CN109604843A - 线路板激光切割设备及使用方法 - Google Patents
线路板激光切割设备及使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109604843A CN109604843A CN201910104497.4A CN201910104497A CN109604843A CN 109604843 A CN109604843 A CN 109604843A CN 201910104497 A CN201910104497 A CN 201910104497A CN 109604843 A CN109604843 A CN 109604843A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- board group
- conveyer belt
- axis
- laser cutting
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 20
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 12
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000004579 marble Substances 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 4
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000008676 import Effects 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000008672 reprogramming Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
- B23K26/0884—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明提供了线路板激光切割设备及使用方法,属于激光切割设备领域,包括工作台、输送组件和激光切割枪,激光切割枪设在工作台上且相对工作台在X轴、Y轴和Z轴方向往复移动,输送组件设在工作台的上方且沿X轴设置,输送组件包括结构相同且对称设置的前板组和后板组,前板组和后板组沿X轴平行设置,前板组和后板组的内侧设有对称设置的第一传送带和对称设置的第二传送带,第一传送带和第二传送带之间设有在二者之间实现线路板转移的推料机械手,推料机械手设在后板组远离前板组的一侧,推料机械手设置在工作台的中部。本发明切割精度高,效率高,性能稳定,使用寿命长,后续维护成本低。
Description
技术领域
本发明属于激光切割设备领域,涉及线路板激光切割设备及使用方法。
背景技术
线路板在进行切割的时候,现有技术有机械分板、紫外激光和绿激光切割方式,这三种常见的切割方式各有利弊,机械分板效率低,分板后的边缘需要打磨处理,工艺较多,紫外激光切割边缘效果较好,但是效率较低;绿光激光切割效率居中,切面效果稍差;而且紫外激光器与绿光激光器寿命短,维护成本高,理论寿命15000-20000小时,需要定期维护和更换,维护成本较高。
发明内容
本发明要解决的问题是在于提供线路板激光切割设备及使用方法,切割精度高,效率高,性能稳定,使用寿命长,后续维护成本低。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:线路板激光切割设备,包括工作台、输送组件和激光切割枪,所述激光切割枪设在所述工作台上且相对所述工作台在X轴、Y轴和Z轴方向往复移动,所述输送组件设在所述工作台的上方且沿X轴设置;
所述输送组件包括结构相同且对称设置的前板组和后板组,所述前板组和后板组沿X轴平行设置,前板组和后板组的内侧设有对称设置的第一传送带和对称设置的第二传送带,第一传送带和第二传送带沿X轴成直线设置,第一传送带和第二传送带之间设有对线路板进行支撑定位的固定板,所述固定板设在所述前板组和后板组之间,第一传送带和第二传送带之间设有在二者之间实现线路板转移的推料机械手,推料机械手设在后板组远离前板组的一侧,推料机械手设置在工作台的中部。
进一步的,所述推料机械手包括气动手指、X轴活动板和大底板,所述气动手指的设置方向与所述第一传送带的设置方向相同,所述气动手指的下端设有第一吸嘴和第二吸嘴,所述气动手指固设在升降缸上且由升降缸驱动上下垂直运动,所述升降缸固定在Y轴活动板上,所述Y轴活动板与所述X轴活动板滑动连接且沿Y轴滑动,所述Y轴活动板与Y轴气缸的出力轴固定连接,Y轴气缸固定在X轴活动板上,X轴活动板相对大底板滑动连接且滑动方向为X轴方向。
进一步的,所述第一吸嘴的数量为两个且设置在靠近所述第一传送带的一端,所述第二吸嘴的数量为两个且设置在靠近所述第二传送带的一端,所述Y轴活动板与所述X轴活动板通过线轨滑动连接且沿Y轴滑动,所述X轴活动板与所述大底板之间设有线轨,所述X轴活动板上设有同步带的固定块,所述大底板上设有驱动电机,所述驱动电机通过带轮结构驱动同步带运动,同步带的设置方向平行于X轴设置。
进一步的,所述前板组固设在所述工作台上,所述第一传送带设在所述前板组靠近后板组的一侧,所述前板组远离所述后板组的一侧设有第一电机,所述第一电机的出力轴上设有主动轮,所述前板组靠近所述后板组的一侧设有多个从动轮,所述第一传动带由所述主动轮驱动,经过多个所述从动轮导引后运动,第一传动带的内部设有对其上部进行支撑的托板轨道,托板轨道固设在前板组上,对称设置的所述第一传送带分别由两个所述第一电机进行驱动。
进一步的,所述第二传送带的驱动原理与所述第一传送带的驱动原理相同,不同之处在于,对称的所述第二传送带由同一个所述第二电机进行驱动,所述第二电机通过传动轴驱动对称设置的主动轮运动,实现了对称设置的所述第二传送带的运动。
进一步的,所述前板组和后板组的下端设有第一支撑板、连接垫板和第二支撑板,所述第一支撑板设在靠近所述第一传送带的一端,所述连接垫板设在所述前板组和后板组纵向的中部,所述第二支撑板设在靠近所述第二传送带的一端,所述第一支撑板、连接垫板和第二支撑板均固定在工作台上,所述第一支撑板、连接垫板和第二支撑的上端均设有线轨,后板组固定在线轨的滑块上,后板组和前板组通过宽度调节组件沿Y轴相对运动。
进一步的,所述宽度调节组件包括平行设置的主动丝杠和从动丝杠,所述主动丝杠和从动丝杠分别设置在所述前板组和后板组横向的两端,所述主动丝杠的一端与所述前板组螺纹固定连接,所述主动丝杠的另一端穿过后板组设置,所述主动丝杠由第三电机驱动旋转,所述主动丝杠与后板组为丝母丝杠配合结构,所述第三电机通过板机构固定在工作台上,所述从动丝杠与主动丝杠的不同之处在于,所述从动丝杠通过所述主动丝杠上设置的带轮和皮带机构实现与主动丝杠的同步旋转。
进一步的,第一传送带的上端设有第一挡边条,第二传送带的上端设有第二挡边条,固定板的上端设有压条,压条与固定板上下对应设置,所述前板组靠近所述后板组的一侧设有多个光电传感器板,所述光电传感器板上设有感应线路板位置的光电传感器。
进一步的,所述前板组远离所述后板组的一侧设有举升缸,所述举升缸的出力轴竖直向上设置,所述举升缸的出力轴上设有举升块,所述举升块穿过所述前板组后与所述固定板固定连接,所述举升缸设置在所述固定板的中部,所述固定板的两端设有导向块,所述导向块的一端与固定板固定连接,另一端穿过前板组与导向座上下滑动连接,两端的所述导向块相对所述举升缸对称设置。
进一步的,所述激光切割枪的一侧设有CCD视觉检测装置,所述CCD视觉检测装置与控制中心电连接,所述工作台设在台座上,所述台座的上端设有防护罩,所述工作台设在防护罩的内部,输送组件在X轴方向穿过所述防护罩设置,所述输送组件从所述防护罩的一侧输入,另一侧输出,所述工作台为大理石平台,所述激光切割枪采用1064nm红外线进行切割。
使用线路板激光切割设备的方法,包括以下步骤,第一步:将线路板放置到第一传送带上;第二步:产品通过输送组件进入到所述固定板上方进行定位;第三步:所述CCD视觉检测装置开始拍照并定位,发送切割位置到控制中心;第四步:激光切割开始按照预定的轨迹进行切割,并沿X轴、Y轴和Z轴方向进行移动;第五步:在第四步完成的基础上,输送组件再次启动,将线路板转运到第二传送带上,进入到下一个工序,同时第一传送带开始上料。
与现有技术相比,本发明具有的优点和积极效果如下。
1、本发明设置工作台、输送组件和激光切割枪,输送组件可完成线路板的自动化上料和定位,输送组件包括第一传送带、第二传送带和固定板,第一传送带实现了线路板的上料,固定板实现了线路板中间的定位,在定位的状态下,利用激光切割枪在X轴、Y轴和Z轴方向的移动实现对线路板不同形状的切割,三轴运动保证了线路板在任意形状的切割需求,然后通过推料机械手转运到第二传送带,进入到下一个工序中,实现了线路板的自动化传输和加工,提升了工作效率,降低了人力强度,而且加工精度更加精准;
2、推料机械手上设置气动手指,气动手指可沿X轴、Y轴和Z轴三个方向移动,而且气动手指的下端设有第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘即可实现对线路板的吸附作用,然后完成通过X轴方向的移动实现线路板在第一传送带和第二传送带之间的转运,通过Y轴的移动实现对不同宽度和规格线路板的吸附调节,通过Z轴的运送实现了线路板高度的变化,有利于线路板的转运,提升转运效率,整个线路板的转运自动化完成,操作人员不基础,对线路板起到保护的作用,同时提升加工的效率,提升自动化程度;
3、第一传送带的结构原理和第二传送带的结构原理相同,有利于简化设计思路,同时简化结构,降低研发和加工成本,而且对称设置的第二传送带共用一个动力源,进一步简化了结构,节约了能耗;
4、前板组和后板组在Y轴方向的相对宽度可进行调节,有利于不同宽度线路板的传输,扩大了此结构的适用范围,使得结构的共用性提升,宽度调节组件采用丝母丝杠结构,结构简单,调节稳定可靠,而且设置主动丝杠和从动丝杠,在X轴的两端同时进行导向,调节更加稳定可靠,同时主动丝杠和从动丝杠共用一个动力源,节约能耗;
5、固定板在Z轴方向可上下进行调节,固定板向上运动与压条配合可实现对线路板的夹紧,固定板向下运动即可放松线路板,此时第一吸嘴和第二吸嘴动作实现对线路板的吸附,完成线路板的转运,同时第一传送带的两侧设置第一挡边条,在第二传送带的两侧设置第二挡边条,限定线路板的宽度,保证线路板传输过程中的稳定性;
6、通过CCD视觉检测装置定位打码,精度高,而且CCD视觉检测装置可读取打码内容及存储,方便查看和编辑,自动化程度高,通过控制中心进行自动化控制和调节,设置光电传感器后可对线路板的各个位置进行及时的监测,确保线路板传输和定位更加精确,每个光电传感器均与控制中心电连接,实现自动监控;
7、工作台采用大理石材质,受温差变化的影响较小,加工精度更高,设置台座,方便整个结构的整体运输,设置防滑罩可防止加工的过程中,有灰尘杂质等进入,有利于进一步提升加工精度;
8、激光切割枪采用1064nm红外线进行切割,1064nm红外光纤激光切割效果最快,效果与绿光相仿,同等厚度、同等材质的线路板,1064nm红外光纤切割的速度可以是紫外切割速度的数倍,1064nm红外光纤激光器维护成本低,理论使用寿命10万小时,可持续切割,提升工作效率,使用寿命长,维护成本低,1064nm波长激光切割效率高,切割速度可以达到180mm/s(板厚1mm),切割板厚可以达到2mm,一次切割完成,效率高。
附图说明
构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1是本发明线路板激光切割设备的结构示意图;
图2是本发明线路板激光切割设备不含台座和防护罩的结构示意图;
图3是本发明输送组件的结构示意图;
图4是本发明推料机械手的结构示意图;
图5是本发明宽度调节组件的结构示意图;
图6是本发明固定板及其配合零件的结构示意图;
图7是本发明第一传动带和固定板及相关零件配合的结构示意图;
图8是本发明第二传动带及配合零件的结构示意图。
附图标记:
1、台座;2、防护罩;3、控制中心;4、激光切割枪;41、X轴支架;42、精密移动模组;43、Z轴座;44、Z轴固定板;5、输送组件;51、前板组;52、后板组;53、推料机械手;531、气动手指;532、第一吸嘴;533、第二吸嘴;534、升降缸;535、Y轴活动板;536、升降缸;537、同步带固定块;538、X轴活动板;539、驱动电机;54、宽度调节组件;541、主动丝杠;542、从动丝杠;543、带轮;544、第三电机;55、第二电机;551、传动轴;561、第二支撑板;562、第一支撑板;563、连接垫板;57、第一传送带;571、第一挡边条;572、光电传感器板;573、第一电机;574、托板轨道;575、主动轮;576、从动轮;58、第二传送带;581、第二挡边条;59、固定板;591、压条;592、举升缸;593、举升块;594、导向块;595、导向座;6、CCD视觉检测装置;7、工作台;8、吸尘组件。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上,操作人员面向激光枪站立,X轴水平面的横向运动,Y轴是水平面的纵向运动,Z轴上垂直方向的上下运动。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图对本发明的具体实施例做详细说明。
如图1~图8所示,本发明为线路板激光切割设备,包括工作台7、输送组件5和激光切割枪4,工作台7设在台座1上,台座1的上端设有防护罩2,工作台7设在防护罩2的内部,输送组件5X轴方向穿过防护罩2设置,输送组件5从防护罩2的一侧输入,另一侧输出,激光切割枪4设置在工作台7的上端且相对工作台7在X轴、Y轴和Z轴方向移动,满足激光切割枪4,在三轴方向的移动,方向进行线路板的切割,激光切割枪4的一侧设有CCD视觉检测装置6,CCD视觉检测装置6可实现线路板切割口的定位,发送切割位置给控制中心3,控制中心3通过程序控制激光切割枪4实现线路板的切割;优选地,台座1采用钢材焊接,强度高,成本低,整体结构的尺寸控制在以下参数范围内,长×宽×高=1300mm×1000mm×1800mm,缩小占地面积,结构更加紧凑,防护罩2采用钣金焊接,设置喷塑层,提升抗氧化腐蚀能力,提升防护罩2的使用寿命,更优选地,工作台7的下方与激光切割作业区对应的区域设有吸尘组件8,采用鼓风机吸风原理,配合工作台7下部内藏的管路实现,采用小型大功率静音鼓风机,通过金属软管与上部激光起个作业区域吸尘口相连,并在排风出口加装粉尘过滤与收集装置,便于定期清理,由于在激光切割作业区会产生粉尘颗粒,积少成多,长期会对人体健康,设备电器造成损害,并对环境造成污染,所以要在激光标识作业区域附近加装吸尘组件8。
优选地,控制中心3采用PLC程序进行控制,选用性能先进稳定灵敏的三菱PLC(Mitsubish Programmable Logic Controller)FX3GA系列作为线路板激光切割系统的可编程控制器,控制中心3的控制面板设置在防护罩2上,此款控制器,自带外壳,美观防尘;背面有导轨卡扣,方便安装和拆卸,设计紧凑,少占空间;输入输出指示灯清晰、直观;在线程序编辑,在线改变程序不会损失工作时间或停止生产运转;具有时钟功能和小时表功能,在PLC中都有实时时钟标准,时间设置和比较指令易于操作,小时表功能对过程跟踪和机器维护提供了有价值的信息;密码保护,使用一个八位数字密码保护您的程序,支持特殊加密方式,有效保护公司的知识产权;支持超强通讯,远程维护,远处的编程软件可以通过调制解调器通信来监测、上载或卸载程序和数据;持续扫描功能,为应用所需求的持续扫描时间定义操作周期;支持高速数据的输入和输出;更优选地,控制面板上设有急停按钮和报警灯,当遇到紧急情况时,按下控制面板上的急停按钮,除工控电脑和LED照明设备以外的其他电器全部进入到断电停滞状态,顶部警示灯闪烁,同时有声音警报,工作工程中,打开切割机安全门,整机报警。
优选地,工作台7采用大理石制成,大理石受冷热环境影响最小,稳定性高,可保证电路板的精度定位;更优选地,工台的高度为750mm,高度适合操作者,提升操作的便利性,工作台7的断面为开口向上的U形,工作台7的上端架设有X轴支架41,X轴支架41与工作台7在Y轴方向滑动连接,X轴支架41通过伺服电机和丝母丝杠结构驱动相对工作台7滑动连接,X轴支架41下方的一端通过线轨与工作台7滑动连接,另一端通过精密移动模组42与工作台7滑动连接,X轴支架41上设有Z轴座43,Z轴座43与X轴支架41在Y轴方向通过精密移动模组42相对滑动连接,Z轴座43上设有Z轴固定板5944,Z轴固定板5944通过精密移动模组42相对Z轴座43上下滑动连接,激光切割枪4和CCD视觉检测装置6均设置在Z轴固定板5944上,Z轴座43和和Z轴固定板5944的滑动均由伺服电机通过丝母丝杠结构进行驱动实现,本结构中,伺服电机采用富士伺服电机系统,具有以下功能,1、1秒钟600次的正反转响应(频率应答600Hz)、定位控制时间1ms的控制性能;而且和低惯性伺服电机(GYS系列)组合,可在高容量、高转矩运转的机械上使用;2、用编程软件可进行伺服电机的容量选定、试运行、检修维护、故障诊断等综合支持,标准装备控制电源输入用端子,易于维护,在切断动力电源状态下也可进行维护;3、伺服电机带有INC/ABS共用的节省接线的16bit串形编码器;4、编码器的接线有电源线2条、信号线2条共4条线,本结构中的精密移动模组42选用上银的高精密XY模组,配合富士伺服电机进行驱动,具有以下特点,1、采用滚珠螺杆传动,线性滑块导轨,承载高,刚性好,适合高负荷长期连续运行;2、进口高精密滚珠螺杆驱动,重复定位精度和绝对定位精度好,轴向间隙小,寿命长;3、防松和防轴窜结构,有效防止螺杆松动,轴向窜动,有效保证重复定位精度和绝对定位精度,适合高速往复使用;4、导轨采用高精密线性滑块导轨(方形,整体与底板连接),运动流畅,承载力大,适合单轴重载;5、精加工的底板和合理的导轨固定方式大大的降低了移台的俯仰和偏摆,使运动的直线度和平行度有较大提高;6、伺服电机和滚珠螺杆通过进口高品质弹性联轴节连接,消偏性能好,大大降低了偏心扰动且噪音;7、两端装有零位和限位开关,方便准确定位和保护产品;8、底座有标准孔距的螺纹孔和通孔,方便安装固定;9.可换装伺服电机,维修维护方便。
更优选地,激光切割枪4采用德国IPG品牌,200瓦YLR型光纤激光器作为光源,有极高品质的光束质量和可靠性,此装置具有以下优点,1、更节能、高效率,免维护的高功率激光器泵浦源为掺镱光纤,功率输出范围20W~1.5KW,波长范围1060~11100nm,该系列激光器有风冷和水冷两种,它的电光转换效率高达30%;2、高光束质量输出;3、高功率;4、高可靠性、长使用寿命;5、紧凑的结构设计,占用空间小,使得整个结构更加紧凑,6、高电光转换效率,提升有效使用率,7、外部计算机控制接口,使得整个结构应用更加方便快捷,更优选地,激光切割枪4采用1064nm红外线进行切割,1064nm红外光纤激光切割效果最快,效果与绿光相仿,同等厚度、同等材质的线路板,1064nm红外光纤切割的速度可以是紫外切割速度的数倍,1064nm红外光纤激光器维护成本低,理论使用寿命10万小时,可持续切割,提升工作效率,使用寿命长,维护成本低,1064nm波长激光切割效率高,切割速度可以达到180mm/s(板厚1mm),切割板厚可以达到2mm,一次切割完成,环境要求为温度0-45度,湿度5%-85%,激光切割线宽小于0.1mm,切割时吹氮气,避免切割后切口发生氧化等,保护线路板的切口不被氧化。
输送组件5包括结构相同且对称设置的前板组51和后板组52,所述前板组51和后板组52沿X轴平行设置,前板组51和后板组52的内侧设有对称设置的第一传送带57和对称设置的第二传送带58,第一传送带57和第二传送带58之间设有对称设置的固定板59,第一传送带57和第二传送带58沿X轴成直线设置,第一传送带57和第二传送带58之间设有推料机械手53,推料机械手53设在后板组52远离前板组51的一侧,推料机械手53设置工作台7的中部,推料机械手53可将线路板动第一传送带57转运到第二传送带58,保证线路板传输过程中的停留,在停留过程中完成线路板的激光切割过程,然后在转运到第二传送带58,进入到下一个工序中。
优选地,推料机械手53包括气动手指531、X轴活动板538和大底板,气动手指531的设置方向与第一传送带57的设置方向相同,气动手指531的下端设有第一吸嘴532和第二吸嘴533,第一吸嘴532的数量为两个设置在靠近第一传送带57的一端,第二吸嘴533的数量为两个且设置在靠近第二传送带58的一端,气动手指531固设在升降缸536534上且由升降缸536534驱动上下垂直运动,升降缸536534固定在Y轴活动板535上,Y轴活动板535与X轴活动板538通过线轨滑动连接且沿Y轴滑动,Y轴活动板535与Y轴气缸的出力轴固定连接,Y轴气缸固定在X轴活动板538上,X轴活动板538相对大底板滑动连接且滑动方向为X轴方向,X轴活动板538与大底板之间设有线轨,X轴活动板538上设有同步带固定块537,大底板上设有驱动电机539,驱动电机539通过带轮543结构驱动同步带运动,由于同步带与X轴固定板59固定,因此驱动电机539带动同步带转动的过程中实现了X轴活动板538在X轴方向的移动,同步带的设置方向平行于X轴设置,整个结构的设置,实现了气动手指531在X轴、Y轴和Z轴三个方向的移动,在第一吸嘴532和第二吸嘴533的共同作用下,即可实现将线路板从第一传动带到第二传送带58的转运,而且结构简单稳定可靠,通过调节第一吸嘴532和第二吸嘴533的跨距,以及在X轴、Y轴和Z轴三个方向的调节,可适用于不同规格的线路板转运,扩大了适用范围。
优选地,前板组51固设在工作台7上,第一传送带57设在前板组51靠近后板组52的一侧,前板组51远离后板组52的一侧设有第一电机573,第一电机573的出力轴上设有主动轮575,前板组51靠近后板组52的一侧设有多个从动轮576,第一传动带由主动轮575驱动,经过多个从动轮576导引后运动,实现对线路板的传送,第一传动带的内部设有对其上部进行支撑的托板轨道574,托板轨道574固设在前板组51上,对称设置的第一传送带57分别由两个第一电机573进行驱动,第二传送带58的驱动原理与第一传送带57的驱动原理相同,不同之处在于,对称的第二传送带58由同一个第二电机55进行驱动,第二电机55通过传动轴551驱动对称设置的主动轮575运动,实现了对称设置的第二传送带58的运动,简化了结构。
更优选地,前板组51和后板组52的下端设有第一支撑板562、连接垫板563和第二支撑板561,所述第一支撑板562设在靠近第一传送带57的一端,连接垫板563设在前板组51和后板组52纵向的中部,第二支撑板561设在靠近第二传送带58的一端,第一支撑板562、连接垫板563和第二支撑板561均固定在工作台7上,前板组51固定在工作台7上,后板组52可相对前板组51沿Y轴方向移动,第一支撑板562、连接垫板563和第二支撑的上端均设有线轨,后板组52固定在这些线轨的滑块上,保证后板组52相对前板组51的运动精度,后板组52和前板组51通过宽度调节组件54沿Y轴相对运动,宽度调节组件54包括平行设置的主动丝杠541和从动丝杠542,主动丝杠541和从动丝杠542分别设置在前板组51和后板组52横向的两端,主动丝杠541的一端与前板组51螺纹固定连接,主动丝杠541的另一端穿过后板组52设置,主动丝杠541由第三电机544驱动旋转,主动丝杠541与后板组52为丝母丝杠配合结构,第三电机544通过板结构固定在工作台7上,从动丝杠542与主动丝杠541的不同之处在于,从动丝杠542通过主动丝杠541上设置的带轮543和皮带机构实现与主动丝杠541的同步旋转,主动丝杠541和从动丝杠542共用个动力源,即第三电机544,节约能耗,降低结构的成本,后板组52相对前板组51的调节结构,可实现不同规格的线路板的传送,扩大了此结构的适用范围。
更优选地,第一传送带57的上端设有第一挡边条571,第二传送带58的上端设有第二挡边条581,限定线路板的宽度,保证线路板传输过程中的稳定性,固定板59的上端设有压条591,压条591与固定板59上下对应设置,对线路板实现夹持作用,保证线路板激光切割过程中的稳定性。
优选地,固定板59相对前板组51可上下移动,前板组51远离后板组52的一侧设有举升缸592,举升缸592的出力轴竖直向上设置,举升缸592的出力轴上设有举升块593,举升块593穿过前板组51后与固定板59固定连接,更优选地,举升缸592设置固定板59的中部,固定板59的两端设有导向块594,导向块594的一端与固定板59固定连接,另一端穿过前板组51与导向座595上下滑动连接,导向块594和导向座595之间设有竖直设置的线轨,保证导向块594相对导向座595的上下滑动精度,两端的导向块594相对举升缸592对称设置,设置举升缸592后可保实现固定板59的上下移动,向上移动与压条591配合实现对线路板的夹紧,向下运动,放开线路板,方便线路板的及时转运,而且固定板59的上下夹紧厚度可进行调节,可适用于不同规格厚度的线路板加工,扩大了适用范围,同时设置调节结构后,可弥补加工误差,提升加工效率,设置导向块594后可提升固定块上下运动的稳定性。
更优选地,前板组51靠近后板组52的一侧设有多个光电传感器板572,多个光电传感器板572上均设有光电传感器,设置光电传感器后可对线路板的各个位置进行及时的监测,确保线路板传输和定位更加精确,每个光电传感器均与控制中心3电连接,实现自动监控。
使用线路板激光切割设备的方法,按照以下步骤,第一步:将线路板放置到第一传送带上;第二步:产品通过输送组件进入到所述固定板上方进行定位;第三步:所述CCD视觉检测装置开始拍照并定位,发送切割位置到控制中心;第四步:激光切割开始按照预定的轨迹进行切割,并沿X轴、Y轴和Z轴方向进行移动;第五步:在第四步完成的基础上,输送组件再次启动,将线路板转运到第二传送带上,进入到下一个工序,同时第一传送带开始上料,严格按照以上步骤进行,故障率低,设备运转稳定。
在实际工作过程中,首先按照线路板的宽度调节前板组51和后板组52之间的相对距离,然后线路板通过上料机构进入到第一转送带,此时两侧的第一挡边条571对线路板的两侧起到导向和定位的作用,在线路板的一端快出第一传送带57的时候,此位置通过光电传感器进行监测,此时推料机械轴动作,气动手指531在X轴方向第一传送带57的方向运动,第一吸嘴532和第二吸嘴533吸附住线路板,随第一传送带57一起继续向前传输,线路板进入到固定板59和条之间,当线路板完全脱离第一传送带57后,完成进入到固定板59的上方后,固定板59在举升缸592的作用下向上运动,实现对线路板的夹紧动作,第一吸嘴532和第二吸嘴533松气,气动手指531处于待机状态,此时CCD视觉检测装置6运动,实现线路板切割口的定位,发送切割位置给控制中心3,控制中心3通过程序控制激光切割枪4实现线路板的切割,切割完成后,固定板59下降,第一吸嘴532和第二吸嘴533下降后吸气完成对线路板的吸附,然后通过Z轴的上升,Y轴和X轴的移动将线路板转运到第二传送带58上,进入到下一个工序,整个过程实现了线路板的自动上料,定位,切割和效率,精度高,效率快,自动化程度高。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.线路板激光切割设备,其特征在于:包括工作台、输送组件和激光切割枪,所述激光切割枪设在所述工作台上且相对所述工作台在X轴、Y轴和Z轴方向往复移动,所述输送组件设在所述工作台的上方且沿X轴设置;
所述输送组件包括结构相同且对称设置的前板组和后板组,所述前板组和后板组沿X轴平行设置,前板组和后板组的内侧设有对称设置的第一传送带和对称设置的第二传送带,第一传送带和第二传送带沿X轴成直线设置,第一传送带和第二传送带之间设有对线路板进行支撑定位的固定板,所述固定板设在所述前板组和后板组之间,第一传送带和第二传送带之间设有在二者之间实现线路板转移的推料机械手,推料机械手设在后板组远离前板组的一侧,推料机械手设置在工作台的中部。
2.根据权利要求1所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述推料机械手包括气动手指、X轴活动板和大底板,所述气动手指的设置方向与所述第一传送带的设置方向相同,所述气动手指的下端设有第一吸嘴和第二吸嘴,所述气动手指固设在升降缸上且由升降缸驱动上下垂直运动,所述升降缸固定在Y轴活动板上,所述Y轴活动板与所述X轴活动板滑动连接且沿Y轴滑动,所述Y轴活动板与Y轴气缸的出力轴固定连接,Y轴气缸固定在X轴活动板上,X轴活动板相对大底板滑动连接且滑动方向为X轴方向。
3.根据权利要求2所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述第一吸嘴的数量为两个且设置在靠近所述第一传送带的一端,所述第二吸嘴的数量为两个且设置在靠近所述第二传送带的一端,所述Y轴活动板与所述X轴活动板通过线轨滑动连接且沿Y轴滑动,所述X轴活动板与所述大底板之间设有线轨,所述X轴活动板上设有同步带的固定块,所述大底板上设有驱动电机,所述驱动电机通过带轮结构驱动同步带运动,同步带的设置方向平行于X轴设置。
4.根据权利要求1所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述前板组固设在所述工作台上,所述第一传送带设在所述前板组靠近后板组的一侧,所述前板组远离所述后板组的一侧设有第一电机,所述第一电机的出力轴上设有主动轮,所述前板组靠近所述后板组的一侧设有多个从动轮,所述第一传动带由所述主动轮驱动,经过多个所述从动轮导引后运动,第一传动带的内部设有对其上部进行支撑的托板轨道,托板轨道固设在前板组上,对称设置的所述第一传送带分别由两个所述第一电机进行驱动。
5.根据权利要求4所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述第二传送带的驱动原理与所述第一传送带的驱动原理相同,不同之处在于,对称的所述第二传送带由同一个所述第二电机进行驱动,所述第二电机通过传动轴驱动对称设置的主动轮运动,实现了对称设置的所述第二传送带的运动。
6.根据权利要求1所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述前板组和后板组的下端设有第一支撑板、连接垫板和第二支撑板,所述第一支撑板设在靠近所述第一传送带的一端,所述连接垫板设在所述前板组和后板组纵向的中部,所述第二支撑板设在靠近所述第二传送带的一端,所述第一支撑板、连接垫板和第二支撑板均固定在工作台上,所述第一支撑板、连接垫板和第二支撑的上端均设有线轨,后板组固定在线轨的滑块上,后板组和前板组通过宽度调节组件沿Y轴相对运动,所述宽度调节组件包括平行设置的主动丝杠和从动丝杠,所述主动丝杠和从动丝杠分别设置在所述前板组和后板组横向的两端,所述主动丝杠的一端与所述前板组螺纹固定连接,所述主动丝杠的另一端穿过后板组设置,所述主动丝杠由第三电机驱动旋转,所述主动丝杠与后板组为丝母丝杠配合结构,所述第三电机通过板机构固定在工作台上,所述从动丝杠与主动丝杠的不同之处在于,所述从动丝杠通过所述主动丝杠上设置的带轮和皮带机构实现与主动丝杠的同步旋转。
7.根据权利要求1所述的线路板激光切割设备,其特征在于:第一传送带的上端设有第一挡边条,第二传送带的上端设有第二挡边条,固定板的上端设有压条,压条与固定板上下对应设置,所述前板组靠近所述后板组的一侧设有多个光电传感器板,所述光电传感器板上设有感应线路板位置的光电传感器。
8.根据权利要求1所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述前板组远离所述后板组的一侧设有举升缸,所述举升缸的出力轴竖直向上设置,所述举升缸的出力轴上设有举升块,所述举升块穿过所述前板组后与所述固定板固定连接,所述举升缸设置在所述固定板的中部,所述固定板的两端设有导向块,所述导向块的一端与固定板固定连接,另一端穿过前板组与导向座上下滑动连接,两端的所述导向块相对所述举升缸对称设置。
9.根据权利要求1所述的线路板激光切割设备,其特征在于:所述激光切割枪的一侧设有CCD视觉检测装置,所述CCD视觉检测装置与控制中心电连接,所述工作台设在台座上,所述台座的上端设有防护罩,所述工作台设在防护罩的内部,输送组件在X轴方向穿过所述防护罩设置,所述输送组件从所述防护罩的一侧输入,另一侧输出,所述工作台为大理石平台,所述激光切割枪采用1064nm红外线进行切割。
10.使用权利要求9所述的线路板激光切割设备的方法,其特征在于:包括一下步骤,第一步:将线路板放置到第一传送带上;第二步:产品通过输送组件进入到所述固定板上方进行定位;第三步:所述CCD视觉检测装置开始拍照并定位,发送切割位置到控制中心;第四步:激光切割开始按照预定的轨迹进行切割,并沿X轴、Y轴和Z轴方向进行移动;第五步:在第四步完成的基础上,输送组件再次启动,将线路板转运到第二传送带上,进入到下一个工序,同时第一传送带开始上料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910104497.4A CN109604843A (zh) | 2019-02-01 | 2019-02-01 | 线路板激光切割设备及使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910104497.4A CN109604843A (zh) | 2019-02-01 | 2019-02-01 | 线路板激光切割设备及使用方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109604843A true CN109604843A (zh) | 2019-04-12 |
Family
ID=66019526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910104497.4A Pending CN109604843A (zh) | 2019-02-01 | 2019-02-01 | 线路板激光切割设备及使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109604843A (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111152306A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-05-15 | 大连中启伟创科技有限公司 | 自动切膜机 |
CN111299857A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-19 | 淮安信息职业技术学院 | 计算机屏幕面板切割设备 |
CN112225440A (zh) * | 2020-10-10 | 2021-01-15 | 江苏理工学院 | 玻璃切割系统及方法 |
CN117641743A (zh) * | 2024-01-05 | 2024-03-01 | 深圳市标特福精密机械电子有限公司 | Pcb板切割装置及其对应的切割方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201579539U (zh) * | 2009-10-28 | 2010-09-15 | 深圳市华德激光技术有限公司 | 一种pcb/fpc激光切割机 |
CN203632971U (zh) * | 2013-12-06 | 2014-06-04 | 深圳市东旭发自动化有限公司 | 一种新型补强板贴合机 |
CN204185383U (zh) * | 2014-11-20 | 2015-03-04 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 红外激光切割蓝宝石玻璃的加工装置 |
CN105479021A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-13 | 苏州爱能杰节能科技有限公司 | 一种自动激光打标机输送机构 |
CN105479013A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-13 | 苏州爱能杰节能科技有限公司 | 一种自动激光打标机 |
CN107613748A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-01-19 | 苏州新富捷自动化科技有限公司 | 三维柔性送料机 |
CN209614594U (zh) * | 2019-02-01 | 2019-11-12 | 天津镭恒自动化科技有限公司 | 线路板激光切割设备 |
-
2019
- 2019-02-01 CN CN201910104497.4A patent/CN109604843A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201579539U (zh) * | 2009-10-28 | 2010-09-15 | 深圳市华德激光技术有限公司 | 一种pcb/fpc激光切割机 |
CN203632971U (zh) * | 2013-12-06 | 2014-06-04 | 深圳市东旭发自动化有限公司 | 一种新型补强板贴合机 |
CN204185383U (zh) * | 2014-11-20 | 2015-03-04 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 红外激光切割蓝宝石玻璃的加工装置 |
CN105479021A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-13 | 苏州爱能杰节能科技有限公司 | 一种自动激光打标机输送机构 |
CN105479013A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-13 | 苏州爱能杰节能科技有限公司 | 一种自动激光打标机 |
CN107613748A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-01-19 | 苏州新富捷自动化科技有限公司 | 三维柔性送料机 |
CN209614594U (zh) * | 2019-02-01 | 2019-11-12 | 天津镭恒自动化科技有限公司 | 线路板激光切割设备 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111299857A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-19 | 淮安信息职业技术学院 | 计算机屏幕面板切割设备 |
CN111152306A (zh) * | 2020-02-28 | 2020-05-15 | 大连中启伟创科技有限公司 | 自动切膜机 |
CN112225440A (zh) * | 2020-10-10 | 2021-01-15 | 江苏理工学院 | 玻璃切割系统及方法 |
CN117641743A (zh) * | 2024-01-05 | 2024-03-01 | 深圳市标特福精密机械电子有限公司 | Pcb板切割装置及其对应的切割方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109604843A (zh) | 线路板激光切割设备及使用方法 | |
CN210155545U (zh) | 一种用于道岔制造过程自动化在线检测设备 | |
CN110340534B (zh) | 一种高速激光打码机及打码方法 | |
CN201579539U (zh) | 一种pcb/fpc激光切割机 | |
CN106040531B (zh) | 一种在线全视觉高速精密点胶机 | |
CN107900511B (zh) | 导光板散射网点加工与质量检测相结合的加工装置及方法 | |
CN113233121B (zh) | 一种送料装置 | |
CN209614594U (zh) | 线路板激光切割设备 | |
CN110834145B (zh) | 用于高功率激光切割头实现全闭环调焦的控制系统 | |
CN208787779U (zh) | 一种用于汽车零部件加工的激光焊接装置 | |
CN212239617U (zh) | 全自动pcb板在线打码设备 | |
CN205271179U (zh) | 一种大型智能连续高效焊接机器人 | |
CN108747824A (zh) | 一种万能型砂轮全自动复合修整集成控制方法 | |
CN210531920U (zh) | 一种电力设备故障勘察装置 | |
CN214361700U (zh) | 一种宽带高速激光熔覆系统 | |
CN212259098U (zh) | 一种可调拍摄角度的工业图像采集装置 | |
CN208869748U (zh) | 一种纺纱落筒装置 | |
CN211804387U (zh) | 用于高功率激光切割头实现全闭环调焦的控制系统 | |
CN220489972U (zh) | 一种安全供电的激光测量装置 | |
CN208916493U (zh) | 一种数据线收卷装置 | |
CN114686875A (zh) | 一种宽带高速激光熔覆系统 | |
CN111792105A (zh) | 一种皮带的移动结构 | |
CN102527992B (zh) | 一种模具自动取件装置 | |
CN215979709U (zh) | 一种风力机叶片红外探伤机器人 | |
CN217200743U (zh) | 一种基板搬运系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |