接固定在底座上；在每个升降器2的伸缩杆的同一侧面上套装带轮5；将各个带轮5之间顺次通过同步带3连接，并张紧同步带3；将导杆4的顶端固定在阀体1的底部，并将导杆4的底端插装在底座两端的套筒柱6里。

在一个具体实施例中，门阀组件的使用步骤包括：手摇或机控升降器2的升降；当升降器2的升降法兰7接触阀体1的底部时，通过螺栓或螺钉将升降法兰7与阀体1固定；在阀体1与升降器2之间固定完成后，通过控制升降器2的升降将阀体1慢慢升起或降到指定位置即可。

综上所述，本实施例的门阀组件包括底座、阀体1、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体1之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体1升降；导向机构用于在阀体1升降时为阀体1导向、并用于为阀体1和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体1在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体1和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体1的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。

本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (10)

1.一种门阀组件，其特征在于，包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间，所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降；所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向、并用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。

2.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，每个所述导向机构均包括导杆和套筒柱，所述导杆与所述套筒柱相匹配，两个所述套筒柱分别固定在所述底座的两端，两个所述导杆的顶部分别固定在所述阀体的两端，所述导杆的自由端套设在所述套筒柱内。

3.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，所述驱动机构包括至少两个升降器和同步驱动组件，所述至少两个升降器安装在所述底座和阀体之间，所述升降器用于带动所述阀体的升降；所述至少两个升降器通过所述同步驱动组件连接，所述同步驱动组件用于带动所述至少两个升降器同步升降。

4.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述升降器包括立柱、驱动器、伸缩杆和升降法兰，所述立柱竖向固定在所述底座上，所述伸缩杆的一端可伸缩的插装在所述立柱内，所述伸缩杆的另一端安装有升降法兰，所述升降法兰用于与所述阀体固定；所述驱动器与所述伸缩杆连接，所述驱动器用于限定所述伸缩杆的升降。

5.根据权利要求4所述的门阀组件，其特征在于，所述驱动器为升降手轮。

6.根据权利要求5所述的门阀组件，其特征在于，所述升降手轮包括完全自锁结构。

7.根据权利要求4所述的门阀组件，其特征在于，所述驱动器为驱动电机。

8.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述同步驱动组件包括同步带和带轮，每个所述升降器上分别安装有所述带轮，各个所述带轮通过所述同步带连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的门阀组件，其特征在于，所述门阀组件还包括至少两个支撑柱，所述至少两个支撑柱一端与所述底座连接,另一端与所述阀体连接，所述支撑柱为定位锁紧结构，所述支撑柱用于对升降至特定位置的所述阀体进行支撑。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体和将所述真空腔体密封的门阀组件，所述门阀组件如权利要求1-9任一项所述。