CN109585353A - 吸盘及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明技术方案提供一种吸盘及其工作方法，其中，所述吸盘包括：盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物，所述吸附面包括第一区和第二区；位于所述盘体第一区和第二区中的沟槽；位于所述盘体中的管道，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道相互贯通；位于所述盘体中的阀门，所述阀门控制所述管道的导通与断开；真空装置，通过所述管道与所述第一区沟槽连通，用于对所述第一区沟槽和第二区沟槽进行抽真空处理。

Description

吸盘及其工作方法

技术领域

本发明涉及半导体装备技术领域，尤其涉及一种吸盘及其工作方法。

背景技术

在晶圆加工或检测过程中，经常需要将晶圆固定于加工装置上，从而方便对晶圆的加工。

现有半导体加工工艺中，固定晶圆的方式主要由以下三种：第一，通过夹持头对晶圆进行夹持，从而固定晶圆；第二，通过静电吸附作用将晶圆固定于加工装置上；第三，采用真空吸附的方式来固定晶圆。其中，真空吸附的方式能够使晶圆受力均匀，不容易损伤晶圆，且真空吸附对环境的要求低。因此，通过真空吸附固定晶圆的方式应用较广泛。

现有的晶圆的直径为2寸、4寸、8寸或12寸。在芯片生产中，人们常常以不同尺寸晶圆为基底生产，这就需要晶圆吸盘能够兼容多种不同尺寸晶圆吸附功能。为了能够使吸盘能够固定多种尺寸的晶圆，往往将吸盘的吸附面分为多个区域，在多个区域中均形成沟槽。并通过多套真空装置分别对两个区域的沟槽进行抽真空。

然而，现有的吸盘结构复杂、成本较高，且抽气管较多，抽气管容易缠绕。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种吸盘及其工作方法，能够简化吸盘结构，降低成本，并抑制抽气管相互缠绕。

为解决上述问题，本发明提供一种吸盘，包括：盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物，所述吸附面包括第一区和第二区；位于所述盘体第一区和第二区中的沟槽；位于所述盘体中的管道，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道相互贯通；位于所述盘体中的阀门，所述阀门控制所述管道的导通与断开；真空装置，通过所述管道与所述第一区沟槽连通，用于对所述第一区沟槽和第二区沟槽进行抽真空处理。

可选的，所述阀门包括活塞杆，所述活塞杆包括第一杆区，当所述第一杆区位于所述阀门两侧的管道之间时，所述第一杆区断开所述管道。

可选的，所述吸盘体中具有容纳槽，所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述管道远离吸附面一侧的盘体中，所述阀门位于所述容纳槽中；所述阀门还包括：位于所述容纳槽中的弹性结构；所述活塞杆位于所述弹性结构顶部，当所述活塞杆顶部不具有待吸附物时，所述活塞杆顶部表面凸出于所述吸附面；所述活塞杆还包括与第一杆区相邻的第二杆区，所述第一杆区位于所述第二杆区和弹性结构之间，当所述活塞杆顶部具有待吸附物时，所述第二杆区连通所述活塞杆两侧的管道。

可选的，所述弹性结构为弹簧或弹性塑料。

可选的，所述活塞杆第二杆区平行于吸附面的横截面积小于活塞杆第一杆区平行于吸附面的横截面积；或者，所述活塞杆第二杆区中具有杆孔，当所述活塞杆顶部具有待吸附物时，所述杆孔使所述阀门两侧的管道导通。

可选的，所述阀门还包括：位于所述容纳槽中的活塞缸，所述弹性结构位于所述活塞缸中，所述活塞杆部分位于所述活塞缸中，所述活塞缸侧壁中具有贯穿活塞缸侧壁的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔分别与所述活塞缸两侧的管道连通。

可选的，所述第一通孔的个数为多个；所述第二通孔的个数为多个；所述第一杆区和第二杆区的个数为多个，所述第一杆区和第二杆区交替排列。

可选的，相邻第二区之间的距离等于相邻第一通孔之间的距离，且相邻第二区之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离；垂直于所述吸附面方向上，所述第一通孔的尺寸等于所述第二区的尺寸，且所述第二通孔的尺寸等于所述第二区的尺寸。

可选的，所述活塞杆顶部与吸附面之间的距离等于相邻第一区和第二区中心之间的距离。

可选的， 所述活塞缸中具有第一凹槽和第二凹槽，所述第一通孔位于所述第一凹槽底部，所述第二通孔位于所述第二凹槽底部。

可选的，在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽的尺寸大于或等于所述管道的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于或等于所述管道的尺寸。

可选的，所述盘体还包括与所述吸附面相对的背面，所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述背面；所述阀门还包括：连接所述活塞缸和所述盘体背面的底座。

可选的，所述阀门的个数为多个，多个阀门围绕所述盘体中心均匀分布；所述管道的个数为多个，且多个管道相互连通。

可选的，所述第二区包围所述第一区；所述阀门位于所述第二区；所述真空装置通过管道与所述第一区沟槽连通。

相应的，本发明技术方案还提供一种吸盘的工作方法，包括：提供吸盘。提供待吸附物，并确定所述待吸附物在吸附面表面的预设位置；根据所述预设位置调节所述阀门，使所述管道连通或断开所述第一区沟槽和第二区沟槽；将所述待吸附物放置于所述预设位置处；调节所述阀门并将所述待吸附物放置于所述预设位置处之后，使所述吸盘吸附所述待吸附物。

可选的，所述阀门包括：弹性结构和活塞杆，所述活塞杆凸出于所述吸附面表面；所述活塞杆包括第一杆区和第二杆区；调节所述阀门并将所述待吸附物放置于所述预设位置处的步骤包括：将所述待吸附物放置于所述预设位置处，所述活塞杆不接触待吸附物时，所述第一杆区使所述管道关断，当所述待吸附物位于所述活塞杆顶部时，所述第二杆区使阀门两侧的管道导通。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明技术方案提供的吸盘中，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道连通，且所述盘体中具有阀门，所述阀门能够控制所述管道的导通与断开。所述吸盘在工作过程中，可以通过所述阀门控制所述第二区沟槽与所述真空装置之间的连通与断开，从而能够控制所述第二区的吸附作用。因此，所述吸盘能够通过一个真空装置对第一区沟槽抽真空处理或同时对第一区和第二区沟槽抽真空处理，进而能够简化吸盘的结构。另外，由于所述吸盘仅具有一个真空装置，一个真空装置仅具有一条抽气管，所述抽气管与所述第一区沟槽连通，当吸盘转动时，抽气管不容易发生缠绕。

进一步，所述阀门包括弹性结构和活塞杆。当弹性结构受到待吸附物的压力作用时能够发生变形，从而使第二杆区位于所述阀门两侧的管道之间，进而使所述阀门两侧的管道贯通；当所述活塞杆顶端不具有待吸附物时，所述第一杆区位于所述阀门两侧的管道之间，从而能够断开所述管道。综上，所述阀门能够根据待吸附物的位置自动调节所述阀门的开启和关断。

进一步，所述阀门还包括活塞缸，所述活塞缸中具有第一凹槽和第二凹槽。在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽的尺寸大于所述管道的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于所述管道的尺寸，则当所述阀门开启时，所述第一凹槽和第二凹槽能够增加管道中气流进出阀门的截面积，增加抽真空处理的效率。

附图说明

图1至图7是本发明一实施例中吸盘的结构示意图。

具体实施方式

吸盘存在诸多问题，例如：吸盘的真空装置较多，结构复杂，体积较大。

现结合一种晶圆吸盘分析现有的晶圆吸盘的性能较差的原因：现有的晶圆的直径为8寸或12寸。为了能够使吸盘能够固定两种尺寸的晶圆，往往需要在晶圆吸盘的盘体中形成两套相互隔离的沟槽，并具有两个抽真空设备，分别通过连接管与两套沟槽连通，从而对两套沟槽进行抽真空处理。

晶圆吸盘在工作工程中，需要通过分别控制两个抽真空设备，实现对不同半径的晶圆进行吸附，从而导致工作方法较复杂。且晶圆吸盘的结构复杂，成本较高。另外，两个抽真空设备分别一条抽气管与沟槽连通，从而导致抽气管数量较多，当吸盘转动时，两条抽气管容易相互缠绕。

为解决所述技术问题，本发明提供了一种吸盘及其工作方法，包括：盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物，所述吸附面包括第一区和第二区；位于所述盘体第一区和第二区中的沟槽；位于所述盘体中的管道，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道相互贯通；位于所述盘体中的阀门，所述阀门控制所述管道的导通与断开；真空装置，通过所述管道与所述第一区沟槽连通，用于对所述第一区沟槽和第二区沟槽进行抽真空处理

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图1至图7是本发明一实施例中吸盘的结构示意图。

请参考图1至图7，图1是本发明一实施例的吸盘部分结构的立体图；图2是本发明一实施例的吸盘背面的结构示意图；图3是本发明一实施例的阀门200的立体图；图4是图3所示阀门200的内部结构剖视图；图5是图3所示阀门200中活塞缸220沿x方向的视图；图6是图3所示阀门200中活塞缸220沿y方向的视图；图7是图3所示阀门200中活塞杆210沿x方向的视图。

本发明中所述吸盘包括：盘体100，所述盘体100包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物，所述吸附面包括第一区A和第二区B；位于所述盘体100第一区A和第二区B中的沟槽112；位于所述盘体100中的管道110，所述第一区A和第二区B的沟槽112通过所述管道110相互贯通；位于所述盘体100中的阀门200，所述阀门200控制所述管道110的导通与断开；真空装置，通过所述管道110与所述第一区A沟槽112连通，用于对所述第一区A和第二区B沟槽112进行抽真空处理。

所述吸盘用于吸附待吸附物，本实施例中，所述待吸附物为晶圆。在其他实施例中，所述待吸附物还可以为玻璃基板。

所述盘体100还包括与所述吸附面相对的背面。

本实施例中，所述第二区B包围所述第一区A。在其他实施例中，所述第二区与第一区相互分离。

本实施例中，以所述吸盘用于兼容8寸晶圆和12寸晶圆。在其他实施例中，所述吸盘可以用于吸附2寸、4寸、8寸和12寸中的任意多种组合。

具体的，所述第一区A为圆形；所述第二区B为圆环形。在其他实施例中，所述吸附面第一区可以为矩形；所述第二区为方环形。

本实施例中，所述管道110包括主管道110和连接管道；所述主管道通过所述连接管道与所述第一区A沟槽112连通，所述主管道110自所述第二区B延伸至第一区A，所述主管道110通过所述连接管道与所述沟槽112贯通。

本实施例中，所述管道110自所述第二区B贯穿至第一区A盘体100中。所述第一区A和第二区B盘体100中分别具有连接管道，所述沟槽112通过所述连接管道与所述管道110贯通。

本实施例中，所述吸附面还包括：位于第一区A和第二区B之间的第一隔离区；包围所述第二区B的第二隔离区。所述第一隔离区表面具有第一密封圈121；所述第二隔离区表面具有第二密封圈122。

所述第一密封圈121用于使待吸附物和第一区A之间密封；所述第二密封圈122用于使待吸附物和第二区B之间密封。

本实施例中，所述阀门200用于导通或关断所述主管道110。

所述阀门200包括活塞杆210，所述活塞杆210包括第一杆区I，当所述第一杆区I位于所述阀门200两侧的管道110之间时，所述第一杆区I断开所述管道110。

所述吸盘体100中具有容纳槽，所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述管道110远离吸附面一侧的盘体100中，所述阀门200位于所述容纳槽中。

所述阀门200还包括：位于所述容纳槽中的弹性结构230；所述活塞杆210位于所述弹性结构230顶部，当所述活塞杆210顶部不具有待吸附物时，所述活塞杆210顶部表面凸出于所述吸附面；所述活塞杆210还包括与第一杆区I相邻的第二杆区II，所述第一杆区I位于所述第二杆区II和弹性结构230之间，所述第二杆区II用于所述活塞杆210顶部具有待吸附物时连通所述活塞杆210两侧的管道110。

需要说明的是，由于所述阀门200包括弹性结构230，所述活塞杆210位于所述弹性结构230顶部，所述活塞杆210顶部表面凸出于所述吸附面。当所述待吸附物尺寸较大，位于所述第一区A和第二区B时，所述弹性结构230在待吸附物压力的作用下收缩，使得所述活塞杆210朝向所述弹性结构230运动，进而使所述第二区B位于所述管道110中，从而使所述阀门200两侧的管道110贯通，能够通过所述真空装置对第一区A沟槽112和第二区B沟槽112进行抽气，从而使吸盘吸附位于第一区A和第二区B的待吸附物。当所述活塞杆210顶端不具有待吸附物时，所述第一杆区I位于所述阀门200两侧的管道110之间，从而能够断开所述管道110。综上，所述阀门200能够根据待吸附物的位置自动调节所述管道110的开启和关断。

本实施例中，所述活塞杆210第二杆区II平行于吸附面的横截面积小于活塞杆210第一杆区I平行于吸附面的横截面积。

在一种实施例中，所述活塞杆210第一杆区I侧壁恰好与所述容纳槽内壁紧密贴合。所述第二杆区II与所述容纳槽侧壁之间具有缝隙，所述缝隙用于连通所述阀门两侧的管道110。

本实施例中，所述活塞杆210第二杆区II为圆柱体；所述活塞杆210第一杆区I为圆柱体；所述容纳槽为圆孔。所述第一杆区I直径大于所述第二杆区II直径。

在其他实施例中，所述活塞杆第二杆区为棱柱体；所述容纳槽的横截面为多边形；所述活塞杆第一杆区为棱柱体。

具体，本实施例中，所述第二杆区II的直径小于第一杆区I的直径。

在其他实施例中，所述活塞杆第二杆区中具有杆孔，所述杆孔沿所述管道延伸方向贯穿所述活塞杆。当所述活塞杆顶部具有待吸附物时，所述杆孔使所述阀门两侧的管道导通。

本实施例中，所述阀门200还包括：活塞缸220，所述弹性结构230位于所述活塞缸220中，所述活塞杆210部分位于所述活塞缸220中，所述活塞缸220侧壁中具有贯穿活塞缸220侧壁的第一通孔221和第二通孔，所述第一通孔221和第二通孔分别与所述活塞缸220两侧的管道110连通。

在垂直于所述吸附面的方向上，所述第二区B的尺寸小于或等于所述第一通孔221的尺寸，且所述第二区B的尺寸小于或等于所述第二通孔的尺寸。

本实施例中，所述第一通孔221的个数为多个；所述第一杆区I和第二杆区II的个数为多个，所述第一杆区I和第二杆区II交替排列。

本实施例中，所述第一通孔221的个数为多个；所述第一杆区I和第二杆区II的个数为多个，所述第一杆区I和第二杆区II交替排列。

具体的，相邻第二区B之间的距离等于相邻第一通孔221之间的距离，且相邻第二区B之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离；垂直于所述吸附面方向上，所述第一通孔221的尺寸等于所述第二区B的尺寸，且所述第二通孔的尺寸等于所述第二区B的尺寸。

相邻第二区B之间的距离等于相邻第一通孔221之间的距离，且相邻第二区B之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离。当所述活塞杆顶部具有待吸附物时，所述第二区B与第一通孔221和第二通孔对齐，能够增加与所述管道110贯通的第一通孔221及第二通孔的面积，从而能够增加抽真空处理的效率。

具体的，所述活塞杆210顶部与吸附面之间的距离等于相邻第一区A和第二区B中心之间的距离。

在其他实施例中，所述阀门可以不包括所述活塞缸。

所述活塞杆210第二区B为柱体；所述容纳槽的底面为圆形；所述活塞缸220侧面为柱面。

本实施例中，所述活塞缸220中具有第一凹槽222和第二凹槽，所述第一通孔221位于所述第一凹槽222底部，所述第二通孔位于所述第二凹槽底部。在其他实施例中，所述活塞缸可以不具有所述第一凹槽和第二凹槽。

本实施例中，在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽222的尺寸大于或等于所述管道110的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于或等于所述管道110的尺寸。

所述阀门200还包括活塞缸220，所述活塞缸220中具有第一凹槽222和第二凹槽。在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽222的尺寸大于所述管道110的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于所述管道110的尺寸，则当所述阀门200开启时，所述第一凹槽222和第二凹槽能够增加管道110中气流进出阀门200的截面积，增加抽真空处理的效率。

所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述背面；所述阀门200还包括：连接所述活塞缸220和所述盘体100背面的底座240。

本实施例中，所述阀门200的个数为多个，多个阀门200围绕所述盘体100中心均匀分布；所述管道110的个数为多个，且多个管道110相互连通。本实施例中，所述管道的个数为一个；所述阀门200的个数可以为一个。

具体的，所述吸盘包括位于背面的中心凹槽113，多条管道110均与所述中心凹槽113贯通。

本实施例中，所述第一区A沟槽112包括位于第一区A的多个第一环形沟槽；连通多个第一环形沟槽的第一条形沟槽。

所述第二区B沟槽112包括位于第二区B的多个第二环形沟槽；连通多个第二环形沟槽的第二条形沟槽。

本实施例中，所述真空装置通过所述阀门200一侧的管道110与第一区A的沟槽112连通。

具体的，所述第二区B包围所述第一区A；所述阀门200位于所述第二区B；所述真空装置通过管道110与所述第一区A沟槽112连通。具体的，所述真空装置通过所述中心凹槽113与所述第一区A沟槽112连通。

本发明实施例还提供一种吸盘的工作方法，包括：

提供待吸附物，并确定所述待吸附物在吸附面表面的预设位置。根据所述预设位置调节所述阀门200，使所述管道110导通或关断；

将所述待吸附物放置于所述预设位置处；

调节所述阀门200并将所述待吸附物放置于所述预设位置处之后，使所述吸盘吸附所述待吸附物。

本实施例中，所述待吸附物为晶圆。在其他实施例中，所述待吸附物还可以为玻璃基板。

本实施例中，所述吸盘与上一实施例相同，在此不做赘述。

在其他实施例中，所述阀门包括活塞杆，所述活塞杆包括第一杆区，所述第一杆区用于断开所述管道；将所述待吸附物放置于所述预设位置处之前，调节所述阀门。调节所述阀门的步骤包括：取出所述活塞杆使所述管道导通，或者将所述活塞杆插入所述盘体中，通过活塞杆第一区断开所述管道。

本实施例中，所述阀门200包括：弹性结构230和活塞杆210，所述活塞杆210凸出于所述吸附面表面；所述活塞杆210包括第一杆区I和第二杆区II。

本实施例中，调节所述阀门200并将所述待吸附物放置于所述预设位置处的步骤包括：将所述待吸附物放置于所述预设位置处，所述活塞杆210不接触待吸附物时，所述第一杆区I使所述管道110关断，当所述待吸附物位于所述活塞杆210顶部时，所述第二杆区II与阀门200两侧的管道110连通，使所述管道110导通。

具体的，当所述吸附物的直径较大，等于或大于所述第二区B外径时，所述吸附物的预设位置包括第一区A和第二区B。

将所述晶圆放置于所述预设位置处之后，所述弹性结构230在待吸附物压力作用下缩短，所述活塞杆210朝向所述弹性结构230移动，使所述第二区B位于所述管道110中，从而使阀门200两侧的管道110贯通。

当所述吸附物的半径较小，小于所述阀门200到吸附面圆心处的距离时，且大于第一区A半径时，所述吸附物的预设位置包括第一区A。所述第二区B不放置所述吸附物，则所述第一杆区I位于所述管道110中，使阀门两侧的管道110断开。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (16)

1.一种吸盘，其特征在于，包括：

盘体，所述盘体包括吸附面，所述吸附面用于吸附待吸附物，所述吸附面包括第一区和第二区；

位于所述盘体第一区和第二区中的沟槽；

位于所述盘体中的管道，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道相互贯通；

位于所述盘体中的阀门，所述阀门控制所述管道的导通与断开；

真空装置，通过所述管道与所述第一区沟槽连通，用于对所述第一区沟槽和第二区沟槽进行抽真空处理。

2.如权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述阀门包括活塞杆，所述活塞杆包括第一杆区，当所述第一杆区位于所述阀门两侧的管道之间时，所述第一杆区断开所述管道。

3.如权利要求2所述的吸盘，其特征在于，所述吸盘体中具有容纳槽，所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述管道远离吸附面一侧的盘体中，所述阀门位于所述容纳槽中；

所述阀门还包括：位于所述容纳槽中的弹性结构；所述活塞杆位于所述弹性结构顶部，当所述活塞杆顶部不具有待吸附物时，所述活塞杆顶部表面凸出于所述吸附面；所述活塞杆还包括与第一杆区相邻的第二杆区，所述第一杆区位于所述第二杆区和弹性结构之间，当所述活塞杆顶部具有待吸附物时，所述第二杆区连通所述活塞杆两侧的管道。

4.如权利要求3所述的吸盘，其特征在于，所述弹性结构为弹簧或弹性塑料。

5.如权利要求3所述的吸盘，其特征在于，所述活塞杆第二杆区平行于吸附面的横截面积小于活塞杆第一杆区平行于吸附面的横截面积；

或者，所述活塞杆第二杆区中具有杆孔，当所述活塞杆顶部具有待吸附物时，所述杆孔使所述阀门两侧的管道导通。

6.如权利要求3所述的吸盘，其特征在于，所述阀门还包括：位于所述容纳槽中的活塞缸，所述弹性结构位于所述活塞缸中，所述活塞杆部分位于所述活塞缸中，所述活塞缸侧壁中具有贯穿活塞缸侧壁的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔分别与所述活塞缸两侧的管道连通。

7.如权利要求6所述的吸盘，其特征在于，所述第一通孔的个数为多个；所述第二通孔的个数为多个；所述第一杆区和第二杆区的个数为多个，所述第一杆区和第二杆区交替排列。

8.如权利要求7所述的吸盘，其特征在于，相邻第二区之间的距离等于相邻第一通孔之间的距离，且相邻第二区之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离；垂直于所述吸附面方向上，所述第一通孔的尺寸等于所述第二区的尺寸，且所述第二通孔的尺寸等于所述第二区的尺寸。

9.如权利要求8所述的吸盘，其特征在于，所述活塞杆顶部与吸附面之间的距离等于相邻第一区和第二区中心之间的距离。

10.如权利要求6所述的吸盘，其特征在于， 所述活塞缸中具有第一凹槽和第二凹槽，所述第一通孔位于所述第一凹槽底部，所述第二通孔位于所述第二凹槽底部。

11.如权利要求10所述的吸盘，其特征在于，在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽的尺寸大于或等于所述管道的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于或等于所述管道的尺寸。

12.如权利要求6所述的吸盘，其特征在于，所述盘体还包括与所述吸附面相对的背面，所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述背面；所述阀门还包括：连接所述活塞缸和所述盘体背面的底座。

13.如权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述阀门的个数为多个，多个阀门围绕所述盘体中心均匀分布；所述管道的个数为多个，且多个管道相互连通。

14.如权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述第二区包围所述第一区；所述阀门位于所述第二区；所述真空装置通过管道与所述第一区沟槽连通。

15.一种吸盘的工作方法，其特征在于，包括：

提供如权利要求1至14任意一项所述的吸盘；

提供待吸附物，并确定所述待吸附物在吸附面表面的预设位置；

根据所述预设位置调节所述阀门，使所述管道连通或断开所述第一区沟槽和第二区沟槽；

将所述待吸附物放置于所述预设位置处；

调节所述阀门并将所述待吸附物放置于所述预设位置处之后，使所述吸盘吸附所述待吸附物。

16.如权利要求15所述的吸盘的工作方法，其特征在于，所述阀门包括：弹性结构和活塞杆，所述活塞杆凸出于所述吸附面表面；所述活塞杆包括第一杆区和第二杆区；

调节所述阀门并将所述待吸附物放置于所述预设位置处的步骤包括：将所述待吸附物放置于所述预设位置处，所述活塞杆不接触待吸附物时，所述第一杆区使所述管道关断，当所述待吸附物位于所述活塞杆顶部时，所述第二杆区使阀门两侧的管道导通。