CN109454051B - 2cl91型部件的me处理工艺 - Google Patents

2cl91型部件的me处理工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN109454051B
CN109454051B CN201811249196.2A CN201811249196A CN109454051B CN 109454051 B CN109454051 B CN 109454051B CN 201811249196 A CN201811249196 A CN 201811249196A CN 109454051 B CN109454051 B CN 109454051B
Authority
CN
China
Prior art keywords
tank
frame body
mould
plate frame
transverse plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811249196.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109454051A (zh
Inventor
严建萍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nantong Gaoxin Electronics Co ltd
Original Assignee
Nantong Gaoxin Electronics Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nantong Gaoxin Electronics Co ltd filed Critical Nantong Gaoxin Electronics Co ltd
Priority to CN201811249196.2A priority Critical patent/CN109454051B/zh
Publication of CN109454051A publication Critical patent/CN109454051A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109454051B publication Critical patent/CN109454051B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041—Cleaning
    • H01L21/02057—Cleaning during device manufacture

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

本发明涉及一种2CL91型部件的ME处理工艺；其采用ME处理装置对2CL91型部件进行ME处理，所述的ME处理装置包括分体设置的干燥装置、若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽、ME模具；所述的ME处理装置还包括分体设置的ME模具托架，所述的ME模具固定在ME模具托架上；所述ME处理工艺包括如下步骤：（1）操作准备；（2）ME处理；（3）烘干。设计合理，构思巧妙，改进了ME模具托架，解决了传统模具托架固定时不可以根据模具调整、灵活性较差的问题，且2CL91型部件经ME处理后、管芯折断减少，提高了合格率。

Description

2CL91型部件的ME处理工艺
技术领域
本发明涉及高压二极管ME处理技术，具体为一种2CL91型部件的ME处理工艺。
背景技术
高压二极管在组立工程，管芯与引线组装烧结后，部件由烧结石墨模转到ME模，在管芯表面上胶之前要进行ME处理高压二极管生产线化学处理二工序，采用碱处理化学清洗，去除芯片表面氧化物及杂质。ME模具必须安放专用工装不锈钢托架上，然后置于碱性溶液中进行化学清洗。
现有的ME模具托架在进行碱性溶液中进行化学清洗时，不易将装置从溶液中取出，容易伤人，在浸泡过程中不可以将模具固定，并且固定时不可以根据模具调整，灵活性较差。
2CL91型部件因其管芯瘦小经ME处理后，管芯折断率高，成品率低。
发明内容
为解决上述问题，本发明提出一种2CL91型部件的ME处理工艺，设计合理，构思巧妙，改进了ME模具托架，解决了传统模具托架固定时不可以根据模具调整、灵活性较差的问题，且2CL91型部件经ME处理后、管芯折断减少，提高了合格率。
一种2CL91型部件的ME处理工艺；其采用ME处理装置对2CL91型部件进行ME处理，所述的ME处理装置包括分体设置的干燥装置、若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽、ME模具；所述的ME处理装置还包括分体设置的ME模具托架，ME模具托架包括竖板架体、第一沥水手杆、第二沥水手杆、挡板、横板架体、连接杆和连接块，所述竖板架体的顶部安装有旋转轴，旋转轴上皆安装有连接杆，连接杆的顶端安装有连接块，且连接杆和连接块相互配合构成固定结构一，所述竖板架体内侧的底端安装有横板架体，横板架体顶端的中间位置安装有放置托板，且放置托板上均匀设置有挡板，所述横板架体的两端分别安装有第二固定螺栓，且第二固定螺栓与竖板架体连接，所述竖板架体外侧的顶端分别安装有第一沥水手杆和第二沥水手杆，竖板架体的一侧由上至下依次设置有第二横板和第一横板，且第二横板和第一横板相互配合构成固定结构二；所述竖板架体内侧的顶端安装有压棒，且压棒底部的一端安装有俯卧弹簧；所述俯卧弹簧安装在竖板架体远离第二沥水手杆一侧的顶端，且俯卧弹簧与压棒相互配合构成压棒结构；所述的ME模具通过固定结构二固定在ME模具托架上。
所述ME处理工艺包括如下步骤：
（1）操作准备
正式作业前10分钟打开干燥装置的阀门。
ME处理装置的各个纯水槽的流量均调节为13±3L/min。
打开超声波清洗槽的纯水阀门，使纯水流量为12±1L/min，并让纯水先流动5分钟后；并调节超声波频率。
分别向第一丙酮槽、第二丙酮槽内倒进14±0.5L丙酮。
分别打开第一KOH槽、第二KOH槽的氮气流量阀门，确认流量不大于3L/分。
（2）ME处理
将装有2CL91型部件的ME模具固定在ME模具托架，通过ME模具托架将装有2CL91型部件的ME模具依次放入若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽进行清洗。
（3）烘干
将ME处理完的2CL91型部件放置到干燥装置，进行烘干，完成2CL91型部件的ME处理。
对上述技术方案作进一步的改进和细化，所述第二横板的两端皆安装有第一固定螺栓，且第一横板的两端皆安装有第一固定螺栓。
对上述技术方案作进一步的改进和细化，所述放置托板上均匀设置有安装孔，且安装孔与挡板相互配合构成可拆卸结构。
本发明优点是，采用ME模具托架，通过在所述竖板架体内侧的底端安装有横板架体，横板架体顶端的中间位置安装有放置托板，且放置托板上均匀设置有挡板，实现了装置可以对ME模具进行固定，使装置具有固定性，更具有安全性，通过在所述竖板架体外侧的顶端分别安装有第一沥水手杆和第二沥水手杆，竖板架体的一侧依次设置有第二横板和第一横板，且第二横板和第一横板相互配合构成固定结构，实现了装置带有沥水把手，使装置更具人性化，更加便捷，本发明通过在所述放置托板上均匀设置有安装孔，且安装孔与挡板相互配合构成可拆卸结构，实现了装置具有可拆卸性，并且挡板根据模具的大小可调整，实现了装置具有灵活性；减小氮气流量为3L/分，满足KOH槽清洗需求的同时腐蚀程度减缓，冲击力减小，管芯折断减少，提高了合格率，改进前2CL91型产品JCR合格率平均80%左右，改进后JCR合格率提高到90%左右。
附图说明
图1为ME模具托架的结构示意图。
图2为ME模具托架的连接结构示意图。
图3为ME模具托架的放置托板俯视结构示意图。
图中：1、竖板架体；2、第一固定螺栓；3、第一沥水手杆；4、旋转轴；5、压棒；6、俯卧弹簧；7、第二沥水手杆；8、第一横板；9、挡板；10、第二横板；11、第二固定螺栓；12、横板架体；13、放置托板；14、安装孔；15、连接块；16、连接杆。
具体实施方式
如图1-3所示，一种2CL91型部件的ME处理工艺；其采用ME处理装置对2CL91型部件进行ME处理，所述的ME处理装置包括分体设置的干燥装置、若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽、ME模具；所述的ME处理装置还包括分体设置的ME模具托架，ME模具托架包括竖板架体1、第一沥水手杆3、第二沥水手杆7挡板9、横板架体12、连接杆16和连接块15，竖板架体1远离第二沥水手杆7一侧的顶端安装有俯卧弹簧6，且俯卧弹簧6与压棒5相互配合构成压棒结构，竖板架体1的顶部安装有旋转轴4，竖板架体1内侧的顶端安装有压棒5，且压棒5底部的一端安装有俯卧弹簧6，旋转轴4上皆安装有连接杆16，连接杆16的顶端安装有连接块15，且连接杆16和连接块15相互配合构成固定结构一，放置托板13上均匀设置有安装孔14，且安装孔14与挡板9相互配合构成可拆卸结构，竖板架体1内侧的底端安装有横板架体12，横板架体12顶端的中间位置安装有放置托板13，且放置托板13上均匀设置有挡板9，横板架体12的两端分别安装有第二固定螺栓11，且第二固定螺栓11与竖板架体1连接，竖板架体1外侧的顶端分别安装有第一沥水手杆3和第二沥水手杆7，竖板架体1的一侧由上至下依次设置有第二横板10和第一横板8，第二横板10的两端皆安装有第一固定螺栓2，且第一横板8的两端皆安装有第一固定螺栓2，且第二横板10和第一横板8相互配合构成固定结构二；所述竖板架体1内侧的顶端安装有压棒5，且压棒5底部的一端安装有俯卧弹簧6；所述竖板架体1远离第二沥水手杆7一侧的顶端安装有俯卧弹簧6，且俯卧弹簧6与压棒5相互配合构成压棒结构；所述的ME模具通过固定结构二固定在ME模具托架上；所述第二横板10的两端皆安装有第一固定螺栓2，且第一横板8的两端皆安装有第一固定螺栓2；所述放置托板13上均匀设置有安装孔14，且安装孔14与挡板9相互配合构成可拆卸结构。
所述ME处理工艺包括如下步骤：
（1）操作准备
正式作业前10分钟打开干燥装置的阀门。
ME处理装置的各个纯水槽的流量均调节为13±3L/min。
打开超声波清洗槽的纯水阀门，使纯水流量为12±1L/min，并让纯水先流动5分钟后；并调节超声波频率。
分别向第一丙酮槽、第二丙酮槽内倒进14±0.5L丙酮。
分别打开第一KOH槽、第二KOH槽的氮气流量阀门，确认流量不大于3L/分。
（2）ME处理
将装有2CL91型部件的ME模具固定在ME模具托架，通过ME模具托架将装有2CL91型部件的ME模具依次放入若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽进行清洗。
（3）烘干
将ME处理完的2CL91型部件放置到干燥装置，进行烘干，完成2CL91型部件的ME处理。
由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种2CL91型部件的ME处理工艺，其采用ME处理装置对2CL91型部件进行ME处理，所述的ME处理装置包括分体设置的干燥装置、若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽、ME模具；其特征在于，所述的ME处理装置还包括分体设置的ME模具托架，ME模具托架包括竖板架体、第一沥水手杆、第二沥水手杆、挡板、横板架体、连接杆和连接块，所述竖板架体的顶部安装有旋转轴，旋转轴上皆安装有连接杆，连接杆的顶端安装有连接块，且连接杆和连接块相互配合构成固定结构一，所述竖板架体内侧的底端安装有横板架体，横板架体顶端的中间位置安装有放置托板，且放置托板上均匀设置有挡板，所述横板架体的两端分别安装有第二固定螺栓，且第二固定螺栓与竖板架体连接，所述竖板架体外侧的顶端分别安装有第一沥水手杆和第二沥水手杆，竖板架体的一侧从上到下依次设置有第二横板和第一横板，且第二横板和第一横板相互配合构成固定结构二；所述竖板架体内侧的顶端安装有压棒，且压棒底部的一端安装有俯卧弹簧，所述的俯卧弹簧安装在竖板架体远离第二沥水手杆一侧的顶端且俯卧弹簧与压棒相互配合构成压棒结构；所述的ME模具通过固定结构二固定在ME模具托架上；
所述ME处理工艺包括如下步骤：
（1）操作准备
正式作业前10分钟打开干燥装置的阀门；
ME处理装置的各个纯水槽的流量均调节为13±3L/min；
打开超声波清洗槽的纯水阀门，使纯水流量为12±1L/min，并让纯水先流动5分钟后；并调节超声波频率；
分别向第一丙酮槽、第二丙酮槽内倒进14±0.5L丙酮；
分别打开第一KOH槽、第二KOH槽的氮气流量阀门，确认流量不大于3L/分；
（2）ME处理
将装有2CL91型部件的ME模具固定在ME模具托架，通过ME模具托架将装有2CL91型部件的ME模具依次放入若干纯水槽、超声波清洗槽、第一丙酮槽、第二丙酮槽、第一KOH槽、第二KOH槽进行清洗；
（3）烘干
将ME处理完的2CL91型部件放置到干燥装置，进行烘干，完成2CL91型部件的ME处理。
2.根据权利要求1所述的一种2CL91型部件的ME处理工艺，其特征在于：所述第二横板的两端皆安装有第一固定螺栓，且第一横板的两端皆安装有第一固定螺栓。
3.根据权利要求1所述的一种2CL91型部件的ME处理工艺，其特征在于：所述放置托板上均匀设置有安装孔，且安装孔与挡板相互配合构成可拆卸结构。
CN201811249196.2A 2018-10-25 2018-10-25 2cl91型部件的me处理工艺 Active CN109454051B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811249196.2A CN109454051B (zh) 2018-10-25 2018-10-25 2cl91型部件的me处理工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811249196.2A CN109454051B (zh) 2018-10-25 2018-10-25 2cl91型部件的me处理工艺

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109454051A CN109454051A (zh) 2019-03-12
CN109454051B true CN109454051B (zh) 2021-07-23

Family

ID=65608311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811249196.2A Active CN109454051B (zh) 2018-10-25 2018-10-25 2cl91型部件的me处理工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109454051B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321582A (ja) * 1997-05-14 1998-12-04 Sanken Electric Co Ltd 半導体装置の汚れ除去方法
CN1228197A (zh) * 1996-08-20 1999-09-08 奥加诺株式会社 清洗电子元件构件或类似零件的方法和装置
CN201223861Y (zh) * 2008-05-27 2009-04-22 苏州工业职业技术学院 电子元件的清洗装置
CN103346082A (zh) * 2013-06-25 2013-10-09 南通皋鑫电子股份有限公司 高压二极管台面钝化前的碱处理工艺
CN103785641A (zh) * 2012-10-30 2014-05-14 王红亚 一种新的清洗工艺
CN204538002U (zh) * 2015-03-31 2015-08-05 上海超硅半导体有限公司 硅片花篮夹持装置
CN205914438U (zh) * 2016-07-14 2017-02-01 安徽安美半导体有限公司 一种二极管清洗机

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1228197A (zh) * 1996-08-20 1999-09-08 奥加诺株式会社 清洗电子元件构件或类似零件的方法和装置
JPH10321582A (ja) * 1997-05-14 1998-12-04 Sanken Electric Co Ltd 半導体装置の汚れ除去方法
CN201223861Y (zh) * 2008-05-27 2009-04-22 苏州工业职业技术学院 电子元件的清洗装置
CN103785641A (zh) * 2012-10-30 2014-05-14 王红亚 一种新的清洗工艺
CN103346082A (zh) * 2013-06-25 2013-10-09 南通皋鑫电子股份有限公司 高压二极管台面钝化前的碱处理工艺
CN204538002U (zh) * 2015-03-31 2015-08-05 上海超硅半导体有限公司 硅片花篮夹持装置
CN205914438U (zh) * 2016-07-14 2017-02-01 安徽安美半导体有限公司 一种二极管清洗机

Also Published As

Publication number Publication date
CN109454051A (zh) 2019-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103252477B (zh) 一种空心叶片陶瓷型芯高效脱除设备
CN108746370A (zh) 一种带有自动清洁装置的冲压模具
CN109454051B (zh) 2cl91型部件的me处理工艺
CN204233854U (zh) 超声波自清洗过滤器
CN201936707U (zh) 新型自动绝缘子胶装机
CN117428173A (zh) 一种高压箱盖加工用成型模具
CN210172473U (zh) 一种便于脱模的铝合金轮毂旋压模具
CN209379894U (zh) 一种汽车轮毂加工用拆模装置
CN208245554U (zh) 一种切边模装置
CN109746416A (zh) 一种低压分流装置
CN212528131U (zh) 一种氧化铝陶瓷的成型装置
CN112077290A (zh) 一种五金生产用不锈钢快速浇注装置
CN205088287U (zh) 齿圈防变形淬火装置
CN211616510U (zh) 一种节能环保的注塑产品加工用冷却装置
CN208743483U (zh) 一种汽车螺母板的拉深成型模具
CN210253840U (zh) 一种分离式五金模具
CN207250316U (zh) 变压器浇注线圈脱模装置
CN109550905B (zh) 一种清除模具铝飞皮的方法
CN105330130A (zh) 一种新型玻璃压制成型机
CN211807611U (zh) 一种注塑磨具用固定装置
CN220329924U (zh) 一种铝锭加工生产用浇注成型设备
CN214075984U (zh) 中空纤维膜组件离心浇注的注胶装置
CN216728542U (zh) 一种筒状不锈钢模具加工用清洗装置
CN202725543U (zh) 一种模具清洗机
CN209434306U (zh) 一种扣式电池生产用压合装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant