CN109440192A - 一种单晶炉排气口自净化装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种单晶炉排气口自净化装置，包括第一旋转装置、第二旋转装置和清扫装置，第一旋转装置与第二旋转装置相配合，清扫装置与第二旋转装置连接。本发明的有益效果是采用涡轮蜗杆相配合，清扫装置与涡轮连接，通过涡轮带动清扫装置旋转，对排气管道进行清扫，工作可靠，清扫效率高，将炉体运行过程不断将沉积下来的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高单晶炉的工作效率，提高单晶质量。
Description
技术领域
本发明属于单晶生产设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉排气口自净化装置。
背景技术
单晶炉运行过程中会产生大量的氧化物通过炉体排气系统排出炉体，一般排气系统设计在炉底，氧化物会通过炉体内排气导管输送到炉体外排气管道最后排出炉体，在炉内排气导管与炉体外排气管道相接区域，处于冷热交接位置，氧化物流过会沉积吸附在此处，运行时间久，氧化物堆积越来越多最终将排气口堵塞，导致排气系统瘫痪，最终影响成晶效果及品质。
发明内容
鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种单晶炉排气口自净化装置，尤其适合单晶炉排气口管道清洁时使用，该自净化装置安装在排气管道内氧化物堆积处，对沉积的氧化物进行清扫，防止氧化物堆积过多堵住排气管道。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种单晶炉排气口自净化装置，包括第一旋转装置、第二旋转装置和清扫装置，第一旋转装置与第二旋转装置相配合，清扫装置与第二旋转装置连接。
进一步的，清扫装置包括清扫杆和清扫部，清扫杆与第二旋转装置连接，清扫杆与清扫部连接。
进一步的，清扫杆的长度与单晶炉排气管道的半径相适应。
进一步的，清扫装置的数量至少为一个。
进一步的，自净化装置还包括动力装置，动力装置与第一旋转装置连接。
进一步的，清扫部为清扫刷。
进一步的，第一旋转装置为蜗杆，第二旋转装置为涡轮，蜗杆与涡轮相啮合。
进一步的，第一旋转装置与第二旋转装置为相互啮合的齿轮。
本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得该单晶炉排气口自净化装置结构简单，使用方便，采用涡轮蜗杆相配合，清扫装置与涡轮连接，通过涡轮带动清扫装置旋转，对排气管道进行清扫，工作可靠，清扫效率高，将炉体运行过程不断将沉积下来的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高单晶炉的工作效率，提高单晶质量。
附图说明
图1是本发明的一实施例的安装结构示意图；
图2是本发明的一实施例的结构示意图。
图中：
1、排气管道 2、自净化装置 20、动力装置
21、第一旋转装置 22、第二旋转装置 23、清扫杆
24、清扫部
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。
图1和2示出了本发明一实施例的结构，具体示出了本实施的结构，本实施例涉及一种单晶炉排气口自净化装置，该单晶炉排气口自净化装置安装在单晶炉排气管道内，位于氧化物堆积的地方，对在炉体运行过程中不断沉积的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高直拉单晶的效率，提高单晶的品质。
上述的单晶炉排气口自净化装置，如图1和2所示，包括第一旋转装置21、第二旋转装置22和清扫装置，第一旋转装置21与第二旋转装置22相配合，清扫装置与第二旋转装置22连接，第一旋转装置21进行旋转，通过第一旋转装置21与第二旋转装置22相配合，使得第二旋转装置22进行旋转，带动清扫装置进行旋转，继而实现清扫装置对单晶炉排气管道1上的沉积的氧化物进行清扫，减少氧化物在排气管道1的堆积。
具体地，该自净化装置2安装在单晶炉排气管道1的氧化物堆积处，且第一旋转装置21安装在单晶炉排气管道1的内壁上，且该第一旋转装置21位于排气管道1的直径上，第一旋转装置21可以两端分别安装在排气管道1内壁上，或者，第一旋转装置21的一端安装在排气管道1的内壁上，该第一旋转装置21的安装方式根据实际需求进行选择，第一旋转装置21安装在排气管道1的直径上，便于第二旋转装置22能够在排气管道1内进行360°旋转，对排气管道1内壁上的氧化物进行清扫。第一旋转装置21延伸出排气管道1，且第一旋转装置21延伸出排气管道1的一端与动力装置20连接，动力装置20为第一旋转装置21提供动力，带动第一旋转装置21进行旋转。这里，动力装置20可以是电机，也可以是马达，或者是其他旋转动力装置，根据实际需求进行选择，优选的，在这里，动力装置为电机，电机通过联轴器与第一旋转装置21连接，使得第一旋转装置21在电机的输出轴的带动下进行旋转，进行动力的传递。
在第一旋转装置21上设有安装支架，第二旋转装置22安装在安装支架上，且第二旋转装置22与第一旋转装置21相配合，第一旋转装置21与第二旋转装置22相接触，第一旋转装置21带动第二旋转装22置旋转，进而带动清扫装置旋转，对排气管道1内壁进行清扫，第二旋转装置22位于排气管道1的中心处，便于清扫装置在第二旋转装置22带动下进行360°旋转清扫。第二旋转装置22通过轴承与安装支架安装，使得第二旋转装置22能够在安装支架上在第一旋转装置21的带动下进行旋转。
在这里，第一旋转装置21与第二旋转装置22可以是相互啮合的涡轮蜗杆传动，还可以是相互啮合的齿轮传动，或者是其他旋转传动装置，根据实际需求进行选择。优选的，第一旋转装置21与第二旋转装置22为相互啮合的涡轮蜗杆传动，第一旋转装置21为蜗杆，第二旋转装置22为涡轮，上述的安装支架具有外壳，涡轮与蜗杆安装在外壳内部，外壳对涡轮和蜗杆进行保护，减少氧化物沉积在涡轮或蜗杆上，延长涡轮与蜗杆的使用寿命，安装支架与排气管道1内壁固定连接，外壳位于排气管道1的中心位置，即涡轮与蜗杆位于排气管道1的中心，便于清扫装置对排气管道1内壁上的氧化物沉积物进行清扫。蜗杆通过轴承安装外壳上，且蜗杆的一端延伸出排气管道1内壁，与外部的动力装置20连接，涡轮通过轴承安装在外壳内部，且涡轮与蜗杆相配合，涡轮轴的两端向外延伸，延伸至外壳的外部，延伸出外壳外部的涡轮轴的端部安装有清扫装置，清扫装置的数量至少为一组，安装在涡轮轴的端部，随着涡轮轴的旋转而旋转，对排气管道1的内壁进行清扫。清扫装置的数量根据排气管道内壁的氧化物沉积的量进行选择。
具体地，上述的清扫装置包括清扫杆23和清扫部24，清扫杆23与第二旋转装置22连接，清扫杆23与清扫部24连接，即，清扫杆23与涡轮轴的端部固定连接，清扫部24与清扫杆23的另一端固定连接，且清扫杆23与涡轮轴垂直固定连接，使得清扫杆23随着涡轮轴的转动而转动，清扫杆23的长度与单晶炉排气管道1的半径相适应，使得清扫部24与排气管道1内壁接触，对排气管道1内壁进行清扫。这里，清扫部24可以是清扫刷，还可以是百洁布，或者是其他清扫装置，根据实际需求进行选择，优选的，清扫部24为清扫刷。
本实施例的工作过程：通过安装支架和外壳将第一旋转装置21和第二旋转装置22安装在排气管道1内部，且第一旋转装置21延伸出排气管道1外部的一端与动力装置20连接，第二旋转装置22延伸出外壳外部的端部与清扫装置连接。在进行排气管道1内壁清扫的时候，启动动力装置20，动力装置20带动第一旋转装置21旋转，第一旋转装置21与第二旋转装置22相配合，使得第二旋转装置22转动，带动清扫装置中的清扫杆23进行360°旋转，清扫杆23头部的清扫刷对排气管道1的内壁的沉积氧化物进行清扫，完成排气管道1内壁的清扫，防止沉积氧化物堵塞排气管道1，提升单晶的品质。
本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得该单晶炉排气口自净化装置结构简单，使用方便，采用涡轮蜗杆相配合，清扫装置与涡轮连接，通过涡轮带动清扫装置旋转，对排气管道进行清扫，工作可靠，清扫效率高，将炉体运行过程不断将沉积下来的氧化物清扫掉，防止氧化物堆积过多堵住排气管道，提高单晶炉的工作效率，提高单晶质量。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.一种单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：包括第一旋转装置、第二旋转装置和清扫装置，所述第一旋转装置与所述第二旋转装置相配合，所述清扫装置与所述第二旋转装置连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述清扫装置包括清扫杆和清扫部，所述清扫杆与所述第二旋转装置连接，所述清扫杆与所述清扫部连接。
3.根据权利要求2所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述清扫杆的长度与单晶炉排气管道的半径相适应。
4.根据权利要求1-3任一项所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述清扫装置的数量至少为一个。
5.根据权利要求4所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述自净化装置还包括动力装置，所述动力装置与所述第一旋转装置连接。
6.根据权利要求5所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述清扫部为清扫刷。
7.根据权利要求5所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述第一旋转装置为蜗杆，所述第二旋转装置为涡轮，所述蜗杆与所述涡轮相啮合。
8.根据权利要求5所述的单晶炉排气口自净化装置，其特征在于：所述第一旋转装置与所述第二旋转装置为相互啮合的齿轮。
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