CN109521583B - 用于制造显示装置的设备和方法 - Google Patents

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Abstract

提供了用于制造显示装置的设备和用于制造显示装置的方法。根据本公开示例性实施方式，用于制造显示装置的设备包括按压垫、视觉相机和吸拾器，其中，按压垫包括本体部和穿透本体部的视觉孔，视觉相机位于视觉孔上方，并且吸拾器位于按压垫附近。

Description

用于制造显示装置的设备和方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2017年9月19日提交到韩国知识产权局的第10-2017-0120467号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用并入本文。
技术领域
本公开实施方式的各方面涉及用于制造显示装置的设备和方法。
背景技术
随着多媒体技术近期的发展，显示装置的重要性已经稳定提高。因此，诸如液晶显示(LCD)装置、有机发光显示装置等的各种显示装置已被开发并被广泛使用。
为了制造显示装置，可执行多个工艺。多个工艺中的一些可在相同的地方或不同的地方执行。在不同的地方执行多个工艺的情况下，经历工艺的元件和部件需要从一个地方转移到另一个地方。
为了转移元件和部件，需要各种输送装置。相应地，需要确保输送装置的稳定性和速度。
发明内容
根据本公开的一个或多个示例性实施方式的方面，用于制造显示装置的设备能够减少处理时间。
根据本公开的一个或多个示例性实施方式的另一方面，制造显示装置的方法能够减少处理时间。
然而，本公开示例性实施方式的方面和特征不限于本文中所记载的方面和特征。通过参照下面提供的本公开的一些示例性实施方式的进一步详细描述，本公开示例性实施方式的上述和其它方面将对于本公开所属技术领域的普通技术人员变得更加显而易见。
根据本公开的一个或多个示例性实施方式，用于制造显示装置的设备包括按压垫、视觉相机和吸拾器，其中，按压垫包括本体部和穿透本体部的视觉孔，视觉相机位于视觉孔上方，吸拾器位于按压垫附近。
按压垫还可包括位于本体部下方的按压部，并且视觉孔可穿透本体部和按压部。
按压部可由弹性材料形成。
本体部可在平面图中呈框架形状。
本体部可在平面图中呈环形状。
本设备还可包括支承多个单位衬底的台。
单位衬底中的每个上可形成有至少一个对齐标记，并且视觉相机可配置成通过视觉孔识别至少一个对齐标记。
按压垫可以是能够在z轴方向上向下移动的以按压单位衬底中的每个。
按压垫和吸拾器可以是能够在z轴方向上向下移动的以同时放置成与单位衬底中的每个接触。
从台的顶表面到视觉相机的距离可被限定为第一高度，从台的顶表面到按压垫的距离可被限定为第二高度，并且通过将第二高度除以第一高度而获得的值可为0.4至0.5。
视觉相机和视觉孔可在z轴方向上对齐。
本设备还可包括连接按压垫与视觉相机的连接部。
按压垫的底部和吸拾器的底部可在同一平面上。
由视觉相机识别的平面区域可被限定为视觉区域，由视觉孔占据的平面区域可被限定为穿透区域，并且通过将穿透区域的面积除以视觉区域的面积而获得的值可为0.8或更大。
视觉区域的中心和穿透区域的中心可在与z轴方向平行的同一直线上。
视觉相机、按压垫和吸拾器可彼此连接，并且可以是能够作为一个整体来移动的。
根据本公开另一示例性实施方式，制造显示装置的方法包括：将母衬底切割成多个单位衬底；以及使用拾取组件提升单位衬底中的每个，并且拾取组件包括按压垫和视觉相机，其中，按压垫包括本体部和穿透本体部的视觉孔，视觉相机位于视觉孔上方，并且提升单位衬底中的每个包括：用按压垫按压单位衬底中的每个。
提升单位衬底中的每个还可包括：允许视觉相机通过视觉孔识别形成在单位衬底中的每个上的对齐标记。
拾取组件还可包括位于按压垫附近的吸拾器，并且如果视觉相机通过视觉孔识别到形成在单位衬底中的每个上的对齐标记，则吸拾器可以以真空抽吸方式固定相应的单位衬底。
单位衬底中的每个可包括基础衬底和附接在基础衬底上的至少一个保护膜，并且本方法还可包括剥离至少一个保护膜。
根据本公开的上述和其它示例性实施方式，能够通过降低拾取组件的错误率来减少处理时间。
根据以下描述、附图和权利要求，其它特征和示例性实施方式可对于本领域技术人员是显而易见的。
附图说明
通过参照附图对本公开一些示例性实施方式进行进一步详细的描述，本公开的上述和其它示例性实施方式和特征将变得更加显而易见，在附图中：
图1为根据本公开示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的立体图；
图2为根据图1的示例性实施方式的设备的侧视图；
图3为根据图1的示例性实施方式的设备的目标对象的剖视图；
图4为根据图1的示例性实施方式的设备的局部平面图；
图5为根据图1的示例性实施方式的设备的侧视图；
图6为根据本公开另一示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的局部平面图；
图7为根据本公开示例性实施方式的制造显示装置的方法的框图。
图8为示出根据图7的示例性实施方式的方法的切割步骤的平面图；
图9为示出根据图7的示例性实施方式的方法的切割步骤的平面图；以及
图10为示出根据图7的示例性实施方式的方法的拾取步骤的平面图。
具体实施方式
通过参照将参照附图进一步详细描述的一些示例性实施方式，本发明的各种方面和特征以及用于实现这些方面和特征的方法将是显而易见的。然而，本发明不限于下文中公开的示例性实施方式，而是可实现为多种形式中的任一种。说明书中所限定的主题(诸如详细构造和元件)被提供以帮助本领域普通技术人员全面理解本发明，并且本发明限定在所附权利要求的范围内。
在元件被描述为与另一元件或层有关的情况下，如在另一元件“上”或者“位于”不同层或层“上”，这包括元件直接位于另一元件或层上的情况以及元件经由另一层或又一元件位于另一元件或层上的情况两者。相反，在元件被描述为与另一元件或层有关的情况下，如“直接在”另一元件“上”或者“直接位于”不同层或一层“上”，这指示元件位于另一元件或层上且两者之间没有中间元件或层的情况。本发明的说明书全文中，在各附图中相同的附图标记用于相同的元件。
虽然措辞“第一”、“第二”等可用于描述何种组成元件，但是这些组成元件不受所述措辞的限制。所述措辞用于将组成元件与其它组成元件区分开。相应地，在下面的描述中，“第一”组成元件可为“第二”组成元件。
本文中所使用的术语是出于描述具体实施方式的目的，且不旨在进行限制。除非内容另有明确说明，否则如本文中所使用的单数形式“一”、“一个”和“该”旨在包括复数形式，所述复数形式包括“至少一个”。“至少一个”不应被解释为限于“一”或者“一个”。“或者”表示“和/或”。如本文中所使用的，措辞“和/或”包括相关所列项目中的一个或者多个的任何和所有组合。还应理解，当措辞“包含”和/或“包含”或者“包括”和/或“包括”在本说明书中使用时指定所陈述的特征、区域、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、区域、整数、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组合的存在或添加。
此外，在本文中可使用诸如“下”或“底部”和“上”或“顶部”的相对措辞来描述如图中所示的一个元件与另一元件的关系。应理解，除了附图中所描绘的取向之外，相对措辞旨在包含装置的不同取向。例如，如果一个图中的装置被翻转，则描述为位于其它元件的“下”侧上的元件将被取向在所述其它元件的“上”侧上。因此，示例性措辞“下”可根据图的具体取向而包含“下”和“上”的两种取向。相似地，如果一个图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件“下方”或“之下”的元件将取向为在其它元件“上方”。因此，示例性措辞“下方”或“之下”可包括上方和下方的两种取向。
如本文所用的“约”或者“大约”包括在如由本领域普通技术人员考虑所讨论的测量和与特定量的测量相关的误差(例如，测量系统的限制)而确定的特定值的可接受偏差范围内的标注值和平均值。例如，“约”可表示在一个或多个标准偏差内，或者在标注值的±30％、±20％、±10％或±5％内。
除非另有定义，否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与由本公开所属技术领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。还应理解，诸如常用词典中定义的那些术语的术语应被解释为具有与它们在相关技术和本公开的上下文中的含义一致的含义，并且除非在本文中明确地这样定义，否则将不以理想化或过于正式的含义来解释。
本文中可参照作为理想化实施方式的示意性图示的剖视图对示例性实施方式进行描述。由此，可预期到由例如制造技术和/或公差所导致的与图示的形状的差异。因此，本文中所描述的实施方式不应被解释为受限于本文中所示出的区域的具体形状，而是应包括由例如制造导致的形状上的偏差。例如，示出或描述为平坦的区域通常可具有粗糙和/或非线性的特征。此外，示出的尖角可为圆形的。因此，图中所示的区域本质上可为示意性的，并且它们的形状不旨在限制区域的精确形状，并不旨在限制当前权利要求的范围。
在本文中，将参照附图对本发明的一些示例性实施方式进行描述。
图1为根据本公开示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的立体图。图2为根据图1的示例性实施方式的设备的侧视图。
参照图1和图2，该装置可包括拾取组件1000。拾取组件1000包括按压垫PP、视觉相机100和吸拾器201和202，其中，按压垫PP包括本体部85和穿透本体部85的视觉孔VH，视觉相机100布置在视觉孔VH上方，吸拾器201和202布置在按压垫PP的一侧上。
该装置还可包括台ST和面向台ST的基座300。下面将对台ST和基座300进行描述。
台ST可提供用于接收包括多个单位衬底US的母衬底MS的空间。也就是说，划分成单位衬底US的母衬底MS可布置在台ST上。
在示例性实施方式中，台ST可包括用于稳定地接纳母衬底MS的安放部(未示出)。
在另一示例性实施方式中，台ST可包括用于紧固母衬底MS的紧固装置。紧固装置可通过例如与母衬底MS直接接触或使用真空抽吸方法来紧固母衬底MS。
母衬底MS可包括单位衬底US。单位衬底US可通过在稍后将参照图7描述的切割步骤S1中将母衬底MS切割成单元单位来获得。
单位衬底US中的每个可形成单个单元。
图3为根据图1的示例性实施方式的设备的目标对象的剖视图。
参照图3，在实施方式中，单位衬底US可包括基础衬底BS、第一保护膜PF1和第二保护膜PF2，其中，第一保护膜PF1布置在基础衬底BS上，第二保护膜PF2布置在基础衬底BS下方。在实施方式中，第一保护膜PF1和第二保护膜PF2可在稍后将描述的剥离步骤S3中移除。
在示例性实施方式中，基础衬底BS可为适用于有机发光显示装置的衬底。在本示例性实施方式中，基础衬底BS上可形成有彼此面对的第一电极和第二电极(未示出)以及布置在第一电极与第二电极之间的有机发光层(未示出)。
在另一示例性实施方式中，基础衬底BS可为适用于液晶显示(LCD)装置的衬底。在本示例性实施方式中，基础衬底BS可包括彼此面对的一对相对的衬底(未示出)以及布置在相对的衬底之间的液晶层(未示出)。
在示例性实施方式中，基础衬底BS可包括聚酰亚胺(PI)。然而，本公开实施方式不限于此。
再次参照图1，单位衬底US中的每个上可形成有至少一个对齐标记A。对齐标记A可由稍后将描述的视觉相机100识别。
在示例性实施方式中，对齐标记A可形成在单位衬底US中的每个的拐角处。图1示出了单位衬底US中的每个的拐角处形成有一个对齐标记A的示例，但是不对所形成的对齐标记A的位置和数量进行特别地限制。
在另一示例性实施方式中，多个对齐标记A可形成在单位衬底US中的每个上的不同位置处。
基座300可布置成与台ST间隔开并面向台ST。基座300可支承按压垫PP、视觉相机100以及吸拾器201和202。在实施方式中，按压垫PP、视觉相机100以及吸拾器201和202可与基座300联接或者可与基座300形成为一个整体。
在示例性实施方式中，按压垫PP可布置在基座300下方。在示例性实施方式中，按压垫PP可包括本体部85、按压部86和视觉孔VH。
在示例性实施方式中，本体部85可与基座300间隔开一段距离(例如，预定距离)。在示例性实施方式中，本体部85可由刚性材料形成。例如，本体部85可由金属或塑料形成，但是本公开不限于此。也就是说，本体部85的材料不被特别地限制。
按压部86可布置在本体部85下方。按压部86可与本体部85重叠。在示例性实施方式中，按压部86可具有与本体部85相同的平面形状。在示例性实施方式中，按压部86可与本体部85完全重叠。
在示例性实施方式中，在平面图中，本体部85可具有含有中空部的框架形状。相应地，在平面图中，按压部86也可为具有中空部且具有与本体部85相同的尺寸的框架形状。
在另一示例性实施方式中，在平面图中，本体部85可具有含有中空部的闭合曲线(例如，环)形状。
在本示例性实施方式中，按压部86也可为具有中空部且具有与本体部85相同的尺寸的闭合曲线形状。
按压部86可放置成与单位衬底US中的每个直接接触。相应地，按压部86可由具有弹性的材料形成。例如，按压部86可由橡胶或合成树脂形成。在示例性实施方式中，按压部86可具有与海绵的结构类似的柔软结构。
按压部86可放置成与单位衬底US中的每个直接接触，并且如果按压部86为刚性的，则按压部86可能对单位衬底US造成损坏。另一方面，如果按压部86由弹性材料形成或具有与海绵的结构类似的结构，则可防止或基本防止单位衬底US被损坏。
视觉孔VH可形成为穿透本体部85和按压部86两者。相应地，如上所述，在平面图中本体部85和按压部86均可具有中空部。在示例性实施方式中，视觉孔VH在z轴方向上可为开放的。因此，当在z轴方向(例如，从图1的视觉孔VH的顶部到底部的方向)上观察视觉孔VH时，单位衬底US中的每个的对齐标记A可在z轴方向上从视觉孔VH下方通过视觉孔VH观察到。
视觉相机100可布置在视觉孔VH上方。视觉相机100和视觉孔VH可在z轴方向上对齐。换言之，视觉相机100的中心和视觉孔VH的中心可在z轴方向上彼此对齐。
视觉相机100可通过视觉孔VH识别形成在单位衬底US中的每个上的对齐标记A。
在示例性实施方式中，视觉相机100可为电荷耦合器件(CCD)相机，但是本公开不限于此。视觉相机100可被理解为包含能够识别图像或特定图案的几乎所有的装置。
视觉相机100可连接到基座300。在实施方式中，视觉相机100可形成为在z轴方向上从基座300延伸。
在实施方式中，视觉相机100与按压垫PP之间可布置有连接部74。也就是说，连接部74可连接视觉相机100与按压垫PP，并因此可将视觉相机100与按压垫PP紧固在一起。
在实施方式中，由连接部74连接的视觉相机100和按压垫PP可作为一个整体进行操作。例如，随着视觉相机100在水平方向上移动一段距离(例如，预定距离)，连接到视觉相机100的按压垫PP也可与视觉相机100一起在水平方向上移动。
稍后将进一步详细地描述视觉相机100和按压垫PP的移动。
图4为根据图1的示例性实施方式的设备的局部平面图。参照图4，视觉相机100的视觉区域VA和视觉孔VH的穿透区域HA可至少部分地彼此重叠。
视觉相机100的视觉区域VA可为能够由视觉相机100从一个平面捕获到的最大区域。视觉孔VH的穿透区域HA可为视觉孔VH的沿x-y平面取得的截面的区域。
如上所述，视觉相机100的中心和视觉孔VH的中心可在z轴方向上彼此对准。换言之，视觉相机100的中心和视觉孔VH的中心可布置在与z轴平行的同一直线上。
在这种情况下，视觉区域VA的中心和穿透区域HA的中心可在z轴方向上彼此对准。也就是说，视觉区域VA的中心和穿透区域HA的中心可布置在与z轴方向平行地延伸的同一直线上。
在示例性实施方式中，视觉区域VA的尺寸和穿透区域HA的尺寸可基本相同。
在另一示例性实施方式中，通过将穿透区域HA的面积除以视觉区域VA的面积而获得的值可为0.8或更大。如果通过将穿透区域HA的面积除以视觉区域VA的面积而获得的值小于0.8，则可能难以通过视觉孔VH识别单位衬底US中的每个的对齐标记A。另一方面，如果通过将穿透区域HA的面积除以视觉区域VA的面积而获得的值为0.8或更大，则视觉相机100可通过视觉孔VH精确地识别单位衬底US中的每个的对齐标记A。
再次参照图1，按压垫PP的一侧上可布置有至少一个吸拾器。图1示出了使第一吸拾器201和第二吸拾器202布置在按压垫PP附近的示例。
图1示出了设置有两个吸拾器的示例，但是吸拾器的数量不被特别地限制。也就是说，可设置一个吸拾器或者三个或更多个吸拾器。
第二吸拾器202可与第一吸拾器201基本相同。本文中将对第一吸拾器201进行描述。第一吸拾器201的以下描述可直接适用于第二吸拾器202或者可直接适用于还可能设置的其它吸拾器。
在示例性实施方式中，第一吸拾器201可包括支承杆65和吸盘64。
支承杆65可从基座300延伸并且可支承吸盘64。吸盘64可布置在支承杆65的一端上。吸盘64可放置成与单位衬底US中的每个接触，并因此可提升单位衬底US中的每个。
在示例性实施方式中，吸盘64可以以真空抽吸方式固定单位衬底US中的每个。在本示例性实施方式中，连接到吸盘64的支承杆65可包括针对吸盘64提供以产生真空的真空路径。
本文中将参照图2对按压垫PP与第一吸拾器201和第二吸拾器202之间的关系进行描述。
参照图2，在示例性实施方式中，按压垫PP的底部(具体地，按压部86的底部)和吸盘64的底部可布置在假想的第一平面P1上。
在本示例性实施方式中，响应于基座300在z轴方向上向下移动，按压垫PP的底部和吸盘64的底部可同时(例如，同步地)放置成与单位衬底US接触。
为方便起见，本文中将首先对一些术语进行限定。从台ST的顶表面到视觉相机100的高度在本文中将被称为第一高度h1；从台ST的顶表面到按压垫PP的底部的高度在本文中将被称为第二高度h2；以及从台ST的顶表面到吸盘64的底部的高度在本文中将被称为第三高度h3。
在按压垫PP的底部和吸盘64的底部布置在同一平面上的情况下，如上所述，第二高度h2和第三高度h3可基本相同。
在示例性实施方式中，通过将第二高度h2除以第一高度h1而获得的值可为0.4至0.5。在本示例性实施方式中，视觉相机100可通过视觉孔VH精确地识别形成在单位衬底US上的对齐标记A。
本文中将参照图1、图2和图5对根据本公开示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的操作进行描述。
图5为根据本公开示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的侧视图。
参照图5，在示例性实施方式中，基座300可连接到驱动杆400。驱动杆400可向基座300提供驱动力。例如，驱动杆400可使基座300在选自x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任一方向上线性地移动。
驱动杆400可使基座300绕与x轴平行的第一旋转轴、与y轴平行的第二旋转轴和与z轴平行的第三旋转轴中的任一个旋转。
在示例性实施方式中，均联接到基座300的视觉相机100、第一吸拾器201、第二吸拾器202和按压垫PP可以是能够作为一个整体同时(例如，同步地)移动的，但是本公开不限于此。在另一示例性实施方式中，视觉相机100、第一吸拾器201、第二吸拾器202和按压垫PP可以是能够彼此独立地移动的。
在示例性实施方式中，拾取组件1000可接收由驱动杆400提供的驱动力，并因此可在x-y平面上进行移动。拾取组件1000可在x-y平面上移动到输入位置(例如，预定输入位置)或者可移动到用于提升特定单位衬底US的位置。
参照图2，单位衬底US的拐角部分处可形成有卷曲。单位衬底US可为非常薄的，并且可由于例如静电而在单位衬底US的一端处形成卷曲。如果单位衬底US中形成有卷曲，则即使视觉相机100向下移动，形成在单位衬底US的拐角部分处的对齐标记A也可能无法被精确地识别到。
参照图5，布置在单位衬底US上方的拾取组件1000可在z轴方向上向下移动。随着拾取组件1000在z轴方向上向下移动，按压部86和吸盘64可同时(例如，同步地)放置成与单位衬底US接触。然后，按压部86按压单位衬底US的卷曲部分，且因此，单位衬底US可变得平坦。在这种情况下，形成在单位衬底US上的对齐标记A可与按压垫PP重叠，具体地与视觉孔VH重叠。相应地，视觉相机100可以是能够通过视觉孔VH识别对齐标记A的。在视觉相机100不识别对齐标记A的情况下，拾取组件1000需要被提升且然后再向下移动。如果视觉相机100在用按压部86按压单位衬底US的卷曲部分时变得能够通过视觉孔VH识别到对齐标记A，则可能由识别失败导致的处理时间上的任何损失可减少或最小化。
一旦视觉相机100识别到对齐标记A，则吸盘64可执行真空抽吸，并因此可粘附到单位衬底US上。相应地，单位衬底US可被固定到拾取组件1000，并且拾取组件1000能够使固定至其的单位衬底US移动到另一位置(例如，预定位置)以进行后续处理。
本文中将对根据本公开另一示例性实施方式的用于制造显示装置的设备进行描述。在图4和图6中，相同的附图标记指示相同的元件，且因此，其描述将被省略或简化。
图6为根据本公开另一示例性实施方式的用于制造显示装置的设备的局部平面图。
参照图6，图6的设备与图4的设备的不同之处在于视觉孔VH1的平面形状为圆形的。在示例性实施方式中，视觉孔VH1的平面形状可为圆形的。在本示例性实施方式中，本体部87可具有含有中空部的环形状。
在视觉孔VH1的平面形状为圆形的情况下，视觉相机100的视觉区域VA的平面形状也可为圆形的。
在示例性实施方式中，视觉相机100的视觉区域VA的中心和视觉孔VH1的穿透区域HA的中心可在z轴方向上对齐。换言之，视觉相机100的视觉区域VA的中心和视觉孔VH1的穿透区域HA的中心可布置在与z轴平行的同一直线上。
在示例性实施方式中，通过将视觉孔VH1的穿透区域HA的面积除以视觉相机100的视觉区域VA的面积而获得的值可为0.8或更大。
如上所述，如果通过将视觉孔VH1的穿透区域HA的面积除以视觉相机100的视觉区域VA的面积而获得的值为0.8或更大，则视觉相机100可通过视觉孔VH1精确地识别形成在每个单位衬底US上的对齐标记A。
本文中将对根据本公开的一些示例性实施方式的制造显示装置的方法进行描述。在图1至图10中，相同的附图标记指示相同的元件，并因此，其详细描述将被省略。
图7为根据本公开示例性实施方式的制造显示装置的方法的框图。
参照图7，该方法可包括切割步骤S1、拾取步骤S2、剥离步骤S3和检查步骤S4。
图8和图9为示出根据图7的示例性实施方式的方法的切割步骤的平面图。
参照图8和图9，切割步骤S1可包括在台ST上制备母衬底MS。
母衬底MS可为提供用于制造多个显示装置的材料的衬底。
在示例性实施方式中，可在母衬底MS上布置多个对齐标记A。在示例性实施方式中，对齐标记A中的每个可与单个单位衬底US对应。
图8示出了在切割步骤S1之前在母衬底MS上形成对齐标记A的示例，但是本公开不限于此。在另一示例中，可在切割步骤S1之后形成对齐标记A。
接下来，参照图9，切割步骤S1还可包括将母衬底MS分离成多个单位衬底US。
在示例性实施方式中，可在母衬底MS上形成多个水平切割线和多个竖直切割线。
在示例性实施方式中，水平切割线和竖直切割线可通过使用激光器来形成，但是本公开不限于此。在另一示例性实施方式中，水平切割线和竖直切割线可以以直接接触的方式形成。
一旦水平切割线和竖直切割线被形成，如图9中所示，母衬底MS可被分离成多个单位衬底US。处于其切割状态的单位衬底US可放置成与其相应的相邻单位衬底US接触。
图10为示出根据图7的示例性实施方式的方法的拾取步骤S2的平面图。参照图10，至少一个拾取组件可布置在台ST上方。图10示出了第一拾取组件1001和第二拾取组件1002布置在台ST上方的示例。在实施方式中，第一拾取组件1001和第二拾取组件1002可与根据图1的示例性实施方式的拾取组件1000基本相同。
图10示出了两个拾取组件布置在台ST上方的示例，但是拾取组件的数量不被特别地限制。在其它示例中，可提供一个拾取组件或者三个或更多个拾取组件。
在实施方式中，第一拾取组件1001和第二拾取组件1002可通过与上面参照图1、图2和图5描述的方式相同的方式来提升单位衬底US中的每个。
第一拾取组件1001和第二拾取组件1002可提升并移动单位衬底US中的每个以进行后续处理。一旦单位衬底US中的每个通过第一拾取组件1001和第二拾取组件1002转移，则相应的单位衬底US可经历剥离步骤S3。
在剥离步骤S3中，可分别从单位衬底US中的每个的顶部和底部剥离第一保护膜PF1和第二保护膜PF2。接下来，可执行检查步骤S4。检查步骤S4可包括外观检查，并且可确定第一保护膜PF1和第二保护膜PF2是否已在剥离步骤S3中从单位衬底US中的每个完全移除。
然而，本发明的效果不限于本文中所记载的效果。通过参照权利要求，本发明的上述和其它效果将对本发明所属技术领域的普通技术人员变得更加显而易见。
虽然已参照本发明的一些示例性实施方式具体地示出并描述了本发明，但是本领域普通技术人员将理解，在不背离如由所附权利要求记载的本发明的精神和范围的情况下可在本发明中做出形式和细节上的各种改变。示例性实施方式应以描述性的意义来理解，且不是出于限制的目的。

Claims (20)

1.用于制造显示装置的设备，所述设备包括：
按压垫，所述按压垫包括本体部和穿透所述本体部的视觉孔；
视觉相机，所述视觉相机位于所述按压垫的顶表面上方，所述视觉相机的视觉区域与所述视觉孔的穿透区域至少部分地彼此重叠；以及
吸拾器，所述吸拾器位于所述按压垫附近，与所述本体部分离，并且在侧向方向上与所述本体部间隔开。
2.如权利要求1所述的设备，其中，
所述按压垫还包括按压部，所述按压部位于所述本体部下方，以及
所述视觉孔穿透所述本体部和所述按压部。
3.如权利要求2所述的设备，其中，所述按压部由弹性材料形成。
4.如权利要求1所述的设备，其中，所述本体部在平面图中呈框架形状。
5.如权利要求1所述的设备，其中，所述本体部在平面图中呈环形状。
6.如权利要求1所述的设备，还包括：
台，所述台支承多个单位衬底。
7.如权利要求6所述的设备，其中，
所述单位衬底中的每个上形成有至少一个对齐标记，以及
所述视觉相机配置成通过所述视觉孔识别所述至少一个对齐标记。
8.如权利要求6所述的设备，其中，所述按压垫能够在z轴方向上向下移动以按压所述单位衬底中的每个。
9.如权利要求8所述的设备，其中，所述按压垫和所述吸拾器能够在所述z轴方向上向下移动以同时放置成与所述单位衬底中的每个接触。
10.如权利要求6所述的设备，其中，
从所述台的顶表面到所述视觉相机的距离被限定为第一高度，
从所述台的所述顶表面到所述按压垫的距离被限定为第二高度，以及
通过将所述第二高度除以所述第一高度而获得的值为0.4至0.5。
11.如权利要求1所述的设备，其中，所述视觉相机和所述视觉孔在z轴方向上对齐。
12.如权利要求1所述的设备，还包括：
连接部，所述连接部连接所述按压垫与所述视觉相机。
13.如权利要求1所述的设备，其中，所述按压垫的底部和所述吸拾器的底部在同一平面上。
14.如权利要求1所述的设备，其中，
由所述视觉相机识别的平面区域被限定为所述视觉区域，
由所述视觉孔占据的平面区域被限定为所述穿透区域，以及
通过将所述穿透区域的面积除以所述视觉区域的面积而获得的值为0.8或更大。
15.如权利要求14所述的设备，其中，所述视觉区域的中心和所述穿透区域的中心在与z轴方向平行的同一直线上。
16.如权利要求1所述的设备，其中，所述视觉相机、所述按压垫和所述吸拾器彼此连接，并且能够作为一个整体来移动。
17.制造显示装置的方法，所述方法包括：
将母衬底切割成多个单位衬底；以及
使用拾取组件提升所述单位衬底中的每个，
其中，
所述拾取组件包括：
按压垫，所述按压垫包括本体部和穿透所述本体部的视觉孔；
视觉相机，所述视觉相机位于所述按压垫的顶表面上方，所述视觉相机的视觉区域与所述视觉孔的穿透区域至少部分地彼此重叠；以及
吸拾器，所述吸拾器位于所述按压垫附近，与所述本体部分离，并且在侧向方向上与所述本体部间隔开，以及
所述提升所述单位衬底中的每个包括：
用所述按压垫按压所述单位衬底中的每个。
18.如权利要求17所述的方法，其中，所述提升所述单位衬底中的每个还包括：
允许所述视觉相机通过所述视觉孔识别形成在所述单位衬底中的每个上的对齐标记。
19.如权利要求18所述的方法，其中，
如果所述视觉相机通过所述视觉孔识别到形成在所述单位衬底中的每个上的所述对齐标记，则所述吸拾器以真空抽吸方式固定相应的单位衬底。
20.如权利要求17所述的方法，其中，
所述单位衬底中的每个包括基础衬底和附接在所述基础衬底上的至少一个保护膜，以及
所述方法还包括剥离所述至少一个保护膜。
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