CN110044264A - 检测设备及检测设备的工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种检测设备，包括承载结构、旋转机构、特征结构和检测机构，其承载结构用于承载固定待测物，其旋转机构用于带动承载结构绕旋转轴旋转，其特征结构用于确定检测特征点，检测机构在检测过程中先后对特征结构旋转前后的两个特征区域进行检测，得到两侧特征区域对应的检测特征点的坐标数据，进而得到特征结构旋转前后的转换关系。利用检测机构先后检测待测物旋转前后的两个表面，获得待测物两个表面的检测结果，利用上述转换关系将待测物两个表面的检测结果转换至同一坐标系下，即可得到待测物两个表面的相对位置关系。本发明还公开了一种检测设备的工作方法。

Description

检测设备及检测设备的工作方法

技术领域

本发明涉及表面检测技术领域，尤其涉及一种检测设备及检测设备的工作方法。

背景技术

随着现代工业的发展，精密加工被应用于越来越多的技术领域中，同时，人们对加工精度也提出了更高的要求。为了满足加工精度需求，提高加工样品合格率，人们常对加工过程及加工成品进行形貌畸变测试，确保其畸变在可容忍范围内。

形貌畸变测试一般采用三维检测方法，现有技术中，常用的三维检测方法包括接触式检测和非接触式检测。接触式检测设备主要包括三坐标测量仪；非接触式检测设备主要为光学检测设备，所采用的测量方法包括：激光三角法、干涉法、共聚焦法等光学测量方法。非接触式检测由于不需要与待测物接触，对待测物的损伤较小，因此，受到越来越多的关注。

现有的畸变检测往往仅需要对待测物的一面进行检测，获取待测物一个表面的畸变信息；或者，分别检测多个表面，分别获得多个表面的畸变信息。然而，在工业检测中，往往需要获取待测物不同的两面之间的相对位置(例如待测物的厚度)畸变信息，而现有的检测方法无法获取多个面的相对位置畸变信息。

因此，如何实现对待测物进行双面检测，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种检测设备以及检测设备的工作方法，能够对待测物进行双面检测，通过双面的检测结果进行分析，从而能够检测待测物两个表面的相对位置关系。

为了实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种检测设备，包括：

承载结构，所述承载结构用于承载固定待测物；

旋转机构，所述旋转机构用于驱动所述承载结构绕旋转轴旋转；

特征结构，所述特征结构被配置为相对所述承载结构位置固定，所述特征结构包括检测特征点和至少两个特征区域，所述特征结构绕所述检测特征点之外的任意直线具有旋转不对称性，所述特征区域用于确定所述检测特征点的位置；

检测机构，所述检测机构用于对所述待测物表面和至少两个所述特征区域进行检测，所述承载结构被配置为用于绕所述旋转轴相对于所述检测机构旋转以使所述检测机构分别检测至少两个所述特征区域，至少一个所述检测特征点位于所述旋转轴的轴线外，所述旋转轴的轴线与所述检测机构的检测轴线存在第一夹角。

本发明提供的检测设备，包括承载结构、旋转机构、特征结构和检测机构，其承载结构用于承载固定待测物，其旋转机构用于带动承载结构绕旋转轴旋转，其特征结构用于确定检测特征点，检测机构在检测过程中先后对特征结构旋转前后的两个特征区域进行检测，得到两侧特征区域对应的检测特征点的坐标数据，进而得到特征结构旋转前后的转换关系。利用检测机构先后检测待测物旋转前后的两个表面，获得待测物两个表面的检测结果，利用上述转换关系将待测物两个表面的检测结果转换至同一坐标系下，即可得到待测物两个待测面的相对位置关系。

本发明具有以下有益效果：

1)本方案提供的检测设备结构简单，特征结构、旋转机构与承载结构等部件便于布置；

2)本方案提供的检测设备便于操作，只需旋转承载结构和特征结构，无需改变检测机构的布置和工作方式，即可准确得到旋转前后的位置转换关系，检测效率高；同时，旋转机构可以实现承载结构的自动旋转操作，无需手动翻转，自动化程度高；

3)承载结构可以适用于多种产品的承载固定，可大大提高检测设备的适用性。

可选的，所述承载结构包括承载板，所述承载板用于吸附待测物部分区域。

可选的，所述承载板的表面开设有一个或多个真空吸孔，所述真空吸孔连接有真空管路。

可选的，所述承载结构还包括位于所述承载板外侧的且用于固定所述待测物与所述承载结构相对位置的定位结构。

可选的，所述定位结构包括至少三个定位夹块，每个所述定位夹块包括用于夹持所述待测物的固定端面，至少三个所述定位夹块的所述固定端面中心不共线。

可选的，所述定位夹块被配置为与所述承载板的间距可调。

可选的，所述承载板的外周设有与所述定位夹块一一对应的滑杆，所述定位夹块与所述滑杆活动连接，且所述定位夹块用于沿所述滑杆延伸方向移动，所述定位夹块通过锁紧结构与所述滑杆实现位置固定

可选的，所述检测特征点的个数大于等于3。

可选的，多个所述检测特征点相对于所述旋转轴具有旋转不对称性。

可选的，还包括用于带动所述承载结构和所述待测物平移的移动平台。

可选的，还包括用于承载所述特征结构的标定结构，所述特征结构固定于所述标定结构，且所述标定结构暴露出所述特征结构的至少两个所述特征区域。

可选的，所述标定结构为片状结构，所述特征结构贯穿所述标定结构相对的两面。

可选的，所述特征结构为开设于所述标定结构上的通孔，或者贯穿所述标定结构相对的两面的球形结构或正多面体。

可选的，所述标定结构可拆卸地连接于所述承载结构。

可选的，所述检测机构为共聚焦检测设备，或白光干涉检测设备，或反射光谱检测设备，或三角测量设备。

本发明还提供了一种检测设备的工作方法，包括步骤：

提供如上所述的检测设备；

利用所述检测机构对所述特征结构的一个特征区域进行第一检测，获取所述检测特征点所在的第一坐标系；

获取所述检测特征点所在的第一坐标系之后，利用所述旋转机构驱动所述承载结构绕旋转轴旋转待测角度；

使所述承载结构旋转待测角度之后，利用所述检测机构对所述特征结构的另一特征区域进行第二检测，获取所述检测特征点所在的第二坐标系；

根据所述第一坐标系和所述第二坐标系获取所述特征结构旋转待测角度前后的转换关系。

可选的，在上述工作方法中，还包括步骤：

提供待测物，所述待测物包括第一面和第二面，所述第一面包括第一检测区域，所述第二面包括固定区域以及与所述第一检测区域位置对应的第二检测区域；

利用所述检测机构对所述待测物的第一面的所述第一检测区域进行检测，获取第一检测结果；

利用所述检测机构对所述第一检测区域进行检测之后，利用旋转机构使所述待测物绕所述旋转轴旋转所述待测角度，使所述待测物的第二面朝向所述检测机构；

使所述待测物绕所述旋转轴旋转所述待测角度之后，利用所述检测机构对所述第二面的第二检测区域进行检测，获取第二检测结果；

利用所述转换关系对第一检测结果和第二检测结果进行拼接。

可选的，在上述工作方法中，使所述承载结构绕所述旋转轴旋转待测角度之前，利用所述检测机构对所述第一面的所述第一检测区域进行检测，获取第一检测结果。

可选的，在上述工作方法中，所述承载结构包括承载板时，在提供待测物步骤中，将待测物的第二面的所述固定区域与所述承载板的承托面连接固定，且所述承载板暴露出所述第二面的所述第二检测区域。

本发明提供的检测设备的工作方法所产生的有益效果的推导过程与上述检测设备的有益效果推导过程类似，本文不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明具体实施例中的检测设备的检测工装结构示意图；

图2为本发明具体实施例中的待测物安装于检测工装时的结构示意图；

图3为本发明具体实施例中的检测设备检测状态示意图。

图1至图3中：

1-承载板、2-标定结构、3-标定承载板、4-定位夹块、5-旋转机构、6-待测物、7-背光源、8-移动平台、9-视觉部分、10-共聚焦检测设备、11-检测工装。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参照图1至图3，为了实现对待测物6的双面检测，本发明提供了一种检测设备，包括：承载结构、特征结构、旋转机构5和检测机构。

承载结构用于承载固定待测物6，即，在检测过程中作为待测物6的承载基础。

旋转机构5用于驱动承载结构绕旋转轴旋转，具体可以采用电机或气缸驱动的旋转机构，其旋转角度可以根据待测物6的具体结构来预先设定，例如，对于板状结构的待测物6，其旋转角度，即待测角度可以预设为120°～240°，例如180°。特征结构被配置为相对承载结构位置固定，特征结构包括检测特征点和至少两个特征区域，特征结构绕检测特征点之外的任意直线具有旋转不对称性，特征区域用于确定检测特征点的位置。检测机构用于对待测物6表面和至少两个特征区域进行检测，承载结构被配置为用于绕旋转轴相对于检测机构旋转以使检测机构分别检测至少两个特征区域。

至少一个检测特征点位于旋转轴的轴线外，旋转轴的轴线与检测机构的检测轴线存在第一夹角。需要说明的是，旋转轴可以为实际的旋转轴结构，也可以为空间中的一条直线，即，承载结构可以绕空间的一条直线进行旋转。在检测过程中，承载结构在旋转之前的位置和旋转之后的位置分别使得同一特征结构的两个不同的特征区域与检测机构相对布置，而这两个不同的特征区域均能够确定该特征结构的同一个检测特征点的位置，如此设置，就能够使得检测机构检测到同一检测特征点在旋转前后的两个不同的位置坐标数据。

本发明提供的检测设备的工作原理如下：检测机构在检测过程中先后对特征结构旋转前后的两个特征区域进行检测，得到两侧特征区域对应的检测特征点的坐标数据，进而得到特征结构旋转前后的转换关系。利用检测机构先后检测待测物6旋转前后的两个表面，获得待测物6两个表面的检测结果，利用上述转换关系将待测物6两个表面的检测结果转换至同一坐标系下，即可得到待测物6相对两表面的相对位置关系。

需要说明的是，承载结构可以设计成多种不同的结构形式，例如杆状结构、环形结构、方框结构、片状结构等，只要能够满足承载固定待测物6的要求即可。

本实施例中，不需要对待测物6中间部分进行检测，需要对待测物6外围区域进行检测。具体的，在本实施例的检测设备中，承载结构包括承载板1，承载板1用于吸附待测物6中间部分区域。

承载板1的表面开设有一个或多个真空吸孔，真空吸孔连接有真空管路，如图1所示。承载板1的固定原理为，真空管路接通真空装置时，真空吸孔处会产生负压，当待测物6覆盖在真空吸孔上后，真空吸孔产生的真空吸力会将待测物6牢固地吸附在承载板1上，从而实现固定。如图2所示，当待测物6固定于承载板1上时，待测物6将承载板1覆盖，且待测物6的四周边缘部分的上下两侧表面均暴露在空间中，当待测物6翻转过来后，四周边缘表面也与检测机构相对布置，从而满足检测需求。

所述特征区域与待测物6的两个待检测表面面对应，两个特征区域的位置关系与两个待检测表面的位置关系相同。

需要说明的是，上述承载结构还包括位于承载板1外侧的且用于固定待测物6与承载结构相对位置的定位结构。定位结构起到辅助固定待测物6的作用，避免在检测过程中或者旋转过程中待测物6与承载结构发生相对位移。

需要说明的是，上述定位结构可以设计为多种结构形式，例如支撑杆结构、支撑片结构、限位挡块结构等等，在上述检测设备中，定位结构包括至少三个定位夹块4，每个定位夹块4包括用于夹持待测物6的固定端面，至少三个定位夹块4的固定端面中心不共线，如图1所示，如此设置，是为了对待测物6进行夹持固定时形成一个稳定的三点支撑结构，保证待测物6随承载结构一同旋转过程中不会发生晃动，进而保证检测的精确度。

进一步的，定位夹块4被配置为与承载板1的间距可调，如此设置，就使得至少三个定位夹块4的固定端面中心之间能够形成不同宽度的夹持空间，从而满足对尺寸不同的待测物6进行夹持定位，提高了检测工装11的适用性。

需要说明的是，定位夹块4可以通过多种结构形式实现与承载板1的间距可调，所述定位夹块与所述滑杆活动连接，且所述定位夹块用于沿所述滑杆延伸方向移动。例如，将定位夹块4与可伸缩气缸相连以实现往复运动，或者在承载板1的外侧设置支撑杆并将定位夹块4与支撑杆滑动连接或螺纹连接，或者将定位夹块4固定在可折叠的多段杆上，等等。在本实施例方案中，承载板1的外周设有与定位夹块4一一对应的滑杆，定位夹块4滑动配合于滑杆，具体可以在定位夹块4上开设有通孔，所述滑杆穿过所述通孔，或者在滑杆上开设滑槽，所述定位夹块4具有位于所述滑槽中的凸起，所述凸起被配置在沿所述滑槽滑动，定位夹块4通过锁紧结构与滑杆实现位置固定，具体锁紧结构可以为插销、或锁紧螺栓、或锁紧螺母、或偏心锁紧轮结构等等。

本实施例中，检测特征点的个数大于等于3，即，特征结构的个数至少为3个，通过设置多个特征结构，可以在检测机构检测特征结构时获得多个检测特征点的坐标数据，从而得到刚性物体转换矩阵的所有参数，进而能够对具有沿任意方向平移及旋转的待测物进行坐标变换，从而能够对沿任意方向平移及旋转的待测物进行拼接，另外，当检测特征点的个数大于3时能获得更加精确的位置转换关系。在其他实施例中，例如当检测设备仅需要对待测物沿旋转轴旋转待测角度并能够使检测机构对待测物6的两个相对的面进行检测时，所述检测特征点的个数可以小于3个。

在上述检测设备中，多个检测特征点相对于旋转轴具有旋转不对称性。如此设置，当承载结构连同多个特征结构绕旋转轴旋转待测角度之后，多个检测特征点均能够移动到不同的坐标位置，从而容易将转换前后的统一特征点进行匹配，获得更加准确的位置转换关系。

本发明中的检测设备还包括用于带动承载结构和待测物6平移的移动平台8，如图3所示。在检测过程中，检测机构可根据产品高度或角度的位置变化进行上下移动，移动平台8带动承载结构和待测物6平移，以使检测机构能够对各个特征结构以及待测物6的各个检测位置进行检测。其中，移动平台8可以通过多种结构方式实现平移运动，例如通过直线电机驱动，或者通过电机驱动齿轮齿条传动机构，或者通过气缸或液压缸等实现驱动，等等。为了提高平移的控制精度，本方案采用高精密的直线电机驱动移动平台，移动平台8可以通过内置的交叉滚子导轨实现沿平面方向移动，并且通过光栅尺发出信号进行定位，以实现精密的位移控制。

本实施例中，所述移动平台8使待测物6相对于检测机构沿第一平移方向和第二平移方向移动。第一平移方向与第二平移方向可以呈锐角相交或相互垂直的位置关系，通过移动平台8可以使待测物6表面的待检测位置准确、快速地移动至与检测机构下方正对的位置，提高检测效率。

需要说明的是，本方案中的特征结构可以设计为多种结构形式，例如直接设置于承载结构上，或者通过其他载体结构固定于承载结构上。本发明中的检测设备还包括用于承载特征结构的标定结构2，如图1所示，特征结构固定于标定结构2，且标定结构2暴露出特征结构的至少两个特征区域，以便于检测机构对至少两个特征区域进行检测，从而获得特征结构旋转待测角度前后的位置坐标数据。

需要说明的是，上述标定结构2可以设计为多种结构形式，例如片状结构、杆状结构、环状结构等，在上述检测设备中，标定结构2为片状结构，特征结构贯穿标定结构2相对的两面。至少两个特征区域分别位于标定结构2相对的两面，如此设置，当承载结构旋转待测角度时，标定结构2带动特征结构一同实现旋转，因此，就可以使不同的特征区域与检测机构相对布置。

在上述检测设备中，特征结构为开设于标定结构2上的通孔，或者贯穿标定结构2相对的两面的球形结构或正多面体。本方案中采用圆形通孔结构来作为特征结构，具体的，标定结构2为带有基准圆孔的厚度为100μm～300μm的薄片，厚度越小基准圆孔的圆度越高，得出的转换关系更加接近实际情况。当特征结构为通孔时，特征区域为通孔的两侧端面，通孔可以为圆孔、方孔或锥形孔等，通过检测机构对通孔的每个端面进行检测均能够检测到同一个点的位置，即孔的中心(检测特征点)位置坐标；当特征结构为球形结构时，特征区域为球形结构表面的任意三个点，检测机构通过对球面任意三点进行检测也均能获得球形的特征结构的中心位置处的检测特征点的位置坐标；当特征结构为正多面体时，特征区域为正多面体的各个面，检测特征点为正多面体的中心，通过检测正多面体的顶点，确定正多面体的中心。

进一步的，上述标定结构2可拆卸地连接于承载结构。具体的，标定结构2可以通过卡扣、螺栓、磁吸块等连接件实现与承载结构的可拆卸连接固定，还可以通过在承载结构的外侧设置安装结构来放置标定结构2，在本实施例方案中，承载结构的一侧设置有标定承载板3，标定承载板3用于固定标定结构2，标定承载板3可以通过插槽或卡扣等结构可拆卸地连接与承载结构。将标定承载板3进行拆卸能够防止标定承载板3与背光源7发生干涉，在其他实施例中，若标定承载板3与设备的其他部分不会发生干涉，可以不拆卸所述标定承载板3。

需要说明的是，本方案中的检测机构可选用三坐标测量仪或光学检测设备，本方案中的检测机构为共聚焦检测设备，或白光干涉检测设备，或反射光谱检测设备，或三角测量设备等光学检测设备。进一步，本方案中的检测机构采用共聚焦检测设备10。

本发明还提供了一种检测设备的工作方法，包括步骤：

S1：提供如上所述的检测设备，此时，特征结构固定在承载结构上，承载结构位于初始检测位置；

本实施例中的检测设备与上述实施例相同，在此不做赘述。

S2：获取第一坐标系，利用检测机构对特征结构的一个特征区域进行第一检测，获取检测特征点所在的第一坐标系；

S3：旋转承载结构，获取检测特征点所在的第一坐标系之后，利用旋转机构5驱动承载结构绕旋转轴旋转待测角度；此时，承载结构和特征结构位于待测角度检测位置；

S4：获取第二坐标系，使承载结构旋转待测角度之后，利用检测机构对特征结构的另一特征区域进行第二检测，获取检测特征点所在的第二坐标系；

S5：获取转换关系，根据第一坐标系和第二坐标系获取特征结构旋转待测角度前后的转换关系。

本发明中提供的上述检测设备的工作方法，可以通过旋转机构5旋转承载结构和特征结构，实现对特征结构两侧特征区域的双面检测，从而获得检测特征点在旋转待测角度前后的位置坐标转换关系，利用该转换关系可以对待测物6的双面检测结果转换至同一坐标系下，从而得到待测物6的两侧表面的相对位置关系。

在上述工作方法中，还包括步骤：

S11：提供待测物6，待测物6包括第一面和第二面，第一面包括第一检测区域，第二面包括固定区域以及与第一检测区域位置对应的第二检测区域；此时，待测物6位于初始检测位置；

S21：利用检测机构对待测物6的第一面的第一检测区域进行检测，获取第一检测结果；

S31：利用检测机构对第一检测区域进行检测之后，利用旋转机构5使待测物6绕旋转轴旋转待测角度，使待测物6的第二面朝向检测机构；此时，待测物6位于待测角度检测位置；

S41：使待测物6绕旋转轴旋转待测角度之后，利用检测机构对第二面的第二检测区域进行检测，获取第二检测结果；

S51：利用转换关系对第一检测结果和第二检测结果进行拼接。

在上述工作方法中，使承载结构绕旋转轴旋转待测角度之前，利用检测机构对待测物6的第一面的第一检测区域进行检测，获取第一检测结果。即，在步骤S3之前进行步骤S21，并且，在步骤S1中同时进行步骤S11，如此安排步骤可以进一步提高检测效率，同时避免反复安装待测物导致的检测精度降低。

需要说明的是，承载结构包括承载板1时，在提供待测物步骤中，将待测物6的第二面的固定区域与承载板1的承托面连接固定，且承载板1暴露出第二面的第二检测区域。如此设置，就可以使得待测物6的第二面旋转待测角度之后，保证检测机构能够顺利检测到第二检测区域。

在上述工作方法中，待测物为2.5D板状结构，第一面为待测物具有2.5D弧面的一侧表面，第二面为待测物另一侧的平面。

本发明方案具有结构简单、易于操作、测量准确、适用性强的优点。

本发明提供的检测设备的工作方法所产生的有益效果的推导过程与上述检测设备的有益效果推导过程类似，本文不再赘述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (18)

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

承载结构，所述承载结构用于承载固定待测物；

旋转机构，所述旋转机构用于驱动所述承载结构绕旋转轴旋转；

特征结构，所述特征结构被配置为相对所述承载结构位置固定，所述特征结构包括检测特征点和至少两个特征区域，所述特征结构绕所述检测特征点之外的任意直线具有旋转不对称性，所述特征区域用于确定所述检测特征点的位置；

检测机构，所述检测机构用于对所述待测物表面和至少两个所述特征区域进行检测，所述承载结构被配置为用于绕所述旋转轴相对于所述检测机构旋转以使所述检测机构分别检测至少两个所述特征区域，至少一个所述检测特征点位于所述旋转轴的轴线外，所述旋转轴的轴线与所述检测机构的检测轴线存在第一夹角。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载结构包括承载板，所述承载板用于吸附待测物部分区域。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述承载板的表面开设有一个或多个真空吸孔，所述真空吸孔连接有真空管路。

4.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述承载结构还包括位于所述承载板外侧的且用于固定所述待测物与所述承载结构相对位置的定位结构。

5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述定位结构包括至少三个定位夹块，每个所述定位夹块包括用于夹持所述待测物的固定端面，至少三个所述定位夹块的所述固定端面中心不共线。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述定位夹块被配置为与所述承载板的间距可调。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述承载板的外周设有与所述定位夹块一一对应的滑杆，所述定位夹块与所述滑杆活动连接，且所述定位夹块用于沿所述滑杆延伸方向移动，所述定位夹块通过锁紧结构与所述滑杆实现位置固定。

8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测特征点的个数大于等于3。

9.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于，多个所述检测特征点相对于所述旋转轴具有旋转不对称性。

10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括用于承载所述特征结构的标定结构，所述特征结构固定于所述标定结构，且所述标定结构暴露出所述特征结构的至少两个所述特征区域。

11.根据权利要求10所述的检测设备，其特征在于，所述标定结构为片状结构，所述特征结构贯穿所述标定结构相对的两面。

12.根据权利要求11所述的检测设备，其特征在于，所述特征结构为开设于所述标定结构上的通孔，或者贯穿所述标定结构相对的两面的球形结构或正多面体。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述标定结构可拆卸地连接于所述承载结构。

14.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测机构为共聚焦检测设备，或白光干涉检测设备，或反射光谱检测设备，或三角测量设备。

15.一种检测设备的工作方法，其特征在于，包括步骤：

提供如权利要求1至14中任一项所述的检测设备；

利用所述检测机构对所述特征结构的一个特征区域进行第一检测，获取所述检测特征点所在的第一坐标系；

获取所述检测特征点所在的第一坐标系之后，利用所述旋转机构驱动所述承载结构绕旋转轴旋转待测角度；

使所述承载结构旋转待测角度之后，利用所述检测机构对所述特征结构的另一特征区域进行第二检测，获取所述检测特征点所在的第二坐标系；

根据所述第一坐标系和所述第二坐标系获取所述特征结构旋转待测角度前后的转换关系。

16.根据权利要求15所述的工作方法，其特征在于，还包括步骤：

提供待测物，所述待测物包括第一面和第二面，所述第一面包括第一检测区域，所述第二面包括固定区域以及与所述第一检测区域位置对应的第二检测区域；

利用所述检测机构对所述待测物的第一面的所述第一检测区域进行检测，获取第一检测结果；

利用所述检测机构对所述第一检测区域进行检测之后，利用所述旋转机构使所述待测物绕所述旋转轴旋转所述待测角度，使所述待测物的第二面朝向所述检测机构；

使所述待测物绕所述旋转轴旋转所述待测角度之后，利用所述检测机构对所述第二面的第二检测区域进行检测，获取第二检测结果；

利用所述转换关系对第一检测结果和第二检测结果进行拼接。

17.根据权利要求16所述的工作方法，其特征在于，使所述承载结构绕所述旋转轴旋转待测角度之前，利用所述检测机构对所述第一面的所述第一检测区域进行检测，获取第一检测结果。

18.根据权利要求16所述的工作方法，其特征在于，所述承载结构包括承载板时，在提供待测物步骤中，将待测物的第二面的所述固定区域与所述承载板的承托面连接固定，且所述承载板暴露出所述第二面的所述第二检测区域。