CN206015134U - 一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，包括连接板，连接板的一侧固定有伸缩管，伸缩管的另一端密封，伸缩管内固定有连杆，连杆穿过伸缩管和连接板后连接有管道刷。本实用新型的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置解决了现有的单晶炉排气管道无法在拉晶过程中清理管道内沉积的挥发物的问题。本实用新型的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置将排气管道密封，通过拉伸和压缩伸缩管带动排气管道内的管道刷清理排气管道内沉积的挥发物，其可以在单晶炉运行过程中进行清理，而且结构简单，避免了因改造单晶炉产生的高额费用。

Description

一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置。

背景技术

直拉法生产硅单晶工艺中，简要过程是先将原料装入单晶炉炉内的石英坩埚中，将炉体密闭后通入保护气，通过加热器将料块加热至1400℃左右熔化，经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾等操作，完成拉晶过程，最后关闭加热器停炉冷却。

在单晶拉制过程中，不仅要保证获得完整的无位错硅单晶锭，同时在单晶生长过程中还要严格控制生长的单晶的性能参数，如单晶直径尺寸，晶向，导电型号，电阻率，径向电阻率均匀性，氧、碳含量以及微缺陷密度等，以满足器件的要求。单晶炉内的热场配置，坩埚内熔体和气体流动状态的控制以及晶体转数，坩埚转数，晶体生长速度，气体流量和炉室压力等工艺参数的选择对单晶质量参数有着极为重要的影响。其中单晶炉真空系统是由一台机械泵对炉体进行抽真空，通过一定的氩气流速使炉体内部压力达到设定值。随着工艺变更，直拉法生产硅单晶进行连续拉晶工艺，单炉运行时间变长，这样会使得单晶炉排气管道挥发物不断沉积，直至将排气管道堵死，导致单晶炉炉内压强高于设定值，造成单晶硅生产困难的同时还会使得单晶质量下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，解决了现有的单晶炉排气管道无法在拉晶过程中清理管道内沉积的挥发物的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，包括连接板，连接板的一侧固定有伸缩管，伸缩管的另一端密封，伸缩管内固定有连杆，连杆穿过伸缩管和连接板后连接有管道刷。

本实用新型的特点还在于，

伸缩管的一端通过堵头密封，连杆与堵头相连且两者之间通过密封圈进行密封。

连接板上沿伸缩管方向固定有管托，管托用于支撑伸缩管。

连接板为盲板。

伸缩管为波纹管。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置解决了现有的单晶炉排气管道无法在拉晶过程中清理管道内沉积的挥发物的问题。本实用新型的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置将排气管道密封，通过拉伸和压缩伸缩管带动排气管道内的管道刷清理排气管道内沉积的挥发物，其可以在单晶炉运行过程中进行清理，而且结构简单，避免了因改造单晶炉产生的高额费用。

附图说明

图1是本实用新型的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置的结构示意图。

图中，1.管道刷，2.连杆，3.连接板，4.伸缩管，5.堵头，6.管托，7.排气管道。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置的结构如图1所示，包括连接板3，连接板3的一侧固定有伸缩管4，伸缩管4的另一端密封，伸缩管4内固定有连杆2，连杆2穿过伸缩管4和连接板3后连接有管道刷1，管道刷1与排气管道7的内壁相接触。

伸缩管4的一端通过堵头5密封，连杆2与堵头5相连且两者之间通过密封圈进行密封。

连接板3上沿伸缩管4方向固定有管托6，管托6用于支撑伸缩管4。

连接板3为盲板。

事例性的，伸缩管4可以为波纹管。

本实用新型的波纹管为可伸缩活动体，利用盲板可使本实用新型的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置安装固定在单晶炉排气管道7上，并起到密封作用，波纹管一端固定在盲板上并且密封，波纹管另一端通过波纹管堵头密封，波纹管内设置有连杆2，连杆2的一端与波纹管堵头相连且通过橡胶O圈密封，连杆2的另一端依次穿过波纹管、盲板后通过螺纹与管道刷1相连，管道刷1用于清理管单晶炉排气管道7内沉积的挥发物。管道刷1为不锈钢材质，为圆筒状，中间镂空。盲板位于波纹管的一侧固定有管托6，管托6用于支撑波纹管，防止波纹管在使用过程中因变形导致的破裂而使得单晶炉漏气。

盲板安装在单晶炉体排气管道7一端出口，排气管道7与盲板之间用橡胶O圈密封，盲板使用软扣固定在单晶炉台排气管道7上面。

进一步地，波纹管与盲板使用氩弧焊焊接进行密封。

进一步地，波纹管另一端与波纹管堵头使用氩弧焊焊接进行密封。

进一步地，管托6可以为不锈钢材质，将其焊接在盲板上面，用于支撑波纹管，防止波纹管在单晶炉内处于大气压力时发生变形，造成波纹管破裂导致单晶炉台漏气。

单晶炉的下炉筒上设置有排气孔，排气孔与排气管道7相连，排气管道具有多个开口端，在任一开口端将盲板与开口端使用软扣连接并通过橡胶O圈密封，使用时，通过压缩和拉伸波纹管，带动其内固定的连杆2带动管道刷1来回抽动实现清理排气管道7的目的。

Claims (5)

1.一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，其特征在于，包括连接板(3)，所述连接板(3)的一侧固定有伸缩管(4)，所述伸缩管(4)的另一端密封，所述伸缩管(4)内固定有连杆(2)，所述连杆(2)穿过伸缩管(4)和连接板(3)后连接有管道刷(1)。

2.如权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，其特征在于，所述伸缩管(4)的一端通过堵头(5)密封，所述连杆(2)与堵头(5)相连且两者之间通过密封圈进行密封。

3.如权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，其特征在于，所述连接板(3)上沿伸缩管(4)方向固定有管托(6)，所述管托(6)用于支撑伸缩管(4)。

4.如权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，其特征在于，所述连接板(3)为盲板。

5.如权利要求1-4任一项所述的一种直拉法单晶炉用排气管道清洗装置，其特征在于，所述伸缩管(4)为波纹管。