CN215701046U - 一种夹持工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种夹持工装，该夹持工装包括承载台、两个固定座、第一夹持件和第二夹持件，其中，两个固定座相对设置，且均固定于承载台的上表面。第一夹持件和第二夹持件均设于承载台，且第一夹持件位于两个固定座之间，第一夹持件具有靠近第二夹持件以夹持工件的夹持位置与远离第二夹持件以释放工件的释放位置；第一夹持件靠近第二夹持件的一侧设有刻度线。本实用新型通过能向第二夹持件靠近的第一夹持件，能将工件竖直放入第一夹持件和第二夹持件之间的缝隙以进行夹持，将工件的侧面朝向显微镜的镜头，结构简单易操作。第一夹持件设置刻度线，能对被夹持的工件进行BMD定位测试，提高了测试位置的准确性。

Description

一种夹持工装

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种夹持工装。

背景技术

晶圆在进行BMD(Bulk Microdefect，体微缺陷)测试时，需要测试晶圆沿着直径方向解理面上的缺陷数量，来评估晶体的原生性能。

但是一般的显微镜只能将样品放置于检测台，无法将样品竖立起来固定，只能测试垂直于镜头的平面，且无法对待测的晶圆进行BMD定位测试。

有鉴于此，亟需研究一种能将晶圆竖立起来固定的工具。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹持工装，以解决现有技术中无法将晶圆竖立起来固定、且无法BMD定位测试的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种夹持工装，该夹持工装包括：

承载台；

两个固定座，两个所述固定座相对设置，且均固定于所述承载台的上表面；

第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件和所述第二夹持件均设于所述承载台，且所述第一夹持件位于两个所述固定座之间，所述第一夹持件具有靠近所述第二夹持件以夹持工件的夹持位置与远离所述第二夹持件以释放所述工件的释放位置；所述第一夹持件靠近所述第二夹持件的一侧且背离所述承载台的表面设有刻度线。

作为优选，所述第二夹持件固设于所述承载台，所述第一夹持件滑动设于所述承载台，所述第一夹持件通过滑动在所述释放位置和所述夹持位置之间切换。

作为优选，所述第一夹持件的两端分别设有一个滑槽，所述固定座设有滑块，两个所述滑槽分别和位于所述第一夹持件两侧的两个所述固定座的所述滑块滑动配合。

作为优选，所述第二夹持件和所述承载台螺接。

作为优选，所述固定座的截面形状为半圆形，两个所述固定座的平面相对设置，所述第一夹持件的两个端面分别和两个所述固定座的平面滑动配合。

作为优选，还包括弹性件，所述弹性件设于所述第一夹持件和所述承载台之间，所述弹性件使所述第一夹持件止动于所述第二夹持件。

作为优选，还包括第三夹持件和弹性件，所述第三夹持件固设于所述承载台，且位于所述第一夹持件远离所述第二夹持件的一侧，所述弹性件设于所述第一夹持件和所述第三夹持件之间，所述弹性件使所述第一夹持件止动于所述第二夹持件。

作为优选，所述第一夹持件设有第一安装孔，所述第三夹持件设有第二安装孔，所述弹性件的两端分别插装于所述第一安装孔和所述第二安装孔内。

作为优选，所述第一安装孔和所述第二安装孔的深度尺寸之和大于所述弹性件被完全压缩时的长度尺寸。

作为优选，所述弹性件设有两个，两个所述弹性件平行且间隔设置于所述第一夹持件和所述第三夹持件之间。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种夹持工装，该夹持工装包括承载台、两个固定座、第一夹持件和第二夹持件，两个固定座相对设置，且均固定于承载台的上表面；第一夹持件和第二夹持件均设于承载台，第一夹持件位于两个固定座之间，第一夹持件具有靠近第二夹持件以夹持工件的夹持位置与远离第二夹持件以释放工件的释放位置；第一夹持件靠近第二夹持件的一侧且背离承载台的表面设有刻度线。

通过设置第一夹持件和第二夹持件，第一夹持件具有靠近第二夹持件以夹持工件的夹持位置与远离第二夹持件以释放工件的释放位置，当第一夹持件位于释放位置时，可以将工件竖直放入第一夹持件和第二夹持件之间的缝隙，然后第一夹持件靠近第二夹持件借助工件的两个端面将工件夹紧，可以将工件的侧面朝向显微镜的镜头，结构简单易操作。第一夹持件设置刻度线，能对被夹持的工件进行BMD定位测试，提高了测试位置的准确性。

附图说明

图1为本实用新型实施例中夹持工装的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中夹持工装(不含承载台)的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中固定座的结构示意图。

图中：

1、承载台；

2、固定座；21、滑块；

3、第一夹持件；31、刻度线；32、滑槽；

4、第二夹持件；

5、第三夹持件；

6、弹性件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-3所示，本实施例提供一种夹持工装，该夹持工装包括承载台1、两个固定座2、第一夹持件3和第二夹持件4，其中，两个固定座2相对设置，且均固定于承载台1的上表面。第一夹持件3和第二夹持件4均设于承载台1，且第一夹持件3位于两个固定座2之间，第一夹持件3具有靠近第二夹持件4以夹持工件的夹持位置与远离第二夹持件4以释放工件的释放位置；第一夹持件3靠近第二夹持件4的一侧且背离承载台1的表面设有刻度线31，可选地，每个刻度线31间隔5mm，总长度为160mm，左端为起始点，参考图1中的视角。

本实施例中，通过设置第一夹持件3和第二夹持件4，第一夹持件3具有靠近第二夹持件4以夹持工件的夹持位置与远离第二夹持件4以释放工件的释放位置，当第一夹持件3位于释放位置时，可以将工件竖直放入第一夹持件3和第二夹持件4之间的缝隙，然后第一夹持件3靠近第二夹持件4并借助工件的两个端面将工件夹紧，即夹紧工件的两个端面，可以将工件的侧面朝向显微镜的镜头，结构简单易操作。第一夹持件3设置刻度线31，能对被夹持的工件进行读数，了解工件的尺寸，能对工件进行BMD定位测试，提高了测试位置的准确性，也提高了工件的测试效率。本实施例中，工件为长度为10mm的硅片，当然，在其他实施例中，还可以为其他产品，并不以此为限。

其中，第一夹持件3设于两个固定座2之间，能限制第一夹持件3在两个固定座2之间移动，防止在移动过程发生偏移。

将两个固定座2固定于承载台1的上表面，避免对承载台1进行特殊的加工，提高了夹持工装的安装效率。

本实施例中，可选地，第二夹持件4固设于承载台1，第一夹持件3滑动设于承载台1，第一夹持件3通过滑动在释放位置和夹持位置切换。借助上述设置，使得第一夹持件3通过滑动即可向第二夹持件4靠近或者远离，结构简单，易操作，制造成本低。

当然，在其他实施例中，第一夹持件3还可以转动设于承载台1，并不以此为限。具体地，当第一夹持件3转动过程中可以靠近或者远离第二夹持件4。进一步地，第一夹持件3和第二夹持件4之间可以设置拉簧，拉簧使得第一夹持件3止动于第二夹持件4。

关于第一夹持件3连接方式，本实施例中，具体地，第一夹持件3的两端分别设有一个滑槽32，可选地，滑槽32的开口朝向与第一夹持件3相邻的固定座2，优选地，滑槽32长30mm，深度为5mm。固定座2设有滑块21，两个滑槽32分别和位于第一夹持件3两侧的两个固定座2的滑块21滑动配合。借助该设置，使得第一夹持件3沿滑块21滑动，且能防止第一夹持件3在滑动过程中和承载台1分离。

可选地，滑块21的长度为滑槽32长度的1/4-1/2。当然，在其他实施例中，滑块21和滑槽32的长度可以根据需要夹持的工件的尺寸进行调整。

在本实施例中，可选地，第二夹持件4和承载台1螺接。螺接的方式简单，便于安装，且成本低，也便于在第二夹持件4受到磨损时及时更换。当然，在其他实施例中，第二夹持件4和承载台1之间可以通过焊接、卡接等其他固接方式连接。

作为优选，固定座2的截面形状为半圆形，两个固定座2的平面相对设置，第一夹持件3的两个端面分别和两个固定座2的平面滑动配合。平面结构可以对第一夹持件3的滑动方向进行导向，圆形结构在外侧，防止将使用者划伤，提高使用者的舒适性和安全性。

进一步地，夹持工装还包括弹性件6，弹性件6设于第一夹持件3和承载台1之间，弹性件6使第一夹持件3止动于第二夹持件4。该设置使得第一夹持件3保持在夹持位置，且弹性件6的设置既能夹紧工件，也能为工件的夹紧提供可控的压力，避免将工件夹碎，提高了测试的安全性。

在其他实施例中，可选地，夹持工装还包括第三夹持件5和弹性件6，第三夹持件5固设于承载台1，且位于第一夹持件3远离第二夹持件4的一侧，弹性件6设于第一夹持件3和第三夹持件5之间，弹性件6使第一夹持件3止动于第二夹持件4。该设置便于弹性件6的安装。优选地，弹性件6为压簧。

进一步地，本实施例中，第一夹持件3设有第一安装孔，第三夹持件5设有第二安装孔，弹性件6的两端分别插装于第一安装孔和第二安装孔内。该设置进一步提高了弹性件6的安装效率。

再进一步地，第一安装孔和第二安装孔的深度尺寸之和大于弹性件6被完全压缩时的长度尺寸。借助上述设置，在将第一夹持件3向第三夹持件5拖动时，不会受到弹性件6的阻碍，进而不会对弹性件6造成损伤。

可选地，弹性件6设有两个，两个弹性件6平行且间隔设置于第一夹持件3和第三夹持件5之间。该设置使得第一夹持件3在滑动时能保持平衡，避免卡死，提高了工作效率。

可选地，固定座2和承载台1螺接。当然，二者之间也可以粘接或者卡接，并不以此为限。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种夹持工装，其特征在于，包括：

承载台(1)；

两个固定座(2)，两个所述固定座(2)相对设置，且均固定于所述承载台(1)的上表面；

第一夹持件(3)和第二夹持件(4)，所述第一夹持件(3)和所述第二夹持件(4)均设于所述承载台(1)，且所述第一夹持件(3)位于两个所述固定座(2)之间，所述第一夹持件(3)具有靠近所述第二夹持件(4)以夹持工件的夹持位置与远离所述第二夹持件(4)以释放所述工件的释放位置；所述第一夹持件(3)靠近所述第二夹持件(4)的一侧且背离所述承载台(1)的表面设有刻度线(31)。

2.根据权利要求1所述的夹持工装，其特征在于，所述第二夹持件(4)固设于所述承载台(1)，所述第一夹持件(3)滑动设于所述承载台(1)，所述第一夹持件(3)通过滑动在所述释放位置和所述夹持位置之间切换。

3.根据权利要求2所述的夹持工装，其特征在于，所述第一夹持件(3)的两端分别设有一个滑槽(32)，所述固定座(2)设有滑块(21)，两个所述滑槽(32)分别和位于所述第一夹持件(3)两侧的两个所述固定座(2)的所述滑块(21)滑动配合。

4.根据权利要求2所述的夹持工装，其特征在于，所述第二夹持件(4)和所述承载台(1)螺接。

5.根据权利要求1所述的夹持工装，其特征在于，所述固定座(2)的截面形状为半圆形，两个所述固定座(2)的平面相对设置，所述第一夹持件(3)的两个端面分别和两个所述固定座(2)的平面滑动配合。

6.根据权利要求1-5任一项所述的夹持工装，其特征在于，还包括弹性件(6)，所述弹性件(6)设于所述第一夹持件(3)和所述承载台(1)之间，所述弹性件(6)使所述第一夹持件(3)止动于所述第二夹持件(4)。

7.根据权利要求1-5任一项所述的夹持工装，其特征在于，还包括第三夹持件(5)和弹性件(6)，所述第三夹持件(5)固设于所述承载台(1)，且位于所述第一夹持件(3)远离所述第二夹持件(4)的一侧，所述弹性件(6)设于所述第一夹持件(3)和所述第三夹持件(5)之间，所述弹性件(6)使所述第一夹持件(3)止动于所述第二夹持件(4)。

8.根据权利要求7所述的夹持工装，其特征在于，所述第一夹持件(3)设有第一安装孔，所述第三夹持件(5)设有第二安装孔，所述弹性件(6)的两端分别插装于所述第一安装孔和所述第二安装孔内。

9.根据权利要求8所述的夹持工装，其特征在于，所述第一安装孔和所述第二安装孔的深度尺寸之和大于所述弹性件(6)被完全压缩时的长度尺寸。

10.根据权利要求7所述的夹持工装，其特征在于，所述弹性件(6)设有两个，两个所述弹性件(6)平行且间隔设置于所述第一夹持件(3)和所述第三夹持件(5)之间。

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