CN109495108B - 用于处理传感器信号的设备和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供用于处理传感器部件(10)的传感器信号(S)的一种设备和一种方法，其中，将噪声信号(R)与所述传感器信号(S)的有用信号分量(I)混频，根据传感器信号(S)的干扰信号分量(Q)的确定的特性和/或温度传感器(40)的温度信号(T)的确定的特性来生成所述噪声信号。
Description
技术领域
本发明涉及用于处理传感器部件的传感器信号的设备和方法，其中，所述传感器部件尤其可以是微机电部件(MEMS部件)。
背景技术
用于感测物理参量——例如加速度的传感器部件通常首先输出模拟的传感器信号。这种传感器信号包括有用信号分量以及附加的信号分量——例如干扰信号分量、模拟信号噪声或测量伪像(Messartefakte)。
因此存在以下目标：将传感器信号处理成输出信号，所述输出信号基本上仅仅具有有用信号分量，其中，此外在理想情况下至多存在具有小的幅度的白噪声。
在此，“白噪声”表示在确定频率范围内具有恒定功率密度谱的噪声。被限制在该带宽内的白噪声通常被应用在工程与自然科学领域中，以便反映否则理想的模型中的干扰，例如以便描述传输通道中的随机干扰。
例如在文献EP 2 647 955 A2中描述了用于触发微机电系统(MEMS)、例如MEMS陀螺仪的传感器信号中的正交分量的设备和方法。
该正交分量在英语中被称为“quadrature：正交”，在德语中也被称为“Quadratur-Signal：正交信号”、“Q数据”或“Q数据信号”，并且该正交分量例如在I&Q方法(In-Phase&Quadratur-Verfahren：同相正交法)中非常重要。在该方法中，通过以下两种途径导出用于解调的信号：用于解调的一种途径借助原始的相位(英语：“in phase：同相”)来执行并且得到同相数据；第二种途径借助移相90°的参考频率执行并且产生正交数据。
发明内容
本发明公开了根据本发明的用于处理传感器部件的传感器信号的设备、以及根据本发明的用于处理传感器部件的传感器信号的方法。
因此，提供一种用于处理传感器部件的传感器信号的设备，其中，所述传感器信号包括至少一个有用信号分量，所述设备具有：
用于所述有用信号分量的读取电路，
温度传感器，
处理电路，所述处理电路具有用于生成噪声信号的单元，所述噪声信号与所述至少一个有用信号分量混频；
其特征在于，所述处理电路至少包括：
具有可变运行参数的噪声发生器，
用于分析所述温度传感器的温度信号的特性的单元，
用于根据所述温度信号的特性来选择和设置所述噪声发生器的运行参数的配置单元。
此外，提供一种用于处理传感器部件的传感器信号的设备，其中，所述传感器信号包括至少一个有用信号分量和至少一个干扰信号分量，所述设备具有：
读取电路，所述读取电路具有用于将所述至少一个有用信号分量与所述至少一个干扰信号分量分离的单元，
处理电路，所述处理电路具有用于生成噪声信号的单元，所述噪声信号与所述至少一个有用信号分量混频；
其特征在于，所述处理电路至少包括：
具有可变运行参数的噪声发生器，
用于分析所述干扰信号分量的特性的单元，和
用于根据所述干扰信号分量的特性来选择和设置所述噪声发生器的运行参数的配置单元。
干扰信号分量例如应理解为传感器信号的以下分量：该分量代表与有用信号分量相比不期望的、无意义的或冗余的信息。例如在I&Q方法中，可以将I数据称为有用信号分量，并且将Q数据称为干扰信号分量。
用于分析温度信号的特性的单元、用于分析干扰信号分量的特性的单元和/或用于选择和设置噪声发生器的运行参数的配置单元可以分别完全通过硬件来实现(例如通过专用集成电路(英语：“application-specific integrated circuit”，ASIC或微控制器或逻辑电路)；完全通过软件来实现(即通过在设备的处理器上实施的程序代码，该程序代码存储在所述设备的非易失性存储器上)；或部分地通过硬件并且部分地通过软件实现。
读取电路、处理电路和/或传感器部件可以布置或集成在一个共同的衬底上或者可以通过单独的、彼此通过引线键合连接的部件来实现。
此外，提供一种用于处理传感器部件的传感器信号的方法，其中，所述传感器信号包括至少一个有用信号分量，
其中，并行于所述传感器信号地检测温度信号，
其中，分析所述温度信号，
其中，根据所述温度信号的信号特性产生噪声信号，
其中，将所述噪声信号与所述有用信号分量混频。
此外，提供一种用于处理传感器部件的传感器信号的方法，其中，所述传感器信号包括至少一个有用信号分量和至少一个干扰信号分量，
其中，将所述至少一个有用信号分量与所述至少一个干扰信号分量分离，
其中，分析所述至少一个干扰信号分量，
其中，根据所述至少一个干扰信号分量的特性产生噪声信号，
其中，将所述噪声信号与所述有用信号分量混频。
为了在传感器信号中消除传感器信号中的所不期望的测量伪像——例如不具有实际物理对应物的各个峰值，将噪声信号与有用信号分量混频。所述噪声信号也可以称为“Dithering-Signal：抖动信号”。抖动(英语对应“Dithering”)描述以下方法：所述方法例如可以在数字音频技术中减轻量化误差的影响。该误差不仅在数字化的情况下产生，而且在与信号的数字运算操作的情况下产生。替代干扰性失真，产生了较不干扰性的均匀噪声，该均匀噪声接近模拟放大器的噪声。
突然峰值(异常值)形式的所不期望的测量伪像也可以以英语术语“idle tones：闲音”表示，因为这样的峰值也可能会在模拟音频信号的数字化情况下产生并且相应于数字音频信号中的所不期望的音调，该音调在原始的音频信号中不存在。
本发明所基于的认识在于：有利的是，将噪声信号与有用信号分量混频，所述噪声信号恰恰匹配于具体的当前情况；以及这可以如何实现。
通常优选的是，由所述设备输出的并且包括有用信号分量的输出信号具有白噪声，该白噪声具有尽可能小的平均幅度，以便所述有用信号分量在输出信号中特别明显地突出，也就是说输出信号具有特别高的信噪比(英语：signal-to-noise ratio)。
因此，本发明的另一构思在于，在输出信号中引起白噪声，该白噪声在给定情况下具有尽可能小的幅度、即例如具有以下幅度：该幅度足以消除(untergehen)白噪声中的可能的测量伪像。
在第一变型方案中，例如可以使噪声信号匹配于环境温度和/或传感器部件的温度，该温度借助温度传感器来检测。
放大器电路的、或其他承载信号或处理信号的部件的输出可能会在相对较高的温度下具有相对较大的噪声，所述噪声相对接近白噪声。在这种情况下(与相对较低的温度情况相比)，例如具有相对较小幅度的噪声信号足以在总体上实现存在于输出信号中的除了有用信号分量以外的分量的所期望的均匀性(例如所期望地接近白噪声)。
即使可能的已经存在于传感器信号中的噪声已经是白噪声或期望地接近白噪声，原则上仍可以省去噪声信号的添加，或者具有较小幅度的噪声信号就足够。这样的噪声可以完全地或部分地通过干扰信号分量来表示。干扰信号分量越进一步偏离所期望的白噪声，则必须以越强的幅度和/或越被结构化地与噪声信号混频。
本发明考虑到了上述因素，其方式是：本发明使用干扰信号分量和/或温度信号并且基于此，将最佳匹配的噪声信号与有用信号分量混频，以便获得能够最佳实现的、能够最佳处理的输出信号。
有利的实施方式和扩展方案由从以下构型以及由参照附图的描述中得出。
根据本发明的一种优选实施方式，所述传感器信号不仅包括有用信号分量而且包括干扰信号分量。此外，在该情况下，根据本发明的设备也配备有至少一个温度传感器。处理电路的配置单元设计用于在选择和/或设置噪声发生器的运行参数时不仅考虑温度信号的特性而且考虑干扰信号分量的特性。优选地，噪声发生器的运行参数确定：借助哪些特性产生噪声信号。换言之，处理电路可以设计用于基于温度信号的和干扰信号分量的所分析的(即确定的)特性来生成噪声信号。因此，可以产生还更好地匹配于当前存在的条件的噪声信号。
根据另一优选的扩展方案，所述设备包括用于所述有用信号分量的至少一个模拟/数字转换器。优选在所述模拟/数字转换器之前的或所述模拟/数字转换器处的信号流中进行：将由所述噪声发生器产生的噪声信号与所述有用信号分量混频。以这种方式可以阻止或减小以下可能性：在通过模拟/数字转换器对传感器信号进行数字化时，测量伪像导致经数字化的传感器信号中的伪像(例如峰值或所谓的“闲音”)。
根据另一优选的扩展方案，所述单元分析温度信号的和/或干扰信号分量的信号幅度、频率分布、相位、信号幅度的时间变化和/或噪声份额。基于所分析的参量，可以还更精准匹配噪声发生器的运行参数。
根据另一的优选扩展方案，借助所述配置单元、尤其通过所述配置单元能够改变噪声信号产生的方式、所述噪声信号的频率分布、用于所述噪声信号的滤波器参数、所述噪声发生器的增益因子和/或噪声功率。因此，可以借助特别有利的特性来生成噪声信号。
根据另一优选的扩展方案，所述传感器部件包括至少一个能够振动地支承的元件，所述元件在第一空间方向x上被激励进行振动，并且所述元件随后由于待检测的测量参量而在第二空间方向y上被置于振动中，其中，所述第二空间方向y基本上垂直于所述第一空间方向x定向，
其中，所述至少一个能够振动地支承的元件在y方向上的运动作为电传感器信号被检测；
其中，所述传感器信号包括作为有用信号分量的同相信号以及作为干扰信号分量的正交信号，
其中，所述同相信号基本上表示归因于所述测量参量的传感器信号份额，所述正交信号基本上表示如下传感器信号份额：所述传感器信号份额可归因于所述能够振动地支承的元件在y方向上的所不期望的激励。
根据所述方法的一种优选的扩展方案，在产生噪声信号时不仅考虑温度信号的特性而且考虑至少一个干扰信号分量的特性。因此，可以产生还更好地匹配于当前存在的条件的噪声信号。
根据另一的优选扩展方案，可以对至少一个有用信号分量进行模拟/数字转换，其中，优选在模拟/数字转换器之前将所述噪声信号与有用信号分量混频。
附图说明
以下根据在附图的示意图中示出的实施例来进一步阐述本发明。附图示出：
图1示出根据本发明的第一实施方式的设备的示意性方框图；
图2示出根据本发明的第二实施方式的设备的示意性方框图；
图3示出根据本发明的另一实施方式的设备的示意性方框图；
图4示出在添加根据本发明生成的噪声信号之前的、传感器信号的有用信号分量的噪声分量的频谱的示例；
图5示出在添加根据本发明的实施方式的噪声信号之后的、传感器信号的有用信号分量的噪声分量的频谱。
在所有附图中，相同的或功能相同的元件和设备设有相同的附图标记，除非另有说明。
具体实施方式
以下基本上根据设备来描述原理、工作方式和过程。所描述的过程也说明了以下方法：所述方法能够独立于所述设备的具体描述的结构性构件地执行，正如其在上文中已经阐述的那样。因此，关于设备所描述的所有变型方案和修改方案也可应用到相应的方法上，反之亦然。
图1示出根据本发明的第一实施方式的用于处理传感器部件10的传感器信号S的设备100的示意性方框图。设备100可以包括传感器部件10或构造用于与传感器部件10连接。
在在此示出的实施例中，传感器部件10例如可以涉及具有压敏传感器膜片的压力传感器。传感器膜片的由压力引起的偏转或变形被电容式地或压阻式地检测并且被转换成电传感器信号，所述电传感器信号在此也构成有用信号分量。
设备100包括：用于传感器信号S的读取电路20、温度传感器40以及具有用于生成噪声信号R的单元的处理电路30，所述噪声信号与传感器信号S混频。
温度传感器40可以设计用于检测传感器部件10的、读取电路20的、处理电路30的和/或设备100的另外的构件的温度，并且基于此产生温度信号T。替代地或附加地，温度传感器40也可以设计用于检测环境温度。
处理电路30包括：至少一个噪声发生器31，所述至少一个噪声发生器具有可变的运行参数，其中，所述噪声信号R由噪声发生器31基于相应的当前选择和设置的运行参数产生；用于分析温度传感器40的温度信号T的特性的单元32；配置单元33，所述配置单元用于根据温度信号T的通过分析而求取的特性来选择和设置噪声发生器31的运行参数。
单元32可以设计用于分析温度信号T的信号幅度、频率分布、相位、信号幅度的时间变化和/或噪声份额，即确定温度信号T的相应特性(温度信号特性)，基于此可以通过配置单元33执行噪声发生器31的运行参数的选择和设置。
通过配置单元33尤其可改变和改变噪声信号R的产生的方式或特性(例如通过线性反馈移位寄存器(英语：linear feedback shift register，简称LFSR)或通过用于产生伪随机数的函数的多项式次数来产生伪随机数)、噪声信号R的频率分布、用于噪声信号R的滤波器参数(例如待滤除的或待保留的频率范围)、噪声发生器31的增益因子和/或噪声功率。
将噪声信号R提供给读取电路20，在那里，将所述噪声信号与模拟传感器信号混频。最后，合成信号通过处理电路30作为输出信号A输出。在此之前，通常还经历另外的信号处理步骤——例如模拟/数字转换和/或一个或多个滤波。
图2示出根据本发明的第二实施方式的用于处理传感器部件10的传感器信号S的设备200的示意性方框图。设备200可以包括传感器部件10或构造用于与传感器部件10连接。
在在此示出的实施例中，传感器部件10例如可以涉及具有气敏电传感器电阻的气体传感器，其此外也是温度相关的和湿度相关的。所述传感器电阻的电阻值作为电传感器信号被检测并且除了有用信号分量NS——即关于环境空气的气体组成的信息以外，也包括干扰信号分量SS——即对传感器信号的温度影响和湿度影响。
设备200包括读取电路20，所述读取电路用于从传感器信号S中读取或分离有用信号分量NS以及用于从传感器信号S中读取或分离干扰信号分量SS。此外，设备200包括处理电路30，所述处理电路具有用于生成噪声信号R的单元，所述噪声信号与有用信号分量NS混频。
处理电路30包括至少一个噪声发生器31，所述至少一个噪声发生器具有可变的运行参数，其中，通过噪声发生器31基于相应的当前选择和设置的运行参数来产生噪声信号R；用于分析干扰信号分量SS的特性的单元32；以及配置单元33，所述配置单元用于根据干扰信号分量SS的通过分析而求取的特性来选择和设置噪声发生器31的运行参数。
单元32可以设计用于分析干扰信号分量SS的信号幅度、频率分布、相位、信号幅度的时间变化和/或噪声份额，即用于确定干扰信号分量SS的相应特性(干扰信号分量特性)，基于此可以通过配置单元33执行对噪声发生器31的运行参数的选择和设置。
通过配置单元33尤其可改变和改变产生噪声信号R的方式或噪声信号R的特性(例如通过线性反馈移位寄存器(英语：linear feedback shift register，简称LFSR)或通过用于产生伪随机数的函数的多项式次数来产生伪随机数)、噪声信号R的频率分布、用于噪声信号R的滤波器参数(例如待滤除的或待保留的频率范围)、噪声发生器31的增益因子和/或噪声功率。
将噪声信号R提供给读取电路20，在那里，将所述噪声信号与模拟的有用信号分量NS混频。最后，合成信号通过处理电路30作为输出信号A输出。在此之前，通常还经历另外的信号处理步骤——例如模拟/数字转换和/或一个或多个滤波。。
图3示出根据本发明的另一实施方式的用于处理转速传感器的传感器部件10的传感器信号S的设备300的示意性方框图。设备300可以包括传感器部件10或构造用于与传感器部件10连接。
在此描述的转速传感器的传感器部件10包括能够振动地支承的元件13和驱动器14。能够振动地支承的元件13通过驱动器14激励而在第一空间方向上进行振动、尤其正弦振动，并且随后由于待检测的测量参量、即旋转运动而在第二空间方向上被置于振动中，其中，所述第二空间方向基本上垂直于第一空间方向定向。由于传感器部件的旋转运动，科里奥利力作用到在激励方向上振动的元件13上。科里奥利力引起元件13的垂直于激励方向的偏转或振动，其中，所述振动相对于激励振动移相90°。在当前实施例中，电容式地检测能够振动地支承的元件30的垂直于激励方向的偏转。如此生成的电信号构成传感器信号S。
在在此示出的实施例中，传感器部件10包括三个单独的测量电路12，以便可以检测能够振动地支承的元件13在所有空间方向——例如正交的空间方向x、y、z上的运动。在图3中，这通过三个单独的错开布置的块来表明。这些测量电路12中的每一个提供一个传感器信号S，所述传感器信号用于传感器部件在配属于测量电路的空间方向上的旋转运动。
在此应注意，替代具有多个测量电路12的唯一的能够振动地支承的元件13，也可以设置能够振动地支承的多个元件13，所述多个元件分别具有一个自身的测量电路12或一个共同的测量电路。
在在此描述的实施例中，每个测量电路12配属有用于相应传感器信号S的自身的读取电路20，正如在图3中以图形表明的那样。
在下文中示例性地根据传感器部件10的单个测量电路12的传感器信号S的信号路径来描述设备300。
读取电路20用于将传感器信号S的代表传感器部件10的旋转运动的有用信号分量I与干扰信号分量Q分离，所述干扰信号分量应归因于能够振动地支承的元件的例如在科里奥利力方向上的所不期望的激励。将所述有用信号分量称为同相信号I，而将干扰信号分量称为正交信号Q。为了将传感器信号的有用信号分量I与干扰信号分量Q分离，利用以下事实：有用信号分量I关于能够振动地支承的元件13的激励移相90°，而干扰信号分量Q与激励信号相比具有相同的相位。
为了使有用信号分量I与干扰信号分量Q分离，首先借助读取电路20的电容/电压转换器21将电容式的传感器信号S转换成电压信号。此外，通过设备300的另一电容/电压转换器15转换驱动器14的激励信号，据此，一方面提供了用于调节驱动器14的激励信号的幅度调节器16，另一方面提供了相位调节环(Phasenregelschleife)17。
相位调节环17在频率和相位方面匹配于振动元件13的振动运动并且将相位信息提供给幅度调节器16和读取电路20。幅度调节器16设计用于调节施加到驱动器14上的激励信号，以便将能够振动地支承的元件13保持在所期望的稳定的运动状态(例如正弦振动)中。
一方面，通过读取电路20的混频器22将转换成电压信号的传感器信号S与相位调节环17的通过移相器18偏移90°的输出信号混频，以便读取有用信号分量I，另一方面，通过读取电路20的混频器23将转换成电压信号的传感器信号S与相位调节环17的未偏移的输出信号混频，以便读取干扰信号分量Q。
通过读取电路20的模拟/数字转换器24将作为电压信号的所产生的有用信号分量I转换成数字信号。在此之前、即在模拟/数字转换器24之前的有用信号分量I的信号路径中或在模拟/数字转换器24处，将噪声信号R与有用信号分量I混频，所述噪声信号通过处理电路30的噪声发生器31来生成。如在图3所示的那样，将分别一个单独的噪声信号R与三个测量电路12中的每一个的每个有用信号分量I混频，所述噪声信号分别通过自身的噪声发生器31生成。
模拟/数字转换器24优选构造用于执行Delta-Sigma调制。经数字化的有用信号分量I经过处理电路30的滤波器34、例如低通滤波器，接着作为输出信号A由输出电路30输出。如图3所示的那样，处理电路30在此提供三个输出信号A，所述三个输出信号分别代表传感器部件10在一个空间方向上的转速。
作为电压信号的所产生的干扰信号分量Q通过读取电路20的模拟/数字转换器25转换成数字信号并且被引导通过处理电路30的滤波器35、例如低通滤波器。将如此产生的信号——所述信号还包括作为信息的干扰信号分量Q——引导到处理电路30的单元32上，以便分析干扰信号分量Q的特性。
单元32设计用于确定干扰信号分量Q的至少一个特性——例如干扰信号分量Q的信号幅度、频率分布、相位、信号幅度的时间变化和/或噪声份额，正如其已经参照图2阐述的那样。
此外，设备300包括温度传感器40，正如其已经参照图1描述的那样。温度传感器40的温度信号T在其通过模拟/数字转换器41的模拟/数字转换之后，通过处理电路30的滤波器36滤波，接着还引导到单元32上。单元32设计用于确定温度信号T的至少一个特性——例如温度信号T的信号幅度、频率分布、相位、信号幅度的时间变化和/或噪声份额，正如其已经参照图1阐述的那样。
处理电路30包括配置单元33，所述配置单元用于根据干扰信号分量Q的和温度信号T的通过单元32求取的特性来选择和设置噪声发生器31的运行参数。
例如可以在干扰信号分量Q的相对较大的幅度的情况下，通过噪声发生器31生成具有相对较小的幅度的噪声信号R。同样地，例如可以在相对较高的温度情况下生成具有相对较小的幅度的噪声信号R。
借助配置单元33尤其可以改变：噪声信号产生的方式、噪声信号R的频率分布、用于噪声信号的滤波器参数(例如高通滤波器的、带通滤波器的和/或低通滤波器的滤带界限)、噪声发生器31的增益因子和/或噪声功率。
为了更好地进行理解，图4和图5示出传感器信号S的噪声分量N的示意性频谱。示例性示出的噪声分量N可以恰恰相应于干扰信号分量Q、表示干扰信号分量Q的一部分或包括干扰信号分量Q。不仅在图4中而且在图5中都示出如下曲线图：所述曲线图的横坐标以赫兹(Hz)为单位示出频率，并且所述曲线图的纵坐标示出功率，所述功率通过参考值的以分贝(dB)为单位的增益来表明。
图4示出转速传感器的典型的同相信号I的噪声分量N1的频谱的一个示例，如其结合图3所描述的那样，更确切地说，在与根据本发明生成的噪声信号混频之前。噪声分量N1的频谱具有与平均值的明显偏差51以及各个“异常值”或峰值52，这表示功率密度的局部最大值。
图5示出在根据本发明的实施方式例如通过设备100；200；300中的一个添加噪声信号R之后的、同一转速传感器的同相信号I的噪声分量N2的频谱。由图5可以看出，噪声分量N2的频谱现在接近白噪声，而噪声功率与在图4中示出的噪声分量N1相比在总体上略微增大。
尽管先前根据优选实施例描述了本发明，但本发明不限于此，而是能够以多种多样的方式和方法修改。尤其可以以各种各样的方式改变或修改本发明，而不偏离于本发明的核心。
Claims (9)
1.一种用于处理传感器部件(10)的传感器信号(S)的设备(100；300)，其中，所述传感器信号(S)包括至少一个有用信号分量(I)，所述设备具有：
用于所述有用信号分量(I)的读取电路(20)，
温度传感器(40)，
处理电路(30)，所述处理电路具有用于生成噪声信号(R)的单元，所述噪声信号与所述至少一个有用信号分量(I)混频；
其特征在于，所述处理电路(30)至少包括：
具有可变运行参数的噪声发生器(31)，
用于分析所述温度传感器(40)的温度信号(T)的特性的单元(32)，
用于根据所述温度信号(T)的特性来选择和设置所述噪声发生器(31)的运行参数的配置单元(33)，
其中，所述处理电路(30)的配置单元(32)设计用于在选择和/或设置所述噪声发生器(31)的运行参数时不仅考虑所述温度信号(T)的特性而且考虑所述传感器信号(S)的干扰信号分量(Q)的特性。
2.一种用于处理传感器部件(10)的传感器信号(S)的设备(200；300)，其中，所述传感器信号(S)包括至少一个有用信号分量(I)和至少一个干扰信号分量(Q)，所述设备具有：
读取电路(20)，所述读取电路具有用于将所述至少一个有用信号分量(I)与所述至少一个干扰信号分量(Q)分离的单元，
处理电路(30)，所述处理电路具有用于生成噪声信号(R)的单元，所述噪声信号与所述至少一个有用信号分量(I)混频；
其特征在于，所述处理电路(30)至少包括：
具有可变运行参数的噪声发生器(31)，
用于分析所述干扰信号分量(Q)的特性的单元(32)，
用于根据所述干扰信号分量(Q)的特性来选择和设置所述噪声发生器(31)的运行参数的配置单元(33)，
其中，所述处理电路(30)的配置单元(32)设计用于在选择和/或设置所述噪声发生器(31)的运行参数时不仅考虑所述温度信号(T)的特性而且考虑所述干扰信号分量(Q)的特性。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的设备(300)，所述设备具有用于所述有用信号分量(I)的至少一个模拟/数字转换器(24)，其特征在于，在所述模拟/数字转换器(24)之前的或所述模拟/数字转换器处的信号流中进行：将由所述噪声发生器(31)产生的噪声信号(R)与所述有用信号分量(I)混频。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备(100；200；300)，其特征在于，所述单元(32)分析所述温度信号(T)的和/或所述干扰信号分量(Q)的信号幅度、频率分布、相位、信号幅度的时间变化和/或噪声份额。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的设备(100；200；300)，其特征在于，借助所述配置单元(33)能够改变噪声信号产生的方式、所述噪声信号(R)的频率分布、用于所述噪声信号(R)的滤波器参数、所述噪声发生器(31)的增益因子和/或噪声功率。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备(300)，
其中，所述传感器部件(10)包括至少一个能够振动地支承的元件(13)，所述元件在第一空间方向x上被激励进行振动，并且所述元件随后由于待检测的测量参量而在第二空间方向y上被置于振动中，其中，所述第二空间方向y基本上垂直于所述第一空间方向x定向，
其中，所述至少一个能够振动地支承的元件(13)在y方向上的运动作为电传感器信号(S)被检测；
其中，所述传感器信号(S)包括作为有用信号分量的同相信号(I)以及作为干扰信号分量的正交信号(Q)，
其中，所述同相信号(I)基本上表示归因于所述测量参量的传感器信号份额，所述正交信号(Q)基本上表示如下传感器信号份额：所述传感器信号份额可归因于所述能够振动地支承的元件(13)在y方向上的所不期望的激励。
7.一种用于处理传感器部件(10)的传感器信号(S)的方法，其中，所述传感器信号(S)包括至少一个有用信号分量(I)，其中，并行于所述传感器信号地检测温度信号(T)，
其中，分析所述温度信号(T)，
其中，根据所述温度信号(T)的信号特性产生噪声信号(R)，
其中，将所述噪声信号(R)与所述有用信号分量(I)混频，
其中，在产生所述噪声信号(R)时不仅考虑所述温度信号(T)的特性而且考虑所述传感器信号(S)的至少一个干扰信号分量(Q)的特性。
8.一种用于处理传感器部件(10)的传感器信号(S)的方法，其中，所述传感器信号包括至少一个有用信号分量(I)和至少一个干扰信号分量(Q)，
其中，将所述至少一个有用信号分量(I)与所述至少一个干扰信号分量(Q)分离，
其中，分析所述至少一个干扰信号分量(Q)，
其中，根据所述至少一个干扰信号分量(Q)的特性产生噪声信号(R)，
其中，将所述噪声信号(R)与所述有用信号分量(I)混频，
其中，在产生所述噪声信号(R)时不仅考虑温度信号(T)的特性而且考虑所述至少一个干扰信号分量(Q)的特性。
9.根据权利要求7至8中任一项所述的方法，其中，对所述至少一个有用信号分量(I)进行模拟/数字转换，其特征在于，在所述模拟/数字转换之前将所述噪声信号(R)与所述有用信号分量(I)混频。
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