CN109560110A - 柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置，涉及显示技术领域，用于解决弯折区内的走线产生裂纹甚至断裂而造成走线的导电功能受到不良影响的问题，该柔性显示面板包括显示区和位于显示区周边的弯折区，弯折区包括：柔性衬底；覆盖整个柔性衬底的调整层；位于调整层上、且与弯折区内的走线对应的保护层，弯折区内的走线在柔性衬底上的正投影落入保护层在柔性衬底上的正投影内；弯折区被弯折时，弯折应力通过调整层与保护层之间的界面释放，以缓解弯折区被弯折时保护层所承受的应力；位于保护层上的走线；位于走线上方、且覆盖柔性衬底上的功能膜层的平坦化层。

Description

柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置。

背景技术

显示装置是一种用于显示文字、数字、符号、图片，或者由文字、数字、符号和图片中至少两种组合形成的图像等画面的装置。显示装置可以为平面显示装置、曲面显示装置、3D显示装置、近眼显示装置、AR/VR 显示装置等

目前，随着科技的快速发展，柔性显示装置逐渐走入人们的视野并受到人们的追捧，例如，现有技术存在一种柔性显示装置，包括柔性显示面板，柔性显示面板包括显示区和位于显示区周边的非显示区，为了增加柔性显示装置的屏占比，会将某些非显示区作为弯折区，并将弯折区弯折至柔性显示面板的背部，例如驱动芯片所在的区域，而弯折区内可能具有大量走线，用于传递实现柔性显示装置的显示、触摸等功能的信号。

在现有的柔性显示面板中，当将弯折区弯折时，弯折区内的走线也会随之发生弯折，走线容易产生裂纹甚至发生断裂，导致走线的导电功能受到不良影响。

发明内容

鉴于上述问题，本发明实施例提供一种柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置，用于解决柔性显示面板中弯折区被弯折时，弯折区内的走线容易产生裂纹甚至发生断裂而造成走线的导电功能受到不良影响的技术问题。

为了实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

本发明实施例的第一方面提供一种柔性显示面板，包括显示区和位于所述显示区周边的弯折区，所述弯折区包括：柔性衬底；覆盖整个所述柔性衬底的调整层；位于所述调整层上、且与所述弯折区内的走线对应的保护层，所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影落入所述保护层在所述柔性衬底上的正投影内；所述弯折区被弯折时，弯折应力通过所述调整层与所述保护层之间的界面释放，以缓解所述弯折区被弯折时所述保护层所承受的应力；位于所述保护层上的所述走线；位于所述走线上方、且覆盖所述柔性衬底上的功能膜层的平坦化层。

在本发明实施例提供的柔性显示面板的弯折区内，在柔性衬底上设置一层调整层，并在走线下方设置一层保护层，保护层与调整层之间形成界面，通过该界面释放弯折区被弯折时的弯折应力，以缓解弯折区被弯折时保护层所承受的应力，从而可以减少弯曲区内的走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响；同时，由于保护层与调整层之间形成界面，通过该界面可以释放弯折区被弯折时的弯折应力，因而在工艺能够实现的范围内调整层的厚度和保护层的厚度均可以设置为较小的厚度，因此当对弯折区进行弯折时，弯曲区的应力不易集中，且调整层中的应力和保护层中的应力较易释放，从而可以减少弯曲区内的走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响；并且，在本发明实施例提供的柔性显示面板中，保护层与弯折区内的走线对应，弯折区内的走线在柔性衬底上的正投影落入保护层在柔性衬底上的正投影内，与现有技术中通常采用的走线下方的功能膜层覆盖面积较大的结构相比，当对弯折区进行弯折时，保护层内不易形成应力集中，且保护层中的应力容易释放，进一步减少走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述保护层在所述柔性衬底上的正投影与所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影重合，减小走线下方的保护层的覆盖面积，当对弯折区进行弯折时，保护层内不易形成应力集中，且保护层中的应力容易释放，进一步减少走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述走线与所述平坦化层之间还设置有钝化层，所述弯折区被弯折时，所述钝化层所承受的应力与所述保护层所承受的应力相等。当对弯折区进行弯折时，钝化层与保护层相互配合，将应力释放出去，同时，钝化层所承受的应力与保护层所承受的应力相等，走线在钝化层和保护层的牵扯下，走线的上下两侧受力均匀，从而可以进一步减少走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述钝化层覆盖所述弯折区内的走线和所述调整层。即钝化膜在沉积完成后，不再进行刻蚀等工艺，直接作为钝化层。如此，可以减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述钝化层位于所述弯折区内的走线上，且与所述弯折区内的走线对应。即钝化膜在沉积完成后，对钝化膜进行刻蚀，形成位于弯折区内的走线上且与弯折区内的走线对应的钝化层，所述钝化层在所述柔性衬底上的正投影与所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影重合。如此，钝化层不覆盖弯折区内的走线的侧面，可以减少应力由弯折区内的走线的侧面传导至弯折区内的走线的几率，并减少相邻的弯折区内的走线之间应力传导的几率，从而可以减少走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述钝化层为氧化硅钝化层、氮化硅钝化层、氮氧化硅钝化层或有机材料钝化层。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述调整层为a-Si层。将调整层的材料选用为a-Si，当显示区内的薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管时，调整层与低温多晶硅薄膜晶体管的有源层可以共用一个膜层结构，无需额外形成调整层，从而减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本；另外，在形成有源层时，直接在a-Si上进行掺杂处理形成即可，无需进行刻蚀，进一步减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述调整层的厚度小于或等于优选为小于或等于使得弯曲区的应力不易集中。

作为本发明柔性显示面板的一种改进，所述保护层为氧化硅保护层。防止在沉积保护膜时，保护膜的材料中的氢键对显示区内的薄膜晶体管造成不良影响。

作为本发明实施例柔性显示面板的一种改进，所述保护层的厚度小于或等于优选为防止保护层的厚度较厚而造成保护层内容易发生应力集中。

本发明实施例的第二方面提供一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括如上述技术方案所述的柔性显示面板。

所述柔性显示装置与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

本发明实施例的第三方面提供一种柔性显示面板的制造方法，其包括：

形成柔性衬底；

在所述柔性衬底上形成调整层，所述调整层覆盖整个所述柔性衬底；

形成与所述柔性显示面板中弯折区内的走线对应的保护层；

在所述保护层上形成所述走线；

形成平坦化层，所述平坦化层位于所述走线上方、且覆盖所述柔性衬底上的功能膜层。

所述柔性显示面板的制造方法与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

作为本发明实施例柔性显示面板的制造方法的一种改进，在所述保护层上形成所述走线之后、形成所述平坦化层之前，所述柔性显示面板的制造方法还包括：形成钝化层。当对弯折区进行弯折时，钝化层与保护层相互配合，将应力释放出去，同时，弯折区被弯折时，钝化层所承受的应力与保护层所承受的应力相等，走线在钝化层和保护层的牵扯下，走线的上下两侧受力均匀，从而可以进一步减少走线出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线的导电功能受到不良影响。

作为本发明实施例柔性显示面板的制造方法的一种改进，形成所述保护层、所述走线和所述钝化层，包括：形成保护膜；对所述保护膜进行刻蚀，形成与所述弯折区内的走线对应的所述保护层；优选的，所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影与所述保护层在所述柔性衬底上的正投影重合；在所述保护层上形成所述走线；形成所述钝化层，所述钝化层覆盖所述弯折区内的走线和所述调整层；或者，形成所述保护层、所述走线和所述钝化层，包括：形成保护膜；在所述保护膜上形成所述走线；形成钝化膜，所述钝化膜覆盖所述弯折区内的走线和所述保护膜；对所述钝化膜和所述保护膜进行刻蚀，形成与所述弯折区内的走线对应的保护层，以及与所述弯折区内的走线对应的钝化层；优选的，所述弯折区内的走线和所述保护层以及所述钝化层三者在所述柔性衬底上的正投影重合。

除了上面所描述的本发明实施例解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本发明实施例提供的柔性显示面板及其制造方法、柔性显示装置所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程图；

图5为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制造方法的流程图；

图6为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的制造方法的流程图；

图7为本发明实施例提供的再一种柔性显示面板的制造方法的流程图。

附图标记说明：

10-柔性衬底， 11-调整层，

12-保护层， 13-走线，

14-钝化层， 15-平坦化层。

具体实施方式

为了使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，均属于本发明保护的范围。

正如背景技术所述，现有技术中的柔性显示面板存在走线的导电功能容易受到不良影响的问题，经发明人研究发现，主要在于走线容易产生裂纹，而走线容易产生裂纹的原因主要在于，一方面在于弯折柔性显示面板的弯折区时，弯折手法不统一且不规范，例如弯折半径过小，造成弯折区出现应力集中的现象，弯折区存在较大的应力且该应力的受力面积较小，从而造成弯折区的走线产生裂纹甚至发生断裂，进而导致走线的导电功能受到不良影响；另一方面在于走线周边尤其是走线上方或下方的功能膜层的结构限制，以及功能膜层之间的应力不匹配，当弯折区被弯折时，弯折区中功能膜层内的应力难以释放，进而造成弯折区中走线容易产生裂纹甚至发生断裂，进而导致走线的导电功能受到不良影响。

发明人发现，在上述第一方面的原因中，虽然外在是因为对弯折区进行弯折时的手法不统一且不规范，但其内在原因仍然在于弯折区内功能膜层的结构限制以及功能膜层之间应力不匹配，造成集中在弯折区的应力难以释放，进而造成弯折区中走线容易产生裂纹甚至发生断裂，从而导致走线的导电功能受到不良影响。

因此，无论是上述哪个方面的原因，走线的导电功能受到不良影响的原因实质上在于弯折区内功能膜层的结构限制以及功能膜层之间应力不匹配，造成集中在弯折区的应力难以释放，进而造成弯折区的走线容易产生裂纹甚至发生断裂，导致走线的导电功能受到不良影响。

基于以上原因，请参阅图1、图2或图3，本发明实施例提供一种柔性显示面板，包括柔性衬底10、调整层11、保护层12、走线13和平坦化层15，其中，柔性衬底10承载柔性显示面板内各功能膜层，并为柔性显示面板的可弯折提供保证，柔性衬底10可以为单层结构，此时，柔性衬底10可以采用聚酰亚胺(Polyimide，PI)制，柔性衬底10也可以为多层结构，此时，柔性衬底10中的至少一层可以采用聚酰亚胺(Polyimide，PI)制得。

调整层11位于柔性衬底10上，且调整层11覆盖整个柔性衬底10；保护层12位于调整层11上，且保护层12与柔性显示面板中弯折区内的走线13 对应，具体的，弯折区内的走线13在柔性衬底10上的正投影落入保护层12 在柔性衬底10上的正投影内，优选的，保护层12在柔性衬底10上的正投影与走线13在柔性衬底10上的正投影重合，保护层12与调整层11之间形成界面，弯折区被弯折时的弯折应力可通过该界面释放，以缓解弯折区被弯折时保护层12所承受的应力；走线13位于保护层12上，走线13用于传递柔性显示面板实现柔性显示装置的显示、触摸等功能的信号，走线13可以为金属走线13，即走线13由金属制得，例如可以为单质金属或合金制得，走线13可以单层结构，也可以为多层结构，优选地，走线13为多层结构，且走线13至少包括三层，处于外面的两层起到保护中间层的作用，例如，走线13可以为三层结构，此时，走线13可以采用三明治结构，如Ti/Al/Ti、 Mo/Al/Mo结构等；平坦化层15位于走线13上，且平坦化层15覆盖柔性衬底10上的功能膜层，以保护柔性衬底10上的功能膜层，同时方便后续膜层的形成，例如方便OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)器件的形成，平坦化层15可以为有机材料平坦化层15或无机材料平坦化层15。

在本发明实施例提供的柔性显示面板的弯折区内，在柔性衬底10上设置一层调整层11，并在走线13下方设置一层保护层12，保护层12与调整层 11之间形成界面，通过该界面释放弯折区被弯折时的弯折应力，以缓解弯折区被弯折时保护层12所承受的应力，从而可以减少弯曲区内的走线13 出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响；同时，由于保护层12与调整层11之间形成界面，通过该界面可以释放弯折区被弯折时的弯折应力，因而调整层11的厚度和保护层12的厚度均可以设置为较小的厚度，当对弯折区进行弯折时，应力不易集中，且调整层11中的应力和保护层12中的应力较易释放，从而可以减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响；并且，在本发明实施例提供的柔性显示面板中，保护层12与弯折区内的走线13对应，弯折区内的走线13在柔性衬底10上的正投影落入保护层12在柔性衬底10上的正投影内，与现有技术中通常采用的走线13下方的功能膜层覆盖面积较大的结构相比，当对弯折区进行弯折时，保护层12内不易形成应力集中，且保护层12中的应力容易释放，进一步减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响。

另外，在本发明实施例提供的柔性显示面板中，保护层12与弯折区内的走线13对应，也可以理解为走线13在柔性衬底10上的正投影落入保护层 12在柔性衬底10上的正投影，因此，弯折区内相邻的走线13之间不存在构成整体的保护层12，从而可以防止应力相互传导，进一步减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响。

再者，在本发明实施例提供的柔性显示面板中，在柔性衬底10上设置有调整层11，且调整层11覆盖整个柔性衬底10，也就是说，图1、图2或图3 中柔性衬底10的上表面被调整层11覆盖，不会暴露在外，当后续形成调整层11上方的功能膜层时，可以防止柔性衬底10的材料带来污染，例如，当在刻蚀腔室中对调整层11上方的膜进行刻蚀，以形成对应的功能膜层时，调整层11可以作为刻蚀阻挡层，防止对柔性衬底10进行刻蚀，从而可以防止刻蚀腔室被柔性衬底10的材料污染；再例如，防止柔性衬底10的材料对后续形成的功能膜层带来污染。

应用有本发明实施例中的柔性显示面板的柔性显示装置可以应用于不同的产品中，例如可以应用在手机、平板电脑、电子书等产品中，在此不一一列举说明。

在上述实施例中，保护层12与柔性显示面板中弯折区内的走线13对应，优选的，保护层12在柔性衬底10上的正投影与走线13在柔性衬底10上的正投影重合，进一步减小走线13下方的保护层12的覆盖面积，当对弯折区进行弯折时，保护层12内不易形成应力集中，且保护层12中的应力容易释放，进一步减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响。

请继续参阅图2或图3，在本发明实施例提供的柔性显示面板中，走线 13与平坦化层15之间还可以设置钝化层14，弯折区被弯折时，钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等。当对弯折区进行弯折时，钝化层 14与保护层12相互配合，将应力释放出去，同时，弯折区被弯折时，钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等，走线13在钝化层14和保护层12的牵扯下，走线13的上下两侧受力均匀，从而可以进一步减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响。

值得一提的是，上述实施例中，弯折区被弯折时，钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等，此时，当钝化层14的材料品质与保护层 12的材料品质相当时，可以将钝化层14的厚度与保护层12的厚度设置为相等，以实现弯折区被弯折时，使得钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等；当钝化层14的材料品质与保护层12的材料品质相差较大时，则需要根据材料品质的差异性来确定功能膜层的厚度，以实现弯折区被弯折时，使得钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等。当在走线 13与平坦化层15之间设置有钝化层14时，钝化层14的结构可以有多种，例如，请继续参阅图2，钝化层14可以覆盖弯折区内的走线13和调整层11，即钝化膜在沉积完成后，不再进行刻蚀等工艺，直接作为钝化层14。如此，可以减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本。

或者，请继续参阅图3，钝化层14位于弯折区内的走线13上，且钝化层14与弯折区内的走线13对应，即钝化膜在沉积完成后，对钝化膜进行刻蚀，形成位于弯折区内的走线13上且与弯折区内的走线13对应的钝化层14，如此，钝化层14不覆盖弯折区内的走线13的侧面，可以减少应力由弯折区内的走线13的侧面传导至弯折区内的走线13的几率，并减少相邻的走线13 之间应力传导的几率，从而可以减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响。

当钝化层14位于走线13上，且钝化层14与走线13对应时，当钝化层 14的材料与保护层12的材料相同，或者，刻蚀形成钝化层14的刻蚀工艺与刻蚀形成保护层12的刻蚀工艺相同时，在制造柔性显示面板时，可以先沉积保护膜，然后在保护膜上形成走线13，然后沉积钝化膜，然后利用一个掩膜板，依次刻蚀钝化膜和保护膜，形成钝化层14和保护层12，以减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本。

在上述实施例中，在保证弯折区被弯折时，钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等的前提下，钝化层14的材料选择可以根据实际需要进行，例如，钝化层14的材料可以选用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、有机材料等。

在上述实施例中，调整层11的材料可以选用a-Si，本发明实施例提供的柔性显示面板中，显示区内的薄膜晶体管可以采用低温多晶硅薄膜晶体管，低温多晶硅薄膜晶体管包括有源层、源极、漏极和栅极，其中，有源层位于柔性衬底上，有源层为P型Si，由a-Si经掺杂制得，也就是说，有源层在调整层的基础上形成，栅极位于有源层上，源极和漏极分设于栅极两侧，并由 a-Si经离子注入形成。如此，将调整层11的材料选用为a-Si，则无需额外形成调整层11，从而减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本；另外，在形成有源层时，直接在a-Si上经掺杂形成即可，无需进行刻蚀，进一步减少制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，降低成本。

在上述实施例中，调整层11的厚度可以根据实际需要进行设定，例如，调整层11的厚度可以设定为小于或等于优选为小于或等于使得应力不易集中。

在上述实施例中，保护层12的材料可以根据实际需要进行选择，例如，保护层12的材料可以选择为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或者有机材料，在本发明实施例中，保护层12的材料优选为氧化硅，以防止在沉积保护膜时，保护膜的材料中的氢键对显示区内的薄膜晶体管造成不良影响。

在上述实施例中，保护层12与调整层11的配合，可以减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响，保护层 12的厚度可以设定为较小，例如，保护层12的厚度可以设定为小于或等于优选为防止保护层12的厚度较厚而造成保护层12 内容易发生应力集中。

为验证上述方案的有效性，在本发明实施例中，调整层11的材料选用为a-Si，调整层11的厚度选择为保护层12的材料选用为氧化硅，保护层12的厚度选择为钝化层14的材料选用为氮化硅或氧化硅，此时，钝化层14的材料品质与保护层12的材料品质相当，钝化层14的厚度与保护层12的厚度设定为相同，即钝化层14的厚度选择为经本申请的发明人验证，调整层11的材料选用a-Si，厚度选择为保护层12的材料选用为氧化硅，厚度选择为有利于在调整层11 上形成保护层12时，保护层12与调整层11之间形成一界面，该界面的形成，可以释放弯折区被弯折时的弯折力，缓解弯折区被弯折时保护层所承受的应力，可以有效地将应力释放出去，减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响；保护层12的材料选用为氧化硅，厚度选择为钝化层14的材料选用为氮化硅或氧化硅，厚度选择为钝化层14的材料品质与保护层12的材料品质相当，钝化层14的厚度与保护层12的厚度相等，实现弯折区被弯折时，钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等，保护层12与钝化层14的配合可以有效地将应力释放出去，同时，弯折区被弯折时，钝化层14所承受的应力与保护层12所承受的应力相等，走线13在钝化层 14和保护层12的牵扯下，走线1的上下两侧受力均匀，从而可以进一步减少走线13出现裂纹甚至断裂的现象的发生，防止走线13的导电功能受到不良影响。

本发明实施例还提供一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括如上述实施例所述的柔性显示面板。柔性显示装置可以应用于手机、平板电脑、电子书等产品中。

所述柔性显示装置与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

请参阅图4，本发明实施例还提供一种柔性显示面板的制造方法，用于制造上述实施例所述的柔性显示面板，所述柔性显示面板的制造方法包括：

步骤S11、形成柔性衬底。具体的，在形成柔性衬底前，提供一刚性基板，以承载柔性衬底，然后在刚性基板上形成柔性衬底，柔性衬底可以是单层结构，也可以是多层结构，柔性衬底中其中至少一层可以选用聚酰亚胺。

步骤S12、在柔性衬底上形成调整层，调整层覆盖整个柔性衬底。具体的，可以采用磁控溅射等方式在柔性衬底上形成覆盖整个柔性衬底的调整层，调整层可以为a-Si调整层，调整层的厚度为小于或等于优选小于或等于

步骤S13、形成与柔性显示面板中弯折区内的走线对应的保护层。保护层在柔性衬底上的正投影与弯折区内的走线在柔性衬底上的正投影重合。

步骤S14、在保护层上形成走线。具体的，先沉积金属膜，然后利用掩膜版，采用刻蚀工艺对金属膜进行刻蚀，形成走线。

步骤S15、形成平坦化层，平坦化层位于走线上方、且覆盖柔性衬底上的功能膜层。具体的，采用气相沉积、涂覆等方式形成平坦化层，平坦化层覆柔性衬底上的功能膜层，以对功能膜层进行保护，同时方便后续膜层的形成。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于制造方法实施例而言，由于其基本相似于面板实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见面板实施例的部分说明即可。

本发明实施例提供的柔性显示面板还可以包括设置在保护层与平坦化层之间的钝化层，此时，请继续参阅图4，步骤S4、在保护层上形成走线之后，步骤S5、形成平坦化层之前，所述柔性显示面板的制造方法还包括：

步骤S14’、形成钝化层。

其中，钝化层的结构形式可以多种，例如，请继续参阅图2，钝化层可以覆盖走线和调整层，即钝化膜在沉积完成后，不再进行刻蚀等工艺，直接作为钝化层，上述步骤S13、步骤S14和步骤S14’可以采用如下方式：形成保护膜，对保护膜进行刻蚀，形成与弯折区的走线对应的保护层；在保护层上形成走线；形成钝化层，钝化层覆盖弯折区内的走线和调整层。此时，请参阅图5，所述柔性显示面板的制造方法可以包括：

步骤S21、形成柔性衬底。

步骤S22、在柔性衬底上形成调整层，调整层覆盖整个柔性衬底。

步骤S23、形成保护膜。具体的，可以采用气相沉积等方式在调整层上形成保护膜，保护膜的材料选择为氧化硅，以防止保护膜的材料中的氢键对显示区内的薄膜晶体管造成不良影响。

步骤S24、对所述保护膜进行刻蚀，形成与弯折区内的走线对应的保护层。具体的，利用掩膜版，采用刻蚀工艺对保护膜进行刻蚀，形成与弯折区的走线对应的保护层。

步骤S25、在保护层上形成走线。

步骤S26、形成钝化层。具体的，采用气相沉积等方式形成钝化层，钝化层覆盖弯折区内的走线和调整层。

步骤S27、形成平坦化层，平坦化层位于走线上方、且覆盖柔性衬底上的功能膜层。

或者，请继续参阅图3，钝化层位于走线上，且钝化层与弯折区内的走线对应，即钝化膜在沉积完成后，对钝化膜进行刻蚀，形成位于弯折区内的走线上且与弯折区内的走线对应的钝化层，上述步骤S13、步骤S14和步骤 S14’可以采用如下方式：形成保护膜；在保护膜上形成走线；形成钝化膜，对钝化膜和保护膜进行刻蚀，形成分别与弯折区内的走线对应的保护层和钝化层。此时，请参阅图6，所述柔性显示面板的制造方法可以包括：

步骤S31、形成柔性衬底。

步骤S32、在柔性衬底上形成调整层，调整层覆盖整个柔性衬底。

步骤S33、形成保护膜。具体的，可以采用气相沉积等方式在调整层上形成保护膜，保护膜的材料选择为氧化硅，以防止保护膜的材料中的氢键对显示区内的薄膜晶体管造成不良影响。

步骤S34、在保护膜上形成走线。

步骤S35、形成钝化膜。

步骤S36、对钝化膜和保护膜进行刻蚀，形成分别与弯折区内的走线对应的保护层和钝化层。

步骤S37、形成平坦化层，平坦化层位于走线上方、且覆盖柔性衬底上的功能膜层。

如此，对保护膜进行刻蚀以形成保护层的步骤与对钝化膜进行刻蚀以形成钝化层的步骤可以通过一次刻蚀工艺实现，减少了制造柔性显示面板的工艺步骤，提高效率，减少成本。

在本发明实施例中，柔性显示面板包括显示区和弯折区，显示区内的薄膜晶体管可以采用如图4所示的结构，弯折区内结构采用如图3所示的结构，此时，请参阅图7，所述柔性显示面板的制造方法具体可以包括：

步骤S41、形成柔性衬底。

步骤S42、在柔性衬底上形成调整层，调整层覆盖整个柔性衬底。

步骤S43、对显示区内的调整层进行掺杂处理，形成显示区内薄膜晶体管的有源层。

步骤S44、在有缘层上形成栅极，并采用离子注入的方式在调整层上且位于栅极的两侧形成源极和漏极。

步骤S45、形成保护膜。

步骤S46、在位于显示区内的保护膜形成过孔，用于实现保护膜下方需要与走线连接的电极与走线的连接，例如，过孔可以与源极对应，实现源极与走线的连接。

步骤S47、对位于弯折区内的保护膜进行减薄处理，使得弯折区内保护膜的厚度小于或等于优选为

步骤S48、形成走线，显示区内，走线通过保护膜中的过孔与保护膜下方的某一电极例如源极连接，弯折区内，走线位于保护层上。

步骤S49、形成钝化膜，钝化膜覆盖走线和保护膜。

步骤S50、对弯折区内的钝化膜和保护膜进行刻蚀，形成与弯折区内的走线对应的钝化层和保护层。弯折区内的走线和保护层以及钝化层三者在柔性衬底上的正投影重合。

步骤S51、形成平坦化层。

在本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法中，与现有技术中需要额外在弯折区内形成多层绝缘层层相比，弯折区内的调整层、保护层、钝化层均可以与显示区内的共用，无需额外形成，因此，减少了制造柔性显示面板的工艺步骤，提高了效率，降低了成本。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括显示区和位于所述显示区周边的弯折区，所述弯折区包括：

柔性衬底；

覆盖整个所述柔性衬底的调整层；

位于所述调整层上、且与所述弯折区内的走线对应的保护层，所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影落入所述保护层在所述柔性衬底上的正投影内；所述弯折区被弯折时，弯折应力通过所述调整层与所述保护层之间的界面释放，以缓解所述弯折区被弯折时所述保护层所承受的应力；

位于所述保护层上的所述走线；

位于所述走线上方、且覆盖所述柔性衬底上的功能膜层的平坦化层。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述保护层在所述柔性衬底上的正投影与所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影重合。

3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述走线与所述平坦化层之间还设置有钝化层，所述弯折区被弯折时，所述钝化层所承受的应力与所述保护层所承受的应力相等；

优选的，所述钝化层为氧化硅钝化层、氮化硅钝化层、氮氧化硅钝化层或有机材料钝化层。

4.根据权利要求3所述的柔性显示面板，其特征在于，所述钝化层覆盖所述弯折区内的走线和所述调整层。

5.根据权利要求3所述的柔性显示面板，其特征在于，所述钝化层位于所述弯折区内的走线上，且与所述弯折区内的走线对应，所述钝化层在所述柔性衬底上的正投影与所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影重合。

6.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述调整层为a-Si层；

所述调整层的厚度小于或等于

7.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述保护层为氧化硅保护层；

所述保护层的厚度小于或等于

8.一种柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置包括如权利要求1-7任一所述的柔性显示面板。

9.一种柔性显示面板的制造方法，其特征在于，所述柔性显示面板的制造方法包括：

形成柔性衬底；

在所述柔性衬底上形成调整层，所述调整层覆盖整个所述柔性衬底；

形成与所述柔性显示面板中弯折区的走线对应的保护层，所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影落入所述保护层在所述柔性衬底上的正投影内；

形成所述走线，所述走线位于所述保护层上方；

形成平坦化层，所述平坦化层位于所述弯折区的走线上方、且覆盖所述柔性衬底上的功能膜层。

10.根据权利要求9所述的柔性显示面板的制造方法，其特征在于，所述柔性显示面板的制造方法还包括：

形成钝化层，所述钝化层位于所述走线与所述平坦化层之间；

优选的，

形成所述保护层、所述走线和所述钝化层，包括：

形成保护膜；

对所述保护膜进行刻蚀，形成与所述弯折区内的走线对应的所述保护层，所述弯折区内的走线在所述柔性衬底上的正投影与所述保护层在所述柔性衬底上的正投影重合；

在所述保护层上形成所述走线；

形成所述钝化层，所述钝化层覆盖所述弯折区内的走线和所述调整层；

或者，

形成所述保护层、所述走线和所述钝化层，包括：

形成保护膜；

在所述保护膜上形成所述走线；

形成钝化膜，所述钝化膜覆盖所述弯折区内的走线和所述保护膜；

对所述钝化膜和所述保护膜进行刻蚀，形成与所述弯折区内的走线对应的保护层，以及与所述弯折区内的走线对应的钝化层，所述弯折区内的走线和所述保护层以及所述钝化层三者在所述柔性衬底上的正投影重合。