CN109437587A - 一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，包括：将软胶膜原料加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在60‑70℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4‑4.5小时，得到透明软胶膜浆料放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；将石英源瓶安装到可旋转的夹具上，推送到石英源瓶恒温箱中预热，待石英源瓶预热10‑20分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没1‑2分钟后，石英源瓶完全脱离料槽；塑化时间3‑5分钟，将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2‑5分钟，得到镀膜的石英源瓶。本发明能有效防止有毒化学品的泄漏，安全环保。

Description

一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法
技术领域
本发明涉及化工技术领域，特别涉及一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法。
背景技术
在半导体及太阳能电池行业的生产中，需使用多种液体电子化学品通过扩散或热氧化掺杂到硅片表面以实现芯片和太阳能电池的功能。如主要用于半导体晶圆热氧化掺杂工艺、半导体和太阳能电池行业的扩散炉管清洗工艺的电子级反式-1,2-二氯乙烯，主要用于太阳能电池、半导体的N型掺杂工艺的电子级三氯氧磷；主要用于太阳能电池、半导体的P型掺杂工艺的电子级三溴化硼。此类应用中的电子化学品，遇空气氧化分解，易燃易爆，且对人体有毒，而工艺上要求这些化学品纯度99.9999%以上，金属杂质含量低，因此盛放此类液体化学品的容器材质需具有高抗腐蚀性，确保不带入新的杂质污染。
目前行业普遍使用高纯石英材质的源瓶来盛放上述电子化学品，通过在源瓶上设置的进气管向源瓶内充入高纯惰性气体，并携带部分源瓶内的电子化学品从出气管输入到半导体芯片上进行掺杂。目前的石英源瓶，在使用、输送这些液体化学品过程中，存在一定的安全隐患，若发生碰撞、磕碰等使用不当情形，易产生隐裂；尤其是误操作，当进气阀打开，出气阀未打开或出气管道堵塞时，会导致石英源瓶内部压力超过石英瓶耐压极限，发生爆瓶事故，使毒性强、高腐蚀的源液泄漏，具有对环境、人身造成伤害风险。因此，提供有效的防护石英源瓶，防止泄漏、保证人身安全，方便操作人员使用成为当前急需解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于克服上述缺点而提供的一种能有效防止有毒化学品的泄漏，安全环保的用于盛放电子化学品的镀膜石英源瓶的镀膜方法。
本发明的一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，包括如下步骤：
（1）将软胶膜原料加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在60-70℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4-4.5小时，得到透明软胶膜浆料；
（2）将所得透明软胶膜浆料从反应釜底部放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；
（3）将石英源瓶安装到可旋转的夹具上，推送到石英源瓶恒温箱中预热，恒温箱温度保持140-150℃；
（4）待石英源瓶预热10-20分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没1-2分钟后，石英源瓶完全脱离料槽；
（5）将浸没后的石英源瓶推送到恒温箱中进行塑化，控制温度250-260℃，塑化时间3-5分钟，退出塑化恒温箱；
（6）将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2-5分钟，石英源瓶的外壁上镀上了一层透明软胶膜，得到镀膜的石英源瓶。
上述的一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，其中：步骤（1）中的软胶膜原料由20%全氟乙烯丙烯共聚物（FEP）、34%聚氯乙烯（PVC）、46%邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯塑化剂组成。
上述的一种用于盛放电子化学品的镀膜石英源瓶的镀膜方法，其中：石英源瓶的外壁的透明软胶膜的厚度为1-2mm。
上述的石英源瓶，其顶端一侧设有进气口，与气体进口浸入管相连，该浸入管向石英瓶底延伸至2mm处，另一侧设有出气口。
本发明与现有技术相比，具有明显的有益效果，从以上技术方案可知：通过本发明的镀膜方法，镀膜层紧贴在石英源瓶外壁，具备耐腐蚀、透明、拉伸强度高特点，安全环保；且提高了石英源瓶的强度，有效防止有毒化学品的泄漏，减少对环境、人身造成伤害的风险。
具体实施方式
实施例1：
用于盛放电子化学品的镀膜石英源瓶的镀膜方法，具体来说，在现有石英源瓶的外壁镀一层透明软胶膜的方法，按如下步骤完成：
（1）将软胶膜原料各组分及含量由20%全氟乙烯丙烯共聚物（FEP）、34%聚氯乙烯（PVC）、46%邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯塑化剂混合加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在60℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4小时，得到透明软胶膜浆料；
（2）将所得透明软胶膜浆料从反应釜底部放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；
（3）将石英源瓶安装到可旋转的夹具上，推送到石英源瓶恒温箱中预热，恒温箱温度保持150℃；
（4）待石英源瓶预热10分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没2分钟后，石英源瓶脱离料槽；
（5）将浸没后的石英源瓶推送到恒温箱中进行塑化，控制温度250℃，塑化时间5分钟；
（6） 将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却5分钟，石英源瓶的外壁上镀上了一层厚2mm的透明软胶膜，得到镀膜的石英源瓶。
实施例2：
用于盛放电子化学品的镀膜石英源瓶的镀膜方法，具体来说，在现有石英源瓶的外壁镀一层透明软胶膜的方法，按如下步骤完成：
（1）将软胶膜原料各组分及含量由20%全氟乙烯丙烯共聚物（FEP）、34%聚氯乙烯（PVC）、46%邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯塑化剂混合加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在70℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4.5小时，得到透明软胶膜浆料；
（2）将所得透明软胶膜浆料从反应釜底部放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；
（3）将石英源瓶安装到可旋转的夹具上；推送到石英源瓶恒温箱中预热，恒温箱温度保持140℃；
（4）待石英源瓶预热20分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没1分钟后，石英源瓶脱离料槽；
（5）将浸没后的石英源瓶推送到恒温箱中进行塑化，控制温度260℃，塑化时间3分钟；
（6）将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2分钟，石英源瓶的外壁上镀上了一层厚1mm的透明软胶膜，得到镀膜的石英源瓶。
实施例3：
用于盛放电子化学品的镀膜石英源瓶的镀膜方法，具体来说，在现有石英源瓶的外壁镀一层透明软胶膜的方法，按如下步骤完成：
（1）将软胶膜原料各组分及含量由20%全氟乙烯丙烯共聚物（FEP）、34%聚氯乙烯（PVC）、46%邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯塑化剂混合加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在65℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4小时15分钟，得到透明软胶膜浆料；
（2）将所得透明软胶膜浆料从反应釜底部放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；
（3）将石英源瓶安装到可旋转的夹具上；推送到石英源瓶恒温箱中预热，恒温箱温度保持145℃；
（4）待石英源瓶预热15分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没1.5分钟后，石英源瓶脱离料槽；
（5）将浸没后的石英源瓶推送到恒温箱中进行塑化，控制温度255℃，塑化时间4分钟；
（6）将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却3分钟，石英源瓶的外壁上镀上了一层厚1.5mm的透明软胶膜，得到镀膜的石英源瓶。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，任何未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (3)

1.一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，包括如下步骤：
（1）将软胶膜原料加入真空夹套反应釜中，加热至反应釜内温度在60-70℃，抽真空度至0.055MPa，搅拌4-4.5小时，得到透明软胶膜浆料；
（2）将所得透明软胶膜浆料从反应釜底部放入料槽，料槽中的浆料保持在3/4液位；
（3）将石英源瓶安装到可旋转的夹具上，推送到石英源瓶恒温箱中预热，恒温箱温度保持140-150℃；
（4）待石英源瓶预热10-20分钟后，转移至料槽正上方，将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中，浸没1-2分钟后，石英源瓶完全脱离料槽；
（5）将浸没后的石英源瓶推送到恒温箱中进行塑化，控制温度250-260℃，塑化时间3-5分钟，退出塑化恒温箱；
（6）将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2-5分钟，石英源瓶的外壁上镀上了一层透明软胶膜，得到镀膜的石英源瓶。
2.如权利要求1所述的用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，其中：步骤（1）中的软胶膜原料由20%全氟乙烯丙烯共聚物、34%聚氯乙烯、46%邻苯二甲酸二(2-乙基己)酯塑化剂组成。
3.如权利要求1所述的用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法，其中：石英源瓶的外壁的透明软胶膜的厚度为1-2mm。
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