CN109494218B - 双面超导量子芯片 - Google Patents
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- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 claims abstract description 101
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 27
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 27
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 27
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 23
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005553 drilling Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000010437 gem Substances 0.000 description 1
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005040 ion trap Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
本发明提供了一种超导量子芯片,基板正面布线量子比特单元和微波信号控制线,基板背面布线微波信号读取线。采用数据传输量子比特为介质,可实现5个或者4个量子比特为一组,与版图上其他量子比特组信息交互。采用激光打孔或者反应离子刻蚀方法,在衬底上烧制通孔,填充微波信号传输介质,保证正反面的量子信号传输。该方案解决了单面布线量子位集成度不足,可明显提高超导量子芯片的比特集成数量。
Description
技术领域
本发明涉及超导量子芯片领域,具体地,涉及超导量子芯片,特别是基于通孔结构的集成化量子计算芯片的布线设计。
背景技术
随着现代科技对计算能力需求的急剧增长,量子计算渐入公众视野。量子计算的实现之路必须途径大规模量子比特的制备工艺。例如超导量子比特、离子阱、自旋电子和光量子等,这些不同类型的量子比特各有优缺点。在扩展性方面超导量子比特具有显著的优势,主要原因是超导量子比特的制备工艺与传统半导体工艺兼容。
目前,超导量子芯片均选取了单面布局的方案。例如IBMQ云量子计算芯片设计方案等。一种是采用环绕式,多个量子比特围绕中心二分之一波长谐振腔分布,每个量子比特分别通过电容与谐振腔耦合。这种设计方式使得任意两个量子比特之间能够耦合,缺点是继续增加位数浪费芯片面积。另一种是采用线型排列式,每个量子比特仅与相邻的量子位耦合,一字排开,可扩展性更好,但是算法执行难度高。
例如单面布线基于Xmon结构量子电路最大集成设计。Xmon量子比特属于一种电荷量子比特,采用总线制结构,可增加集成度。选用版图尺寸为1厘米×1厘米时,所设计集成量子比特最大数量为14位,可计算出量子比特集成密度为14位/cm2。
而随着量子计算的应用逐渐加深,更多量子位的量子芯片受到关注。类似于经典计算机中的晶体管数量,量子比特位数决定了量子计算机的计算能力和应用前景。如何在相同尺寸版图中使集成位数增加,集成密度增大是量子芯片设计的重要任务。
发明内容
针对现有技术中的缺陷,本发明的目的是提供一种双面超导量子芯片布线方法。
根据本发明提供的一种双面超导量子芯片,包括基板,其中,所述基板包括A面、B面;
量子信号通过A面和B面周期分布的通孔互连;
A面的通孔连接一个叉指电容,以耦合量子比特的十字电容。
优选地,所述A面主要由第一模块单元2和第二模块单元3周期排列构成;第一模块单元2和第二模块单元3之间通过第一谐振腔4进行信息交互;
所述第一模块单元2主要由第一量子比特单元8、第二量子比特单元9、第三量子比特单元10、第四量子比特单元11、第五量子比特单元12以及一个数据交换比特13组成;第一模块单元2内的量子比特单元由第二谐振腔14耦合,通过第一数据交换比特单元13进行信息交换;
所述第二模块单元3主要由第六量子比特单元15、第七量子比特单元16、第八量子比特单元17、第九量子比特单元18构成,通过第二数据交换比特单元19、第三数据交换比特单元20实现信息交换。
优选地,所述第一量子比特单元8、第二量子比特单元9、第三量子比特单元10、第四量子比特单元11、第五量子比特单元12、第六量子比特单元15、第七量子比特单元16、第八量子比特单元17均为同一类型量子比特单元,主要由位于A面的XY控制位和Z控制位组成;十字电容,包含计算所需要的约瑟夫森结;
第九量子比特单元18为版图中心量子比特单元,包含两个通孔,通过十字电容分别与B面相应控制和读取位相连。
优选地,所述B面的通孔和A面的通孔对应;主要由第三模块单元6和第四模块单元7周期排列构成量子比特芯片B面;
所述第三模块单元6主要由3组并排设计的第一读取单元21、第二读取单元22、第三读取单元23组成;所述第一读取单元21主要由第一信号输入位24、第二信号输出位25、第一耦合谐振腔26、第二耦合谐振腔27、第三耦合谐振腔28、第四耦合谐振腔29构成,第一信号输入位24、第二信号输出位25之间由信号传输线连接;第一耦合谐振腔26、第二耦合谐振腔27、第三耦合谐振腔28、第四耦合谐振腔29由对应的通孔和A面的十字电容相连,读取相应量子位的量子态信息;第二读取单元22读取8量子位信息,第三读取单元23读取6量子位信息;
所述第四模块单元7主要由第一控制位30、第二控制位31、第三控制位32、第四控制位33组成,第一控制位30与第二控制位31,以及第三控制位32与第四控制位33分别通过微波连接线和通孔与A面相应十字电容连接。
与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:
本发明可增加量子比特数量集成。在硅片或者蓝宝石衬底上制作通孔。填充金属介质,制作可通过微波信号的传输线。双面布线方式既有助于合理利用空间,又能增加耦合的灵活性。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为双面超导量子比特A面设计图;
图2为双面超导量子比特B面设计图;
图3为A面量子比特第一模块单元的结构示意图;
图4为A面量子比特第二模块单元的结构示意图;
图5、图6、图7为B面设计图细节,分别为读取模块单元、输入输出读取线、中心量子比特量子态控制线。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明,但不以任何形式限制本发明。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变化和改进。这些都属于本发明的保护范围。
量子芯片基片材料可以是硅片、宝石片或者其他,采用激光打孔或者反应离子刻蚀技术,在硅片或者蓝宝石衬底上制作通孔。通孔内部通过电子束蒸发沉积等技术填充金属铝或其他介质,制作可通过微波信号的传输线。在本发明的芯片基板A面和B面中,所述A面模块单元1由5个量子比特和一个数据交换比特组成。比特模块内部量子比特通过谐振腔实现耦合,通过数据交换量子比特与其他模块实现信息交换。所述A面模块单元2由4个量子比特构成,包含1个位于版图中心的量子比特和3个量子比特,通过2个数据交换量子比特与其他模块量子比特实现信息交换。所述非版图中心量子比特均为同一类型量子比特,由一个十字电容构成,位于A面的XY控制线和Z控制线对其量子态进行控制。十字电容上包含一个通孔,通过微波信号线与B面读取控制线相连。所述数据交换量子比特与非版图中心量子比特为同类型量子比特。由一个十字电容构成,不包含通孔和控制位,主要用于数据传输。所述版图中心量子比特,十字电容附近包含两个通孔。两个通孔分别与B面的控制线和读取线相连。所述超导量子比特芯片B面的读取模块单元由3组并排设计的组成读取线周期排列构成。所述B面读取线由信号输入控制,信号输出控制以及谐振腔构成。信号通过输入控制位输入,通过输出控制位输出。每一个谐振腔通过通孔和A面相应量子比特耦合。所述B面版图中心量子比特控制线由XY控制线和Z控制线组成,经过通孔与A面量子比特相连。
接下来进行更为具体的说明。本发明提供的基于通孔结构的双面超导量子比特的布线方案,包括:
所述双面超导量子比特芯片主要由A面和B面组成。A面和B面微波信号由A面通孔1相连,所述A面通孔1均连接一个叉指电容,用于耦合十字电容。
所述超导量子比特芯片A面包含量子态控制线和计算单元,主要由第一模块单元2和第二模块单元3周期排列构成。第一模块单元2和第二模块单元3之间通过第一谐振腔4进行信息交互。
所述超导量子比特芯片B面包含读取单元和中间比特控制单元。B面通孔5和A面通孔1对应,其他通孔以次类推。第三模块单元6和第四模块单元7周期排列构成量子比特芯片B面。
所述第一模块单元2主要由第一量子比特单元8、第二量子比特单元9、第三量子比特单元10、第四量子比特单元11、第五量子比特单元12和一个数据交换比特13组成。第一模块单元2内的量子比特单元由第二谐振腔14耦合,通过第一数据交换比特单元13与其他模块比特信息交换。
所述第二模块单元3主要由第六量子比特单元15、第七量子比特单元16、第八量子比特单元17、第九量子比特单元18构成,通过第二数据交换比特单元19、第三数据交换比特单元20与其他模块量子比特实现信息交换。量子比特之间由谐振腔耦合。
所述第一量子比特单元8、第二量子比特单元9、第三量子比特单元10、第四量子比特单元11、第五量子比特单元12、第六量子比特单元15、第七量子比特单元16、第八量子比特单元17均为同一类型量子比特单元,主要由位于A面的XY控制位和Z控制位组成。十字电容,包含计算所需要的约瑟夫森结。
第九量子比特单元18为版图中心量子比特单元,包含两个通孔,通过十字电容分别与B面相应控制和读取位相连。
所述超导量子比特芯片B面的第三模块单元6主要由3组并排设计的第一读取单元21、第二读取单元22、第三读取单元23组成。
所述第一读取单元21主要由第一信号输入位24、第二信号输出位25、第一耦合谐振腔26、第二耦合谐振腔27、第三耦合谐振腔28、第四耦合谐振腔29构成,第一信号输入位24、第二信号输出位25之间由信号传输线连接。第一耦合谐振腔26、第二耦合谐振腔27、第三耦合谐振腔28、第四耦合谐振腔29由对应的通孔和A面的十字电容相连,读取相应量子位的量子态信息。
第二读取单元22、第三读取单元23与第一读取单元21结构类似。第二读取单元22可读取8量子位信息,第三读取单元23可读取6量子位信息。
所述B面第四模块单元7主要由第一控制位30、第二控制位31、第三控制位32、第四控制位33组成,第一控制位30与第二控制位31,以及第三控制位32与第四控制位33分别通过微波连接线和通孔与A面相应十字电容连接。
上述双面超导量子比特芯片设计的掩模版可经过紫外曝光,在光刻胶上形成图案。采取电子束蒸发技术沉积薄膜,通过剥离技术形成量子电路。经过电子束曝光系统制作约瑟夫森结,最后形成量子芯片。
所述双面超导量子比特芯片方案,版图尺寸为1厘米×1厘米时,可设计的有效量子比特数量36位。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本发明并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改,这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下,本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。
Claims (3)
1.一种双面超导量子芯片,其特征在于,包括基板,其中,所述基板包括A面、B面;
量子信号通过A面和B面周期分布的通孔互连;
A面的通孔连接一个叉指电容,以耦合量子比特的十字电容;
所述B面的通孔和A面的通孔对应;主要由第三模块单元(6)和第四模块单元(7)周期排列构成量子比特芯片B面;
所述第三模块单元(6)主要由3组并排设计的第一读取单元(21)、第二读取单元(22)、第三读取单元(23)组成;所述第一读取单元(21)主要由第一信号输入位(24)、第二信号输出位(25)、第一耦合谐振腔(26)、第二耦合谐振腔(27)、第三耦合谐振腔(28)、第四耦合谐振腔(29)构成,第一信号输入位(24)、第二信号输出位(25)之间由信号传输线连接;第一耦合谐振腔(26)、第二耦合谐振腔(27)、第三耦合谐振腔(28)、第四耦合谐振腔(29)由对应的通孔和A面的十字电容相连,读取相应量子位的量子态信息;第二读取单元(22)读取8量子位信息,第三读取单元(23)读取6量子位信息;
所述第四模块单元(7)主要由第一控制位(30)、第二控制位(31)、第三控制位(32)、第四控制位(33)组成,第一控制位(30)与第二控制位(31),以及第三控制位(32)与第四控制位(33)分别通过微波连接线和通孔与A面相应十字电容连接。
2.根据权利要求1所述的双面超导量子芯片,其特征在于,所述A面主要由第一模块单元(2)和第二模块单元(3)周期排列构成;第一模块单元(2)和第二模块单元(3)之间通过第一谐振腔(4)进行信息交互;
所述第一模块单元(2)主要由第一量子比特单元(8)、第二量子比特单元(9)、第三量子比特单元(10)、第四量子比特单元(11)、第五量子比特单元(12)以及一个第一数据交换比特单元(13)组成;第一模块单元(2)内的量子比特单元由第二谐振腔(14)耦合,通过第一数据交换比特单元(13)进行信息交换;
所述第二模块单元(3)主要由第六量子比特单元(15)、第七量子比特单元(16)、第八量子比特单元(17)、第九量子比特单元(18)构成,通过第二数据交换比特单元(19)、第三数据交换比特单元(20)实现信息交换。
3.根据权利要求2所述的双面超导量子芯片,其特征在于,所述第一量子比特单元(8)、第二量子比特单元(9)、第三量子比特单元(10)、第四量子比特单元(11)、第五量子比特单元(12)、第六量子比特单元(15)、第七量子比特单元(16)、第八量子比特单元(17)均为同一类型量子比特单元,主要由位于A面的XY控制位和Z控制位组成;十字电容,包含计算所需要的约瑟夫森结;
第九量子比特单元(18)为版图中心量子比特单元,包含两个通孔,通过十字电容分别与B面相应控制和读取位相连。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811161486.1A CN109494218B (zh) | 2018-09-30 | 2018-09-30 | 双面超导量子芯片 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811161486.1A CN109494218B (zh) | 2018-09-30 | 2018-09-30 | 双面超导量子芯片 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109494218A CN109494218A (zh) | 2019-03-19 |
CN109494218B true CN109494218B (zh) | 2021-07-30 |
Family
ID=65689568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811161486.1A Active CN109494218B (zh) | 2018-09-30 | 2018-09-30 | 双面超导量子芯片 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109494218B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110556477B (zh) * | 2019-09-10 | 2024-04-12 | 南方科技大学 | 一种超导量子计算芯片 |
CN110782035B (zh) * | 2019-09-12 | 2022-03-18 | 华东计算技术研究所(中国电子科技集团公司第三十二研究所) | 多耦合腔超导量子比特的版图结构及量子芯片 |
CN114326494A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-04-12 | 华东计算技术研究所(中国电子科技集团公司第三十二研究所) | 超导量子计算机的量子测控系统和方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103972226A (zh) * | 2013-01-28 | 2014-08-06 | 稳懋半导体股份有限公司 | 半导体集成电路 |
CN107346231A (zh) * | 2016-05-06 | 2017-11-14 | 成都海存艾匹科技有限公司 | 基于封装内查找表的可编程处理器 |
WO2017217960A1 (en) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | Intel Corporation | Josephson junction damascene fabrication |
CN107564868A (zh) * | 2017-07-07 | 2018-01-09 | 清华大学 | 一种超导量子计算芯片的集成封装结构和方法 |
WO2018052466A1 (en) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | Google Inc. | Superconducting interconnects in a printed circuit board |
WO2018125026A1 (en) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | Intel Corporation | Superconducting qubit device packages |
WO2018169585A1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-20 | Google Llc | Integrating circuit elements in a stacked quantum computing device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8841764B2 (en) * | 2012-01-31 | 2014-09-23 | International Business Machines Corporation | Superconducting quantum circuit having a resonant cavity thermalized with metal components |
-
2018
- 2018-09-30 CN CN201811161486.1A patent/CN109494218B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103972226A (zh) * | 2013-01-28 | 2014-08-06 | 稳懋半导体股份有限公司 | 半导体集成电路 |
CN107346231A (zh) * | 2016-05-06 | 2017-11-14 | 成都海存艾匹科技有限公司 | 基于封装内查找表的可编程处理器 |
WO2017217960A1 (en) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | Intel Corporation | Josephson junction damascene fabrication |
WO2018052466A1 (en) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | Google Inc. | Superconducting interconnects in a printed circuit board |
WO2018125026A1 (en) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | Intel Corporation | Superconducting qubit device packages |
WO2018169585A1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-20 | Google Llc | Integrating circuit elements in a stacked quantum computing device |
CN107564868A (zh) * | 2017-07-07 | 2018-01-09 | 清华大学 | 一种超导量子计算芯片的集成封装结构和方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Demonstration of Weight-Four Parity Measurements in the Surface Code Architecture;Maika Takita, A. D. Córcoles, Easwar Magesan et al;《Physical Review Letters》;20161118;第117卷(第2120505期);全文 * |
总线制8量子比特超导量子计算芯片设计与仿真;余玄,张颖珊,刘其春,蔡涵,赵昌昊,刘建设,陈炜;《微纳电子技术》;20161230;第53卷(第12期);全文 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109494218A (zh) | 2019-03-19 |
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GR01 | Patent grant | ||
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