CN109579713A - 测量设备及测量方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种测量设备及方法，所述测量设备，包括用于放置待测物的置物台，还包括，二维检测装置，设于所述置物台上方，用于检测待测物的位置信息；三维检测装置，用于对待测物进行三维坐标检测；移动平台，包括平移面，用于使三维检测装置与置物台沿平行于平移面的方向相对平移；第一旋转台，用于使置物台绕垂直于平移面的转轴旋转。本发明中，二维检测装置检测待测物的位置信息，第一旋转台和/或移动平台根据位置信息移动来调整待测物与三维检测装置的相对位置，使待测物到达相对的预设位置处，三维检测装置再对待测物进行三维坐标检测，由于对待测物放置位置进行精准对位，保证检测的准确性，且能够提高检测速率。

Description

测量设备及测量方法

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其提供一种测量设备及测量方法。

背景技术

随着现代工业的发展，精密加工被应用到越来越多的领域，人们对加工精度提出了更高的要求。为了满足加工精度要求，提高加工样品合格率，人们常对加工过程及加工成品进行形貌畸变测试，以确保畸变在允许范围内。

现有的畸变检测方法有二维检测和三维检测两大类。其中，二维检测能检测大部分待测物的畸变情况，但对待测物高度畸变无法检测；而三维检测仅能检测待测物表面畸变，无法对待测物进行定位，容易导致待测物位置与预设位置差距较大，进而不利于对待测物的精确测量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测量设备，旨在解决现有技术中二维检测设备无法对高度畸变检测，以及三维检测无法对待测物定位精确检测的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种测量设备，包括用于放置待测物的置物台，还包括：

二维检测装置，设于所述置物台上方，用于检测所述待测物的位置信息；

三维检测装置，用于对待测物进行三维坐标检测；

移动平台，包括平移面，用于使所述三维检测装置与所述置物台沿平行于所述平移面的方向相对平移；

第一旋转台，用于使所述置物台绕垂直于所述平移面的转轴旋转。

进一步地，所述置物台与所述移动平台固定连接；或者，所述三维检测装置与所述移动平台固定连接。

进一步地，所述二维检测装置为远心成像系统。

进一步地，所述三维检测装置为色散共聚焦测量装置。

进一步地，还包括第二旋转台，用于使所述置物台绕沿平行于所述平移面的转轴相对于所述三维检测装置旋转。

进一步地，所述第二旋转台与所述移动平台固定连接，所述第一旋转台与所述第二旋转台固定连接，所述置物台与所述第一旋转台固定连接；

或者，所述第二旋转台与所述三维检测装置固定连接，所述第二旋转台用于带动所述第三检测装置旋转。

进一步地，所述二维检测装置与所述三维检测装置的排列方向垂直于或平行于所述第二旋转台的旋转轴。进一步地，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移动平台包括第一平移台和第二平移台，所述第一平移台用于带动所述置物台沿所述第一方向的正向和/或反向平移，所述第二平移台用于带动所述第一平移台和所述置物台沿所述第二方向的正向和/或反向平移；所述第一方向和所述第二方向垂直或具有锐角或钝角夹角。

本发明还提供了一种测量方法，基于上述的测量设备进行，包括以下步骤：

S1、通过所述二维检测装置获取待测物待测区的位置信息；

S2、所述第一旋转台和/或所述移动平台根据所述位置信息调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处；

S3、通过所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息。

进一步地，所述步骤S1包括以下步骤：

S11、利用所述二维检测装置获取部分或全部待测物的轮廓图像；

S12、根据所述轮廓图像获取所述待测物某一特征方向以及特征点位置。

进一步地，所述预设的相对位置包括一预设特征方向以及预设特征点位置，所述第一旋转台根据所述特征方向与所述预设特征方向之间的夹角旋转使特征方向与预设特征方向平行，所述移动平台根据所述特征点位置与所述预设特征点位置之间的位置水平移动使所述特征点位置与所述预设特征点位置重合。

进一步地，所述轮廓图像包括一条或多条轮廓边，所述特征方向包括轮廓边的延伸方向；所述待测物包括顶角、凹陷或凸起，所述特征点位置为顶角、凹陷或凸起的像的位置。

进一步地，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移动平台包括第一平移台和第二平移台；所述三维检测装置包括用于对待测区进行检测的扫描光斑；

当所述待测区包括相互平行的第一边、第二边以及位于所述第一边和第二边之间的扫描区域时；调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处使所述第一边平行于所述第一方向；所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息的步骤包括：使所述扫描光斑相对于所述扫描区域沿第一方向自第一边一端运动至另一端；使所述扫描光斑相对于所述扫描区域沿第一方向自第一边一端运动至另一端之后，使所述扫描光斑相对于所述扫描区域沿第二方向移动一特定步长，所述特定步长小于或等于第一边和第二边之间的间距；使扫描光斑相对于所述扫描区域沿第二方向移动一特定步长之后，使所述扫描光斑沿第一方向的反方向自扫描区一端移动至另一端；重复上述步骤直至扫描光斑到达第二边；或者，当所述待测区包括待测轨迹，所述待测轨迹为线段时；调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处使所述待测轨迹平行于第一方向；所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息的步骤包括：使所述扫描光斑相对于所述待测区沿第一方向自待测轨迹一端扫描至另一端。

本发明技术方案的有益效果：

本发明的技术方案中，二维检测装置检测待测物的位置信息，第一旋转台和/或移动平台根据位置信息移动来调整置物台上的待测物与三维检测装置的相对位置，使待测物到达相对的预设位置处，三维检测装置再对待测物进行三维坐标检测，由于对待测物放置位置进行精准对位，保证检测的准确性，从而能获得准确、全面的待测物的三维坐标信息，且能够提高检测速率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的测量设备的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的测量方法流程图；

图3为本发明实施例提供的测量方法中待测物调整至预设的相对位置时示意图；

图4为本发明实施例提供的测量方法中三维检测装置扫描待测物的示意图；

图5为本发明实施例提供的测量方法中三维检测装置扫描待测物的另一示意图；

其中，图中各附图标记：

10-置物台；20-二维检测装置；30-第一旋转台；40-移动平台；41-第一平移台；42-第二平移台；60-第二旋转台；70-工作台；71-龙门架；80-待测物；81-第一端；82-第二端；83-扫描区域。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参照图1，本发明实施例提供的一种测量设备，包括用于放置待测物的置物台10，还包括，

二维检测装置20，设于置物台10上方，用于检测待测物的位置信息；

三维检测装置(图中未示出)，用于对待测物进行三维坐标检测；

移动平台40，包括平移面，用于使三维检测装置与置物台10沿平行于平移面的方向内相对平移；

第一旋转台30，用于使置物台10绕垂直于平移面的转轴旋转。

本实施例中，二维检测装置20检测待测物的位置信息，第一旋转台30和/或移动平台40根据位置信息移动来调整置物台10上的待测物与三维检测装置的相对位置，使待测物到达相对的预设位置处，三维检测装置再对待测物进行三维坐标检测，由于对待测物放置位置进行精准对位，保证检测的准确性，从而能获得准确、全面的待测物的三维坐标信息，且能够提高检测速率。

本实施例中，二维检测装置20、第一旋转台30、三维检测装置及移动平台40之间通信连接，并通过控制系统下达控制指令，二维检测装置20、第一旋转台30、三维检测装置及移动平台40均根据控制指令进行协调作业。

本实施例中，所述平移面为移动平台40的移动平面。移动平台40带动三维检测装置或待测物均沿平行于平移面的方向相对平移。

具体地，本实施例中，测量设备还包括一工作台70，工作台70上设有龙门架71，二维检测装置20与三维检测装置间隔设于龙门架71中部，二者的排列方向视待测物的放置方向及三维检测装置的角度量程而定。

本实施例中，三维检测装置的角度量程为50°～70°。如果二维检测装置20与三维检测装置的距离过大，通过二维检测装置20获取所述待测物的位置信息之后，需要使待测物平移较大距离才能到达预设位置，进而容易降低检测速度，如果二维检测装置20与三维检测装置之间的距离过小，容易相互遮挡。具体的，二维检测装置20与三维检测装置之间的间距范围在50mm-60mm之间，例如55mm。

测量设备还包括第二旋转台60，用于使置物台10绕沿平行于平移面的转轴相对于三维检测装置旋转。

第二旋转台60与移动平台40固定连接，第一旋转台30与第二旋转台60固定连接，置物台10与第一旋30固定连接。具体地，本实施例中，移动平台40置于工作台70表面，第二旋转台60置于移动平台40表面，第一旋转台30与第二旋转台60固定连接，置物台10与第一旋转台30固定连接。在其他实施例里，移动平台40也可以不具有平台表面，其具有在水平面移动功能，而将第二旋转台60与其固定连接，从而通过移动平台带动第二旋转台60水平移动。第二旋转台60与置物台10固定连接，第二旋转台60带动置物台10旋转，三维检测设备50处于静止状态，能够减少旋转过程对三维检测装置光路的影响，从而能够提高光路的稳定性，进而能够增加测量的精确性。在其他实施例中，第二旋转台60与三维检测装置固定连接，第二旋转台60用于带动三维检测装置旋转。

本实施例中，二维检测装置20与三维检测装置的排列方向垂直于第二旋转台60的旋转轴。在其他实施例中，二维检测装置20与三维检测装置的排列方向平行于第二旋转台60的旋转轴，或者二维检测装置20与三维检测装置的排列方向与第二旋转台60的旋转轴具有锐角夹角。

本实施例中，平移面包括第一方向和第二方向，移动平台40包括第一平移台41和第二平移台42，第一平移台41用于带动置物台10沿第一方向的正向和/或反向平移，第二平移台42用于带动第一平移台41和置物台10沿第二方向的正向和/或反向平移。第一平移台41与第二平移台42可以分别移动，即先完成第一方向平移，再完成第二方向平移；第一平移台42与第二平移台42也可以同时平移，这样，置物台10及待测物即沿第一方向与第二方向之间夹角方向移动，能更快速到达预设的相对位置处。

本实施例中，第一方向和第二方向垂直。在其他实施例中，所述第一方向和第二方向之间具有锐角或钝角夹角。

通过第一旋转台30和/或第二旋转台60带动待测物旋转后，使待测物的放置方向与预设方向一致。再通过移动平台40带动第二旋转台60、第一旋转台30、置物台10及待测物沿第一方向与第二方向相对三维检测装置移动以到达预设的相对位置处。移动平台40带动第一旋转台30及待测物沿第一方向或第二方向移动的最大距离为±125mm。由于预设的相对位置是待测物与三维检测装置之间相对的，故也可以通过龙门架71带动三维检测装置相对待测物移动从而使待测物位于预设的相对位置处。需要说明的是，当工作台70上未设置龙门架71时，也可以将三维检测装置与移动平台40固定连接，以使移动平台40带动三维检测装置相对待测物移动从而使待测物位于预设的相对位置处。

本实施例中，二维检测装置20为远心成像系统。远心成像系统仅采集平行于光轴的光进行成像，使放大倍率不受待测物位置影响，保证轮廓精度，从而能更准确地检测待测物的位置信息。当然，在其他实施例里，二维检测装置20也可以采用普通成像系统。

本实施例中，三维检测装置为色散共聚焦测量装置，其获取的待测物的三维坐标信息是待测物表面的高度信息。当然，也可以采用干涉法测量设备等等。色散共聚焦测量装置在获取待测物的三维坐标信息时，通过色散共聚焦测量装置上的探头与待测物之间相对移动进行扫描，由于二者之间的移动是相对，故可以任意移动其中一个即可。

本实施例中，三维检测装置静止，将第二旋转台60及第一旋转台30与移动平台40固定连接，通过移动平台40来移动待测物，实现探头对待测物的扫描。由于待测物及第一旋转台30、第二旋转台60体积小，对移动平台40的要求也会降低，移动平台40的驱动电机体积也会变小，不仅降低了成本，也实现了设备小型化。当然，在其他实施例中，也可以将三维检测装置与移动平台40固定连接，使移动平台40带动三维检测装置相对待测物移动使待测物位于相对的预设位置处。参照图2、图3，本发明实施例还提供了一种基于上述的测量设备进行的测量方法。

待测物80的测量方法包括以下步骤：

S1、通过二维检测装置20获取待测物80待测区的位置信息；

具体地，S1步骤又包括以下步骤：

S11、利用二维检测装置20获取部分或全部待测物80的轮廓图像；

S12、根据所述轮廓图像获取待测物80某一特征方向A以及特征点位置O。

轮廓图像包括一条或多条轮廓边，特征方向A包括轮廓边的延伸方向；待测物包括顶角、凹陷或凸起，特征点位置O为顶角、凹陷或凸起的像的位置。所述凹陷可以为凹槽或孔。

本实施例中，待测物80外形呈矩形，其包括四个顶角区域。二维检测装置20为远心成像系统。利用二维检测装置20获取待测物80的轮廓图像的步骤为获取待测物80一个顶角区域的图像。顶角区域包括顶点以及形成该顶角的两直角边。本实施例中，特征方向A即为其中一直角边，而特征点位置O即为该直角顶点。当然，当待测物结构变化时，也可以获取其他位置如凹陷、凸起，某特定孔、槽等的轮廊图像。

S2、第一旋转台30和/或移动平台40根据二维检测装置20反馈的所述位置信息调整待测物80至相对于三维检测装置预设的相对位置处；

具体地，预设的相对位置包括一预设特征方向B以及预设特征点位置O’。预设此相对位置为测量前的准备工作，在S1步骤之前。在S2步骤中，第一旋转台30接收二维检测装置20发出的待测物80的特征方向A以及特征点位置O后，计算特征方向A与预设特征方向B之间的夹角α，第一旋转台30旋转α角度使待测物80的特征方向A与预设特征方向B平行。当检测待测物80的特征方向A与预设特征方向B平行时，第一旋转台30旋转的α为0，即第一旋转台30不需旋转。

进一步地，也可以设置第二旋转台60，第二旋转台60用于使置物台10绕沿平行于平移面的转轴旋转。这样，在调整特征方向A与预设特征方向B平行时，可以通过第一旋转台30和/或第二旋转台60来操作完成。同时，当特征方向A与预设特征方向B平行后，移动平台40根据特征点位置O与预设特征点位置O’之间的位置水平移动指令带动待测物80移动，使特征点位置O与预设特征点位置O’重合。

具体地，移动平台40包括平移面，平移面包括第一方向和第二方向，移动平台40包括第一平移台41和第二平移台42。移动平台40的水平移动可以分解为沿第一方向的移动以及第二方向的移动，第一方向与第二方向垂直。设第一方向为X轴方向，第二方向为Y轴方向，则沿第一方向、第二方向的移动距离分别用dx与dy来表示。当dx为0时，表示只向Y轴方向移动，当dy为0时，表示只向X轴方向移动。当然，第一方向与第二方向之间也可以具有锐角或钝角夹角。

结合图4，待测物80的待测区包括相互平行的第一边81、第二边82以及位于第一边81和第二边82之间的扫描区域83。步骤S2，调整待测物80至相对于三维检测装置预设的相对位置处使第一边81平行于第一方向，这样，方便三维检测装置进行扫描。

S3、通过三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物80的三维坐标信息。

三维检测装置包括用于对待测区进行检测的扫描光斑。步骤S3，三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物80的三维坐标信息的步骤包括：使扫描光斑相对于扫描区域83沿第一方向即X轴方向自第一边81一端运动至另一端；使扫描光斑相对于扫描区域83沿第一方向自第一边81一端运动至另一端之后，使扫描光斑相对于扫描区域83沿第二方向即Y轴方向移动一特定步长，特定步长小于或等于第一边81和第二边82之间的间距；使扫描光斑相对于扫描区域83沿第二方向移动一特定步长之后，使扫描光斑沿第一方向的反方向自扫描区一端移动至另一端；重复上述步骤直至扫描光斑到达第二边82。

本实施例中，待测物80的待测表面呈矩形，待测物的外形尺寸约为90mm*180mm。本实施例中，待测物80为手机壳。待测物80也可为其他产品，如各种形状的光学透镜。

本实施例中，第一边81为手机壳的长边，在其他实施例中，第一边81可以为手机壳的短边。

在本实施例中，扫描光斑为多个点光斑形成的线光斑，在其他实施例中，扫描光斑也可以为点光斑。

参照图5，本发明技术的测量方法还提供另一实施例。

本实施例与上一实施例的相同之处在此不做赘述，不同之处包括：

待测区包括待测轨迹C，待测轨迹为线段，本实施例中，待测轨迹C为待测区的对角线。

步骤S2，调整待测物80至相对于三维检测装置预设的相对位置处使特征方向A与预设特征方向B平行，特征点位置O与预设特征点位置O’重合。

本实施例中，调整待测物80至相对于三维检测装置预设的相对位置处使待测轨迹C平行于第一方向。即本实施例中，调整待测物80至相对于三维检测装置预设的相对位置处，使特征方向A与预设特征方向B平行的过程中，使待测轨迹C平行于第一方向。

具体的，本实施例中，特征方向A和特征点位置O与上一实施例相同，不同之处在于，本实施例中，预设特征方向B与第一方向之间具有锐角夹角。本实施例中，预设特征方向B与第一方向之间锐角夹角等于待测轨迹C与特征方向A之间的锐角夹角。

在其他实施例中，待测轨迹C还可以与特征方向A平行，则所述步骤S2使待测轨迹C、特征方向A均与第一方向平行。

虽然在调整时，预设特征方向B与第一方向呈锐角夹角，但是这样的设置使得待测轨迹C与第一方向平行，方便扫描检测。

本实施例中，待测物80的待测区为矩形，待测轨迹C为待测区的对角线或者待测区中任一线段。具体的，待测物80为手机壳。而特征方向A为待测区的一直角边，特征点位置O为该直角边的顶点。而预设特征方向B与第一方向即X轴呈锐角夹角。

步骤S3，三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息的步骤包括：使扫描光斑相对于待测区沿第一方向自待测轨迹一端扫描至另一端。

三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物80的三维坐标信息的步骤中，只需使扫描光斑相对于待测区沿第一方向自待测轨迹C一端扫描至另一端即可快速、准确完成扫描。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种测量设备，包括用于放置待测物的置物台，其特征在于，还包括：

二维检测装置，设于所述置物台上方，用于检测所述待测物的位置信息；

三维检测装置，用于对待测物进行三维坐标检测；

移动平台，包括平移面，用于使所述三维检测装置与所述置物台沿平行于所述平移面的方向相对平移；

第一旋转台，用于使所述置物台绕垂直于所述平移面的转轴旋转。

2.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述置物台与所述移动平台固定连接；或者，所述三维检测装置与所述移动平台固定连接。

3.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述二维检测装置为远心成像系统。

4.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述三维检测装置为色散共聚焦测量装置。

5.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，还包括第二旋转台，用于使所述置物台绕沿平行于所述平移面的转轴相对于所述三维检测装置旋转。

6.根据权利要求5所述的测量设备，其特征在于，所述第二旋转台与所述移动平台固定连接，所述第一旋转台与所述第二旋转台固定连接，所述置物台与所述第一旋转台固定连接；

或者，所述第二旋转台与所述三维检测装置固定连接，所述第二旋转台用于带动所述第三检测装置旋转。

7.根据权利要求5或6所述的测量设备，其特征在于，所述二维检测装置与所述三维检测装置的排列方向垂直于或平行于所述第二旋转台的旋转轴。

8.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移动平台包括第一平移台和第二平移台，所述第一平移台用于带动所述置物台沿所述第一方向的正向和/或反向平移，所述第二平移台用于带动所述第一平移台和所述置物台沿所述第二方向的正向和/或反向平移；所述第一方向和所述第二方向垂直或具有锐角或钝角夹角。

9.一种测量方法，其特征在于，基于权利要求1至8任意一项所述的测量设备进行，包括以下步骤：

S1、通过所述二维检测装置获取待测物待测区的位置信息；

S2、所述第一旋转台和/或所述移动平台根据所述位置信息调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处；

S3、通过所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息。

10.如权利要求9所述的一种测量方法，其特征在于，所述步骤S1包括以下步骤：

S11、利用所述二维检测装置获取部分或全部待测物的轮廓图像；

S12、根据所述轮廓图像获取所述待测物某一特征方向以及特征点位置。

11.如权利要求10所述的一种测量方法，其特征在于，所述预设的相对位置包括一预设特征方向以及预设特征点位置，所述第一旋转台根据所述特征方向与所述预设特征方向之间的夹角旋转使特征方向与预设特征方向平行，所述移动平台根据所述特征点位置与所述预设特征点位置之间的位置水平移动使所述特征点位置与所述预设特征点位置重合。

12.如权利要求10所述的一种测量方法，其特征在于，所述轮廓图像包括一条或多条轮廓边，所述特征方向包括轮廓边的延伸方向；所述待测物包括顶角、凹陷或凸起，所述特征点位置为顶角、凹陷或凸起的像的位置。

13.如权利要求9所述的一种测量方法，其特征在于，所述平移面包括第一方向和第二方向，所述移动平台包括第一平移台和第二平移台；所述三维检测装置包括用于对待测区进行检测的扫描光斑；

当所述待测区包括相互平行的第一边、第二边以及位于所述第一边和第二边之间的扫描区域时；调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处使所述第一边平行于所述第一方向；所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息的步骤包括：使所述扫描光斑相对于所述扫描区域沿第一方向自第一边一端运动至另一端；使所述扫描光斑相对于所述扫描区域沿第一方向自第一边一端运动至另一端之后，使所述扫描光斑相对于所述扫描区域沿第二方向移动一特定步长，所述特定步长小于或等于第一边和第二边之间的间距；使扫描光斑相对于所述扫描区域沿第二方向移动一特定步长之后，使所述扫描光斑沿第一方向的反方向自扫描区一端移动至另一端；重复上述步骤直至扫描光斑到达第二边；或者，当所述待测区包括待测轨迹，所述待测轨迹为线段时；调整所述待测物至相对于所述三维检测装置预设的相对位置处使所述待测轨迹平行于第一方向；所述三维检测装置获取置于预设的相对位置处的待测物的三维坐标信息的步骤包括：使所述扫描光斑相对于所述待测区沿第一方向自待测轨迹一端扫描至另一端。