CN109650037B - 产品流转装置及产品流转方法 - Google Patents
产品流转装置及产品流转方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109650037B CN109650037B CN201811474172.7A CN201811474172A CN109650037B CN 109650037 B CN109650037 B CN 109650037B CN 201811474172 A CN201811474172 A CN 201811474172A CN 109650037 B CN109650037 B CN 109650037B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- product
- manipulator
- nozzle plate
- suction nozzle
- material changing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
Abstract
本发明涉及一种产品流转装置,包括:多个机械手;机械手依次相邻设置;每个机械手包括:主体和连接主体的换料机构;主体用于带动换料机构动作以转移产品;换料机构用于实现相邻的两个机械手之间的产品传递;换料机构包括:连接主体的转轴、连接在转轴上的安装座、以及连接在安装座上的吸嘴板;吸嘴板用于承载和吸附产品。同时提供一种产品流转方法。本发明的有益效果为:设置多个用于相互传递产品的机械手,每个机械手上设有主体和换料机构,换料机构设有用于真空吸附产品的吸嘴板,从而避免在机械手之间引入水流线,缩短单个产品的生产周期,提高生产效率,避免因流水线上的导料架所引起的产品刮伤问题,有利于产品的质量管控。
Description
技术领域
本发明涉及产品制造技术领域,特别是涉及一种产品流转装置及产品流转方法。
背景技术
在产品的制造和加工中,经常需要将产品在不同加工工序之间进行流转。传统的做法是,设置流水线将产品传送至机械手的抓料点,并且流水线上设有导料架以到确保产品的位置精度,接着利用机械手将产品从流水线上抓取起来并且放到指定加工工序的机台上进行加工,带产品完成该机台的加工后,机械手再次将产品抓起来,并且放到流向下一个加工工序的水流线上。这种设计的缺点在于,产品在不同加工工序之间的流转需要流水线与机械手反复配合作业,相邻两个机械手之间还需要流水线进行中间传输,机械手拿取产品的时间较长,导致单个产品的生产周期变长,生产效率降低。另外,流水线上的导料架在实现引导产品的同时,也带来容易刮伤产品的风险,不利于产品质量的管控。
发明内容
基于此,本发明提供一种产品流转装置,其包括多个沿产品的流转方向依次相邻设置的机械手,每个机械手上设有主体和换料机构,其中,换料机构设有用于真空吸附产品的吸嘴板,相邻的两个机械手之间通过换料机构进行产品的传递,从而避免在机械手之间引入水流线,减少机械手拿取产品的时间,缩短单个产品的生产周期,提高生产效率。同时,避免了因流水线上的导料架所引起的产品刮伤问题,降低产品被刮伤的风险,有利于产品的质量管控。
一种产品流转装置,包括:
多个机械手;机械手依次相邻设置;每个机械手包括:主体和连接主体的换料机构;主体用于带动换料机构动作以转移产品;换料机构用于实现相邻的两个机械手之间的产品传递;换料机构包括:连接主体的转轴、连接在转轴上的安装座、以及连接在安装座上的吸嘴板;吸嘴板用于承载和吸附产品。
上述产品流转装置,其包括多个沿产品的流转方向依次相邻设置的机械手,每个机械手上设有主体和换料机构,其中,换料机构设有用于真空吸附产品的吸嘴板,相邻的两个机械手之间通过换料机构进行产品的传递,从而避免在机械手之间引入水流线,减少机械手拿取产品的时间,缩短单个产品的生产周期,提高生产效率。同时,避免了因流水线上的导料架所引起的产品刮伤问题,降低产品被刮伤的风险,有利于产品的质量管控。
在其中一个实施例中,吸嘴板的数量为多个。根据产品的尺寸和形状,可以选择合适数量的吸嘴板。
在其中一个实施例中,相邻两个吸嘴板之间设有避位间隙。避位间隙用于实现两个机械手的吸嘴板之间的紧密对接,提高产品在两个机械手之间的传递的稳定性。
在其中一个实施例中,吸嘴板分为至少两组,每组吸嘴板分别对应连接在安装座的不同侧面。根据产品的不同吸附面,通过主体带动转轴转动以切换合适组别的吸嘴板进行产品吸附。
在其中一个实施例中,吸嘴板可拆连接在安装座上。根据产品的形状和尺寸需求,可以将吸嘴板拆卸下来进行位置或者数量上的调整。
同时,还提供一种产品流转方法。
一种产品流转方法,包括步骤:
将多个机械手沿着产品流转的方向依次相邻设置,将多个机械手分别标记为第一机械手至第N机械手,其中,N为整数且不小于二;每个机械手分别设有换料机构,并且每个换料机构设有吸嘴板;吸嘴板用于承载和吸附产品;
第一机械手动作并且通过第一机械手的换料机构上的吸嘴板吸附产品;
第一机械手判断第一机械手的吸嘴板已经吸附有产品时,第一机械手动作并且回到第一机械手的安全位置进行待机;
第二机械手判断第二机械手的嘴板没有吸附产品时,第二机械手动作并且回到第二机械手的安全位置进行待机;
当第一机械手和第二机械手均处于各自的安全位置时,第一机械手的换料机构移动至预设的换料点并且保持不动;第二机械手的吸嘴板启动以产生真空吸附力,并且第二机械手的换料机构开始向第一机械手的换料机构靠拢;
第二机械手的吸嘴板触碰产品并且开始吸附产品;第二机械手判断第二机械手的吸嘴板已经吸附有产品时,第一机械手的吸嘴板关闭以终止真空吸附力,并且第一机械手的换料机构开始远离产品;
第一机械手回到第一机械手的安全位置时,第一机械手与第二机械手之间的产品传递完成;
第二机械手将产品移动至执行指定加工工序的机台的放料点;
当产品完成指定加工工序时,第二机械手将产品传递给下一个机械手,直至完成产品的所有加工工序。
上述产品流转方法,利用多个机械手完成产品在不同工序之间的流转,舍弃传统的水流线中转。每个机械手都设置有安全位置,当机械手处于安全位置时,可以确保不会干扰到其他机械手的动作,在此基础上,利用带有吸嘴板的换料机构实现产品的抓取以及相邻两个机械手之间的对接,将传统的机械手-流水线-机械手的流转模式,改良为机械手与机械手之间的直接传递,避免了因为引入流水线所带来的产品取放时间的增加以及导料架的产品刮伤问题,从而缩短单个产品的生产周期,提高生产效率,并且降低产品被刮伤的风险,有利于产品的质量管控。
在其中一个实施例中,在第二机械手的换料机构向第一机械手的换料机构靠拢的过程中,第二机械手的吸嘴板与第一机械手的吸嘴板保持平行,该设计有利于产品在两个机械手的换料机构之间的平稳过渡,提高产品转移的稳定性。
在其中一个实施例中,每个机械手的换料机构分别设有多个吸嘴板。根据产品的尺寸和形状,可以选择合适数量的吸嘴板。
在其中一个实施例中,相邻两个吸嘴板之间设有避位间隙。避位间隙用于实现两个机械手的吸嘴板之间的紧密对接,提高产品在两个机械手之间的传递的稳定性。
在其中一个实施例中,吸嘴板可拆连接在安装座上。根据产品的形状和尺寸需求,可以将吸嘴板拆卸下来进行位置或者数量上的调整。
附图说明
图1为本发明的一种实施例的产品流转装置的示意图;
图2为图1所示的产品流转装置中的机械手的换料机构的示意图;
图3为图2所示的换料机构的另一视角的示意图;
图4为图1所示的产品流转装置中的两个机械手在对接时的换料机构的状态示意图;
图5为图1所示的产品流转装置的一种应用例子。
附图中各标号的含义为:
100-产品流转装置;
10-第一机械手,10a-第二机械手,11-主体,12-换料机构,121-转轴,122-安装座,123-吸嘴板;
200-投料机;
300-收料机。
具体实施方式
为了便于理解本发明,下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是,本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本发明。
如图1至图5所示,其为本发明的一种实施例的产品流转装置100。
如图1所示,该产品流转装置100包括:多个机械手,机械手依次相邻设置。在本实施例中,其展示的机械手数量为两个,例如图1所展示的第一机械手10和第二机械手10a。在其他实施例中,根据工序的数量,可以增加更多的机械手,并不仅限于本实施例所展示的两个机械手。
每个机械手包括:主体11和连接主体11的换料机构12。主体11用于带动换料机构12动作以转移产品。换料机构12用于实现相邻的两个机械手之间的产品传递。
如图2和图3所示,换料机构12包括:连接主体11的转轴121、连接在转轴121上的安装座122、以及连接在安装座122上的吸嘴板123。吸嘴板123用于承载和吸附产品。
根据不同的产品需求,吸嘴板123的设置也可以有多种变化。
例如,吸嘴板123的数量为多个。根据产品的尺寸和形状,可以选择合适数量的吸嘴板123。
进一步地,相邻两个吸嘴板123之间设有避位间隙。避位间隙用于实现两个机械手的吸嘴板123之间的紧密对接,提高产品在两个机械手之间的传递的稳定性。
进一步地,吸嘴板123可分为至少两组,每组吸嘴板123分别对应连接在安装座122的不同侧面。根据产品的不同吸附面,通过主体11带动转轴121转动以切换合适组别的吸嘴板123进行产品吸附。
又例如,吸嘴板123可拆连接在安装座122上。根据产品的形状和尺寸需求,可以将吸嘴板123拆卸下来进行位置或者数量上的调整。
如图3所示,在本实施例中,一个换料机构12上设置有三个吸嘴板123,并且这三个吸嘴板123均通过螺丝和螺孔可拆连接于安装座122上。这三个吸嘴板123分为上下平行的两组,其中一组为单个吸嘴板123构成,另一组为两个位于同一平面上的吸嘴板123构成,根据不同的产品吸附面需求,可以通过主机旋转转轴121以进行不同组的吸嘴板123的切换。
进一步地,在本实施例中,相邻的两个吸嘴板123之间设置了至少能容置一个吸嘴板123的避位间隙。如图4所示,当两个机械手的换料机构12对接时,位于同一平面上的吸嘴板123可以同时吸附到产品的同一个面上,实现换料机构12之间紧密对接,并且产品可以从两个换料机构12之间平稳过渡。
如图5所示,其为上述的产品流转装置100的一个应用例子,其设置了六个机械手,实现产品从投料机200、第一机台、第二机台、第三机台、第四机台、以及收料机300之间的流转。
上述产品流转装置100,其包括多个沿产品的流转方向依次相邻设置的机械手,每个机械手上设有主体11和换料机构12,其中,换料机构12设有用于真空吸附产品的吸嘴板123,相邻的两个机械手之间通过换料机构12进行产品的传递,从而避免在机械手之间引入水流线,减少机械手拿取产品的时间,缩短单个产品的生产周期,提高生产效率。同时,避免了因流水线上的导料架所引起的产品刮伤问题,降低产品被刮伤的风险,有利于产品的质量管控。
同时,结合上述的图1至图5所展示的产品流转装置100,下文还提供一种产品流转方法。
该产品流转方法,包括步骤:
S100:将多个机械手沿着产品流转的方向依次相邻设置,将多个机械手分别标记为第一机械手10至第N机械手,其中,N为整数且不小于二;每个机械手分别设有换料机构12,并且每个换料机构12设有吸嘴板123;吸嘴板123用于承载和吸附产品。为了便于说明,如图1所示,以两个机械手为例展示上述的布局,分别标记为第一机械手10和第二机械手10a。
如图1至图4所示,在本实施例中,对机械手上的换料机构12进行功能优化。
例如,在本实施例中,每个机械手的换料机构12分别设有多个吸嘴板123。根据产品的尺寸和形状,可以选择合适数量的吸嘴板123。
进一步地,相邻两个吸嘴板123之间为设有避位间隙。避位间隙用于实现两个机械手的吸嘴板123之间的紧密对接,提高产品在两个机械手之间的传递的稳定性。
又例如,吸嘴板123可拆连接在安装座122上。根据产品的形状和尺寸需求,可以将吸嘴板123拆卸下来进行位置或者数量上的调整。
S200:第一机械手10动作并且通过第一机械手10的换料机构12上的吸嘴板123吸附产品。
S300:第一机械手10判断第一机械手10的吸嘴板123已经吸附有产品时,第一机械手10动作并且回到第一机械手10的安全位置进行待机。其中,安全位置是指当前机械手所处于的不会干扰到其他机械手的动作的位置。
S400:第二机械手10a判断第二机械手10a的嘴板没有吸附产品时,第二机械手10a动作并且回到第二机械手10a的安全位置进行待机。
S500:当第一机械手10和第二机械手10a均处于各自的安全位置时,第一机械手10的换料机构12移动至预设的换料点并且保持不动;第二机械手10a的吸嘴板123启动以产生真空吸附力,并且第二机械手10a的换料机构12开始向第一机械手10的换料机构12靠拢。
在本实施例中,如图2至图4所示,在第二机械手10a的换料机构12向第一机械手10的换料机构12靠拢的过程中,第二机械手10a的吸嘴板123与第一机械手10的吸嘴板123保持平行,该设计有利于产品在两个机械手的换料机构12之间的平稳过渡,提高产品转移的稳定性。例如,当第一机械手10的换料机构12在预设的换料点待机并且保持不动时,第二机械手10a的换料机构12从下往上向第一机械手10的换料机构12靠拢,直至第二机械手10a的吸嘴板123吸附到产品。
S600:第二机械手10a的吸嘴板123触碰产品并且开始吸附产品;第二机械手10a判断第二机械手10a的吸嘴板123已经吸附有产品时,第一机械手10的吸嘴板123关闭以终止真空吸附力,并且第一机械手10的换料机构12开始远离产品。
S700:第一机械手10回到第一机械手10的安全位置时,第一机械手10与第二机械手10a之间的产品传递完成。
S800:第二机械手10a将产品移动至执行指定加工工序的机台的放料点。
S900:当产品完成指定加工工序时,第二机械手10a将产品传递给下一个机械手,直至完成产品的所有加工工序。需要说明的是,若机械手的数量为两个,则第二机械手10a将产品传送至最终的收料点,即完成产品的流转。若机械手的数量为三个、四个或者更多,则相邻两个机械手之间重复第一机械手10与第二机械手10a之间的产品传递模式,直至将产品传送至最终的收料点,以完成产品的流转。
上述产品流转方法,利用多个机械手完成产品在不同工序之间的流转,舍弃传统的水流线中转。每个机械手都设置有安全位置,当机械手处于安全位置时,可以确保不会干扰到其他机械手的动作,在此基础上,利用带有吸嘴板123的换料机构12实现产品的抓取以及相邻两个机械手之间的对接,将传统的机械手-流水线-机械手的流转模式,改良为机械手与机械手之间的直接传递,避免了因为引入流水线所带来的产品取放时间的增加以及导料架的产品刮伤问题,从而缩短单个产品的生产周期,提高生产效率,并且降低产品被刮伤的风险,有利于产品的质量管控。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上实施例仅表达了本发明的优选的实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种产品流转装置,其特征在于:包括:
多个机械手;所述机械手依次相邻设置;每个所述机械手包括:主体和连接所述主体的换料机构;所述主体用于带动所述换料机构动作以转移产品;所述换料机构用于实现相邻的两个所述机械手之间的产品传递;所述换料机构包括:连接所述主体的转轴、连接在所述转轴上的安装座、以及连接在所述安装座上的吸嘴板;所述吸嘴板用于承载和吸附产品;
所述换料机构至少包括两个吸嘴板,两个吸嘴板之间形成至少能容置一个吸嘴板的避位间隙,当两个机械手的换料机构对接时,其中一个机械手的吸嘴板能插入另一个机械手的避位间隙中,且位于同一平面上的吸嘴板可以同时吸附到产品的同一个面上。
2.根据权利要求1所述的产品流转装置,其特征在于,所述吸嘴板分为至少两组,每组吸嘴板分别对应连接在所述安装座的不同侧面。
3.根据权利要求2所述的产品流转装置,其特征在于,所述换料机构包括三个吸嘴板,其中一个吸嘴板设置在所述安装座一侧,另两个吸嘴板设置在所述安装座另一侧。
4.根据权利要求1所述的产品流转装置,其特征在于,位于安装座一侧的一组吸嘴板在远离另一组吸嘴板的一侧设置有吸孔。
5.根据权利要求1所述的产品流转装置,其特征在于,所述吸嘴板可拆连接在所述安装座上。
6.一种产品流转方法,其特征在于,通过权利要求1-5任意一项所述的产品流转装置对产品进行流转,包括步骤:
将多个机械手沿着产品流转的方向依次相邻设置,将多个机械手分别标记为第一机械手至第N机械手,其中,N为整数且不小于二;每个机械手分别设有换料机构,并且每个换料机构设有吸嘴板;吸嘴板用于承载和吸附产品;
第一机械手动作并且通过第一机械手的换料机构上的吸嘴板吸附产品;
第一机械手判断第一机械手的吸嘴板已经吸附有产品时,第一机械手动作并且回到第一机械手的安全位置进行待机;
第二机械手判断第二机械手的嘴板没有吸附产品时,第二机械手动作并且回到第二机械手的安全位置进行待机;
当第一机械手和第二机械手均处于各自的安全位置时,第一机械手的换料机构移动至预设的换料点并且保持不动;第二机械手的吸嘴板启动以产生真空吸附力,并且第二机械手的换料机构开始向第一机械手的换料机构靠拢;
第二机械手的吸嘴板触碰产品并且开始吸附产品;第二机械手判断第二机械手的吸嘴板已经吸附有产品时,第一机械手的吸嘴板关闭以终止真空吸附力,并且第一机械手的换料机构开始远离产品;
第一机械手回到第一机械手的安全位置时,第一机械手与第二机械手之间的产品传递完成;
第二机械手将产品移动至执行指定加工工序的机台的放料点;
当产品完成指定加工工序时,第二机械手将产品传递给下一个机械手,直至完成产品的所有加工工序。
7.根据权利要求6所述的产品流转方法,其特征在于,在第二机械手的换料机构向第一机械手的换料机构靠拢的过程中,第二机械手的吸嘴板与第一机械手的吸嘴板保持平行。
8.根据权利要求6所述的产品流转方法,其特征在于,每个机械手的换料机构分别设有多个吸嘴板。
9.根据权利要求8所述的产品流转方法,其特征在于,相邻两个吸嘴板之间设有避位间隙。
10.根据权利要求6所述的产品流转方法,其特征在于,所述吸嘴板可拆连接在所述安装座上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811474172.7A CN109650037B (zh) | 2018-12-04 | 2018-12-04 | 产品流转装置及产品流转方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811474172.7A CN109650037B (zh) | 2018-12-04 | 2018-12-04 | 产品流转装置及产品流转方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109650037A CN109650037A (zh) | 2019-04-19 |
CN109650037B true CN109650037B (zh) | 2021-02-02 |
Family
ID=66112794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811474172.7A Active CN109650037B (zh) | 2018-12-04 | 2018-12-04 | 产品流转装置及产品流转方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109650037B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110745482B (zh) * | 2019-10-28 | 2022-01-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 单侧上下料半导体设备及其物料传送装置 |
CN114476663A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-05-13 | 迈得医疗工业设备股份有限公司 | 物料移送装置及医疗器械生产线 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11320470A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | ロボットのハンド装置 |
CN203804006U (zh) * | 2014-04-14 | 2014-09-03 | 沈阳众拓机器人设备有限公司 | 热冲压自动化生产线 |
JP2016049596A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 八千代工業株式会社 | パリソン搬送装置 |
CN106185309A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-12-07 | 李树飞 | 一种带钉浪形轴承保持架集装设备 |
CN206735343U (zh) * | 2017-05-10 | 2017-12-12 | 深圳市佰伦仕机电设备有限公司 | 一种自动线设备 |
DE102017120116A1 (de) * | 2016-09-08 | 2018-03-08 | Fanuc Corporation | Robotersystem |
CN108501010A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-07 | 佛山市奥耶克思机械设备有限公司 | 一种仿生机械手 |
-
2018
- 2018-12-04 CN CN201811474172.7A patent/CN109650037B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11320470A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | ロボットのハンド装置 |
CN203804006U (zh) * | 2014-04-14 | 2014-09-03 | 沈阳众拓机器人设备有限公司 | 热冲压自动化生产线 |
JP2016049596A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 八千代工業株式会社 | パリソン搬送装置 |
CN106185309A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-12-07 | 李树飞 | 一种带钉浪形轴承保持架集装设备 |
DE102017120116A1 (de) * | 2016-09-08 | 2018-03-08 | Fanuc Corporation | Robotersystem |
CN206735343U (zh) * | 2017-05-10 | 2017-12-12 | 深圳市佰伦仕机电设备有限公司 | 一种自动线设备 |
CN108501010A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-07 | 佛山市奥耶克思机械设备有限公司 | 一种仿生机械手 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109650037A (zh) | 2019-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100963361B1 (ko) | 기판처리장치 | |
CN109650037B (zh) | 产品流转装置及产品流转方法 | |
JP6276317B2 (ja) | ハンドユニットおよび移載方法 | |
CN102951445B (zh) | 基板反转装置及基板操作方法以及基板处理装置 | |
WO2014187066A1 (zh) | 水晶坯件自动磨抛系统及其对接机构 | |
JP2599571B2 (ja) | 基板搬送ロボット | |
KR20080061289A (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 | |
CN110539545A (zh) | 柔性屏3d贴合设备 | |
JP3938436B2 (ja) | 基板移載装置およびそれを用いた基板処理装置 | |
TW201429613A (zh) | 自動化鏡片研磨裝置 | |
CN210030414U (zh) | 自动拆装系统及热弯机 | |
CN217701867U (zh) | 一种晶圆切割机 | |
CN103100943A (zh) | 水晶坯件自动磨抛系统及其对接机构 | |
JP5450338B2 (ja) | 電子部品実装機 | |
CN109051764B (zh) | 上下料装置及移印设备 | |
CN214691944U (zh) | 多平台双面移载装置及处理系统 | |
WO2018179076A1 (ja) | 部品実装機 | |
CN108202964A (zh) | 工件移送系统 | |
CN215869336U (zh) | 一种双机器人协作取放片装置 | |
CN220312791U (zh) | 一种自动上下料抛光机 | |
JP3615042B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
CN219925510U (zh) | 一种机器人自动拉丝设备 | |
CN218504116U (zh) | 一种全自动磨边机 | |
CN218057464U (zh) | 一种电机自动化生产上下料设备 | |
CN217534475U (zh) | 一种晶圆传递装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |