CN109444165A - 芯片条显微镜检验夹具 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种芯片条显微镜检验夹具，芯片检验技术领域，包括夹具体和夹紧体，夹具体用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面；夹紧体设置于夹具体上，用于固定待检测的芯片条。本发明提供的芯片条显微镜检验夹具，使用时，将芯片条固定到夹紧体上，芯片条的腔面朝上，与显微镜头相对，夹紧体连接到夹具体上，避免芯片条的腔面与其他物体接触，防止对芯片条的腔面造成损伤和沾污，进而更好的对芯片条进行显微镜检验，避免后续工艺的浪费。

Description

芯片条显微镜检验夹具

技术领域

本发明属于芯片检验技术领域，更具体地说，是涉及一种半导体激光器芯片腔面检验的芯片条显微镜检验夹具。

背景技术

随着半导体激光器芯片输出功率的不断提高，对其可靠性的要求也逐渐提高。激光器芯片腔面的形貌对可靠性提升起着至关重要的作用，腔面的形貌包括腔面解理纹理、机械损伤、异物污染或腔面膜不均匀形成的彩条。这些腔面形貌需要早期发现，待载体烧结完成后再进行腔面检验，不仅不能及时发现问题，还可能引发载体等物料和烧结工时的浪费，因此镀膜后进行裸芯片条的腔面检验尤为重要。腔面检验时芯片条需要竖立放置，必须避免在显微镜检验过程中前后端腔面接触任何物体进而引入沾污等情况，影响成品率以及后续烧结工艺，进而影响芯片条的可靠性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种芯片条显微镜检验夹具，以避免芯片检验过程中腔面造成污染的问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种芯片条显微镜检验夹具，包括：

夹具体，用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，所述夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面；

夹紧体，设置于所述夹具体上，用于夹持待检测的芯片条。；

进一步地，所述夹具还包括金属丝弹簧，设于所述夹紧体远离所述夹具体的一侧，用于将芯片条夹持到所述夹紧体上。

进一步地，所述夹具体为长条块，其横断面为矩形结构，所述夹具体沿其长度方向设有长条插槽，所述长条插槽的两个内壁均与所述夹具体相对的两个长条面平行，所述夹紧体的另一侧夹持在所述长条插槽内。

进一步地，所述夹具体其中的一个长条面设有穿过所述长条插槽的一个内壁用于抵顶所述夹紧体的锁紧螺钉，另一个所述长条面为支撑平面，用于与所述显微镜的检验台接触。

进一步地，所述长条插槽自所述夹具体长度方向的一端向所述夹具体另一端延伸，且其长度小于所述夹具体的长度。

进一步地，所述长条插槽的长度与所述夹具体的长度相同。

进一步地，所述夹紧体的结构为长条薄片，其长度方向相对的两个侧面，用于插入所述长条插槽的侧面且沿该侧面长度方向设有设有长条卡槽，另一个侧面且沿该侧面长度方向设有设有多个用于定位芯片条的凸块；

所述夹紧体相对的两个表面，其中的一个表面设有多个与所述长条卡槽垂直且连通的斜槽，所述斜槽的数量与所述凸块的数量相同且一一对应，所述斜槽延伸并穿过所述凸块，所述凸块上与所述长条卡槽相对的一侧面设有与所述斜槽垂直且连通的凹槽；

所述金属丝弹簧为折弯件，包括沿所述长条卡槽设置的横直部、沿所述斜槽设置的竖直部和沿所述凹槽设置的卡紧弯曲部。

进一步地，所述凸块的两个表面分别与所述夹紧体相对的两个大面平齐。

进一步地，所述夹紧体的厚度为2-3mm。

进一步地，所述夹具体和所述夹紧体均为金属制件。

本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的有益效果在于：与现有技术相比，本发明芯片条显微镜检验夹具，使用时，将芯片条固定到夹紧体上，芯片条的腔面的朝上，夹紧体连接到夹具体上，夹具体放置到显微镜的检验台上，通过夹具体，使得夹紧体上的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，避免芯片条的腔面与其他物体接触，防止对芯片条的腔面造成损伤和沾污，进而更好的对芯片条进行显微镜检验，避免后续工艺的浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的芯片条显微镜检验夹具的结构示意图；

图2为图1提供的芯片条显微镜检验夹具的俯视结构示意图；

图3为图1提供的芯片条显微镜检验夹具的夹具体的俯视结构示意图；

图4为图1所示的芯片条显微镜检验夹具的夹紧体的主视结构示意图；

图5为图4提供的夹紧体的俯视结构示意图；

图6为图4提供的夹紧体的仰视结构示意图；

图7为图1提供的金属丝弹簧的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的芯片条显微镜检验夹具夹紧芯片条状态的结构图；

图9为芯片条的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1-金属丝弹簧；11-横直部；12-竖直部；13-卡紧弯曲部；2-夹紧体；21-凸块；22-斜槽；23-凹槽；24-长条卡槽；3-夹具体；31-长条插槽；4-锁紧螺钉；5-芯片条；6-腔面。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请一并参阅图1及图2，现对本发明提供的芯片条显微镜检验夹具进行说明。所述芯片条显微镜检验夹具，包括夹具体3和夹紧体2，夹具体3用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，夹具体3具有用于与显微镜的检验台接触的支撑平面；夹紧体2设置于夹具体3上，用于固定待检测的芯片条5。

本发明提供的芯片条显微镜检验夹具，与现有技术相比，使用时，将芯片条固定到夹紧体2上，不与其他物体接触，夹紧体2连接到夹具体3上，芯片条5的腔面6的朝上，夹具体3放置到检验台上，芯片条在夹具体的支撑下与显微镜的检验台保持一定的距离，避免芯片条5的腔面与其他物体接触，防止对芯片条5的腔面造成损伤和沾污，进而更好的对芯片条5进行显微镜检验，避免后续工艺的浪费。其中，芯片条的结构如图9所示，图8为使用状态的俯视结构示意图。

请一并参阅图1、图2及图8，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，金属丝弹簧1设于夹紧体2远离夹具体3的一侧，用于将芯片条夹持到夹紧体2上。本实施例包括夹具体3、夹紧体2和金属丝弹簧1，夹具体3用于支撑芯片条5离开检验台一定的距离，夹紧体2和金属丝弹簧1共同夹紧芯片条5。使用时，抬起金属丝弹簧，将芯片条的表面与夹紧体相贴，金属丝弹簧1压紧芯片条5的另一表面，金属丝弹簧1压紧接触芯片条5的表面，然后将夹紧体夹持到夹具体3，此时芯片条5的腔面向上，将夹具体放置到检验台上，即可对芯片条的腔面进行显微镜检验，避免对芯片条的腔面造成损伤和沾污，进而更好的对芯片条进行显微镜检验，避免后续工艺的浪费。

本实施例提供的夹具，结构简单，使用方便，使用时，夹具体3的支撑平面与检验台接触，芯片条的腔面向上，如图8所示，芯片条与检验台的台面之间有一定的间距，可以在显微镜下对芯片条进行显微镜检验，如此减少了外观检验过程中对芯片的沾污及损伤，提高了外观检验效率。

作为一个实施例，可以在夹具放置芯片条的位置打孔连接真空，也可起到固定芯片条的作用。

另外该夹具也可借助蓝膜粘附芯片条的背面对其进行显微镜检验，即在夹具平台上粘上细条蓝膜，将芯片条背面粘在具有粘性的膜上，进而可以在显微镜上对腔面进行显微镜检验。

请一并参阅图1至图3，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，夹具体3为长条块，其横断面为矩形结构，夹具体3沿其长度方向设有长条插槽31，长条插槽31的两个内壁均与夹具体3相对的两个长条面平行，夹紧体2的另一侧夹持在长条插槽31内。使用时，将夹紧体2插入长条插槽31内即可。

请参阅图1至图3、图8，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，夹具体3其中的一个长条面设有穿过长条插槽31的一个内壁用于抵顶夹紧体2的锁紧螺钉4，另一个长条面为支撑平面，用于与所述显微镜的检验台接触。使用锁紧螺钉4，当夹紧体2插入长条插槽31后，锁紧螺钉4的端部抵顶夹紧体2，即可防止夹紧体2晃动。锁紧螺钉在夹具体与支撑平面面相对的长条面上，使用状态时，锁紧螺钉在上，支撑平面与显微镜的检验台直接接触，腔面朝上，调整显微镜的镜头，即可观测腔面。

参阅图1至图3，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，长条插槽31自夹具体3长度方向的一端向所述夹具体3另一端延伸，且其长度小于所述夹具体3的长度。本实施例中，长条插槽31的一端封闭，使用时，夹紧体2插入长条插槽31后，夹紧体2的一端抵顶长条插槽31的封闭端，对夹紧体2起到定位限位的作用。

作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，长条插槽31的长度与夹具体3的长度相同，本实施例没有附图，其实质是，长条插槽31沿长度方向贯穿，两端均没有封口，对夹紧体2的定位通过锁紧螺钉4。

请参阅图1、图2、图4至图6，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，夹紧体2的结构为长条薄片，其长度方向相对的两个侧面中，用于插入长条插槽31的侧面且沿该侧面长度方向设有长条卡槽24，另一个侧面且沿该侧面长度方向设有多个用于定位芯片条的凸块21；夹紧体2相对的两个表面，其中的一个表面设有多个与长条卡槽24垂直且连通的斜槽22，斜槽22的数量与所述凸块21的数量相同且一一对应，斜槽22延伸并穿过凸块21，凸块21上与长条卡槽24相对的一侧面设有与斜槽22垂直且连通的凹槽23；金属丝弹簧1为折弯件，如图7所示，包括沿长条卡槽24设置的横直部11、沿所述斜槽22设置的竖直部12和沿凹槽23设置的卡紧弯曲部13。金属丝弹簧1的横直部11、竖直部12和卡紧弯曲部13依次沿长条卡槽24、斜槽22和凹槽23走向，使用时，将卡紧弯曲部13搬起，当芯片条放置于两个凸块21之间，且芯片条的一侧边抵顶凸块21的一个侧边，将卡紧弯曲部13压紧在芯片条的窄面，而金属丝弹簧1由于横直部11的作用，防止了其脱落。

本文中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

另外，本文中为便于描述，采用了术语“长度”、“宽度”、“竖直”、“横直”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参阅图4及图5，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，凸块21的两个表面分别与夹紧体2相对的两个表面平齐。其中，凸块21与夹紧体2一体成型，一方面用于卡住金属丝弹簧1，另一方面对芯片条进行定位。

请参阅图5至图6，作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，夹紧体2的厚度为2-3mm。夹紧体为薄片设计且夹紧体两表面平滑，宽度为2mm，以尽可能适用于不同腔长的芯片条，可以使其在显微镜检验时不受限于芯片条的腔长进而观察到芯片条的腔面。

作为本发明提供的芯片条显微镜检验夹具的一种具体实施方式，夹具体3和夹紧体2均为金属制件。

本实施例中，采用金属丝弹簧1将芯片条固定在比芯片条宽的夹紧体2上，固定结构确保激光器芯片条前后端腔面不与其他物体接触；夹紧体2再固定在夹具体3上，确保显微镜物镜观察的空间，夹紧体2两个表面光滑平整；夹紧体2上设计用于卡紧金属丝弹簧1的长条卡槽、斜槽和凹槽，可以使芯片条显微镜检验时无需借助显微镜检验夹具两侧表面多余凸出的设计固定芯片条，以至于遮挡显微镜镜头影响显微镜检验，避免了显微镜检验时遮挡芯片条腔面的问题。

使用时，具体操作方法如下：

1)把待检芯片条放置到显微镜检验夹具上并由金属丝弹簧1固定，用锁紧螺钉4将夹紧体2与夹具体3固定在一起，如图8所示；

2)将放有待检芯片条的夹具体放置在检验台上，加紧体加持到长条插槽内用锁紧螺钉锁紧，使芯片条此时呈竖立状态，芯片条悬空，腔面朝上，在显微镜下进行显微镜检验。

或者是：使用时，直接把夹具体放在显微镜检验台上，加紧体水平平放到夹具体上，芯片条悬空，腔面朝上即可。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.芯片条显微镜检验夹具，其特征在于，包括：

夹具体，用于使夹持的芯片条与显微镜的检验台保持一定的距离，所述夹具体具有用于与所述显微镜的检验台接触的支撑平面；

夹紧体，设置于所述夹具体上，用于固定待检测的芯片条。

2.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述夹紧体远离所述夹具体的一侧设有金属丝弹簧，用于将芯片条夹持到所述夹紧体上。

3.如权利要求2所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述夹具体为长条块，其横断面为矩形结构，所述夹具体沿其长度方向设有长条插槽，所述长条插槽的两个内壁均与所述夹具体相对的两个长条面平行，所述夹紧体的另一侧夹持在所述长条插槽内。

4.如权利要求3所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述夹具体其中的一个长条面设有穿过所述长条插槽的一个内壁用于抵顶所述夹紧体的锁紧螺钉，另一个所述长条面为支撑平面，用于与所述显微镜的检验台接触。

5.如权利要求4所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述长条插槽自所述夹具体长度方向的一端向所述夹具体另一端延伸，且其长度小于所述夹具体的长度。

6.如权利要求4所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述长条插槽的长度与所述夹具体的长度相同。

7.如权利要求3至6任一项所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述夹紧体的结构为长条薄片，其长度方向相对的两个侧面，用于插入所述长条插槽的侧面且沿该侧面长度方向设有长条卡槽，另一个侧面且沿该侧面长度方向设有多个用于定位芯片条的凸块；

所述夹紧体相对的两个表面，其中的一个表面设有多个与所述长条卡槽垂直且连通的斜槽，所述斜槽的数量与所述凸块的数量相同且一一对应，所述斜槽延伸并穿过所述凸块，所述凸块上与所述长条卡槽相对的一侧面设有与所述斜槽垂直且连通的凹槽；

所述金属丝弹簧为折弯件，包括沿所述长条卡槽设置的横直部、沿所述斜槽设置的竖直部和沿所述凹槽设置的卡紧弯曲部。

8.如权利要求7所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述凸块的两个表面分别与所述夹紧体相对的两个表面平齐。

9.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述夹紧体的厚度为2-3mm。

10.如权利要求1所述的芯片条显微镜检验夹具，其特征在于：所述夹具体和所述夹紧体均为金属制件。